JP2014190714A - レーザ出力検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザマーカ1は、ダイクロイックミラーユニット30からのレーザ光Lを、反射ミラーユニット50で反射して、出力検出センサ35の受光部35Aで受光することで、当該レーザ光Lの出力を検出する。反射ミラーユニット50において、減光フィルタ53は、反射ミラー51の反射面51Aと対向し、ダイクロイックミラーユニット30からのレーザ光Lと、反射ミラー51の反射面51Aにより反射されたレーザ光Lと、の何れもが透過するように保持されている。
【選択図】図5
Description
先ず、本実施形態に係るレーザマーカ1の構成について、図面を参照しつつ説明する。図1に示すように、本実施形態に係るレーザマーカ1は、金属板を加工して形成されたベースフレーム5に対して、レーザヘッドユニット10と、シャッター20と、ダンパー25と、ダイクロイックミラーユニット30と、出力検出センサ35と、ガイド光源40と、反射ミラーユニット50と、ガルバノスキャナ60と、集光レンズ65と、を取り付けることによって構成されている。レーザマーカ1は、レーザヘッドユニット10で生成されたレーザ光Lを、ガルバノスキャナ60等を介して、加工対象物(ワーク)に照射し走査することで、加工対象物を任意に加工する。
次に、反射ミラーユニット50の構成について、図3を参照して説明する。上述したように、反射ミラーユニット50は、反射ミラー51と、スペーサ52と、減光フィルタ53と、ホルダ54と、複数のネジ55と、により構成されており、ダイクロイックミラーユニット30によって反射されたレーザ光Lの一部を反射して、出力検出センサ35の受光部35Aへ入射する。そして、反射ミラーユニット50は、減光フィルタ53を透過させることによって、ダイクロイックミラーユニット30によって反射されたレーザ光Lの一部の光強度を減衰させる機能を果たす。
図4、図5に示すように、レーザ光Lは、反射ミラーユニット50がレーザ光Lの光軸に対して所定角度で傾斜するように配設されている為、反射ミラー51の反射面51Aに入射される前に、減光フィルタ53を透過する時点で屈折する。更に、レーザ光Lは、反射ミラー51の反射面51Aによって反射された後に、減光フィルタ53を透過する時点においても屈折する。この結果、レーザ光Lは、減光フィルタ53を用いずに、反射ミラー51の反射面51Aで反射した場合と比べて、所定距離ずれた位置に至る。従って、レーザ光Lの出力を検出し、レーザ光Lの出力制御を行うためには、レーザ光Lのずれを考慮して、出力検出センサ35を配置する必要がある。
シフト量D=(2×フィルタ厚T×sin(α−β))/cosβ
・第1角度α:減光フィルタ53に対する入射角(本実施形態においては45度)
・第2角度β:減光フィルタ53における屈折角
・フィルタ厚T:減光フィルタ53の厚み
第1屈折率NA×sinα=第2屈折率NB×sinβ
・第1屈折率NA:空気における屈折率
・第2屈折率NB:減光フィルタ53における屈折率
ここで、減光フィルタ53に対するレーザ光Lの入射角は既知である為、第1角度αは既知の値であり、空気及び減光フィルタ53の材質等を特定することもできるので、第1屈折率NA、及び第2屈折率NBは、既知の値である。従って、上述の式により、第2角度βを特定することができる。
10 レーザヘッドユニット
35 出力検出センサ
50 反射ミラーユニット
51 反射ミラー
52 スペーサ
53 減光フィルタ
L レーザ光
I 仮想光路
D シフト量
Claims (4)
- レーザ光を生成するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光を受光することにより、当該レーザ光の出力状態を検出する出力検出手段と、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光を、前記出力検出手段へ反射する反射面を有するミラーと、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光を透過させることにより、当該レーザ光の光強度を減衰させる減光フィルタと、を有し、
前記減光フィルタは、
前記ミラーの反射面と対向し、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光と、前記ミラーの反射面により反射されたレーザ光と、の何れもが透過するように配置されている
ことを特徴とするレーザ出力検出装置。 - 請求項1記載のレーザ出力検出装置であって、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光の光軸は、
前記ミラーの反射面及び前記減光フィルタの表面に対して、所定角度で傾斜している
ことを特徴とするレーザ出力検出装置。 - 請求項1又は請求項2記載のレーザ出力検出装置であって、
前記減光フィルタは、
前記ミラーの反射面に対向しつつ、且つ、前記ミラーの反射面から所定の間隔を隔てた位置に配設されている
ことを特徴とするレーザ出力検出装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れかに記載のレーザ出力検出装置であって、
前記出力検出手段は、
前記減光フィルタを透過し、前記ミラーの反射面によって反射されたレーザ光の屈折によるシフト量に基づく位置に配設されている
ことを特徴とするレーザ出力検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013063657A JP5737312B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | レーザ出力検出装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013063657A JP5737312B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | レーザ出力検出装置 |
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JP5737312B2 JP5737312B2 (ja) | 2015-06-17 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4365896A (en) * | 1980-04-03 | 1982-12-28 | Bethlehem Steel Corp. | Optical attenuation monitor system and method |
JPH0263321A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Yokogawa Electric Corp | 周波数標準器 |
JPH06273738A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Seiko Epson Corp | 反射型液晶表示装置 |
JPH0829252A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-02-02 | Miyachi Technos Corp | レーザ出力検出装置 |
JP2000097643A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Kansai Paint Co Ltd | 膜厚管理方法 |
-
2013
- 2013-03-26 JP JP2013063657A patent/JP5737312B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4365896A (en) * | 1980-04-03 | 1982-12-28 | Bethlehem Steel Corp. | Optical attenuation monitor system and method |
JPH0263321A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Yokogawa Electric Corp | 周波数標準器 |
JPH06273738A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Seiko Epson Corp | 反射型液晶表示装置 |
JPH0829252A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-02-02 | Miyachi Technos Corp | レーザ出力検出装置 |
JP2000097643A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Kansai Paint Co Ltd | 膜厚管理方法 |
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JP5737312B2 (ja) | 2015-06-17 |
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