JP2014181881A - 蓄熱式ガス処理装置、及び、蓄熱式ガス処理装置の運転方法 - Google Patents
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- 238000005338 heat storage Methods 0.000 title claims abstract description 242
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 70
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 68
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 41
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 40
- 239000011232 storage material Substances 0.000 claims description 24
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 18
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 3
- 230000005068 transpiration Effects 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E20/00—Combustion technologies with mitigation potential
- Y02E20/34—Indirect CO2mitigation, i.e. by acting on non CO2directly related matters of the process, e.g. pre-heating or heat recovery
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Abstract
【解決手段】回転切換弁18を回転させる駆動モータ19を制御するモータ制御手段として、回転切換弁18を所定の回転動作パターンで切り換わり動作させる設定駆動パターンに従って駆動モータ19の各時点における回転位置rsを指令する位置指令手段31と、駆動モータ19の現時点における実際の回転位置rを検出する位置検出手段32と、位置指令手段31による現時点の指令回転位置rsと位置検出手段による現時点の検出回転位置rとの偏差に応じて駆動モータ19を駆動するモータ駆動手段33とを設ける。
【選択図】図6
Description
蓄熱室8夫々の他端に対する接続風路を給気路10と排気路11とに切り換えて複数の蓄熱室8のうちの一部の蓄熱室8を給気路10に連通する入口側蓄熱室8iにすると同時に、他の一部の蓄熱室8を排気路11に連通する出口側蓄熱室8oにする回転切換弁18を設け、
駆動モータ19による回転切換弁18の回転により、入口側蓄熱室8iとする蓄熱室8及び出口側蓄熱室8oとする蓄熱室8をともに複数の蓄熱室8のうちで順次に切り換える蓄熱式ガス処理装置、及び、その蓄熱式ガス処理装置の運転方法に関する。
蓄熱材層を収容した複数の蓄熱室を設け、燃焼器を備える共通の燃焼室に前記蓄熱室夫々の一端を連通させ、
前記蓄熱室夫々の他端に対する接続風路を給気路と排気路とに切り換えて複数の前記蓄熱室のうちの一部の蓄熱室を前記給気路に連通する入口側蓄熱室にすると同時に、他の一部の蓄熱室を前記排気路に連通する出口側蓄熱室にする回転切換弁を設け、
駆動モータによる前記回転切換弁の回転により、前記入口側蓄熱室とする蓄熱室及び前記出口側蓄熱室とする蓄熱室をともに複数の前記蓄熱室のうちで順次に切り換える蓄熱式ガス処理装置であって、
前記駆動モータを制御するモータ制御手段として、前記回転切換弁を所定の回転動作パターンで切り換わり動作させる設定駆動パターンに従って前記駆動モータの各時点における回転位置を指令する位置指令手段と、
前記駆動モータの現時点における実際の回転位置を検出する位置検出手段と、
前記位置指令手段による現時点の指令回転位置と前記位置検出手段による現時点の検出回転位置との偏差に応じて前記駆動モータを駆動するモータ駆動手段とを設けてある点にある。
前記設定駆動パターンは、設定加速時間をかけて前記駆動モータの回転速度を0から目標回転速度にまで増加させる起動加速区間部分と、この起動加速区間部分に続き設定定速時間にわたって前記駆動モータの回転速度を前記目標回転速度に保つ定速区間部分と、この定速区間部分に続き設定減速時間をかけて前記駆動モータの回転速度を前記目標回転速度から0にまで減少せる減速停止区間部分と、この減速停止区間部分に続き設定停止時間にわたって前記駆動モータの回転速度を0に保つ停止保持区間部分とに区分してある点にある。
