JP2014202679A - 照明装置および検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記レーザ光が入射するレンズアレイとを有し、
前記レンズアレイは、前記レーザ光の径と同一の径または前記レーザ光の径より大きい径の要素レンズが複数配置されており、前記レーザ光の光軸の周囲に回転可能であることを特徴とする照明装置に関する。
各レンズアレイにおいて、前記要素レンズは、隣接する要素レンズ間の境界線が、前記レンズアレイの回転中心から放射状となるように、また、一方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向と、他方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向とが直交するように配置されることが好ましい。
一方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有する方向は、他方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有しない方向と直交しており、
前記一方のレンズアレイは、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転し、
前記他方のレンズアレイも、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転することが好ましい。
前記光学画像を基準となる画像と比較して、これらの差分値が所定の閾値を超える場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記照明装置は、レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光が入射するレンズアレイとを具備し、
前記レンズアレイは、前記レーザ光の径と同一の径または前記レーザ光の径より大きい径の要素レンズが複数配置されており、前記レーザ光の光軸の周囲に回転可能であることを特徴とする検査装置に関する。
各レンズアレイにおいて、前記要素レンズは、隣接する要素レンズ間の境界線が、前記レンズアレイの回転中心から放射状となるように、また、一方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向と、他方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向とが直交するように配置されることが好ましい。
一方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有する方向は、他方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有しない方向と直交しており、
前記一方のレンズアレイは、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転し、
前記他方のレンズアレイも、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転することが好ましい。
回転速度が遅い方のレンズアレイが1周する時間は、前記画像センサの撮像時間に一致することが好ましい。また、この場合、前記2つのレンズアレイのうちの一方の回転速度は、他方のレンズアレイの回転速度の整数倍でないことが好ましい。
光学画像取得工程では、図1の光学画像取得部Aが、試料1の光学画像(測定データ)を取得する。ここで、光学画像は、設計パターンデータに含まれる図形データに基づく図形が描画された試料1の画像である。試料1としては、例えば、フォトリソグラフィ技術で使用されるマスクや、ナノインプリント技術で使用されるテンプレートなどが挙げられる。光学画像の具体的な取得方法の一例を、図1を用いて説明する。
試料1のパターン形成時に用いた設計パターンデータは、記憶装置(記憶部)の一例である、図1の磁気ディスク装置109に記憶される。
展開工程では、図1の展開回路111が、磁気ディスク装置109から制御計算機110を通して設計パターンデータを読み出し、読み出された試料1の設計パターンデータを2値ないしは多値のイメージデータ(設計画像データ)に変換する。そして、このイメージデータは参照回路112に送られる。
フィルタ処理工程では、図1の参照回路112によって、送られてきた図形のイメージデータである設計画像データに適切なフィルタ処理が施される。その理由は、次の通りである。図1のセンサ回路106から得られた光学画像としての測定データは、対物レンズ104の解像特性やフォトダイオードアレイ105のアパーチャ効果などによってフィルタが作用した状態、言い換えれば連続的に変化するアナログ状態にある。したがって、画像強度(濃淡値)がデジタル値の設計側のイメージデータである設計パターンデータにもフィルタ処理を施すことにより、測定データに合わせることができる。このようにして光学画像と比較する参照画像を作成する。
上述した通り、センサ回路106からの光学画像データは、比較回路108へ送られる。また、設計パターンデータも、展開回路111および参照回路112により参照画像データに変換された後、比較回路108へ送られる。
2 照明装置
3 XYテーブル
4 光源
5,50,901,1001,1004 レンズアレイ
5a,5b,5c,901a,901b,901c,1001a,1001b,1001c 要素レンズ
6,902,1002,1006 コンデンサレンズ
60 第1のレンズアレイ
60b,1008 回転機構
60c,70c 光の入射面
70 第2のレンズアレイ
100 検査装置
104 対物レンズ
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 フレキシブルディスク装置
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
130 オートローダ
201 CADデータ
202 設計中間データ
203 フォーマットデータ
205 検査結果
207 欠陥情報リスト
500 レビュー装置
600 修正装置
903,1003,1007 対象物
1005 位相板
Claims (10)
- レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光が入射するレンズアレイとを有し、
前記レンズアレイは、前記レーザ光の径と同一の径または前記レーザ光の径より大きい径の要素レンズが複数配置されており、前記レーザ光の光軸の周囲に回転可能であることを特徴とする照明装置。 - 前記レンズアレイは、前記レーザ光の光軸方向に並んで2つ配置され、
各レンズアレイにおいて、前記要素レンズは、隣接する要素レンズ間の境界線が、前記レンズアレイの回転中心から放射状となるように、また、一方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向と、他方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向とが直交するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 前記要素レンズはシリンドリカルレンズであって、
一方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有する方向は、他方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有しない方向と直交しており、
前記一方のレンズアレイは、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転し、
前記他方のレンズアレイも、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転することを特徴とする請求項2に記載の照明装置。 - 前記2つのレンズアレイの回転速度が異なることを特徴とする請求項2または3に記載の照明装置。
- 前記2つのレンズアレイのうちの一方の回転速度は、他方のレンズアレイの回転速度の整数倍でないことを特徴とする請求項4に記載の照明装置。
- 照明装置によって検査対象となる試料を照明し、前記試料を透過または反射した光を画像センサに入射させて前記試料の光学画像を撮像する光学画像取得部と、
前記光学画像を基準となる画像と比較して、これらの差分値が所定の閾値を超える場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記照明装置は、レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光が入射するレンズアレイとを具備し、
前記レンズアレイは、前記レーザ光の径と同一の径または前記レーザ光の径より大きい径の要素レンズが複数配置されており、前記レーザ光の光軸の周囲に回転可能であることを特徴とする検査装置。 - 前記レンズアレイは、前記レーザ光の光軸方向に並んで2つ配置され、
各レンズアレイにおいて、前記要素レンズは、隣接する要素レンズ間の境界線が、前記レンズアレイの回転中心から放射状となるように、また、一方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向と、他方のレンズアレイの要素レンズが前記レーザ光の光軸を横切る方向とが直交するように配置されることを特徴とする請求項6に記載の検査装置。 - 前記要素レンズはシリンドリカルレンズであって、
一方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有する方向は、他方のレンズアレイのシリンドリカルレンズにおける前記レーザ光の入射面が曲率を有しない方向と直交しており、
前記一方のレンズアレイは、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転し、
前記他方のレンズアレイも、そのシリンドリカルレンズの前記入射面が曲率を有する方向に回転することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。 - 前記2つのレンズアレイの回転速度が異なり、
回転速度が遅い方のレンズアレイが1周する時間は、前記画像センサの撮像時間に一致することを特徴とする請求項7または8に記載の検査装置。 - 前記2つのレンズアレイのうちの一方の回転速度は、他方のレンズアレイの回転速度の整数倍でないことを特徴とする請求項9に記載の検査装置。
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