JP2014233937A - 圧力センサの異常検知方法及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出装置の流路内に設置されている圧力センサの異常（故障）を検知する。【解決手段】液体貯留部(22)に貯留されている液体を液体吐出ヘッド（12）に導く供給経路(30)と、液体吐出ヘッド(12)から液体を回収する回収経路(60)との間に循環差圧を設定して供給ポンプ(32)及び回収ポンプ(62)の駆動制御を行い、それぞれのポンプ速度を取得する。設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲に対し、取得されたポンプ速度が許容想定範囲に収まっているか否かの判定に基づき、供給側圧力センサ（38）及び回収側圧力センサ(68)のうち少なくとも一方の圧力センサの異常の有無を判定する。【選択図】図１

Description

本発明はインクジェット装置に代表される液体吐出装置の圧力制御に用いられる圧力センサの異常の有無を検知する技術に関する。

インクジェット機器において、プリントヘッドのノズルからのインク吐出を正常に行うためには、適切な背圧制御を行うことが必須である。特に、適切な背圧制御を行う場合、その制御システムが有する圧力センサが正しい圧力値を出力していることが不可欠である。

しかし、インク流路に設置される圧力センサがインクによる化学的な摩耗などで故障が生じて、本来の圧力値と異なる値を示してしまう場合がある。このような場合、正常な背圧制御を保証できず、吐出環境に異常をもたらし、ひいては印字画像の品質劣化（画像異常）を引き起こすことになる。

圧力センサの異常を検知するための簡単な方法の一つとして、別途較正用のセンサ（例えば、追加の１セット分の圧力センサ）を設けるといった方法がある。しかし、このような方法は、装置機器のコストアップになるため、できるだけ圧力センサ単体でその異常を検知できる構成が望ましい。

特許文献１〜３では、インク流路内の異常検知又はインク循環制御方式について言及がされている。特許文献１では、ポンプの速度から取得したインク循環量が正常な値か否かを判定し、流路内の異常を検知している。特許文献２では、インク圧力の適正値と、ポンプを駆動するモータの回転数との関係を予め把握しておき、モータの回転数が一定の許容範囲内に収まるか否かで、インク流路の異常検知を行っている。特許文献３ではポンプ速度を検出して、適正な循環量を確保するために差圧調整手段を持たせている。

特開２０１２−１８３８０６号公報 特開２０００−２２９４２２号公報 特開２０１２−１６９０４号公報

しかしながら、特許文献１〜３に示されている技術は、いずれも流路内の異常検知や制御精度向上に関するものであり、圧力センサそのものが故障した場合については、何も言及がなされていない。特許文献１〜３に示された技術では、圧力センサ自体が故障しているか否かを適切に判断することは困難である。このような課題は、インクジェット印刷機に限らず、様々な用途の液体吐出装置に共通の課題である。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、液体吐出装置の流路内に設置されている圧力センサが故障した場合、それを検知することができる圧力センサの異常検知方法を提供することを目的とし、併せて、その異常検知方法が適用される液体吐出装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、次の発明態様を提供する。

（第１態様）：第１態様に係る圧力センサの異常検知方法は、液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留しておく液体貯留部と、液体貯留部に貯留されている液体を液体吐出ヘッドに導く供給経路と、液体貯留部から供給経路を通じて液体吐出ヘッドに液体を給送する供給ポンプと、供給経路に設置される供給側圧力センサと、液体吐出ヘッドから液体を回収する回収経路と、回収経路に設置される回収ポンプと、回収経路に設置される回収側圧力センサと、を備える液体吐出装置の供給側圧力センサ及び回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常を検知する方法であって、供給経路と回収経路との間に循環差圧を設定するステップと、設定された循環差圧を制御目標にして供給ポンプ及び回収ポンプの駆動制御を行うステップと、駆動制御による供給ポンプ及び回収ポンプのそれぞれのポンプ速度を取得するステップと、設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲に対し、取得されたポンプ速度が許容想定範囲に収まっているか否かの判定に基づき、供給側圧力センサ及び回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常の有無を判定するステップと、を有する圧力センサの異常検知方法である。

第１態様によれば、設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲が特定される。設定された循環差圧となるようにポンプの駆動制御を行ったときのポンプ速度を取得し、取得されたポンプ速度が許容想定範囲を超えていれば、圧力センサが異常であると判断される。この態様によれば、簡単な動作制御で圧力センサの異常を検知することが可能である。なお、ポンプ速度と流量には相関があるため、両者の対応関係を利用して、ポンプ速度を示す情報を流量の情報に変換することができ、また、流量の情報をポンプ速度の情報に変換することができる。

（第２態様）：第１態様に記載の圧力センサの異常検知方法において、設定される循環差圧が０［Pa］である構成とすることができる。

循環差圧は任意の値に設定することが可能であるが、循環差圧を０［Pa］に設定する態様が最も簡単であり、判定時間を短縮できる。

（第３態様）：第１態様又は第２態様のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法において、循環差圧に対応して、予め想定される誤差から許容できる誤差の範囲を定めておき、予想されるポンプ速度に対して許容できる誤差の範囲を考慮して許容想定範囲が定められる構成とすることができる。

液体吐出装置の流路構造、使用される圧力センサやポンプの形態、設置箇所など、装置構成の具体的形態に基づいて、各種の誤差成分を想定することができる。各種の誤差要因を考慮して許容できる誤差の範囲を定め、予想されるポンプ速度に対して許容できる誤差の範囲を含んだ範囲を「許容想定範囲」としておくことが好ましい。

（第４態様）：第１態様から第３態様のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法において、液体吐出装置には、供給経路に設置され、第１可撓膜を介して区画される第１液体室と第１空気室とを有する供給側ダンパと、回収経路に設置され、第２可撓膜を介して区画される第２液体室と第２空気室とを有する回収側ダンパと、が設けられている構成とすることができる。

かかる態様によれば、ポンプの脈動を抑えて、安定的な圧力調整が可能である。

（第５態様）：第１態様から第４態様のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法において、液体吐出装置は、液体吐出ヘッドとしての複数のヘッドモジュールを備え、供給経路は、複数のヘッドモジュールと接続される供給側マニホールドを含み、回収経路は、複数のヘッドモジュールと接続される回収側マニホールドを含む構成とすることができる。

（第６態様）：第５態様に記載の圧力センサの異常検知方法において、供給側圧力センサ及び回収側圧力センサによって把握される圧力の誤差合計を△P_total、、供給側マニホールドと回収側マニホールドの間の流路抵抗をR_bar±△R_bar、設定される循環差圧をP_circ、予想されるポンプ速度による流量のばらつきをΔＱとするとき、ΔQ＝ {(△P_total/R_bar)^２ + (P_circ × △R_bar / R_bar^２)^２}^0.5 を考慮して異常判定の閾値が定められる構成とすることができる。

設定された循環差圧のもとでポンプの駆動を制御した場合に想定される流量のばらつきΔQは、圧力の誤差合計ΔP_totalと、供給側マニホールド及び回収側マニホールド間の流路抵抗の誤差成分△R_barを考慮すると、次式

と表すことができる。

この流量のばらつきΔQに対応したポンプ速度のばらつき（許容誤差）を考慮して圧力センサの異常有無を判定することができる。

（第７態様）：第４態様の構成を採用するときの第６態様に記載の圧力センサの異常検知方法において、供給側圧力センサ及び回収側圧力センサの各圧力センサのサイズに起因する水頭誤差を△P_sys_sensor、供給側ダンパ及び回収側ダンパの各ダンパのサイズに起因する水頭誤差を△P_sys_damper、供給側圧力センサ及び回収側圧力センサの各圧力センサの測定誤差を△P_measured、とするとき、圧力の誤差合計△P_totalを、△P_total =｛(△P_sys_sensor)^２ +（△P_sys_damper）^２ +（△P_measured）^２｝ ^１／２ [Pa] とする構成とすることができる。

（第８態様）：第８態様に係る液体吐出装置は、液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留しておく液体貯留部と、液体貯留部に貯留されている液体を液体吐出ヘッドに導く供給経路と、液体貯留部から供給経路を通じて液体吐出ヘッドに液体を給送する供給ポンプと、供給経路に設置される供給側圧力センサと、液体吐出ヘッドから液体を回収する回収経路と、回収経路に設置される回収ポンプと、回収経路に設置される回収側圧力センサと、供給経路と回収経路との間に循環差圧を設定する差圧設定部と、設定された循環差圧を制御目標にして供給ポンプ及び回収ポンプの駆動制御を行うポンプ制御部と、駆動制御による供給ポンプ及び回収ポンプのそれぞれのポンプ速度を取得するポンプ速度検出部と、設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲に対し、取得されたポンプ速度が許容想定範囲に収まっているか否かの判定に基づき、供給側圧力センサ及び回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常の有無を判定する異常判定部と、を備える液体吐出装置である。

この態様によれば、簡単な動作制御で圧力センサの異常を検知することが可能である。

第８態様の液体吐出装置について、第２態様から第７態様に記載した構成を適宜組み合わせることが可能である。

（第９態様）：第８態様に記載の液体吐出装置において、差圧設定部により設定される循環差圧が０［Pa］である構成とすることができる。

（第１０態様）：第８態様又は第９態様に記載の液体吐出装置において、供給経路に設置され、第１可撓膜を介して区画される第１液体室と第１空気室とを有する供給側ダンパと、回収経路に設置され、第２可撓膜を介して区画される第２液体室と第２空気室とを有する回収側ダンパと、を備える構成とすることができる。