前記設定駆動パターンは設定単位パターンの繰り返しにより形成し、
この設定単位パターンを、前記起動加速区間部分と前記定速区間部分と前記減速停止区間部分と前記停止保持区間部分とに区分してある点にある。
前記位置指令手段に対して前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間と前記設定停止時間との夫々を設定するパターン設定手段を設け、
前記位置指令手段は、このパターン設定手段による時間設定に応じて前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間と前記設定停止時間との夫々を変更する構成にしてある点にある。
前記位置指令手段は、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との夫々が前記パターン設定手段により設定されるとともに、それら設定加速時間と設定定速時間と設定減速時間との合計時間の間における前記駆動モータの必要回転量が前記パターン設定手段により設定されると、前記合計時間の間に前記必要回転量だけ前記駆動モータを回転させるのに要する前記目標回転速度を自動演算する構成にしてある点にある。
前記位置指令手段は、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との合計時間の間における前記駆動モータの必要回転量が前記パターン設定手段により設定されるとともに、前記目標回転速度が前記パターン設定手段により設定されると、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との夫々を自動演算する構成にしてある点にある。
3室以上の前記蓄熱室夫々の他端を各別に連通させた3口以上の通気口を、前記回転切換弁の回転方向に等ピッチで並べて固定弁部に形成するとともに、
前記回転切換弁の前記固定弁部に対する摺接部に、前記給気路に連通する給気口とパージ路に連通するパージ口と前記排気路に連通する排気口とを、その順に前記回転切換弁の回転方向に並べて形成しておき、
前記給気路を通じて被処理ガスを前記回転切換弁に送るとともに処理済ガスを前記回転切換弁から前記排気路に送出するガス処理運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記回転切換弁を前記通気口の並びピッチ分ずつ間欠回転させるガス処理用の間欠回転を実施し、
このガス処理用の間欠回転により、そのガス処理用の間欠回転における回転停止ごとに前記給気口と前記パージ口と前記排気口との各々を互いに異なる前記通気口に対向連通させる形態で、それら給気口とパージ口と排気口との各々を前記回転切換弁の回転方向に並ぶ前記通気口の夫々に対して順次に対向連通させる点にある。
前記給気路を通じて空焼き用の清浄空気を前記回転切換弁に送るとともに使用済空気を前記回転切換弁から前記排気路に送出する蓄熱室浄化用の空焼き運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記ガス処理用の間欠回転よりも各回の回転停止時間を長くした状態で、前記回転切換弁を前記通気口の並びピッチ分ずつ間欠回転させる空焼き用の間欠回転を実施し、
この空焼き用の間欠回転により、その空焼き用の間欠回転における回転停止ごとに前記給気口と前記パージ口と前記排気口との各々を互いに異なる前記通気口に対向連通させる形態で、それら給気口とパージ口と排気口との各々を前記回転切換弁の回転方向に並ぶ前記通気口の夫々に対して順次に対向連通させる点にある。
前記給気路を通じて空焼き用の清浄空気を前記回転切換弁に送るとともに使用済空気を前記回転切換弁から前記排気路に送出する蓄熱室浄化用の空焼き運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記ガス処理用の間欠回転における回転停止位置よりも前記通気口の並びピッチの1/2分だけ外れた第1回転停止位置で前記回転切換弁を所要空焼き時間だけ回転停止させ、その後、前記回転切換弁を180°だけ回転させた第2回転停止位置で再び前記回転切換弁を所要空焼き時間だけ回転停止させる空焼き用の反転回転を実施し、
この空焼き用の反転回転により、前記第1回転停止位置では半数の前記通気口を前記排気口に連通させるとともに、残りの半数の通気口を前記給気口に連通させ、
前記第2回転停止位置では前記第1回転停止位置で前記排気口に連通させた半数の前記通気口を前記給気口に連通させるとともに、前記第1回転停止位置で前記給気口に連通させた残りの半数の前記通気口を前記排気口に連通させる点にある。
