JP2014224890A - 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性を向上させることが可能な電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】第1基材10a上に絶縁層11c,11dを形成する工程と、アルミニウム膜12a及び窒化膜12bを形成する工程と、コンタクトホールCNT80を形成する工程と、コンタクトホールCNT80にカラーフィルター材料を充填してカラーフィルター80を形成する工程と、第4絶縁層11eを形成する工程と、第4絶縁層11eにコンタクトホールCNT5を形成する工程と、コンタクトホールCNT5内に保護膜13を形成する工程と、コンタクトホールCNT5の底部にコンタクトホールを形成して窒化膜12bを露出する工程と、コンタクトホールCNT5,6にフッ酸処理を施す工程と、コンタクトホールCNT5,6の中にITO膜を埋めると共に、保護膜13上にパターニングして画素電極を形成する工程と、を有する。【選択図】図7
Description
本発明は、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器に関する。
上記電気光学装置として、例えば、画素電極をスイッチング制御する素子としてトランジスターを画素ごとに備えたアクティブ駆動方式の液晶装置が知られている。液晶装置は、例えば、直視型ディスプレイやプロジェクターのライトバルブなどにおいて用いられている。
液晶装置としては、例えば、特許文献1に記載のように、TFT(Thin Film Transistor)を有するTFTアレイ基板に、赤(R)緑(G)青(B)のカラーフィルターを備えた液晶装置が開示されている。
このような液晶装置の製造方法としては、例えば、基板上に第1絶縁層を形成し、第1絶縁層上に、画素電極とTFTとを電気的に接続するための導電膜を成膜する。次に、導電膜及び第1絶縁層に凹部を形成する。その後、凹部にカラーフィルター材料を充填してカラーフィルター層を形成する。
次に、カラーフィルター層及び導電膜上に第2絶縁層を形成し、第2絶縁層に、画素電極と導電膜とを電気的に接続するためのコンタクトホールを形成する。その後、コンタクトホール内の酸化膜を除去するために、フッ酸を用いて洗浄を行っている。そして、コンタクトホール内及び第2絶縁層上にITO(Indium Tin Oxide)膜を成膜し、パターニングすることにより画素電極が形成される。
しかしながら、凹部にカラーフィルター材料を充填した際、凹部の表面の導電膜上にもカラーフィルター材料が付着する。その後、第2絶縁層を成膜し、第2絶縁層及び導電膜にコンタクトホールを形成した際、コンタクトホールの側壁に、導電膜上に残ったカラーフィルター材料の残渣が露出する。よって、フッ酸処理を行った際、露出した残渣からフッ酸が入り込み、コンタクトホールの側壁が腐蝕する。このため、コンタクトホールの側壁にITO膜等の透明導電膜を成膜した際、腐蝕した部分でITO膜等の透明導電膜が切れてしまい、画素電極と配線層とが電気的に接続されないことがあるという課題がある。
本発明の態様は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る電気光学装置の製造方法は、基板の上に第1絶縁層を形成する工程と、前記第1絶縁層の上に導電層を形成する工程と、前記導電層及び前記第1絶縁層に凹部を形成する工程と、前記凹部にカラーフィルター材料を充填するようにカラーフィルターを形成する工程と、前記カラーフィルター及び前記導電層の上に第2絶縁層を形成する工程と、前記第2絶縁層に第1コンタクトホールを形成する工程と、前記第1コンタクトホールの内部及び前記第2絶縁層の上に保護膜を形成する工程と、前記第1コンタクトホールの底部の前記第2絶縁膜に第2コンタクトホールを形成して前記導電層を露出する工程と、前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールにウエットエッチングを施す工程と、前記第1コンタクトホール、前記第2コンタクトホール、及び前記第2絶縁膜の上に透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜をパターニングして画素電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
本適用例によれば、ウエットエッチングを行う前に、第1コンタクトホールの側壁に保護膜を形成するので、カラーフィルターを形成した際に付着した残渣が、第1コンタクトホールの内壁に露出することを防ぐことができる。よって、ウエットエッチングを行った場合でも、第1コンタクトホールの内壁が腐蝕することを防ぐことが可能となり、画素電極から導電層からなる中継電極に亘って膜が切れることなく電気的に接続させることができる。
[適用例2]上記適用例に係る電気光学装置の製造方法において、前記ウエットエッチングは、フッ酸による洗浄処理であることが好ましい。
本適用例によれば、少なくとも第1コンタクトホールの中をフッ酸で洗浄処理するので、不要な酸化膜を除去することが可能となり、コンタクト抵抗を少なくすることができる。