（第１１態様）：第８態様から第１０態様に記載の液体吐出装置において、液体吐出ヘッドとしての複数のヘッドモジュールを備え、供給経路は、複数のヘッドモジュールと接続される供給側マニホールドを含み、回収経路は、複数のヘッドモジュールと接続される回収側マニホールドを含む構成とすることができる。

本発明によれば、別途較正用のセンサなどを追加することなく、簡単な制御で圧力センサの異常検知を行うことができる。

本発明の実施形態に係る液体吐出装置におけるインク供給システムの模式図 本実施形態に係る液体吐出装置の制御系の構成を示すブロック図 圧力センサの異常の有無を検知する処理の手順を示すフローチャート ポンプ用のダンパ内に配置された可撓膜の圧力応答を示すグラフ 可撓膜を不感帯域（非弾性変形領域）の膜位置に設定した様子を示した模式図 可撓膜を不感帯外の領域（弾性変形領域）の膜位置に設定した様子を示した模式図 膜位置の初期化処理の手順を示したフローチャート ダンパの内壁に可撓膜を張り付かせた様子を示す模式図 本実施形態に係る液体吐出装置の動作制御の一例を示すフローチャート インクジェット装置の全体構成を示した構成図 インクジェットヘッドの斜視図 インクジェットヘッドをノズル面側から見た部分拡大図 ヘッドモジュールの平面透視図 図１３Ａに示したヘッドモジュールの一部を拡大した拡大図 ヘッドモジュールの内部構造を示す縦断面図 インクジェット装置の制御系の概略構成を示すブロック図

以下、添付図面に従って本発明の実施形態について詳細に説明する。

図１は本発明の実施形態に係る液体吐出装置の構成を模式的に示した図である。この液体吐出装置１０は、インクジェット方式の液体吐出ヘッドモジュール（以下、ヘッドモジュールという。）１２を複数個並べて長尺のラインヘッドとして構成されたヘッドバー１４と、ヘッドモジュール１２に供給する液体（ここでは、インク２０を例示）を貯留しておくインクタンク２２（「液体貯留部」に相当）と、インクタンク２２からヘッドモジュール１２にインク２０を送る供給側流路部３０（「供給経路」に相当）と、ヘッドモジュール１２からインクタンク２２にインク２０を戻す回収側流路部６０（「回収経路」に相当）と、を備える。また、液体吐出装置１０は、制御部として機能するコントローラ１７０と、表示部１７２と、を備える。

図１では４個（ｎ＝４）のヘッドモジュール１２を示しているが、ヘッドバー１４に使用されるヘッドモジュールの個数ｎは特に制限はなく、１つ以上任意の個数で設計することが可能である（ｎは１以上の整数）。１つのヘッドモジュールの又は複数個のヘッドモジュールの組み合わせが「液体吐出ヘッド」に相当する。

インクタンク２２にはインク２０が貯留され、インク供給源として機能する。また、インクタンク２２は回収側流路部６０を通じて回収されたインク２０を溜める回収タンクとして機能する。インクタンク２２はメインタンク（主タンク）であってもよし、メインタンクからインクが供給されてインクを貯留しておくサブタンク（補助タンク）であってもよい。インクタンク２２はインクカートリッジやインクパックのように容器ごと交換可能な形態であってもよいし、容器にインクを補充する形態であってもよい。

供給側流路部３０には、供給ポンプ３２と、供給ポンプ３２の脈動による圧力変動を緩和するためのポンプ用のダンパ３４（以下、符号３６を「供給側ダンパ」という。）と、供給側マニホールド３６と、供給側圧力センサ３８とが設けられている。同様に、回収側流路部６０には、回収ポンプ６２と、回収ポンプ６２の脈動による圧力変動を緩和するためのポンプ用のダンパ６４（以下、符号６４を「回収側ダンパ」という。）と、回収側マニホールド６６と、回収側圧力センサ６８とが設けられている。

供給ポンプ３２は、インクタンク２２と供給側ダンパ３４とを繋ぐ第１流路９０の途中に設けられている。供給ポンプ３２は加圧（送液）方向の駆動と減圧（吸い込み）方向の駆動との両方の駆動を切り替えることができる構成のものを用いることが望ましい。本例では、供給ポンプ３２にチューブポンプが用いられている。インクタンク２２から供給側ダンパ３４にインクを送る方向に供給ポンプ３２を駆動する場合を「加圧方向」といい、この加圧方向の駆動を供給ポンプ３２の正回転方向とする。逆に、供給側ダンパ３４からインクを引き出し、供給側ダンパ３４からインクタンク２２に向けてインクを戻す方向に供給ポンプ３２を駆動する場合を「減圧方向」とい、この減圧方向の駆動を供給ポンプ３２の逆回転方向とする。

供給ポンプ３２を加圧方向に駆動することにより、インクタンク２２から供給側流路部３０を通じてヘッドモジュール１２にインクを給送することができる。

また、供給側流路部３０における第１流路９０の途中に（供給ポンプ３２と供給側ダンパ３４との間に）はフィルタ９２とインク温調器９４が設けられている。インクタンク２２に貯留されているインク２０を供給ポンプ３２の駆動力で供給側ダンパ３４へ供給する途中のフィルタ９２でインク内から気泡やゴミを取り除き、インク温調器９４によりインクの温度を管理している。

インク温調器９４は熱交換器とチラーとを含んで構成されており、チラーに接続された熱交換器に流す水の温度を調節することにより、インク流路内を流れるインクの加熱と冷却の両方の温度調整が可能である。インク温調器９４は、コントローラ１７０によって制御される。

供給側ダンパ３４は、密閉構造の第１容器４０内に第１可撓膜４２が配設されており、第１可撓膜４２によって第１容器４０内が第１液体室４４と第１空気室４６とに区画される構造を有する。第１空気室４６には第１大気連通路４８が設けられ、第１大気連通路４８はバルブ５０によって開閉可能である。以下、符号５０を「第１大気開放バルブ」と呼ぶ。第１大気開放バルブ５０は、コントローラ１７０からの制御信号によって開閉の制御が可能な開閉弁（例えば、電磁弁）で構成される。

回収側ダンパ６４も供給側ダンパ３４と同様の構造を有している。すなわち、回収側ダンパ６４は、密閉構造の第２容器７０内に第２可撓膜７２が配設されており、第２可撓膜７２によって第２容器７０内が第２液体室７４と第２空気室７６とに区画される構造を有する。第２空気室７６には第２大気連通路７８が設けられ、第２大気連通路７８は第２大気開放バルブ８０によって開閉可能である。第２大気開放バルブ８０は、コントローラ１７０からの制御信号によって開閉の制御が可能な開閉弁（例えば、電磁弁）で構成される。

供給側ダンパ３４の第１可撓膜４２と回収側ダンパ６４の第２可撓膜７２は、それぞれ弾性変形可能な弾性膜で構成されており、膜の変位量に対して膜弾性力が殆ど無視できる程度に小さい動作範囲（不感帯）と、膜の変位によって膜が弾性変形して相応の膜弾性力が現れる動作範囲（不感帯外）とを有する。なお、供給側ダンパ３４、回収側ダンパ６４は、各ヘッドモジュール１２に所要の負圧を与えるため背圧タンクと呼ばれる場合がある。

供給側ダンパ３４の第１液体室４４は第２流路９６を介して供給側マニホールド３６に接続されている。供給側マニホールド３６は、各ヘッドモジュール１２に対してインクを分配する共通の流路部であり、供給側マニホールド３６から分岐した供給管路１０２を通じてヘッドモジュール１２にインクが供給される。

各ヘッドモジュール１２に対応した供給管路１０２のそれぞれには供給バルブ１０４とヘッド用のダンパ１０６（以下、符号１０６を「供給側ヘッド用ダンパ」という。）が設けられている。すなわち、各ヘッドモジュール１２のインク供給口は、供給バルブ１０４と供給側ヘッド用ダンパ１０６とが介在する供給管路１０２を介して供給側マニホールド３６に接続されている。

また、各ヘッドモジュール１２のインク回収口は、回収バルブ１４４と回収側ヘッド用ダンパ１４６とが介在する回収管路１４２を介して共通の回収側マニホールド６６に接続されている。

供給バルブ１０４や回収バルブ１４４は、コントローラ１７０からの制御信号によって開閉の制御が可能な開閉弁（例えば、電磁弁）で構成される。ヘッドモジュール１２を交換する場合や、ヘッドモジュール１２の単位で加圧パージの制御を行う場合には該当するヘッドモジュール１２に対応したバルブ（１０４、１４４）の開閉を個別に制御する。なお、ヘッドモジュール１２の交換やモジュール単位の加圧パージなどを実施しない装置形態においてはバルブ（１０４、１４４）を省略することが可能である。

供給側ヘッド用ダンパ１０６と回収側ヘッド用ダンパ１４６は、ヘッドモジュール１２の液滴吐出動作に起因する脈動（脈流）を減衰させる役割を果たす。

回収ポンプ６２は、インクタンク２２と回収側ダンパ６４（ポンプ用のダンパ）とを繋ぐ第３流路１５０の途中に設けられている。回収ポンプ６２は供給ポンプ３２と同様に、加圧方向と減圧方向の駆動を切り替えることができる構成のものが用いられる。本例では回収ポンプ６２としてチューブポンプが用いられている。回収側ダンパ６４の第２液体室７４は第４流路１５６を介して回収側マニホールド６６に接続されている。

なお、図には示されていないが、供給側マニホールド３６と回収側マニホールド６６とを繋ぐバイパス流路を１つ又は複数備える構成としてもよい。バイパス流路を開閉できる弁（バイパスバルブ）を制御することにより、インクの循環量を調整することができる。

