JP2014182226A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014182226A (ja) 2013-03-18 2014-09-29 Seiko Epson Corp 光スキャナー、アクチュエーター、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2014182225A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Seiko Epson Corp 光スキャナー、アクチュエーター、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
EP3012678A1 (en) * 2014-10-24 2016-04-27 Ricoh Company, Ltd. Light-deflection element, light-deflector, two-dimensional imaging display, optical scanning device, and image forming device
JP6455080B2 (ja) * 2014-10-31 2019-01-23 セイコーエプソン株式会社 光学デバイスおよび画像表示装置
CN105403997A (zh) * 2015-11-19 2016-03-16 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 一种压电驱动二维扫描微镜
TWI638419B (zh) * 2016-04-18 2018-10-11 村田製作所股份有限公司 一種掃描鏡設備與其製造方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3102320B2 (ja) * 1995-09-29 2000-10-23 オムロン株式会社 センサ装置
US6278538B1 (en) * 1997-05-16 2001-08-21 U.S. Philips Corporation Optical scanner
JP4233202B2 (ja) 2000-07-31 2009-03-04 日立ビアメカニクス株式会社 光学スキャナ装置の制御装置
JP2002116403A (ja) * 2000-10-10 2002-04-19 Univ Tokyo 光スキャナ装置
JP3657259B2 (ja) 2001-01-30 2005-06-08 松下電器産業株式会社 可変形ミラー、および当該可変形ミラーを備えた情報装置
JP4104306B2 (ja) 2001-08-13 2008-06-18 日立ビアメカニクス株式会社 スキャナ装置
JP3800161B2 (ja) 2001-10-11 2006-07-26 株式会社デンソー 微小可動機構システムと微小可動機構部の制御方法
US7088492B2 (en) 2001-10-11 2006-08-08 Denso Corporation Micro movable mechanism system and control method for the same
JP3733383B2 (ja) * 2002-01-15 2006-01-11 日産自動車株式会社 2次元光スキャナ
JP4147947B2 (ja) 2003-01-21 2008-09-10 日産自動車株式会社 光走査装置及びこれを用いた物体検出装置、描画装置
JP2005181576A (ja) * 2003-12-18 2005-07-07 Nissan Motor Co Ltd 2次元光スキャナー
US7485485B2 (en) 2004-02-09 2009-02-03 Microvision, Inc. Method and apparatus for making a MEMS scanner
US7442918B2 (en) 2004-05-14 2008-10-28 Microvision, Inc. MEMS device having simplified drive
JP4574396B2 (ja) * 2005-03-02 2010-11-04 キヤノン株式会社 光偏向器
JP4251206B2 (ja) * 2006-09-20 2009-04-08 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP5582518B2 (ja) * 2006-09-27 2014-09-03 独立行政法人産業技術総合研究所 光走査装置
DE102006051197A1 (de) 2006-10-30 2008-05-08 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauelement mit einer Mikroschwingvorrichtung und Verwendung eines Bauelements
JP2008116678A (ja) 2006-11-02 2008-05-22 Sony Corp 表示装置及び表示方法
KR100868758B1 (ko) * 2007-01-15 2008-11-13 삼성전기주식회사 압저항 센서를 구비한 회전형 mems 디바이스
DE102007033000B4 (de) * 2007-07-16 2016-02-04 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauteil mit einem Positionserkennungsbauteil zur Positionsbestimmung und Amplitudenbestimmung eines schwingfähigen Elements
JPWO2010021215A1 (ja) * 2008-08-18 2012-01-26 コニカミノルタオプト株式会社 画像投影装置
JP2010097092A (ja) 2008-10-20 2010-04-30 Canon Inc 揺動体装置、揺動体装置を用いた偏向装置、及び揺動体装置の制御方法
JP5585064B2 (ja) 2008-12-15 2014-09-10 株式会社リコー 2次元光走査装置及び光走査型画像表示装置
JP5300624B2 (ja) * 2009-06-30 2013-09-25 日本信号株式会社 プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置
JP5397184B2 (ja) * 2009-11-19 2014-01-22 コニカミノルタ株式会社 2次元光スキャナ駆動装置
JP5630015B2 (ja) * 2009-12-28 2014-11-26 株式会社ニコン 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
US8559086B2 (en) 2010-02-17 2013-10-15 Microvision, Inc. Piezoresistive sensors for MEMS device having rejection of undesired motion
JP2012053269A (ja) 2010-09-01 2012-03-15 Denso Corp 2次元光走査装置
JP2012237788A (ja) * 2011-05-10 2012-12-06 Konica Minolta Advanced Layers Inc 光走査装置およびそれを備えた画像投影装置
JP2014182226A (ja) 2013-03-18 2014-09-29 Seiko Epson Corp 光スキャナー、アクチュエーター、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ

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