[適用例3]上記適用例に係る電気光学装置の製造方法において、前記保護膜は、窒化膜または酸化ケイ素を含む材料であることが好ましい。
本適用例によれば、窒化膜や酸化ケイ素を含む材料で第1コンタクトホールの側壁を覆うので、フッ酸による洗浄処理を行った場合でも、カラーフィルターの残渣に到達することを防ぐことができる。
[適用例4]本適用例に係る電気光学装置は、基板を覆うように配置された第1絶縁層と、前記第1絶縁層を覆うように配置された導電層と、前記導電層及び前記第1絶縁層の凹部に配置されたカラーフィルターと、前記カラーフィルター及び前記導電層を覆うように配置された第2絶縁層と、前記第2絶縁層を貫通する第1コンタクトホールと、前記第1コンタクトホールの側壁及び底に配置された保護膜と、前記第1コンタクトホールの底の前記保護膜を貫通する第2コンタクトホールと、前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールを介して前記導電層と電気的に接続された、光を透過する画素電極と、を含むことを特徴とする。
本適用例によれば、第1コンタクトホールの側壁に保護膜が成膜されているので、このコンタクトホールにエッチング処理を施したとしても、カラーフィルターを形成した際に付着した残渣が、第1コンタクトホールの内壁に露出することを防ぐことができる。よって、ウエットエッチングを行った場合でも、第1コンタクトホールの内壁が腐蝕することを防ぐことが可能となり、画素電極と導電層からなる中継電極とを電気的に接続させることができる。
[適用例5]上記適用例に係る電気光学装置において、前記保護膜は、窒化膜または酸化ケイ素を含む材料であることが好ましい。
本適用例によれば、窒化膜や酸化ケイ素を含む材料で第1コンタクトホールの側壁を覆うので、フッ酸による洗浄処理を行った場合でも、カラーフィルターの残渣に到達することを防ぐことができる。
[適用例6]本適用例に係る電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする。
本適用例によれば、上記の液晶装置を備えているので、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
本実施形態では、電気光学装置として、薄膜トランジスター(TFT:Thin Film Transistor)を画素のスイッチング素子として備えたアクティブマトリックス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば、投射型表示装置(液晶プロジェクター)の光変調素子(液晶ライトバルブ)として好適に用いることができるものである。
<電気光学装置としての液晶装置の構成>
図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態の液晶装置100は、対向配置された素子基板10および対向基板20と、これら一対の基板10,20によって挟持された液晶層15とを有する。素子基板10を構成する基板としての第1基材10a、および対向基板20を構成する第2基材20aは、例えば、ガラス基板、石英基板などの透明基板が用いられている。
素子基板10は対向基板20よりも大きく、両基板10,20は、対向基板20の外周に沿って配置されたシール材14を介して接合されている。平面視で環状に設けられたシール材14の内側で、素子基板10は対向基板20の間に正または負の誘電異方性を有する液晶が封入されて液晶層15を構成している。シール材14は、例えば熱硬化性又は紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール材14には、一対の基板の間隔を一定に保持するためのスペーサー(図示省略)が混入されている。
シール材14の内縁より内側には、複数の画素Pが配列した表示領域Eが設けられている。表示領域Eは、表示に寄与する複数の画素Pに加えて、複数の画素Pを囲むように配置されたダミー画素を含むとしてもよい。また、図1及び図2では図示を省略したが、表示領域Eにおいて複数の画素Pをそれぞれ平面的に区分する遮光膜(ブラックマトリックス:BM)が対向基板20に設けられている。
素子基板10の1辺部に沿ったシール材14と該1辺部との間に、データ線駆動回路22が設けられている。また、該1辺部に対向する他の1辺部に沿ったシール材14と表示領域Eとの間に、検査回路25が設けられている。さらに、該1辺部と直交し互いに対向する他の2辺部に沿ったシール材14と表示領域Eとの間に走査線駆動回路24が設けられている。該1辺部と対向する他の1辺部に沿ったシール材14と検査回路25との間には、2つの走査線駆動回路24を繋ぐ複数の配線29が設けられている。
対向基板20における環状に配置されたシール材14と表示領域Eとの間には、遮光膜18(見切り部)が設けられている。遮光膜18は、例えば、遮光性の金属あるいは金属酸化物などからなり、遮光膜18の内側が複数の画素Pを有する表示領域Eとなっている。なお、図1では図示を省略したが、表示領域Eにおいても複数の画素Pを平面的に区分する遮光膜が設けられている。
これらデータ線駆動回路22、走査線駆動回路24に繋がる配線は、該1辺部に沿って配列した複数の外部接続用端子61に接続されている。以降、該1辺部に沿った方向をX方向とし、該1辺部と直交し互いに対向する他の2辺部に沿った方向をY方向として説明する。