上述した本実施形態における循環式のインク流路構造によれば、インクタンク２２内のインク２０は、供給ポンプ３２の駆動により、第１流路９０、供給側ダンパ３４の第１液体室４４、第２流路９６、供給側マニホールド３６、供給管路１０２を介して各ヘッドモジュール１２に供給される。ヘッドモジュール１２に供給されたインクの一部はヘッドモジュール１２の液体吐出口（図１において図示しないノズル）から液滴１３として吐出される。

ヘッドモジュール１２に供給されたインクのうちノズルからの吐出に使用されなかったインクはヘッドモジュール１２内の内部流路を通り、回収管路１４２、回収側マニホールド６６、第４流路１５６、回収側ダンパ６４の第２液体室７４、第３流路１５０を介してインクタンク２２に戻される。本例ではインクタンク２２を回収タンクとして兼用しているが、インク供給用のタンクと、インク回収用のタンクとが別々に設けられていてもよい。

図１の液体吐出装置において、インクタンク２２から各ヘッドモジュール１２にインクを導くインク流路系が供給側（「IN側」と表記する場合がある）の経路である。供給側の経路には、第１流路９０、供給ポンプ３２、フィルタ９２、インク温調器９４、供給側ダンパ３４、第２流路９６、供給側マニホールド３６、供給管路１０２が含まれる。

また、ヘッドモジュール１２からインクタンク２２にインクを回収するためのインク流路系が回収側（「OUT側」と表記する場合がある）の経路である。回収側の経路には、第３流路１５０、回収側ダンパ６４、第４流路１５６、回収側マニホールド６６、回収管路１４２が含まれる。

供給ポンプ３２と回収ポンプ６２の駆動を制御することにより、供給側及び回収側のそれぞれの圧力を調整することができ、差圧に応じたインク循環が実現される。供給側圧力センサ３８と回収側圧力センサ６８によって、圧力をモニタリングしながら、供給ポンプ３２及び回収ポンプ６２の駆動が制御される。

例えば、ヘッドバー１４を使用して画像の記録（印刷）を行う場合など、通常のインク供給（循環供給）の際における供給ポンプ３２及び回収ポンプ６２による圧力は、供給側マニホールド３６の圧力Ｐin＞回収側マニホールド６６の圧力Ｐoutであるが、それぞれ負圧とされている。すなわち、供給ポンプ３２の供給圧力は負圧であるが、回収ポンプ６２の回収圧力がさらに低圧の負圧であるため、インクは、供給側マニホールド３６から回収側マニホールド６６へ流れ、かつ、ヘッドモジュール１２のノズルの背圧Ｐnzlが負圧に維持されるようになっている。したがって、ヘッドモジュール１２のノズル部ではインクのメニスカスが保持されつつ、各ヘッドモジュール１２のノズルに対してインクが循環するようになっている。

なお、ノズル部においてインクをメニスカス保持できる背圧Ｐnzlの圧力範囲は、ヘッドモジュール１２の仕様やインク種によって異なる。本実施の形態のものでは、約−３０００Ｐａ（Ｇ）である（「（Ｇ）」はゲージ圧（大気圧基準圧、相対圧力）を意味する）。

図１に示した液体吐出装置１０では、供給側（IN側）の圧力を検知する手段としての供給側圧力センサ３８が供給側マニホールド３６の端部に設置されている。また、回収側（OUT側）の圧力を検知する手段としての回収側圧力センサ６８が回収側マニホールド６６の端部に設置されている。ただし、発明の実施に際して、各圧力センサの設置場所はこの例に限らない。供給側及び回収側についてそれぞれの圧力情報を取得できればよく、その目的の範囲で圧力センサの設置場所は様々な態様がありうる。

例えば、供給側圧力センサ３８を供給側マニホールド３６内に設置する態様の他、供給側ダンパ３４の第１液体室４４と供給側マニホールド３６とを繋ぐ第２流路９６の途中に供給側圧力センサ３８を設置することも可能である。供給側圧力センサ３８は、供給側ダンパ３４の下流側に設置されることが好ましい。また、回収側圧力センサ６８についても、同センサを回収側マニホールド６６内に設置する態様の他、回収側ダンパ６４の第２液体室７４と回収側マニホールド６６とを繋ぐ第４流路１５６の途中に回収側圧力センサ６８を設置することが可能である。

なお、図１では、図示を簡略化するために、供給側ダンパ３４と供給側圧力センサ３８を同等の高さに図示しているが、実際の装置では、両者の設置高さは異なってよい（供給側ダンパ３４と供給側圧力センサ３８とが高低差を有してよい）。同様に、図１では、回収側ダンパ６４と回収側圧力センサ６８を同等の高さに図示しているが、実際の装置では、両者の設置高さは異なってよい。

コントローラ１７０は、所定のプログラムにしたがって液体吐出装置１０の動作を制御する。コントローラ１７０は供給ポンプ３２、回収ポンプ６２を制御するポンプ制御部として機能する。供給側圧力センサ３８及び回収側圧力センサ６８の信号はコントローラ１７０に送られる。コントローラ１７０は、供給側圧力センサ３８及び回収側圧力センサ６８から得られる情報（検出信号）を基に、供給ポンプ３２、回収ポンプ６２の駆動を制御する。

供給側及び回収側について、それぞれ制御目標とする圧力（目標圧力）を設定することができ、コントローラ１７０は、制御目標に設定されている目標圧力となるように供給ポンプ３２、回収ポンプ６２を駆動させる。コントローラ１７０は供給側圧力センサ３８から得られる信号（供給側圧力検出信号）が示す圧力値を基に、目標圧力となるように供給ポンプ３２の回転数（「ポンプ速度」に相当）を制御する。

同様に、コントローラ１７０は回収側圧力センサ６８から得られる信号（回収側圧力検出信号）が示す圧力値を基に、目標圧力となるように回収ポンプ６２の回転数を制御する。

コントローラ１７０は、供給ポンプ３２及び回収ポンプ６２のそれぞれの駆動速度（現在の回転数）を把握することができる。例えば、チューブポンプの回転速度を検出する公知の手段（エンコーダや電流検出回路など）を用い、ポンプの駆動速度を把握することができる。実際に作動しているポンプの速度を検出する態様に代えて、又はこれと組み合わせて、コントローラ１７０は、ポンプ（３２，６２）に対する駆動指令信号（ポンプの駆動を制御する制御信号）からポンプの速度（指令値）を把握することができる。チューブポンプは、ポンプの回転数と流量が概ね比例関係にあり、両者の対応関係を規定する簡単な変換演算又はルックアップテーブルを利用することでポンプ速度（回転数）から流量の値を把握できる。また、逆に、当該変換関係を利用して、流量の値に対応するポンプ速度の値も把握することができる。

コントローラ１７０は、供給側圧力センサ３８及び回収側圧力センサ６８からそれぞれ得られる信号（検出信号）と、各ポンプ（３２，６２）の駆動速度の情報を基に、圧力センサ（３８，６８）の異常の有無を判断する異常検知処理部（異常判断部）として機能する。異常判定の方法について詳細は後述する。

また、コントローラ１７０は、各種バルブ（５０，８０，１０４，１４４）を制御するバルブ制御部として機能するとともに、インク温調器９４の制御部として機能する。

表示部１７２は、コントローラ１７０に接続されており、供給側圧力センサ３８及び回収側圧力センサ６８のうち少なくとも一方の圧力センサの異常が検知されると、表示部１７２に警告メッセージが提示される。表示部１７２はユーザ（オペレータ）に対して異常の有無を知らせる報知手段として機能する。コントローラ１７０は表示部１７２に出力する表示制御信号を生成する表示制御部として機能する。なお、異常を知らせる手段として、表示部１７２に警告を表示する構成に代えて、又はこれと組み合わせて、音声出力手段を採用してもよい。

（制御系の構成）
図２は、本実施形態に係る液体吐出装置１０におけるインク循環供給システムの制御系の構成を示すブロック図である。図２中、図１で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

コントローラ１７０は、パラメータ記憶部１８１、プログラム格納部１８２、システム制御部１８４、目標値設定部１８５、圧力センサ異常判定部１８６、供給側ポンプ制御部１８７、回収側ポンプ制御部１８８、バルブ制御部１８９を含む。これらの各部（１８１〜１８９）は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）やその周辺回路、集積回路などのハードウエア、又はソフトウェア、若しくはこれらの組み合わせによって実現できる。

パラメータ記憶部１８１には、本システムの制御に用いられる各種パラメータや、制御の際に参照されるデータテーブルが格納されている。例えば、ポンプ（３２，６２）の回転数（「ポンプ速度」に相当）と流量の関係を示すテーブルや、循環差圧の値に対応した異常判定用の閾値に関するデータ、圧力値とポンプ駆動制御指令値の関係を示すテーブルなどが格納されている。

プログラム格納部１８２には、本システムの制御に使用されるプログラムが格納されている。システム制御部１８４は、プログラム格納部１８２に格納されている各種制御プログラムを読み出して実行し、パラメータ記憶部１８１に格納されている各種パラメータやテーブルデータを参照して、システム全体を統括制御する。

目標値設定部１８５は、供給側及び回収側のそれぞれの圧力制御における目標値（「目標圧力」又は「設定圧力」とも言う。）を設定する処理部である。供給側の目標圧力と回収側の目標圧力とがそれぞれ設定されることにより、循環差圧が設定される。この目標値設定部１８５が「差圧設定部」に相当する。所定のプログラムにしたがい、或いは、図示せぬユーザインターフェースから入力される指令に従い、制御目標とする圧力値（目標値）がセットされる。

