JP2014233059A - Mems素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定電極あるいは可動電極のいずれか一方に、複数のスリット4a1、4a2、4b1、4b2、4c1、4c2、4d1、4d2、4d3が形成されており、このスリットの少なくとも1つの開口形状を、開口端部が湾曲した曲線からなるように形成する。湾曲させる方向は、外側のスリットは外側に、内側のスリットは内側に湾曲させることで、スリット間の応力集中を緩和する。
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- バックチャンバーを備えた基板と、該基板上に、スペーサーを挟んで固定電極と可動電極とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子において、
前記固定電極および前記可動電極の少なくともいずれか一方に、複数のスリットが形成されており、
前記スリットは、前記スペーサーとの接続端に沿って配置された少なくとも1つ以上のスリットからなる第1のスリットと、該第1のスリットの内側に配置された少なくとも1つ以上のスリットからなる第2のスリットとを備え、
前記第1のスリットあるいは前記第2のスリットの少なくともいずれか一方の前記スリットのうち少なくとも1つは、開口端部が前記スペーサー側あるいはその反対側に湾曲した曲線からなる開口形状を有していることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、
該MEMS素子はコンデンサマイクロフォンであって、
前記固定電極は、音圧を伝えるための複数の貫通孔を備えた電極を構成し、前記可動電極は、音圧によって振動する電極を構成し、
該可動電極に前記湾曲した曲線からなる開口形状を有する前記第1のスリットおよび前記第2のスリットが形成されていることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1又は請求項2いずれか記載のMEMS素子において、
前記前記第1のスリットの開口端部は、前記スペーサー側に湾曲した曲線からなる開口形状を有しており、前記第2のスリットの開口端部は、前記スペーサー側と反対側に湾曲した曲線からなる開口形状を有していることを特徴とするMEMS素子。
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2013
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