図2に示すように、第1基材10aの液晶層15側の表面には、画素Pごとに設けられた透光性の画素電極27およびスイッチング素子である薄膜トランジスター(TFT:Thin Film Transistor、以降、「TFT30」と呼称する)と、信号配線と、これらを覆う配向膜28とが形成されている。
また、TFT30における半導体層に光が入射してスイッチング動作が不安定になることを防ぐ遮光構造が採用されている。本発明における素子基板10は、少なくとも画素電極27、TFT30、配向膜28を含むものである。
対向基板20の液晶層15側の表面には、遮光膜18と、これを覆うように成膜された平坦化層33と、平坦化層33を覆うように設けられた共通電極31と、共通電極31を覆う配向膜32とが設けられている。本発明における対向基板20は、少なくとも平坦化層33、共通電極31、配向膜32を含むものである。
遮光膜18は、図1に示すように、表示領域Eを取り囲むと共に、平面的に走査線駆動回路24、検査回路25と重なる位置に設けられている(図示簡略)。これにより対向基板20側からこれらの駆動回路を含む周辺回路に入射する光を遮蔽して、周辺回路が光によって誤動作することを防止する役目を果たしている。また、不必要な迷光が表示領域Eに入射しないように遮蔽して、表示領域Eの表示における高いコントラストを確保している。
平坦化層33は、例えば酸化シリコンなどの無機材料からなり、光透過性を有して遮光膜18を覆うように設けられている。このような平坦化層33の形成方法としては、例えばプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法などを用いて成膜する方法が挙げられる。
共通電極31は、例えばITOなどの透明導電膜からなり、平坦化層33を覆うと共に、図1に示すように対向基板20の四隅に設けられた上下導通部26により素子基板10側の配線に電気的に接続している。
画素電極27を覆う配向膜28、および共通電極31を覆う配向膜32は、液晶装置100の光学設計に基づいて選定される。例えば、気相成長法を用いてSiOx(酸化シリコン)などの無機材料を成膜して、負の誘電異方性を有する液晶分子に対して略垂直配向させた無機配向膜が挙げられる。
このような液晶装置100は透過型であって、電圧が印加されない時の画素Pの透過率が電圧印加時の透過率よりも大きいノーマリーホワイトや、電圧が印加されない時の画素Pの透過率が電圧印加時の透過率よりも小さいノーマリーブラックモードの光学設計が採用される。光の入射側と射出側とにそれぞれ偏光素子が光学設計に応じて配置されて用いられる。
図3に示すように、液晶装置100は、少なくとも表示領域Eにおいて互いに絶縁されて直交する複数の走査線3aおよび複数のデータ線6aと、共通電位配線としての容量線3bとを有する。走査線3aが延在する方向がX方向であり、データ線6aが延在する方向がY方向である。
走査線3aとデータ線6aならびに容量線3bと、これらの信号線類により区分された領域に、画素電極27と、TFT30と、容量素子16とが設けられ、これらが画素Pの画素回路を構成している。
走査線3aはTFT30のゲートに電気的に接続され、データ線6aはTFT30のデータ線側ソースドレイン領域(ソース領域)に電気的に接続されている。画素電極27は、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域(ドレイン領域)に電気的に接続されている。
データ線6aは、データ線駆動回路22(図1参照)に接続されており、データ線駆動回路22から供給される画像信号D1,D2,…,Dnを画素Pに供給する。走査線3aは、走査線駆動回路24(図1参照)に接続されており、走査線駆動回路24から供給される走査信号SC1,SC2,…,SCmを各画素Pに供給する。
データ線駆動回路22からデータ線6aに供給される画像信号D1〜Dnは、この順に線順次で供給してもよく、互いに隣り合う複数のデータ線6a同士に対してグループごとに供給してもよい。走査線駆動回路24は、走査線3aに対して、走査信号SC1〜SCmを所定のタイミングで供給する。
液晶装置100は、スイッチング素子であるTFT30が走査信号SC1〜SCmの入力により一定期間だけオン状態とされることで、データ線6aから供給される画像信号D1〜Dnが所定のタイミングで画素電極27に書き込まれる構成となっている。そして、画素電極27を介して液晶層15に書き込まれた所定レベルの画像信号D1〜Dnは、画素電極27と液晶層15を介して対向配置された共通電極31との間で一定期間保持される。
保持された画像信号D1〜Dnがリークするのを防止するため、画素電極27と共通電極31との間に形成される液晶容量と並列に容量素子16が接続されている。容量素子16は、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域と容量線3bとの間に設けられている。
<液晶装置を構成する画素の構成>
図4は、液晶装置のうち主に画素の構造を示す模式断面図である。以下、液晶装置のうち画素の構造を、図4を参照しながら説明する。なお、図4は、各構成要素の断面的な位置関係を示すものであり、明示可能な尺度で表されている。