供給側ポンプ制御部１８７は、システム制御部１８４から送られる制御信号並びに目標値設定部１８５によって設定された供給側の目標圧力（供給側目標値）Ｐin_targetに基づいて、供給ポンプ３２の駆動を制御する。速度検出部１９２（「ポンプ速度検出部」に相当）によって供給ポンプ３２の駆動速度（ここでは、チューブポンプの回転速度）が検出される。供給側ポンプ制御部１８７は、速度検出部１９２を介して供給ポンプ３２のポンプ速度の情報を取得する。

また、この取得された供給ポンプ３２のポンプ速度の情報は、システム制御部１８４のメモリ（不図示の記憶手段）に記憶され、圧力センサ異常判定部１８６の判定処理に利用される。

回収側ポンプ制御部１８８は、システム制御部１８４から送られる制御信号並びに目標値設定部１８５によって設定された回収側の目標圧力（供給側目標値）Ｐout_targetに基づいて、回収ポンプ６２の駆動を制御する。速度検出部１９４（「ポンプ速度検出部」に相当）によって回収ポンプ６２の駆動速度（ここでは、チューブポンプの回転速度）が検出される。回収側ポンプ制御部１８８は、速度検出部１９４を介して回収ポンプ６２のポンプ速度の情報を取得する。

また、この取得された回収ポンプ６２のポンプ速度の情報は、システム制御部１８４のメモリ（不図示の記憶手段）に記憶され、圧力センサ異常判定部１８６の判定処理に利用される。

バルブ制御部１８９は、システム制御部１８４からの制御信号に基づき、各種バルブ１９６の開閉を制御する。図２のバルブ１９６には、図１で説明した供給バルブ１０４、回収バルブ１４４、第１大気開放バルブ５０、第２大気開放バルブ８０、バイパスバルブなどが含まれる。

システム制御部１８４は、供給側圧力センサ３８、回収側圧力センサ６８から得られる圧力情報に基づいて、供給側及び回収側の圧力がそれぞれ目標圧力に調整されるように供給ポンプ３２及び回収ポンプ６２の駆動を制御する。

ヘッドバー１４に（図１参照）にインクを供給する際には、供給側マニホールド３６の内部圧力が回収側マニホールド６６の内部圧力よりも相対的に高くなるように、供給側と回収側との間に所定の圧力差が設定され、且つ、各ヘッドモジュール１２のノズル内部のインクに所定の背圧（負圧）が付与されるように、システム制御部１８４によって供給ポンプ３２及び回収ポンプ６２の駆動が制御される。

また、供給側圧力センサ３８、回収側圧力センサ６８の異常の有無を判定するシーケンスの際には、所定の循環差圧を設定して供給ポンプ３２と回収ポンプ６２の駆動を行い、両ポンプ（３２，６２）のポンプ速度の情報を得る。

圧力センサ異常判定部１８６は、実際のポンプ速度が、予め想定されるポンプ速度の許容誤差の範囲内であるか否かを判定し、圧力センサ（３８，６８）の異常の有無を判断する。判定方法について詳細は後述する（図３）。

表示部１７２は、システムに異常が発生した場合にその旨を報知するなどの各種の情報を提示する手段として機能する。

また、コントローラ１７０は、不図示のタイマーを具備し、ポンプ（３２，６２）の駆動継続時間や、圧力制御の切換タイミングからの経過時間、バルブの開閉からの経過時間などを計測することができ、当該計測結果は不図示のメモリに逐次書き込まれる。

なお、図２では、供給側と回収側とでそれぞれ個別に、ポンプ制御部（１８７，１８８）を設ける構成を示したが、供給側と回収側とでポンプ制御部が共通化されていてもよい。

＜圧力センサの異常を検知する方法＞
次に、本実施形態において圧力センサ（３８，６８）の異常の有無を検知する方法を説明する。図３は圧力センサの異常の有無を検知する処理の手順を示すフローチャートである。

（手順１）：まず、供給側マニホールド３６の供給側圧力センサ３８と、回収側マニホールド６６の回収側圧力センサ６８の目標値に、両者の差圧が所定の値Ｐ_circとなるように、目標圧力を設定する（ステップＳ１２）。例えば、差圧が０［Pa］となるように、IN側とOUT側の圧力制御の目標値（設定圧力）を設定する。

（手順２）：次に、設定した制御目標値に従い、供給ポンプ３２と回収ポンプ６２の駆動を制御する（ステップＳ１４）。

（手順３）：その後、IN側及びOUT側の各ポンプ（３２，６２）の速度を取得する（ステップＳ１６）。

（手順４）：そして、得られた各ポンプ（３２，６２）の速度が、想定される誤差の範囲内で予想されるポンプ速度になっているか否かを判定する（ステップＳ１８）。すなわち、ステップＳ１６で取得された実際のポンプ速度と、設定差圧から予想されるポンプ速度との差異が想定される誤差（許容誤差）の範囲に収まっているか否かを判定する。

（手順５）：ステップＳ１８の判定結果に基づき、圧力センサが正常であるか異常であるかを判断する（ステップＳ２０）。すなわち、想定される所定の誤差の範囲内にポンプ速度が収まっていると判定された場合、圧力センサ（３８，６８）は正常の状態である判断される。その一方、ステップＳ１６で取得されたポンプ速度が、想定される所定の誤差の範囲を超える値となっている場合は、供給側圧力センサ３８、回収側圧力センサ６８の少なくとも一方が異常である（故障している）と判断される。

例えば、差圧０[Pa]に設定された場合、圧力センサ（３８，６８）が正常であれば、供給ポンプ３２と回収ポンプ６２は回転しないはずであるから、両ポンプが回転していないか否かを判定する。判定に際しては、想定されるポンプ速度の検出誤差を考慮して閾値が定められる。すなわち、閾値は、供給側及び回収側のダンパ（３４，６４）や圧力センサ（３８，６８）のサイズが持つ系統誤差、並びに圧力センサ（３８，６８）のセンサ出力値の誤差（測定誤差）、流路抵抗の誤差など考慮して、許容される誤差量の観点から定められる。想定される所定の誤差の範囲内にポンプ速度（回転数）が収まっていれば、圧力センサ（３８，６８）は正常な状態と判断される。

想定されるポンプ速度の誤差（閾値）の目安としては、以下のとおりである。

［１］圧力の誤差合計ΔP_totalは、圧力センサの測定誤差ΔP_measured[Pa]と、圧力センサの水頭誤差ΔP_sys_sensor[Pa]と、ポンプ用のダンパ（３４，６４）の水頭誤差ΔP_sys_damper[Pa]とを考慮して、次式で表される。

△P_total =｛(△P_sys_sensor)^２ +（△P_sys_damper）^２+（△P_measured）^２｝ ^１／２ [Pa]
例えば、圧力センサ（３８，６８）の半径をr_sensorとすると、圧力センサは△P_sys_sensor ＝ ρ×ｇ×r_sensor [Pa]の系統誤差を有する。ρは液体の密度、ｇは重力加速度である。一例として、圧力センサの半径が１cmあるとすると、100Ｐａ程度の系統誤差を有する。

ポンプ用のダンパ（３４，６４）のサイズが持つ系統誤差についても、圧力センサの系統誤差と同様であり、ダンパ（３４，６４）のサイズに応じた系統誤差を有する。ダンパ（３４，６４）の系統誤差を△P_sys_damper[Pa]とする。

さらに、圧力センサ（３８，６８）の測定値には、△P_measuredの系統誤差がある。

上記の各誤差成分の合計△P_totalを考えると、
△P_total =｛(△P_sys_sensor)^２ +（△P_sys_damper）^２+（△P_measured）^２｝ ^１／２ [Pa]となる。

［２］IN-OUTマニホールド間の流路抵抗（供給側マニホールド３６と回収側マニホールド６６の間の流路抵抗）は、誤差△R_barを考慮して、R_bar±△R_bar[Pa/ｍ^３]で表される。

［３］なお、設置箇所や設置高度次第で、重力加速度がばらつき場合は、それを誤差要因の一つとして、上記の誤差計算に含めてもよい。

よって、ポンプの流量のばらつきΔQ［ｍ^３／ｓ］は、ΔP_totalとΔR_barを考慮すると、次式
ΔQ = {(△P_total/R_bar)^２ + (P_circ × △R_bar / R_bar^２)^２ }^0.5 となる。

上記の式から定まる流量のばらつき△Q [m³/s] に対応したポンプ速度ばらつきを考慮して、圧力センサの異常有無を判定する。

本実施形態では、供給側のポンプ（供給ポンプ３２）と回収側のポンプ（回収ポンプ６２）は、基本的には独立の制御になっているため、供給側と回収側とでそれぞれ個別にΔP_totalを計算してポンプ流量のばらつきΔQを求める。

例えば、循環差圧が所定の値P_circの場合、想定される流量はQ = P_circ / R_bar となり、ばらつきとしては上記のΔQが想定される。したがって、実際のポンプ速度から把握される流量が、Q±△Qの範囲外となったとき、圧力センサが異常であると判断される。

この場合、Q±△Qの範囲が「許容想定範囲」に相当している。

なお、循環差圧を0[Pa]に設定した場合は、P_circ ＝０のため、想定される流量はQ＝０となる。制御目標の循環差圧として設定する値（P_circ）は０以上の任意の値を設定することが可能である。

圧力センサの異常有無を判断する具体的な判定演算としては、以下に述べる演算例１〜３の他、様々な演算方法があり得る。

［演算例１］異常有無の判定に際しては、許容想定範囲の上限値Q＋△Qを表す上限閾値と、下限値Q−△Qを表す下限閾値とを定めておき、これらの閾値と実際のポンプ速度から把握される流量とを比較することで、異常の有無を判定できる。

