JP2014179595A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トレンチ埋め込み法で超接合である並列pn層20を形成し、その上部のn型半導体層2(n型カラム)にイオン注入して高濃度n型半導体領域11を形成することで、エピタキシャル層で形成した高濃度n型半導体層の場合に比べて、Eoffとターンオフdv/dtとのトレードオフ関係を改善することができる。また、従来の多段エピタキシャル法で超接合を形成する場合のような、冗長な工程の繰り返しが無くなるために、工程が短縮化され低コスト化ができる。
【選択図】 図1
Description
上述のドレードオフ関係による問題の解決法として、ドリフト層を、不純物濃度を高めたn型半導体層とp型半導体層とを交互に繰り返して接合した並列pn層からなる超接合を備えた半導体装置がある。
(1)まず、図17に示すように、n型半導体基板101の上に高抵抗なn型半導体層201をエピタキシャル成長する。このエピタキシャル層であるn型半導体層201にパターニングとイオン注入を行い、p型イオン注入層207とn型イオン注入層208を形成する。
(2)次に、図18に示すように、(1)の工程を繰り返すことにより、p型イオン注入層206とn型イオン注入層208を有する半導体層を複数段積層する(半導体層201〜205)。
(3)そして、図19に示すように、熱処理(ドライブ)によって、p型イオン注入層207およびn型イオン注入層208のそれぞれの不純物を拡散させると、各半導体層のイオン注入層が不純物の拡散によって上下でつながり、p型半導体層209とn型半導体層210を有する並列pn層120である超接合が形成される。これは多段エピタキシャル法と称される並列pn層120の形成方法である。
この特許文献4では、第1導電型半導体基板に上部にテーパーを有するトレンチを形成し、前記テーパーに対して第1導電型の不純物をイオン注入する。その後、トレンチを第2導電型のエピタキシャル層で充填する。このイオン注入でトレンチの底部の側壁まで不純物イオンが到達するように、トレンチの上部にテーパーを付けて開口部を広げる。その後、トレンチを第2導電型のエピタキシャル層で充填する。これにより並列pn層を形成し、表面層に第2導電型の半導体層を形成し、この半導体層の表面層にエミッタ層(またはソース層)、ゲート電極を形成する。
前記第1導電型半導体層の上部に該第1導電型半導体層の下部より不純物濃度が高く前記第2導電型半導体層と接する高濃度第1導電型半導体領域を有し、前記高濃度第1導電型半導体領域の前記半導体基板の表面に平行方向において、前記高濃度第1導電型半導体領域の不純物濃度が前記第2導電型半導体層と接する側の方が中央側よりも高く、前記高濃度第1導電型半導体領域の平均厚さが、前記第1導電型半導体層の表面から前記第2導電型半導体層の底面までの距離の1/2以下である構成とする。
θ≦tan−1L/(2W)とするとよい。
pベース領域103、p+コンタクト領域105、n+ソース領域106を備える。また、n型半導体層2とn+ソース領域106の間のpベース領域103の表面にゲート絶縁膜107を介してゲート電極108が形成されている。さらに、ゲート電極108を覆うように層間絶縁膜109が形成され、n+ソース領域106およびp+コンタクト領域
105に接するソース電極110を備える。
並列pn層20は、表面構造104とn+ドレイン領域111との間に設けられ、並列pn層20のn型半導体層2(n型カラム)の上部には、イオン注入で形成した高濃度n型半導体領域11が形成されている。
(1)図3に示すように、高濃度のnドレイン層となるn型半導体基板1(Si:シリコン)上に、例えば、45μm程度のn型半導体層2a(Si)をエピタキシャル成長した後、酸化膜3a(SiO2)を成膜する。
(2)図4に示すように、酸化膜3aに、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングを行て開口部4aを有する酸化膜3を形成する。パターニングの平面形状としては、ここでは一例として、開口部幅W6μm、繰り返しピッチT(SJピッチ)12μmのラインアンドスペース形状とする。尚、ラインアンドスペース形状とは図12に示すようなストライプ状のトレンチ5とこのトレンチ5で挟まれたストライプ状のピラー部Kから構成される形状のことである。その後、ドライエッチング法(ICP:Ion chemical Polishing)によって、開口部4aを有する酸化膜3をマスクに用いて、開口部4aから露出したn型半導体層2aをエッチングして、n型半導体層2aの表面から、例えば、40μm程度の深さLとなるような開口部4(開口部幅=6μm)のトレンチ5を形成する。n型半導体基板1とトレンチ5の底面5aとの間Fには5μm程度のn型半導体層2aが残存する。このトレンチ5のアスペクト比は40μm/6μm=7程度である。トレンチ5を形成した後のn型半導体層2aはn型半導体層2となり、このn型半導体層2はF部を除いてn型カラムGとなる。