図4は、液晶装置のうち主に画素の構造を示す模式断面図である。以下、液晶装置のうち画素の構造を、図4を参照しながら説明する。なお、図4は、各構成要素の断面的な位置関係を示すものであり、明示可能な尺度で表されている。
図4に示すように、液晶装置100は、素子基板10と、これに対向配置される対向基板20とを備えている。素子基板10を構成する第1基材10aは、上記したように、例えば、石英基板等によって構成されている。
図4に示すように、第1基材10a上には、例えば、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、Cr(クロム)、W(タングステン)等の材料を含む下側遮光膜3cが形成されている。下側遮光膜3cは、平面的に格子状にパターニングされており、各画素Pの開口領域を規定している。なお、下側遮光膜3cは、導電性を有し、走査線3aの一部として機能するようにしてもよい。第1基材10a及び下側遮光膜3c上には、シリコン酸化膜等からなる下地絶縁層11aが形成されている。
下地絶縁層11a上には、TFT30及び走査線3a等が形成されている。TFT30は、例えば、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有しており、ポリシリコン(高純度の多結晶シリコン)等からなる半導体層30aと、半導体層30a上に形成されたゲート絶縁層11gと、ゲート絶縁層11g上に形成されたポリシリコン膜等からなるゲート電極30gとを有する。走査線3aは、ゲート電極30gとしても機能する。
半導体層30aは、例えば、リン(P)イオン等のN型の不純物イオンが注入されることにより、N型のTFT30として形成されている。具体的には、半導体層30aは、チャネル領域30cと、データ線側LDD領域30s1と、データ線側ソースドレイン領域30sと、画素電極側LDD領域30d1と、画素電極側ソースドレイン領域30dとを備えている。
チャネル領域30cには、ボロン(B)イオン等のP型の不純物イオンがドープされている。その他の領域(30s1,30s,30d1,30d)には、リン(P)イオン等のN型の不純物イオンがドープされている。このように、TFT30は、N型のTFTとして形成されている。
ゲート電極30g及びゲート絶縁層11g上には、シリコン酸化膜等からなる第1層間絶縁層11bが形成されている。第1層間絶縁層11b上には、容量素子16が設けられている。具体的には、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域30d及び画素電極27に電気的に接続された画素電位側容量電極としての第1容量電極16aと、固定電位側容量電極としての容量線3b(第2容量電極16b)の一部とが、誘電体膜16cを介して対向配置されることにより、容量素子16が形成されている。
誘電体膜16cは、例えば、シリコン窒化膜である。第2容量電極16b(容量線3b)は、例えば、Ti(チタン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)等の高融点金属のうち少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの等からなる。或いは、Al(アルミニウム)膜から形成することも可能である。
第1容量電極16aは、例えば、導電性のポリシリコン膜からなり容量素子16の画素電位側容量電極として機能する。ただし、第1容量電極16aは、容量線3bと同様に、金属又は合金を含む単一層膜又は多層膜から構成してもよい。第1容量電極16aは、画素電位側容量電極としての機能のほか、コンタクトホールCNT1,3,4、及び中継電極51を介して、画素電極27とTFT30の画素電極側ソースドレイン領域30d(ドレイン領域)とを中継接続する機能を有する。
容量素子16上には、第2層間絶縁層11c(第1絶縁層)を介してデータ線6aが形成されている。データ線6aは、ゲート絶縁層11g、第1層間絶縁層11b、誘電体膜16c、及び第2層間絶縁層11cに開孔されたコンタクトホールCNT2を介して、半導体層30aのデータ線側ソースドレイン領域30s(ソース領域)に電気的に接続されている。
データ線6a上には、シリコン酸化物や窒化物からなる第3層間絶縁層11d(第1絶縁層)が形成されている。第3層間絶縁層11dは、TFT30が設けられた領域を覆うことによって生じる表面の凹凸を平坦化する平坦化処理が施される。平坦化処理の方法としては、例えば化学的機械的研磨処理(Chemical Mechanical Polishing:CMP処理)やスピンコート処理などが挙げられる。
第3層間絶縁層11d上には、導電層としてのアルミニウム(AL)膜12aと窒化膜12b(TiN)とが積層されている。そして、窒化膜12b、アルミニウム膜12a、第3層間絶縁層11d、及び第2層間絶縁層11cを貫通するようにカラーフィルター80が設けられている。
窒化膜12b、カラーフィルター80上には、第4層間絶縁層11e(第2絶縁層)が設けられている。第4層間絶縁層11eには、画素電極27と画素電極側ソースドレイン領域30dと電気的に接続するためのコンタクトホールCNT5(第1コンタクトホール)が形成されている。