［演算例２］実際のポンプ速度から把握される流量Qｃと、循環差圧P_circに対して想定される設計上の流量Q = P_circ / R_barとの差｜Qc−Q｜を計算し、その差が、想定される流量のばらつきΔQの範囲に収まっているか否かという観点から、異常の有無を判定できる。この場合は、ΔQの値が判定用の閾値に相当する。

［演算例３］演算例１，２と同様の手法で、流量とポンプ速度の関係から、循環差圧P_circの設定のもとでのポンプ速度の閾値を定めておき、ポンプ速度の値を用いて異常の有無を判定することができる。すなわち、ポンプ速度を流量に変換して流量の指標で閾値と比較してもよいし、許容誤差の流量に対応するポンプ速度の閾値を定めておき、ポンプ速度の指標で閾値と比較してもよい。

なお、上述した「Q±△Q」を許容想定範囲とする方法の場合、ΔQは１σのばらつきなので（σは標準偏差）、許容誤差の範囲として、例えば3σの値としても良い。この場合、実際のポンプ速度から把握される流量が、Q±3△Qの範囲外となったとき、異常であると判断される。許容誤差の範囲は、判定精度との関係で適宜定めることができる。

また、供給ポンプ３２と回収ポンプ６２のそれぞれについて異なる閾値を設定することが可能である。供給側と回収側とで異なる性能のポンプを使用する構成の場合、回転速度の精度もそれぞれポンプの性能ごとに異なることが想定されるため、供給側のポンプと回収側のポンプについて異なる閾値を設ける場合があり得る。

本実施形態による圧力センサの異常検知方式によれば、異常検知のための制御動作が簡単であるため、実装が容易である。また、異常検知の判定に要する実施時間が比較的短いため、時間短縮になる。

＜ポンプ用のダンパ（３４，６４）における可撓膜の位置調整について＞
供給側ダンパ３４と回収側ダンパ６４は同様の構造であるため、ここでは供給側ダンパ３４を例に説明する。

図４は、供給側ダンパ３４の第１液体室４４に出し入れする液量と、供給側ダンパ３４内に配置された第１可撓膜４２（以下、単に「膜」と表記する場合がある。）の圧力の関係（静的圧力応答）を示すグラフである。図４の横軸は液量（体積）を表し、縦軸は圧力を表す。なお、図４の横軸の値は、ある基準の膜位置に対応した液量からの液の増減を示す相対的な値として意味があるため「０」の位置には任意性がある。図４における横軸の「０」に対応する膜位置は、例えば第１容器４０の全容積量に対して液体が半分供給されている状態である。図４に示した静的応答は、図１に示した第１空気室４６の第１大気開放バルブ５０を閉じた状態で第１液体室４４に液体を供給又は液体室４４から液体を排出して測定されたものである。

図１に示した構成において、供給ポンプ３２の駆動量を調整することで第１液体室４４に供給する液体の量（液体体積）を変化させることができる。第１液体室４４と第１空気室４６とを仕切る第１可撓膜４２は、第１液体室４４内の液体量に応じて変形する。

図４中の（１）で示すように、第１液体室４４内の液体量の変化（すなわち膜の変位量）に対して圧力の変化が殆ど見られない領域は、膜の弾性力を無視できる領域（例えば、膜に張力が殆どかからず、膜が弛んでいる状態となる領域、「非弾性変形領域」に相当、「不感帯域」ともいう。）である。図５は第１可撓膜４２を不感帯域（非弾性変形領域）の膜位置に設定した様子を示した模式図である。膜の位置を不感帯域に設定した状態で、圧力センサによる測定値を読み取ることにより、膜の外力の影響を排除した値を取得することができる。また、膜の位置を不感帯域に設定した状態で、第１空気室４６の弾性力を用いて供給側ダンパ３４を動作させた場合、弾性力の小さい箇所で使用することができるため、供給ポンプ３２の脈動を効率的に抑えることができる。

本明細書では、第１可撓膜４２の弾性力を無視できる動作領域を「不感帯」と呼ぶ。不感帯は、第１可撓膜４２の変位に対する膜弾性力が無視できる程度に小さい領域である。別の観点から定義すると、不感帯は、膜の変位量に対する膜弾性力が比例（線形）の関係とならない領域である。

図４の例では、横軸の値が概ね「−１２mL(ミリリットル）」から「１２（mL）」の範囲で液体の体積変化に対して膜の弾性力が殆ど寄与しない領域となっており、この範囲が「不感帯」に相当する。

その一方、図４の（２）で示すように、第１液体室４４内の液体量の変化（すなわち膜の変位量）に対して圧力の変化が概ね比例して変化する領域は、膜の弾性力が支配的に効いてくる領域（膜に張力がかかり、膜が伸びて張られている状態となる領域、「弾性変形領域」に相当、「不感帯外の領域」ともいう）である。

図６は第１可撓膜４２を不感帯外の領域（弾性変形領域）の膜位置に設定した様子を示した模式図である。膜の位置を弾性変形領域に設定した状態で動作させた場合、図６に示すように、第１可撓膜４２が弾性変形しており膜弾性力が大きい。

本実施形態においては、膜の不感帯域で動作を実施するように、インク循環の制御に先立ち、供給側ダンパ３４の第１可撓膜４２を不感帯域の位置に調整する処理（膜位置の初期化）を行う。膜位置の初期化のプロセスは以下のとおりである。

図７は膜位置の初期化処理の手順を示したフローチャートである。

まず、供給側ダンパ３４の第１大気開放バルブ５０を開いた状態で、供給ポンプ３２を加圧方向に回転させて、供給側ダンパ３４内の圧力を上げて、供給側ダンパ３４内の内壁に第１可撓膜４２を接触させる（ステップＳ２２）。図８は、供給側ダンパ３４の内壁に第１可撓膜４２を張り付かせた様子を示す模式図である。第１可撓膜４２が供給側ダンパ１６の内壁に張り付くと、図４の（３）で示したように、圧力が急激に上昇する。図４のグラフの場合、液体量が25mL付近の点で第１可撓膜４２が供給側ダンパ３４の内壁に張り付いたことが把握される。

次に、供給側ダンパ３４の内壁への第１可撓膜４２の張り付きを検知した後、供給ポンプ３２を停止させる（図７のステップＳ２４）。

その後、指定量だけ供給ポンプ３２を減圧方向に回転させて、第１可撓膜４２を不感帯域の位置に移動させる（図７のステップＳ２６）。このとき供給側ダンパ３４の第１容器４０から排出する液の量によって第１可撓膜４２の膜位置が決まる。このとき設定される膜位置は第１可撓膜４２の弾性力が生じない状態である。

回収側ダンパ６４についても同様の手順により、第２可撓膜７２の膜位置を不感帯域の初期位置に調整する処理が行われる。

こうして、供給側ダンパ３４と回収側ダンパ６４のそれぞれの可撓膜（４２，７２）の膜位置を調整した後に、図３で説明した圧力センサの異常検知処理が行われる。

＜具体的な制御手順の例＞
図９は本実施形態に係る液体吐出装置１０の動作制御の一例を示すフローチャートである。図示のように、膜位置の初期化処理を行う（ステップＳ３２）。初期化処理の内容は図７及び図８で説明したとおりである。

その後、圧力センサの異常検知処理を行う（図９のステップＳ３４）。異常検知処理の手順については、図３で説明したとおりである。

異常検知処理の結果、圧力センサ（３８，６８）が異常であると判断した場合には（図９のステップＳ３６で「異常」と判定時）、表示部１７２（図１、図２参照）に警告表示を行い、異常（故障）である旨をユーザに知らせる（図９のステップＳ３８）。

一方、異常検知処理の結果、圧力センサ（３８，６８）が正常であると判断した場合には（図９のステップＳ３６で「正常」と判定時）、ステップＳ３８を省略して処理を終了する。

図９で例示したような異常検知の処理フローは、例えば、液体吐出装置１０の立ち上げ前やメンテナンス実施時など、適宜のタイミングで行うことができる。

本実施形態によれば、圧力センサ（３８，６８）が正常に作動していることを確認してから圧力制御を行うことができるため、正確な背圧制御を実現することができる。

〔インクジェット装置の全体構成例〕
次に、液体吐出装置１０の具体例としてのインクジェット装置の全体構成の例について説明する。図１０は、本発明の実施形態に係るインクジェット装置の全体構成を示した構成図である。図示のように、本実施の形態のインクジェット装置３１０は、主として、給紙部３１２、処理液付与部３１４、描画部３１６、乾燥部３１８、定着部３２０、及び排出部３２２を備えて構成される。

〈給紙部〉
給紙部３１２は、記録媒体としての用紙３２４を処理液付与部３１４に供給する機構である。給紙部３１２には、枚葉紙である用紙３２４が積層されている。給紙部３１２には、給紙トレイ３５０が設けられ、この給紙トレイ３５０から用紙３２４が一枚ずつ処理液付与部３１４に給紙される。

本例では、枚葉紙（カット紙）を用いるが、ロール紙から必要なサイズに切断して給紙する構成も可能である。

〈処理液付与部〉
処理液付与部３１４は、用紙３２４の記録面に処理液を付与する機構である。処理液は、描画部３１６で付与されるインク中の色材（本例では顔料）を凝集させる色材凝集剤を含んでおり、この処理液とインクとが接触することによって、インクは色材と溶媒との分離が促進される。

処理液付与部３１４は、給紙ドラム３５２、処理液ドラム３５４、及び、処理液塗布装置３５６を備えている。処理液ドラム３５４は、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）３５５を備え、この保持手段３５５の爪と処理液ドラム３５４の周面の間に用紙３２４を挟み込むことによって用紙３２４の先端を保持できるようになっている。処理液ドラム３５４は、その外周面に吸着穴を設けるとともに、吸着穴から吸引を行う吸引手段を接続してもよい。これにより用紙３２４を処理液ドラム３５４の周面に密着保持することができる。

