JP2014211372A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光照射部2からカンチレバー1までの光路長を変更するための光路長変更機構(例えば光照射部移動機構6)を設ける。光照射部2からカンチレバー1までの光路長を変更することにより、光照射部2からの照射光の焦点をカンチレバー1に合わせることができる。これにより、光照射部2からの照射光の焦点がずれるのを防止し、S/N比を向上することができる。特に、非常に小さい部材からなるカンチレバー1から照射光の一部がはみ出すのを効果的に防止することができるため、走査型プローブ顕微鏡において低下しやすいS/N比を効果的に向上することができる。
【選択図】 図1
Description
2 光照射部
3 ビームスプリッタ
4 ミラー
5 受光部
6 光照射部移動機構
7 カンチレバー移動機構
8 液体
9 透光部材
11 反射面
12 探針
Claims (4)
- 試料の表面に沿って移動させるための探針を有するカンチレバーと、
前記カンチレバーに向けて光を照射する光照射部と、
前記カンチレバーからの反射光を受光する受光部と、
前記光照射部から前記カンチレバーまでの光路長を変更するための光路長変更機構とを備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記光路長変更機構は、前記光照射部を照射光の光軸に沿って移動させるための光照射部移動機構を含むことを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記光路長変更機構は、前記カンチレバーを前記光照射部からの照射光の光軸に沿って移動させるためのカンチレバー移動機構を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記光照射部と前記カンチレバーとの間の光路中に設けられ、試料が沈められた液体の表面を押さえるための透光部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017075785A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
US10168354B1 (en) | 2018-03-19 | 2019-01-01 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope |
US10564183B2 (en) | 2018-03-08 | 2020-02-18 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and surface image correction method |
US10794931B2 (en) | 2018-04-16 | 2020-10-06 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and cantilever moving method |
US11415596B2 (en) | 2018-01-29 | 2022-08-16 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and analysis method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08105904A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-04-23 | Nikon Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH08254541A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH09119939A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸走査型プローブ顕微鏡装置 |
JPH10300760A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
2013
- 2013-04-19 JP JP2013088018A patent/JP5929818B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08105904A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-04-23 | Nikon Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH08254541A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH09119939A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸走査型プローブ顕微鏡装置 |
JPH10300760A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017075785A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
US11415596B2 (en) | 2018-01-29 | 2022-08-16 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and analysis method |
US10564183B2 (en) | 2018-03-08 | 2020-02-18 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and surface image correction method |
US10168354B1 (en) | 2018-03-19 | 2019-01-01 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope |
US10794931B2 (en) | 2018-04-16 | 2020-10-06 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and cantilever moving method |
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Publication number | Publication date |
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JP5929818B2 (ja) | 2016-06-08 |
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