第4層間絶縁層11e上には、コンタクトホールCNT5を埋めると共にパターニングされたITOなどの透明導電性膜からなる画素電極27が形成されている。つまり、画素電極27は、窒化膜12b、アルミニウム膜12a、コンタクトホールCNT4、中継電極51、コンタクトホールCNT3を介して第1容量電極16aに接続されることにより、コンタクトホールCNT1、画素電極側ソースドレイン領域30dに電気的に接続されている。
画素電極27及び第4層間絶縁層11e上には、酸化シリコン(SiO2)などの無機材料を斜方蒸着した配向膜28が設けられている。配向膜28上には、シール材14(図1及び図2参照)により囲まれた空間に液晶等が封入された液晶層15が設けられている。
このように、コンタクトホールCNT5を形成した後、コンタクトホールCNT5の内周を覆うようにシリコン窒化膜(SiN)からなる保護膜13を成膜するので、窒化膜12bの表面がコンタクトホールCNT5の側面に露出しない。
具体的には、窒化膜12bを上面とする層(窒化膜12b、アルミニウム膜12a、絶縁層11c,11d)にコンタクトホールCNT80(凹部)を形成し、コンタクトホールCNT80内にカラーフィルター材料を充填した際、窒化膜12bの表面にカラーフィルター材料の残渣80aが残ることがある。この残渣80aが、コンタクトホールCNT5内に露出することにより、後の工程でコンタクトホールCNT5にフッ酸による洗浄処理を施した際、残渣80aの部分から溶解による窪みが形成され、窒化膜12bと画素電極27との電気的な接続に影響を及ぼすことを防ぐことができる。
一方、第2基材20a上には、その全面に渡って共通電極31が設けられている。共通電極31上(液晶層側)には、例えば、酸化シリコン(SiO2)などの無機材料を斜方蒸着した配向膜32が設けられている。共通電極31は、上述の画素電極27と同様に、例えばITO膜等の透明導電性膜からなる。
液晶層15は、画素電極27からの電界が印加されていない状態で配向膜28及び配向膜32によって所定の配向状態をとる。シール材14は、素子基板10及び対向基板20をそれらの周辺で貼り合わせるための、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のスペーサーが混入されている。
<液晶装置の製造方法>
図5は、液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図6〜図8は、液晶装置の製造方法のうち素子基板の製造方法を示す模式断面図である。以下、液晶装置の製造方法を、図5〜図8を参照しながら説明する。
図5は、液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図6〜図8は、液晶装置の製造方法のうち素子基板の製造方法を示す模式断面図である。以下、液晶装置の製造方法を、図5〜図8を参照しながら説明する。
最初に、素子基板10側の製造方法を説明する。まず、ステップS11では、石英基板などからなる第1基材10a上にTFT30を形成する。具体的には、まず、第1基材10a上に、アルミニウムなどからなる下側遮光膜3c(走査線)を成膜する。その後、周知の成膜技術を用いて、シリコン酸化膜などからなる下地絶縁層11aを成膜する。
次に、下地絶縁層11a上に、TFT30を形成する。具体的には、周知の成膜技術、フォトリソグラフィ技術、及びエッチング技術を用いて、TFT30を形成する。
ステップS12では、カラーフィルター80を形成する。ステップS13では、第1のコンタクトホール(CNT5)を形成する。ステップS14では、コンタクトホールCNT5の内壁に保護膜13を成膜する。ステップS15では、第2のコンタクトホール(CNT6(第2コンタクトホール))を形成する。ステップS16では、画素電極27を形成する。ステップS17では、配向膜28を形成する。以下、ステップS12〜ステップS17までの具体例な製造方法を、図6〜図8を参照しながら説明する。
まず、図6(a)に示す工程では、TFT30が形成された第1層間絶縁層11b上に、第2層間絶縁層11c及び第3層間絶縁層11dを成膜する。なお、TFT30、容量素子16、データ線6a、及びコンタクトホールCNT4などの図示及び製造方法は省略する。その後、TFT30や配線等によって第3層間絶縁層11dの上面に生じた凹凸を平坦化する。平坦化する方法としては、例えば、CMP研磨処理を行う。
その後、第3層間絶縁層11d上に、アルミニウム膜12aを成膜し、アルミニウム膜12a上に窒化膜12b(TiN)を成膜する。アルミニウム膜12aの厚みは、例えば、0.35μmである。窒化膜12bの厚みは、例えば、0.15μmである。なお、アルミニウム膜12aは、図示しないコンタクトホールCNT4、及び、画素電極側ソースドレイン領域30dと電気的に接続された中継電極51と接続されている。
図6(b)に示す工程では、カラーフィルター80を形成するためのコンタクトホールCNT80を形成する。具体的には、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成する。これにより、窒化膜12b、アルミニウム膜12a、及び第3層間絶縁層11d、及び第2層間絶縁層11cを貫通するように、コンタクトホールCNT80が形成される。