処理液ドラム３５４の外側には、その周面に対向して処理液塗布装置３５６が設けられる。処理液塗布装置３５６は、処理液が貯留された処理液容器と、この処理液容器の処理液に一部が浸漬されたアニックスローラと、アニックスローラと処理液ドラム３５４上の用紙３２４に圧接されて計量後の処理液を用紙３２４に転移するゴムローラとで構成される。処理液付与部３１４で処理液が付与された用紙３２４は、処理液ドラム３５４から中間搬送部３２６を介して描画部３１６の描画ドラム３７０へ受け渡される。

〈描画部〉
描画部３１６は、描画ドラム３７０、用紙抑えローラ３７４、及び、インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙを備えている。描画ドラム３７０は、処理液ドラム３５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）３７１を備え、用紙を吸着保持することができる。描画ドラム３７０に固定された用紙３２４は、記録面が外側を向くようにして搬送され、この記録面にインクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙからインクが付与される。

インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙは、それぞれ用紙３２４の幅に対応する長さを有するラインヘッドで構成される。インク吐出面には、画像形成領域の全幅にわたってインク吐出用のノズルが複数配列されたノズル列が形成されている。各インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙは、用紙３２４の搬送方向（描画ドラム３７０の回転方向）と直交する方向に延在するように設置される。

描画ドラム３７０上に密着保持された用紙３２４の記録面に向かって各インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙから、対応する色インクの液滴が吐出されることにより、処理液付与部３１４であらかじめ記録面に付与された処理液にインクが接触し、インク中に分散する色材（顔料）が凝集され、色材凝集体が形成される。これにより、用紙３２４上での色材流れなどが防止され、用紙３２４の記録面に画像が形成される。

なお、本例では、ＣＭＹＫの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。たとえば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能であり、各色インクジェットヘッドの配置順序も特に限定はない。

描画部３１６で画像が形成された用紙３２４は、描画ドラム３７０から中間搬送部３２８を介して乾燥部３１８の乾燥ドラム３７６へ受け渡される。

〈乾燥部〉
乾燥部３１８は、色材凝集作用により分離された溶媒に含まれる水分を乾燥させる機構であり、乾燥ドラム３７６、及び溶媒乾燥装置３７８を備えている。

乾燥ドラム３７６は、処理液ドラム３５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）３７７を備え、この保持手段３７７によって用紙３２４の先端を保持できるようになっている。

溶媒乾燥装置３７８は、複数のＩＲヒータ（Infrared Radiation ヒータ：赤外線ヒータ）３８２と、各ＩＲヒータ３８２の間にそれぞれ配置された温風噴出しノズル３８０とで構成される。乾燥ドラム３７６の外周面に、用紙３２４の記録面が外側を向くように（すなわち、用紙３２４の記録面が凸側となるように湾曲させた状態で）保持し、回転搬送しながら乾燥することにより、用紙３２４のシワや浮きの発生を防止でき、これらに起因する乾燥ムラを確実に防止することができる。

乾燥部３１８で乾燥処理が行われた用紙３２４は、乾燥ドラム３７６から中間搬送部３３０を介して定着部３２０の定着ドラム３８４へ受け渡される。

〈定着部〉
定着部３２０は、定着ドラム３８４、ハロゲンヒータ３８６、定着ローラ３８８、及びインラインセンサ３９０で構成される。定着ドラム３８４は、処理液ドラム３５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）３８５を備え、この保持手段３８５によって用紙３２４の先端を保持できるようになっている。

定着ドラム３８４の回転により、用紙３２４は記録面が外側を向くようにして搬送され、この記録面に対して、ハロゲンヒータ３８６による予備加熱と、定着ローラ３８８による定着処理と、インラインセンサ３９０による検査が行われる。

なお、紫外線（ＵＶ）硬化型のインクを用いる場合には、加熱定着の定着ローラ３８８に代えて、又はこれと組み合わせて、ＵＶランプや紫外線ＬＤ（レーザダイオード）アレイなど、紫外線（活性光線）を照射する手段が設けられる。乾燥部３１８で水分を充分に揮発させた後に、紫外線照射手段を備えた定着部で、画像に紫外線を照射することにより、インク中のＵＶ硬化性モノマーを硬化重合させ、画像強度を向上させることができる。

一方、インラインセンサ３９０は、用紙３２４に記録された画像（テストチャートを含む）について、チェックパターンや水分量、表面温度、光沢度などを計測するための計測手段であり、ＣＣＤラインセンサなどが適用される。

〈排出部〉
定着部３２０に続いて排出部３２２が設けられている。排出部３２２は、排出トレイ３９２を備えており、この排出トレイ３９２と定着部３２０の定着ドラム３８４との間に、これらに対接するように渡し胴３９４、搬送ベルト３９６、張架ローラ３９８が設けられている。用紙３２４は、渡し胴３９４により搬送ベルト３９６に送られ、排出トレイ３９２に排出される。

〈その他の構成〉
本例のインクジェット装置３１０には、上記構成の他、各インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙにインクを供給するインク供給部、各インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙのクリーニングを行うメンテナンス処理部などが備えられている。

各ヘッドのインク供給系として、図１乃至図９で説明した第１実施形態や第２実施形態のインク供給システムが適用される。ここでは第２実施形態（図９）で説明した循環型のインク供給システムが適用される例を述べる。

〈インクジェットヘッドの構成〉
次に、インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙの構成について説明する。各インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙの構成は同じなので、ここではインクジェットヘッド３７２として、その構成について説明する。また、特に区別する場合を除いて、インクジェットヘッド３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙはインクジェットヘッド３７２として説明する。

図１１は本実施形態に用いられるインクジェットヘッド３７２の斜視図である。図１１では、ヘッドの下方（斜め下方向）からノズル面（液滴吐出面）を見上げた様子が図示されている。また、図１２は、インクジェットヘッド３７２をノズル面側から見た部分拡大図である。図示のように、インクジェットヘッド３７２は、複数個のヘッドモジュール３７２−ｉ（ｉ＝1,2…，ｎ）を長手方向（用紙３２４の搬送方向と直交する用紙幅方向）に沿って繋ぎ合わせて長尺化したフルライン型のラインヘッドバー（シングルパス印字方式のページワイドヘッド）として構成されている。「ｉ」はヘッドモジュールの配置順に対応したモジュール番号を表している。ヘッドモジュール３７２−ｉは、図１で説明した符号１２と同等のものである。

図１１では１７個（ｎ＝１７）のヘッドモジュール３７２−ｉを繋ぎ合わせた例を示しているが、ラインヘッドバーを構成するヘッドモジュールの個数及び配列形態、並びに各ヘッドモジュールの構造については、図示の例に限定されない。

図１１中の符号３７３は、複数のヘッドモジュール３７２−ｉを固定するための枠体となるベースフレーム（バー状のラインヘッドを構成するためのハウジング）、符号３７５は、各ヘッドモジュール３７２−ｉに接続されたフレキシブル基板である。

各ヘッドモジュール３７２−ｉは、ベースフレーム３７３に取り付けられて一体化され、１つのインクジェットヘッド３７２を構成する。各ヘッドモジュール３７２−ｉは、インクジェットヘッド３７２の短手方向の両側からヘッドモジュール支持部材３７２Ｂによって支持されて、ベースフレーム３７３に着脱自在に取り付けられる。各ヘッドモジュール３７２−ｉは、個別に交換することができる。各ヘッドモジュール３７２−ｉ（ｉ＝1,2…，ｎ）がそれぞれ液体吐出ヘッドとして機能しうる。

図１２に示すように、各ヘッドモジュール３７２−ｉ（ｎ番目のヘッドモジュール３７２−ｎ）のノズル面３７２Ａには、複数のノズルがマトリクス状に配列されている。図１２において符号４５１Ａを付して図示した斜めの実線は、複数のノズルが一列に並べられたノズル列を表している。

図１３Ａはヘッドモジュールの平面透視図である。また、図１３Ｂはその一部を拡大した拡大図である。本例のヘッドモジュール３７２−ｉは、図１３Ａ、図１３Ｂに示すように、インク吐出口であるノズル４５１をマトリクス状に（二次元的に）配置させた構造を有し、これにより、インクジェットヘッド長手方向（用紙３２４の搬送方向と直交する方向；主走査方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズルの間隔（投影ノズルピッチ）を狭めてノズルの高密度化を達成している。

図１３Ａ、図１３Ｂの例では、主走査方向に対して角度θの方向に沿ってノズル４５１を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影された（正射影された）ノズルのピッチＰはｄ× cosθとなり、主走査方向については、各ノズル４５１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。

なお、ノズルの配置構造は図示の例に限定されず、副走査方向に一列のノズル列を有する配置構造など、様々なノズル配置構造を適用できる。

このようなヘッドモジュール３７２−ｉを用紙幅方向（主走査方向）に複数個繋ぎ合わせることにより、用紙幅について全描画範囲をカバーするノズル列が形成され、１回の描画走査（シングルパス印字方式）で所定の記録解像度（例えば、1200dpi）による画像記録が可能なフルライン型のヘッドが構成される。

図１４は、ヘッドモジュールの内部構造を示す縦断面図である。同図に示すように、圧力室４５２は、直方体形状の空間として形成されており、その底面の一角にノズル流路４５４が連通されている。ノズル流路４５４は、圧力室４５２から鉛直下向きに延びてノズル４５１に連通されている。