(3)図5に示すように、斜めイオン注入法を用いて、トレンチ5の側壁6の上部に向かって斜めにリン不純物7をイオン注入する。n型半導体層2の表面2b(=酸化膜3の表面)に対して、例えば、49°の角度θで斜めイオン注入8(単にイオン注入8と称することもある)を行う。トレンチ5の肩部9(開口部4上端)のシャドーイング効果(マスク効果)によって、7μmの深さまでのトレンチ5の側壁6にn型不純物であるリン不純物7がイオン注入されて、トレンチ5上部側壁にイオン注入層10が形成される。このイオン注入層10が形成される箇所の長さ(イオン注入層の長さQ)は7μmであるので、トレンチ深さLの7/40=0.18倍程度となる。
前記の(1)式において、例えば、先ほどの説明では開口部幅W(=トレンチ幅)を6μmとしたが、さらに開口部幅Wとトレンチ5のピッチTを狭くすることで、耐圧とオン抵抗のトレードオフ関係を改善することができる。開口部幅Wを4μmとした場合には、トレンチ深さLはそのまま(L=40)とすれば、イオン注入する角度θは、θ≦78.6°とすれば良い。前記の開口部幅Wを一定にした場合、トレンチ深さLが大きくなると角度θは大きくなる。ここで、実際にはマスク材の厚さdが加わることになるが、トレン
チ深さLは40μm程度でマスク材の厚さdは1μm程度であり、近似的にtan−1((L+d)/(2W))≒tan−1(L/(2W))としても大きな差は無い。
(4)図6に示すように、その後、熱処理して、イオン注入層10のリン不純物7が拡散して高濃度n型半導体領域11が形成される。この高濃度n型半導体領域11の平均厚さDはイオン注入層10の長さQにほぼ等しいため、トレンチ深さLの1/6(=7μm/40μm)程度となる。本発明の狙いは、この高濃度n型半導体領域11をn型半導体層2の上部にイオン注入で形成し、高濃度n型半導体領域11の平均厚さDをトレンチ深さLに対して1/2以下にすることである。この条件を満たす範囲内(前記の1/2以下)で入射角度(角度θ)を調整して高濃度n型半導体領域11の平均厚さDを調整する。
(5)図7に示すように、トレンチ5内にエピタキシャル成長で均一な不純物濃度でp型半導体層12(p型カラム)を埋め込む。このp型半導体層12の不純物濃度は均一であり、n型半導体層2(n型カラム)とのチャージバランスがとれる不純物濃度にする。チャージバランスがとれるということは、n型半導体層2とp型半導体層12がほぼ同時に全域で空乏化することを意味する。この形成過程でトレンチ5は完全にp型半導体層12で埋まり酸化膜3上を含む表面全域にもこのp型半導体層12は形成される。
(6)図8に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により酸化膜3が露出するまで、p型半導体層12を削り除去する。
(7)図9に示すように、p型半導体層12の上部をエッチバックし、n型半導体層2とp型半導体層12の高さを揃える。
(8)図10に示すように、酸化膜3をHF(フッ化水素酸)液などにより除去する。ここまでの工程により、高濃度n型半導体領域11を有する並列pn層20が形成される。
図13は、n型半導体層2(n型カラム)の空乏層30の広がりを説明した図であり、同図(a)は高濃度n型半導体領域11がない場合、同図(b)はイオン注入法で形成した高濃度n型半導体領域11がある場合の図である。矢印は空乏層端30aが広がる方向を示す。
前記したトレンチ埋め込み法とイオン注入法を用いて形成した高濃度n型半導体領域11の場合、高濃度n型半導体領域11の平均厚さDがトレンチ深さLの1/2超となると、チャージアンバランスが大きくなり図示するように耐圧低下を招く。そのため、高濃度n型半導体領域11の平均厚さDはトレンチ深さLの1/2以下にするのがよい。また、トレンチ深さLの1/4以下とすると、チャージアンバランスが改善されるので耐圧的に好ましい。
2 n型半導体層(トレンチ形成後:n型カラム)
2a n型半導体層(トレンチ形成する前)
3 酸化膜(開口部4a形成後)