次に本発明の別の実施形態を列記する。
なお、この場合、ガス処理運転時と空焼き運転時とで回転切換弁18の回転方向を逆にしてもよい。
8 蓄熱室
5a 燃焼器
5 燃焼室
10 給気路
11 排気路
8i 入口側蓄熱室
8o 出口側蓄熱室
18 回転切換弁
19 駆動モータ
Ls 設定駆動パターン
rs 指令回転位置
31 位置指令手段
r 検出回転位置
32 位置検出手段
Δr 偏差
33 モータ駆動手段
v 回転速度
vm 目標回転速度
d1 起動加速区間部分
d2 定速区間部分
d3 減速停止区間部分
d4 停止保持区間部分
T1 設定加速時間
T2 設定定速時間
T3 設定減速時間
T4 設定停止時間
L 設定単位パターン
34 パターン設定手段
22a 通気口
p 並びピッチ
21 固定弁部
20 摺接部
23a 給気口
28 パージ路
25a パージ口
24a 排気口
G 被処理ガス
G′ 処理済ガス
OA 空焼き用清浄空気
OA′ 使用済空気
S1 第1回転停止位置
S2 第2回転停止位置
Ta,Tb 空焼き時間
Claims (9)
- 蓄熱材層を収容した複数の蓄熱室を設け、燃焼器を備える共通の燃焼室に前記蓄熱室夫々の一端を連通させ、
前記蓄熱室夫々の他端に対する接続風路を給気路と排気路とに切り換えて複数の前記蓄熱室のうちの一部の蓄熱室を前記給気路に連通する入口側蓄熱室にすると同時に、他の一部の蓄熱室を前記排気路に連通する出口側蓄熱室にする回転切換弁を設け、
駆動モータによる前記回転切換弁の回転により、前記入口側蓄熱室とする蓄熱室及び前記出口側蓄熱室とする蓄熱室をともに複数の前記蓄熱室のうちで順次に切り換える蓄熱式ガス処理装置であって、
前記駆動モータを制御するモータ制御手段として、前記回転切換弁を所定の回転動作パターンで切り換わり動作させる設定駆動パターンに従って前記駆動モータの各時点における回転位置を指令する位置指令手段と、
前記駆動モータの現時点における実際の回転位置を検出する位置検出手段と、
前記位置指令手段による現時点の指令回転位置と前記位置検出手段による現時点の検出回転位置との偏差に応じて前記駆動モータを駆動するモータ駆動手段とを設けてある蓄熱式ガス処理装置。 - 前記設定駆動パターンは、設定加速時間をかけて前記駆動モータの回転速度を0から目標回転速度にまで増加させる起動加速区間部分と、この起動加速区間部分に続き設定定速時間にわたって前記駆動モータの回転速度を前記目標回転速度に保つ定速区間部分と、この定速区間部分に続き設定減速時間をかけて前記駆動モータの回転速度を前記目標回転速度から0にまで減少せる減速停止区間部分と、この減速停止区間部分に続き設定停止時間にわたって前記駆動モータの回転速度を0に保つ停止保持区間部分とに区分してある請求項1記載の蓄熱式ガス処理装置。
- 前記設定駆動パターンは設定単位パターンの繰り返しにより形成し、
この設定単位パターンを、前記起動加速区間部分と前記定速区間部分と前記減速停止区間部分と前記停止保持区間部分とに区分してある請求項2記載の蓄熱式ガス処理装置。 - 前記位置指令手段に対して前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間と前記設定停止時間との夫々を設定するパターン設定手段を設け、
前記位置指令手段は、このパターン設定手段による時間設定に応じて前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間と前記設定停止時間との夫々を変更する構成にしてある請求項2又は3記載の蓄熱式ガス処理装置。 - 前記位置指令手段は、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との夫々が前記パターン設定手段により設定されるとともに、それら設定加速時間と設定定速時間と設定減速時間との合計時間の間における前記駆動モータの必要回転量が前記パターン設定手段により設定されると、前記合計時間の間に前記必要回転量だけ前記駆動モータを回転させるのに要する前記目標回転速度を自動演算する構成にしてある請求項4記載の蓄熱式ガス処理装置。
- 前記位置指令手段は、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との合計時間の間における前記駆動モータの必要回転量が前記パターン設定手段により設定されるとともに、前記目標回転速度が前記パターン設定手段により設定されると、前記設定加速時間と前記設定定速時間と前記設定減速時間との夫々を自動演算する構成にしてある請求項4記載の蓄熱式ガス処理装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載した蓄熱式ガス処理装置の運転方法であって、