圧力室４５２の天井壁面は、振動板４５５で構成されており、上下方向に撓み変形可能に形成されている。この振動板４５５の上には圧電素子（ピエゾ素子）４５６が取り付けられており、振動板４５５は、この圧電素子４５６によって上下方向に変形する。そして、この振動板４５５が上下方向に変形することにより、圧力室４５２の容積が膨縮（拡縮）し、ノズル４５１からインクが吐出される。

なお、圧電素子４５６は、電極間に圧電体が介在する積層構造を有し、その上部に設けられた図示しない個別電極と、共通電極として作用する振動板４５５との間に所定の駆動電圧を印加することにより駆動され、これにより、振動板４５５が上下方向に変形する。

圧力室４５２の天井壁面の一角には、圧力室４５２にインクを供給するための個別供給流路４５７Ａが連通されている。この個別供給流路４５７Ａは、共通供給流路４５８Ａに連通されている。

共通供給流路４５８Ａは、用紙３２４の搬送方向に対して所定の傾きをもって並ぶノズル４５１の列単位で設けられている。各列に属するノズル４５１の圧力室４５２には、この共通供給流路４５８Ａから個別供給流路４５７Ａを介してインクが供給される。

各列の共通供給流路４５８Ａは、図示しないインク供給流路（供給経路）に連通されており、インク供給流路は、図示しないインク供給口に連通されている。図９で説明したように、インクタンク１２からのインクは、このインク供給口に供給される。そして、このインク供給口に供給されたインクが、インク供給流路を介して各列の共通供給流路４５８Ａに供給され、さらに個別供給流路４５７Ａを介して各圧力室４５２に供給される。

ノズル流路４５４には、個別回収流路４５７Ｂの一端が連通されている。個別回収流路４５７Ｂは、ノズル４５１の近傍位置でノズル流路４５４に連通されている。個別回収流路４５７Ｂの他端は、共通回収流路４５８Ｂに連通されている。

共通回収流路４５８Ｂは、共通供給流路４５８Ａと同様に用紙３２４の搬送方向に対して所定の傾きをもって並ぶノズル４５１の列単位で設けられている。各列の共通回収流路４５８Ｂは、図示しないインク回収流路（回収経路）に連通されている。インク回収流路は、図示しないインク回収口に連通されている。

各ノズル流路４５４を流れるインクは、一部が個別回収流路４５７Ｂに流れ、共通回収流路４５８Ｂに回収される。そして、各共通回収流路４５８Ｂからインク回収流路、インク回収口を介してインクタンク１２に回収される（図１参照）。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、各ヘッドモジュール３７２−ｉにインクが循環して供給される。

インクの循環供給系については図１で説明したとおりである。インクジェットヘッド３７２からインクを吐出して描画を行う際には、供給側マニホールド３６（図１参照）に供給されるインクをあらかじめ定められた圧力Ｐin、かつ、あらかじめ定められた流量でそれぞれのヘッドモジュール３７２−ｉへ供給し、さらには、ヘッドモジュール３７２−ｉへ供給されたインクをあらかじめ定められた圧力Ｐout、かつ、あらかじめ定められた流量でそれぞれヘッドモジュール３７２−ｉから回収側マニホールド６６へ回収する構造となっている。

供給側マニホールド３６の圧力Ｐinと回収側マニホールド６６の圧力Ｐoutにより、ヘッドモジュール３７２−ｉ部で差圧ΔＰを発生させ、この結果、ヘッドモジュール３７２−ｉ内にインクの流れが生じ、この流れにより常にフレッシュなインクがヘッドモジュール３７２−ｉに供給されることになる。インクの吐出口（噴射口）であるノズルには、当該供給側マニホールド３６の圧力Ｐinと回収側マニホールド６６の圧力Ｐoutに依存する背圧Ｐｎｚｌが付与されている。

＜インクジェット装置の制御系について＞
次に、インクジェット装置３１０の全体的な制御系の構成について説明する。図１５はインクジェット装置３１０の制御系の概略構成を示すブロック図である。インクジェット装置３１０は、通信インターフェース５４０、システム制御部５４２、搬送制御部５４４、画像処理部５４６、インクジェットヘッド駆動部５４８を備えるとともに、画像メモリ５５０、ＲＯＭ(Read Only Memory)５５２を備えている。

通信インターフェース５４０は、ホストコンピュータ５５４から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース５４０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）などのシリアルインターフェースを適用してもよいし、セントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用してもよい。通信インターフェース５４０は、通信を高速化するためバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。

システム制御部５４２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ(Central Processing Unit)）及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従ってインクジェット装置３１０の全体を制御する制御手段として機能するとともに、各種演算を行う演算装置として機能する。また、画像メモリ５５０及びＲＯＭ５５２のメモリコントローラとして機能する。すなわち、システム制御部５４２は、通信インターフェース５４０、搬送制御部５４４等の各部を制御し、ホストコンピュータ５５４との間の通信制御、画像メモリ５５０及びＲＯＭ５５２の読み書き制御等を行うとともに、上記の各部を制御する制御信号を生成する。

図１５のシステム制御部５４２は、図２で説明したシステム制御部１８４に相当するものである。

ホストコンピュータ５５４から送り出された画像データは通信インターフェース５４０を介してインクジェット装置３１０に取り込まれ、画像処理部５４６によって所定の画像処理が施される。

画像処理部５４６は、画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号（画像）処理機能を有し、生成した印字データをインクジェットヘッド駆動部５４８に供給する。画像処理部５４６において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいて、インクジェットヘッド駆動部５４８を介してインクジェットヘッド３７２の吐出液滴量（打滴量）や、吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。

なお、インクジェットヘッド駆動部５４８には、インクジェットヘッド３７２の駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。

インクジェットヘッド駆動部５４８は、駆動波形を生成する駆動波形生成部と、該駆動波形を増幅して駆動電圧を生成する増幅部と、所定の駆動波形を有する駆動電圧をインクジェットヘッドへ供給する駆動電圧供給部と、を含んで構成されている。システム制御部から送られる画像データ（デジタルデータ）に基づいて駆動波形が生成され（又は、あらかじめ記憶されている駆動波形の中から対応する駆動波形が選択され）、当該駆動波形を有する駆動電圧が生成される。

搬送制御部５４４は、画像処理部５４６により生成された印字制御用の信号に基づいて用紙３２４の搬送タイミング及び搬送速度を制御する。搬送駆動部５５６は、各部の搬送ドラムを回転させるモータや中間搬送体を回転させるモータなどが含まれ、搬送制御部５４４は上記のモータのドライバーとして機能している。

画像メモリ５５０は、通信インターフェース５４０を介して入力された画像データを一旦格納する一次記憶手段としての機能や、ＲＯＭ５５２に記憶されている各種プログラムの展開領域及びＣＰＵの演算作業領域（例えば、画像処理部５４６の作業領域）としての機能を有している。画像メモリ５５０には、逐次読み書きが可能な揮発性メモリ（ＲＡＭ）が用いられる。

ＲＯＭ５５２は、システム制御部５４２のＣＰＵが実行するプログラムや、装置各部の制御に必要な各種データ、制御パラメータなどが格納されており、システム制御部５４２を通じてデータの読み書きが行われる。ＲＯＭ５５２は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。また、外部インターフェースを備え、着脱可能な記憶媒体を用いてもよい。

さらに、このインクジェット装置３１０は、処理液付与制御部５６０、乾燥処理制御部５６２、定着処理制御部５６４、メンテナンス制御部５８６、インク供給制御部５９０等を備えており、システム制御部５４２からの指示に従って、それぞれ処理液付与部３１４、乾燥部３１８、定着部３２０、メンテナンス処理部５８８、インク供給部６１０の各部の動作を制御する。

処理液付与制御部５６０は、画像処理部５４６から得られた印字データに基づいて、処理液付与部３１４による処理液付与のタイミングの制御を制御するとともに、処理液の付与量を制御する。

乾燥処理制御部５６２は、乾燥部３１８に含まれる溶媒乾燥装置３７８を制御し、処理温度、送風量等を制御する。

定着処理制御部５６４は、定着部３２０に含まれるハロゲンヒータ３８６の温度を制御するとともに、定着ローラ３８８の押圧を制御する。

本例に示すインクジェット装置３１０は、ユーザインターフェース５７０を具備する。ユーザインターフェース５７０は、オペレータ（ユーザ）が各種入力を行うための入力装置５７２と、表示部（ディスプレイ）５７４を含んで構成される。入力装置５７２には、キーボード、マウス、タッチパネル、ボタンなど各種形態を採用し得る。オペレータは、入力装置５７２を操作することにより、印刷条件の入力、画質モードの選択、付属情報の入力・編集、情報の検索などを行うことができ、入力内容や検索結果など等の各種情報は表示部５７４の表示を通じて確認することができる。この表示部５７４はエラーメッセージなどの警告を表示する手段としても機能する。表示部５７４は図１及び図２における表示部１７２に相当している。

パラメータ記憶部５８０は、インクジェット装置３１０の動作に必要な各種制御パラメータが記憶されている。システム制御部５４２は、制御に必要なパラメータを適宜読み出すとともに、必要に応じて各種パラメータの更新（書換）を実行する。

プログラム格納部５８２は、インクジェット装置３１０を動作させるための制御プログラムが格納されている記憶手段である。システム制御部５４２は、装置各部の制御を実行する際にプログラム格納部５８２から必要な制御プログラムを読み出すとともに、該制御プログラムを適宜実行する。