図6(c)に示す工程では、カラーフィルター80を形成する。まず、コンタクトホールCNT80の中に、カラーフィルター材料を充填する。充填する方法としては、スピンコート法を用いて、コンタクトホールCNT80の中に、着色層(赤色、緑色、青色)を選択的に充填する。その後、例えば、着色層を加熱させて硬化し、カラーフィルター80を完成させる。
ここで、窒化膜12bの表面には、カラーフィルター材料の残渣80aが残っている場合がある。
図7(d)に示す工程では、窒化膜12b及びカラーフィルター80を覆うように、シリコン酸化膜などからなる第4層間絶縁層11eを成膜する。第4層間絶縁層11eの厚みは、例えば、0.6μmである。また、第4層間絶縁層11eと窒化膜12bとの間には、前工程から残っているカラーフィルター材料の残渣80aがある。
図7(e)に示す工程では、画素電極27と画素電極側ソースドレイン領域30dとを接続するための第1のコンタクトホール(CNT5)を形成する。具体的には、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、第4層間絶縁層11e及び窒化膜12bの一部に、コンタクトホールCNT5を形成する。このとき、第4層間絶縁層11eと窒化膜12bとの間に残る残渣80aがコンタクトホールCNT5の内壁に露出する。
図7(f)に示す工程では、コンタクトホールCNT5の内壁及び第4層間絶縁層11e上に保護膜13を成膜する。保護膜13は、例えば、シリコン窒化膜(SiN)である。これにより、第4層間絶縁層11eと窒化膜12bとの間に残った残渣80aがコンタクトホールCNT5内に露出することを防ぐことができる。
図8(g)に示す工程では、コンタクトホールCNT5の底に第2のコンタクトホール(CNT6)を形成すると共に、画素電極27を形成する。具体的には、コンタクトホールCNT5の中に保護膜13が形成されており、下層の窒化膜12bと電気的な接続ができていない状態にある。これを、コンタクトホールCNT6を形成することにより、コンタクトホールCNT5の中に埋め込む透明導電膜(ITO膜)と窒化膜12bとが電気的に接続される状態となる。
コンタクトホールCNT6を形成した後、窒化膜12bの表面の酸化膜を除去するために、コンタクトホールCNT5,6にフッ酸処理を施す。この際、コンタクトホールCNT5の内壁に保護膜13が成膜されているので、窒化膜12b上に残った残渣80aがコンタクトホールCNT5内に露出することを防ぐことができる。よって、コンタクトホールCNT5内の窒化膜12bと第4層間絶縁層11eとの間から残渣80aを介して腐蝕する(窪み、Vカットが発生する)ことを防ぐことができる。また、画素電極27と窒化膜12bとのコンタクト抵抗値を下げることができる。
次に、コンタクトホールCNT5の中から第4層間絶縁層11e上にかけてITO膜を成膜する。その後、第4層間絶縁層11e上のITO膜をパターニングして画素電極27を形成する。これにより、画素電極27は、窒化膜12bやアルミニウム膜12aを介して、画素電極側ソースドレイン領域30dと電気的に接続される。
図8(h)に示す工程では、画素電極27及び保護膜13上に配向膜28を形成する。配向膜28の製造方法としては、例えば、酸化シリコン(SiO2)などの無機材料を斜方蒸着する斜方蒸着法が用いられる。以上により、素子基板10側が完成する。
次に、図5を参照しながら、対向基板20側の製造方法を説明する。まず、ステップS21では、ガラス基板等の透光性材料からなる第2基材20a上に、周知の成膜技術、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、共通電極31を形成する。
ステップS22では、共通電極31上に配向膜32を形成する。配向膜32の製造方法は、配向膜28と場合と同様であり、例えば、斜方蒸着法を用いて形成する。以上により、対向基板20側が完成する。次に、素子基板10と対向基板20とを貼り合わせる方法を説明する。
ステップS31では、素子基板10上にシール材14を塗布する。詳しくは、素子基板10とディスペンサー(吐出装置でも可能)との相対的な位置関係を変化させて、素子基板10における表示領域Eの周縁部に(表示領域Eを囲むように)シール材14を塗布する。
シール材14としては、例えば、紫外線硬化型エポキシ樹脂が挙げられる。なお、紫外線などの光硬化型樹脂に限定されず、熱硬化型樹脂などを用いるようにしてもよい。また、シール材14には、例えば、素子基板10と対向基板20との間隔(ギャップ或いはセルギャップ)を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のギャップ材が含まれている。
ステップS32では、素子基板10と対向基板20とを貼り合わせる。具体的には、素子基板10に、塗布されたシール材14を介して素子基板10と対向基板20とを貼り合わせる。
ステップS33では、液晶注入口から構造体の内部に液晶を注入し、その後、液晶注入口を封止材で封止する。封止には、例えば、樹脂等の封止材が用いられる。以上により、液晶装置100が完成する。
<電子機器の構成>
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図9を参照しながら説明する。図9は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図9を参照しながら説明する。図9は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。