3室以上の前記蓄熱室夫々の他端を各別に連通させた3口以上の通気口を、前記回転切換弁の回転方向に等ピッチで並べて固定弁部に形成するとともに、
前記回転切換弁の前記固定弁部に対する摺接部に、前記給気路に連通する給気口とパージ路に連通するパージ口と前記排気路に連通する排気口とを、その順に前記回転切換弁の回転方向に並べて形成しておき、
前記給気路を通じて被処理ガスを前記回転切換弁に送るとともに処理済ガスを前記回転切換弁から前記排気路に送出するガス処理運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記回転切換弁を前記通気口の並びピッチ分ずつ間欠回転させるガス処理用の間欠回転を実施し、
このガス処理用の間欠回転により、そのガス処理用の間欠回転における回転停止ごとに前記給気口と前記パージ口と前記排気口との各々を互いに異なる前記通気口に対向連通させる形態で、それら給気口とパージ口と排気口との各々を前記回転切換弁の回転方向に並ぶ前記通気口の夫々に対して順次に対向連通させる蓄熱式ガス処理装置の運転方法。 - 前記給気路を通じて空焼き用の清浄空気を前記回転切換弁に送るとともに使用済空気を前記回転切換弁から前記排気路に送出する蓄熱室浄化用の空焼き運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記ガス処理用の間欠回転よりも各回の回転停止時間を長くした状態で、前記回転切換弁を前記通気口の並びピッチ分ずつ間欠回転させる空焼き用の間欠回転を実施し、
この空焼き用の間欠回転により、その空焼き用の間欠回転における回転停止ごとに前記給気口と前記パージ口と前記排気口との各々を互いに異なる前記通気口に対向連通させる形態で、それら給気口とパージ口と排気口との各々を前記回転切換弁の回転方向に並ぶ前記通気口の夫々に対して順次に対向連通させる請求項7記載の蓄熱式ガス処理装置の運転方法。 - 前記給気路を通じて空焼き用の清浄空気を前記回転切換弁に送るとともに使用済空気を前記回転切換弁から前記排気路に送出する蓄熱室浄化用の空焼き運転では、前記所定回転動作パターンでの前記回転切換弁の切り換わり動作として、
前記位置指令手段と前記位置検出手段と前記モータ駆動手段とによる前記駆動モータの制御により、前記ガス処理用の間欠回転における回転停止位置よりも前記通気口の並びピッチの1/2分だけ外れた第1回転停止位置で前記回転切換弁を所要空焼き時間だけ回転停止させ、その後、前記回転切換弁を180°だけ回転させた第2回転停止位置で再び前記回転切換弁を所要空焼き時間だけ回転停止させる空焼き用の反転回転を実施し、
この空焼き用の反転回転により、前記第1回転停止位置では半数の前記通気口を前記排気口に連通させるとともに、残りの半数の通気口を前記給気口に連通させ、
前記第2回転停止位置では前記第1回転停止位置で前記排気口に連通させた半数の前記通気口を前記給気口に連通させるとともに、前記第1回転停止位置で前記給気口に連通させた残りの半数の前記通気口を前記排気口に連通させる請求項7記載の蓄熱式ガス処理装置の運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013058355A JP6086316B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 蓄熱式ガス処理装置、及び、蓄熱式ガス処理装置の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013058355A JP6086316B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 蓄熱式ガス処理装置、及び、蓄熱式ガス処理装置の運転方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014181881A true JP2014181881A (ja) | 2014-09-29 |
JP6086316B2 JP6086316B2 (ja) | 2017-03-01 |
Family
ID=51700766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013058355A Active JP6086316B2 (ja) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | 蓄熱式ガス処理装置、及び、蓄熱式ガス処理装置の運転方法 |
Country Status (1)
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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