なお、パラメータ記憶部５８０、プログラム格納部５８２は、パラメータ記憶部５８０、プログラム格納部５８２と兼用することができる。

図１５のパラメータ記憶部５８０、プログラム格納部５８２はそれぞれ図２で説明したパラメータ記憶部１８１、プログラム格納部１８２に相当するものである。

メンテナンス制御部５８６は、システム制御部５４２から送られてくる指令信号に基づき、メンテナンス処理部５８８の動作を制御する制御ブロックである。インクジェット装置３１０の制御がメンテナンスモードに移行すると、インクジェットヘッド３７２を描画ドラム３７０の真上の印刷位置からメンテナンス位置に移動させるとともに、インクジェットヘッド３７２の移動に対応して、メンテナンス処理部５８８の各部を動作させる。

インク供給制御部５９０は、システム制御部５４２から送られてくる指令信号に基づき、インク供給部６１０の動作を制御する。図１５のインク供給制御部５９０は、図２で説明した目標値設定部１８５、圧力センサ異常判定部１８６、供給側ポンプ制御部１８７、回収側ポンプ制御部１８８、バルブ制御部１８９を含むものである。また、図１５のインク供給部６１０は、図１及び図２で説明した供給ポンプ３２、回収ポンプ６２、各種のバルブ１９６を含んだブロックである。

インク供給制御部５９０の機能はシステム制御部５４２に統合することも可能である。インク供給制御部５９０、又はシステム制御部５４２、若しくはこれらの組み合わせが図１及び図２で説明したコントローラ１７０に対応している。

＜変形例１＞
複数個のヘッドモジュールから構成される長尺のインクジェットヘッドの形態は図１１、図１２で例示した形態に限らない。例えば、複数個のヘッドモジュールが千鳥状に配置された構造を持つインクジェットヘッドについても本発明を適用することができる。

＜変形例２＞
上記実施形態では、用紙に直接インク滴を打滴して画像を形成する方式（直接記録方式）のインクジェット記録装置を説明したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、一旦、中間転写体上に画像（一次画像）を形成し、その画像を転写部において記録紙に対して転写することで最終的な画像形成を行う中間転写型のインクジェット記録装置についても本発明を適用することができる。

＜吐出方式について＞
インクジェットヘッドにおける各ノズルから液滴を吐出させるための吐出用の圧力（吐出エネルギー）を発生させる手段は、ピエゾアクチュエータ（圧電素子）に限らず、サーマル方式（ヒータの加熱による膜沸騰の圧力を利用してインクを吐出させる方式）におけるヒータ（加熱素子）や他の方式による各種アクチュエータなど様々な圧力発生素子（吐出エネルギー発生素子）を適用し得る。ヘッドの吐出方式に応じて、相応のエネルギー発生素子が流路構造体に設けられる。

＜他の応用例について＞
上記の実施形態では、液体吐出装置の一形態として、グラフィック印刷用のインクジェット装置への適用を例に説明したが、本発明の適用範囲はこの例に限定されない。例えば、電子回路の配線パターンを描画する配線描画装置、各種デバイスの製造装置、吐出用の機能性液体として樹脂液を用いるレジスト印刷装置、カラーフィルター製造装置、マテリアルデポジション用の材料を用いて微細構造物を形成する微細構造物形成装置など、液状機能性材料を用いて様々な形状やパターンを描画する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置に広く適用できる。

以上説明した本発明の実施形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜構成要件を変更、追加、削除することが可能である。本発明は以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当該分野の通常の知識を有するものにより、多くの変形が可能である。

１０…液体吐出装置、１２…ヘッドモジュール、１４…ヘッドバー、２０…インク、２２…インクタンク、３０…供給流路部、３２…供給ポンプ、３４…供給側ダンパ、３６…供給側マニホールド、３８…供給側圧力センサ、４０…第１容器、４２…第１可動膜、４４…第１液体室、４６…第１気体室、５０…第１大気開放バルブ、６０…回収流路部、６２…回収ポンプ、６４…回収側ダンパ、６６…回収側マニホールド、６８…回収側圧力センサ、７０…第２容器、７２…第２可動膜、７４…第２液体室、７６…第２気体室、８０…第２大気開放バルブ、１７０…コントローラ、１７２…表示部、１８４…システム制御部、１８５…目標値設定部、１８６…圧力センサ異常判定部、１８７…供給側ポンプ制御部、１８８…回収側ポンプ制御部、１９２…速度検出部、１９４…速度検出部、３１０…インクジェット装置、３７２（３７２Ｍ，３７２Ｋ，３７２Ｃ，３７２Ｙ）…インクジェットヘッド、３７２−ｉ…ヘッドモジュール、４５１…ノズル、５４２…システム制御部

Claims (11)

1. 液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留しておく液体貯留部と、
   前記液体貯留部に貯留されている液体を前記液体吐出ヘッドに導く供給経路と、
   前記液体貯留部から前記供給経路を通じて前記液体吐出ヘッドに前記液体を給送する供給ポンプと、
   前記供給経路に設置される供給側圧力センサと、
   前記液体吐出ヘッドから液体を回収する回収経路と、
   前記回収経路に設置される回収ポンプと、
   前記回収経路に設置される回収側圧力センサと、
   を備える液体吐出装置の前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常を検知する方法であって、
   前記供給経路と前記回収経路との間に循環差圧を設定するステップと、
   前記設定された循環差圧を制御目標にして前記供給ポンプ及び前記回収ポンプの駆動制御を行うステップと、
   前記駆動制御による前記供給ポンプ及び前記回収ポンプのそれぞれのポンプ速度を取得するステップと、
   前記設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲に対し、前記取得されたポンプ速度が前記許容想定範囲に収まっているか否かの判定に基づき、前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常の有無を判定するステップと、
   を有する圧力センサの異常検知方法。
2. 前記設定される循環差圧が０［Pa］である請求項１に記載の圧力センサの異常検知方法。
3. 前記循環差圧に対応して、予め想定される誤差から許容できる誤差の範囲を定めておき、
   前記予想されるポンプ速度に対して前記許容できる誤差の範囲を考慮して前記許容想定範囲が定められる請求項１又は２のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法。
4. 前記液体吐出装置には、
   前記供給経路に設置され、第１可撓膜を介して区画される第１液体室と第１空気室とを有する供給側ダンパと、
   前記回収経路に設置され、第２可撓膜を介して区画される第２液体室と第２空気室とを有する回収側ダンパと、
   が設けられている請求項１から３のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法。
5. 前記液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドとしての複数のヘッドモジュールを備え、
   前記供給経路は、前記複数のヘッドモジュールと接続される供給側マニホールドを含み、
   前記回収経路は、前記複数のヘッドモジュールと接続される回収側マニホールドを含む請求項１から４のいずれか１項に記載の圧力センサの異常検知方法。
6. 前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサによって把握される圧力の誤差合計を△P_total、
   前記供給側マニホールドと前記回収側マニホールドの間の流路抵抗をR_bar±△R_bar、
   前記設定される循環差圧をP_circ、
   前記予想されるポンプ速度による流量のばらつきをΔQとするとき、
   ΔQ＝ {(△P_total/R_bar)^２ + (P_circ × △R_bar / R_bar^２)^２ }^0.5
   を考慮して異常判定の閾値が定められる請求項５に記載の圧力センサの異常検知方法。
7. 前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサの各圧力センサのサイズに起因する水頭誤差を△P_sys_sensor、
   前記供給側ダンパ及び前記回収側ダンパの各ダンパのサイズに起因する水頭誤差を△P_sys_damper、
   前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサの各圧力センサの測定誤差を△P_measured、とするとき、
   前記圧力の誤差合計△P_totalを、
   △P_total =｛(△P_sys_sensor)^２ +（△P_sys_damper）^２+（△P_measured）^２｝ ^１／２ [Pa]
   とする請求項４を引用するときの請求項６に記載の圧力センサの異常検知方法。
8. 液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留しておく液体貯留部と、
   前記液体貯留部に貯留されている液体を前記液体吐出ヘッドに導く供給経路と、
   前記液体貯留部から前記供給経路を通じて前記液体吐出ヘッドに前記液体を給送する供給ポンプと、
   前記供給経路に設置される供給側圧力センサと、
   前記液体吐出ヘッドから液体を回収する回収経路と、
   前記回収経路に設置される回収ポンプと、
   前記回収経路に設置される回収側圧力センサと、
   前記供給経路と前記回収経路との間に循環差圧を設定する差圧設定部と、
   前記設定された循環差圧を制御目標にして前記供給ポンプ及び前記回収ポンプの駆動制御を行うポンプ制御部と、
   前記駆動制御による前記供給ポンプ及び前記回収ポンプのそれぞれのポンプ速度を取得するポンプ速度検出部と、
   前記設定された循環差圧に対して予想されるポンプ速度の許容想定範囲に対し、前記取得されたポンプ速度が前記許容想定範囲に収まっているか否かの判定に基づき、前記供給側圧力センサ及び前記回収側圧力センサのうち少なくとも一方の圧力センサの異常の有無を判定する異常判定部と、
   を備える液体吐出装置。
9. 前記差圧設定部により設定される循環差圧が０［Pa］である請求項８に記載の液体吐出装置。
10. 前記供給経路に設置され、第１可撓膜を介して区画される第１液体室と第１空気室とを有する供給側ダンパと、
    前記回収経路に設置され、第２可撓膜を介して区画される第２液体室と第２空気室とを有する回収側ダンパと、
    を備える請求項８又は９に記載の液体吐出装置。
11. 前記液体吐出ヘッドとしての複数のヘッドモジュールを備え、
    前記供給経路は、前記複数のヘッドモジュールと接続される供給側マニホールドを含み、
    前記回収経路は、前記複数のヘッドモジュールと接続される回収側マニホールドを含む請求項８から１０のいずれか１項に記載の液体吐出装置。

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