図9に示すように、本実施形態の投射型表示装置1000は、システム光軸Lに沿って配置された偏光照明装置1100と、光分離素子としての2つのダイクロイックミラー1104,1105と、3つの反射ミラー1106,1107,1108と、5つのリレーレンズ1201,1202,1203,1204,1205と、3つの光変調手段としての透過型の液晶ライトバルブ1210,1220,1230と、光合成素子としてのクロスダイクロイックプリズム1206と、投射レンズ1207とを備えている。
偏光照明装置1100は、超高圧水銀灯やハロゲンランプなどの白色光源からなる光源としてのランプユニット1101と、インテグレーターレンズ1102と、偏光変換素子1103とから概略構成されている。
ダイクロイックミラー1104は、偏光照明装置1100から射出された偏光光束のうち、赤色光(R)を反射させ、緑色光(G)と青色光(B)とを透過させる。もう1つのダイクロイックミラー1105は、ダイクロイックミラー1104を透過した緑色光(G)を反射させ、青色光(B)を透過させる。
ダイクロイックミラー1104で反射した赤色光(R)は、反射ミラー1106で反射した後にリレーレンズ1205を経由して液晶ライトバルブ1210に入射する。ダイクロイックミラー1105で反射した緑色光(G)は、リレーレンズ1204を経由して液晶ライトバルブ1220に入射する。ダイクロイックミラー1105を透過した青色光(B)は、3つのリレーレンズ1201,1202,1203と2つの反射ミラー1107,1108とからなる導光系を経由して液晶ライトバルブ1230に入射する。
液晶ライトバルブ1210,1220,1230は、クロスダイクロイックプリズム1206の色光ごとの入射面に対してそれぞれ対向配置されている。液晶ライトバルブ1210,1220,1230に入射した色光は、映像情報(映像信号)に基づいて変調されクロスダイクロイックプリズム1206に向けて射出される。
このプリズムは、4つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が合成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ1207によってスクリーン1300上に投射され、画像が拡大されて表示される。
液晶ライトバルブ1210は、上述した液晶装置100が適用されたものである。液晶装置100は、色光の入射側と射出側とにおいてクロスニコルに配置された一対の偏光素子の間に隙間を置いて配置されている。他の液晶ライトバルブ1220,1230も同様である。
このような投射型表示装置1000によれば、液晶ライトバルブ1210,1220,1230を用いているので、高い信頼性を得ることができる。
なお、液晶装置100が搭載される電子機器としては、投射型表示装置1000の他、ヘッドアップディスプレイ、スマートフォン、EVF(Electrical View Finder)、モバイルミニプロジェクター、携帯電話、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、ディスプレイ、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
以上詳述したように、本実施形態の液晶装置100の製造方法、液晶装置100、及び電子機器によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)本実施形態の液晶装置100の製造方法によれば、フッ酸処理を行う前に、コンタクトホールCNT5の内壁にシリコン窒化膜(SiN)からなる保護膜13を形成するので、カラーフィルター80を形成した際に窒化膜12bの表面に付着した残渣80aが、コンタクトホールCNT5の内壁に露出することを防ぐことができる。よって、コンタクト抵抗を少なくするために、コンタクトホールCNT5,6にフッ酸処理を行った場合でも、コンタクトホールCNT5の内壁が腐蝕することを防ぐことが可能となり、画素電極27と窒化膜12b及びアルミニウム膜12aとを電気的に接続させることができる。
(2)本実施形態の液晶装置100によれば、コンタクトホールCNT5の内壁に保護膜13が成膜されているので、このコンタクトホールCNT5,6にフッ酸処理を施したとしても、カラーフィルター80を形成した際に付着した残渣80aが、コンタクトホールCNT5の内壁に露出することを防ぐことができる。よって、フッ酸処理を行った場合でも、コンタクトホールCNT5の内壁が腐蝕することを防ぐことが可能となり、画素電極27と窒化膜12bとを電気的に接続させることができる。
(3)本実施形態の電子機器によれば、上記した液晶装置100を備えているので、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。
(変形例1)
上記したように、保護膜13としてシリコン窒化膜(SiN)を用いることに限定されず、シリコン酸化膜(SiO2)や酸化ケイ素を含む材料を用いるようにしてもよい。また、アクリル樹脂などを適用するようにしてもよい。これによれば、材料の選択肢を増やすことができる。
