JP2014175535A - 静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
静電チャック装置を大型化することなく、静電チャックと台座部とを接着する接着部が侵食されることをより確実に抑制することができる静電チャック装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
台座部と、
前記台座部上に配置された静電チャックと、
前記台座部と、前記静電チャックとの間に設けられ、前記台座部と前記静電チャックとを接着する樹脂接着剤が配置された接着部と、
前記台座部及び前記静電チャックの側面の、前記接着部を含む領域に、前記台座部及び前記静電チャックの外周に沿って設けられた凹部と、
前記凹部に嵌合して設けられ、前記接着部を覆うフォーカスリングと、を有する静電チャック装置を提供する。
【選択図】図2
Description
前記台座部上に配置された静電チャックと、
前記台座部と、前記静電チャックとの間に設けられ、前記台座部と前記静電チャックとを接着する樹脂接着剤が配置された接着部と、
前記台座部及び前記静電チャックの側面の、前記接着部を含む領域に、前記台座部及び前記静電チャックの外周に沿って設けられた凹部と、
前記凹部に嵌合して設けられ、前記接着部を覆うフォーカスリングと、を有する静電チャック装置を提供する。
21 台座部
22 接着部
23 静電チャック
24 凹部
25 フォーカスリング
41 上部フォーカスリング
Claims (4)
- 台座部と、
前記台座部上に配置された静電チャックと、
前記台座部と、前記静電チャックとの間に設けられ、前記台座部と前記静電チャックとを接着する樹脂接着剤が配置された接着部と、
前記台座部及び前記静電チャックの側面の、前記接着部を含む領域に、前記台座部及び前記静電チャックの外周に沿って設けられた凹部と、
前記凹部に嵌合して設けられ、前記接着部を覆うフォーカスリングと、を有する静電チャック装置。 - 前記フォーカスリングは複数に分割できる請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記フォーカスリングは環状形状を有しており、その周方向に複数に分割することができる請求項1または2に記載の静電チャック装置。
- 前記フォーカスリングの上部には、上部フォーカスリングが設けられている請求項1乃至3いずれか一項に記載の静電チャック装置。
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