3a 酸化膜(開口部4a形成前)
4 開口部(n型半導体層2aに形成)
4a 開口部(酸化膜3aに形成)
5 トレンチ
5a トレンチの底面 6 側壁
7 リン不純物
8 斜めイオン注入
9 トレンチの肩
10 イオン注入層
11 高濃度n型半導体領域
11a 高濃度n型半導体領域11の底面
12 p型半導体層(p型カラム)
20 並列pn層
30 空乏層
W トレンチの開口部幅
L トレンチ深さ
Q イオン注入層10の長さ
T トレンチのピッチ
K ピラー部
M 平均となる平面
100,200 半導体装置
Claims (10)
- 第1導電型半導体基板上に配置される第1導電型半導体層に複数配置される複数のトレンチと、該トレンチに埋め込まれた第2導電型半導体層と、前記第1導電型半導体層と該第1導電型半導体層と接する前記第2導電型半導体層が前記半導体基板の表面に平行な水平方向に交互に配置された並列pn層からなる超接合を有する半導体装置において、
前記第1導電型半導体層の上部に該第1導電型半導体層の下部より不純物濃度が高く前記第2導電型半導体層と接する高濃度第1導電型半導体領域を有し、前記高濃度第1導電型半導体領域の前記半導体基板の表面に平行方向において、前記高濃度第1導電型半導体領域の不純物濃度が前記第2導電型半導体層と接する側の方が中央側よりも高く、前記高濃度第1導電型半導体領域の平均厚さが、前記第1導電型半導体層の表面から前記第2導電型半導体層の底面までの距離の1/2以下であることを特徴とする半導体装置。 - 前記高濃度第1導電型半導体領域内の不純物濃度分布は前記半導体基板の表面に平行な水平方向に誤差関数分布を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板表面からの前記高濃度第1導電型半導体領域の平均厚さが、前記第1導電型半導体層表面から前記第2導電型半導体層の底面までの距離の1/4以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記高濃度第1導電型半導体領域の底面が波型であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第1導電型半導体基板上に配置される第1導電型半導体層に複数配置される複数のトレンチと、該トレンチに埋め込まれた第2導電型半導体層と、前記第1導電型半導体層と該第1導電型半導体層と接する前記第2導電型半導体層が前記半導体基板の表面に平行な水平方向に交互に配置された並列pn層からなる超接合を有し、前記第1導電型半導体層の上部に該第1導電型半導体層より不純物濃度が高い高濃度第1導電型半導体領域を有する半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの側壁上部に斜めイオン注入で第1導電型不純物からなるイオン注入層を形成する工程と、
前記トレンチを前記第2導電型半導体層で埋め込む工程と、
前記イオン注入層を熱処理することで高濃度第1導電型半導体領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記熱処理を、前記イオン注入する工程の後、前記トレンチに前記第2導電型半導体層を埋め込む前に、行うことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理を、前記イオン注入する工程の後、前記トレンチに前記第2導電型半導体層を埋め込んだ後に、前記熱処理を行うことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板表面に対する前記イオン注入角度をθ(°)、前記トレンチの開口部幅をW(μm)、前記とトレンチ深さをL(μm)としたとき、
θ≦tan−1(L/(2W))とすることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記高濃度第1導電型半導体領域の前記第1導電型半導体層表面からの厚さが、前記トレンチ深さの1/2以下であることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度第1導電型半導体領域の前記第1導電型半導体層表面からの厚さが、前記トレンチ深さの1/4以下であることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
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