上記したように、保護膜13としてシリコン窒化膜(SiN)を用いることに限定されず、シリコン酸化膜(SiO2)や酸化ケイ素を含む材料を用いるようにしてもよい。また、アクリル樹脂などを適用するようにしてもよい。これによれば、材料の選択肢を増やすことができる。
(変形例2)
上記したように、電気光学装置として液晶装置100に適用することに限定されず、例えば、有機EL装置、プラズマディスプレイ、電子ペーパー等に適用するようにしてもよい。
上記したように、電気光学装置として液晶装置100に適用することに限定されず、例えば、有機EL装置、プラズマディスプレイ、電子ペーパー等に適用するようにしてもよい。
(変形例3)
上記したように、透過型の液晶装置100を例に説明してきたが、反射型の液晶装置に適用するようにしてもよい。
上記したように、透過型の液晶装置100を例に説明してきたが、反射型の液晶装置に適用するようにしてもよい。
3a…走査線、3b…容量線、3c…下側遮光膜、CNT1,2,3,4,5,6,80…コンタクトホール、6a…データ線、10…素子基板、10a…第1基材、11a…下地絶縁層、11b…第1層間絶縁層、11c…第2層間絶縁層(第1絶縁層)、11d…第3層間絶縁層(第1絶縁層)、11e…第4層間絶縁層(第2絶縁層)、11g…ゲート絶縁層、12a…アルミニウム膜(導電層)、12b…窒化膜(導電層)、13…保護膜、14…シール材、15…液晶層、16…容量素子、16a…第1容量電極、16b…第2容量電極、16c…誘電体膜、18…遮光膜、20…対向基板、20a…第2基材、22…データ線駆動回路、24…走査線駆動回路、25…検査回路、26…上下導通部、27…画素電極、28,32…配向膜、29…配線、30…TFT、30a…半導体層、30c…チャネル領域、30d…画素電極側ソースドレイン領域、30d1…画素電極側LDD領域、30g…ゲート電極、30s…データ線側ソースドレイン領域、30s1…データ線側LDD領域、31…共通電極、33…平坦化層、51…中継電極、61…外部接続用端子、80a…残渣、100…液晶装置、1000…投射型表示装置、1100…偏光照明装置、1101…ランプユニット、1102…インテグレーターレンズ、1103…偏光変換素子、1104,1105…ダイクロイックミラー、1106,1107,1108…反射ミラー、1201,1202,1203,1204,1205…リレーレンズ、1206…クロスダイクロイックプリズム、1207…投射レンズ、1210,1220,1230…液晶ライトバルブ、1300…スクリーン。
Claims (6)
- 基板の上に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上に導電層を形成する工程と、
前記導電層及び前記第1絶縁層に凹部を形成する工程と、
前記凹部にカラーフィルター材料を充填するようにカラーフィルターを形成する工程と、
前記カラーフィルター及び前記導電層の上に第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層に第1コンタクトホールを形成する工程と、
前記第1コンタクトホールの内部及び前記第2絶縁層の上に保護膜を形成する工程と、
前記第1コンタクトホールの底部の前記第2絶縁膜に第2コンタクトホールを形成して前記導電層を露出する工程と、
前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールにウエットエッチングを施す工程と、
前記第1コンタクトホール、前記第2コンタクトホール、及び前記第2絶縁膜の上に透明導電膜を形成する工程と、
前記透明導電膜をパターニングして画素電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記ウエットエッチングは、フッ酸による洗浄処理であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記保護膜は、窒化膜または酸化ケイ素を含む材料であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 基板を覆うように配置された第1絶縁層と、
前記第1絶縁層を覆うように配置された導電層と、
前記導電層及び前記第1絶縁層の凹部に配置されたカラーフィルターと、
前記カラーフィルター及び前記導電層を覆うように配置された第2絶縁層と、
前記第2絶縁層を貫通する第1コンタクトホールと、
前記第1コンタクトホールの側壁及び底に配置された保護膜と、
前記第1コンタクトホールの底の前記保護膜を貫通する第2コンタクトホールと、
前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールを介して前記導電層と電気的に接続された、光を透過する画素電極と、
を含むことを特徴とする電気光学装置。 - 請求項4に記載の電気光学装置であって、
前記保護膜は、窒化膜または酸化ケイ素を含む材料であることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項4又は請求項5に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
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