JP2014160705A - 配線基板、これを用いた実装構造体、これを用いた電子装置および配線基板の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 95
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 71
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 71
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 66
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 66
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 66
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 16
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 11
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical class [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】本発明の一形態における配線基板6は、複数の絶縁層8と、絶縁層8上に配された複数の導電層9と、絶縁層8を厚み方向に貫通するとともに導電層9に接続した複数のビア導体10とを備え、複数の絶縁層8は、最外層に配されて一対をなす第1絶縁層8aおよび第2絶縁層8bを有し、第1絶縁層8aは、第2絶縁層8bとは反対側に配された一主面17と、一主面17から窪んだ凹部18とを有し、複数の導電層9は、凹部18に配されているとともに第1絶縁層8aの一主面17よりも凹部18の内側に位置する第1パッド9aを有し、凹部18の内壁19と第1絶縁層8aの一主面17との間の角部20が曲面状である。その結果、外部回路基板3との接続信頼性に優れた配線基板6を得ることができる。
【選択図】図1
Description
0とを備えている。
の一部が配された無機絶縁層12とを含んでおり、樹脂層11は、凹部18を有する。その結果、無機絶縁層12によって配線基板6を低熱膨張率かつ高剛性とするとともに、樹脂層11が凹部18を有することによって、第1絶縁層8aに凹部18を容易に形成できる。また、無機絶縁層12によって、第1絶縁層8aの厚み方向における熱膨張率を低減することができるため、第1ビア導体10aと第1絶縁層8aとの厚み方向における熱膨張率の差が小さくなる。したがって、第1ビア導体10aと導電層9との接続部の破壊を抑制することができる。
。その結果、開気孔の間隙16を容易に形成することができる。なお、第1無機絶縁粒子15a同士を強固に接続することができる温度は、例えば、第1無機絶縁粒子15aの平均粒径を110nm以下に設定した場合は250℃程度であり、第1無機絶縁粒子15aの平均粒径を15nm以下に設定した場合は150℃程度である。
、実装構造体2を外部回路基板3に搭載して、図1(a)に示した電子装置1を作製する。
2 実装構造体
3 外部回路基板
4 第1バンプ
5 電子部品
6 配線基板
7 第2バンプ
8 絶縁層
8a 第1絶縁層
8b 第2絶縁層
9 導電層
9a 第1パッド
9b 第2パッド
9c ランド
10 ビア導体
10a 第1ビア導体
11 樹脂層
12 無機絶縁層
13 樹脂
14 フィラー粒子
15 無機絶縁粒子
15a 第1無機絶縁粒子
15b 第2無機絶縁粒子
16 間隙
17 第1絶縁層の一主面
18 凹部
19 凹部の内壁
20 凹部の内壁と第1絶縁層の一主面との間の角部
21 開口部
22 第1パッドの一主面
23 隙間
24 第1絶縁層の他主面
25 凹部の底面
26 凹部の内壁と凹部の底面との間の角部
27 第1パッドの他主面
28 第1パッドの側面
29 支持シート
30 樹脂層前駆体
31 積層シート
32 金属箔
33 支持体
34 接着剤
35 金属箔の一主面
36 金属箔の他主面
37 凸部
38 ビア孔
39 金属箔の一主面と凸部との間の角部
40 多数個取り配線基板
41 切込み
Claims (9)
- 複数の絶縁層と、該絶縁層上に配された複数の導電層と、前記絶縁層を厚み方向に貫通するとともに前記導電層に接続した複数のビア導体とを備え、
前記複数の絶縁層は、最外層に配されて一対をなす第1絶縁層および第2絶縁層を有し、前記第1絶縁層は、前記第2絶縁層とは反対側に配された一主面と、該一主面から窪んだ凹部とを有し、
前記複数の導電層は、前記凹部に配されているとともに前記第1絶縁層の前記一主面よりも前記凹部の内側に位置する第1パッドを有し、
前記凹部の内壁と前記第1絶縁層の前記一主面との間の角部が曲面状であることを特徴とする配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板において、
前記凹部の幅は、前記第1絶縁層の前記一主面側から前記第1絶縁層の他主面側に向かって小さくなっていることを特徴とする配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板において、
前記第1絶縁層は、前記第1絶縁層の前記一主面側に配された樹脂層と、前記第1絶縁層の他主面側に配された、一部が互いに接続した複数の無機絶縁粒子を有するとともに該複数の無機絶縁粒子同士の間隙に前記樹脂層の一部が配された無機絶縁層とを含んでおり、前記樹脂層は、前記凹部を有することを特徴とする配線基板。 - 請求項3に記載の配線基板において、
前記複数のビア導体は、前記第1絶縁層を厚み方向に貫通するとともに前記第1パッドに接続した第1ビア導体を有しており、
前記複数の導電層は、前記第1絶縁層の前記他主面に配されているとともに前記第1ビア導体に接続したランドを含んでいることを特徴とする配線基板。 - 請求項4に記載の配線基板において、
前記第1ビア導体の幅は、前記第1絶縁層の前記一主面側から前記第1絶縁層の前記他主面側に向かって大きくなっていることを特徴とする配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板において、
前記第1パッドは、バンプを介して外部回路基板に電気的に接続されることを特徴とする配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板と、該配線基板に実装された電子部品とを備え、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層とは反対側に配された一主面を有し、
前記複数の導電層は、前記第2絶縁層の前記第1主面上に配された第2パッドを有し、
前記電子部品は、前記第2パッドに電気的に接続していることを特徴とする実装構造体。 - 請求項7に記載の実装構造体と、該実装構造体が搭載された外部回路基板と、前記実装構造体の前記配線基板と前記外部回路基板との間に介在したバンプとを備え、
前記第1パッドは、前記バンプを介して前記外部回路基板に電気的に接続していることを特徴とする電子装置。 - 金属箔の一主面をエッチングすることによって、前記金属箔の前記一主面から突出するとともに前記金属箔の前記一主面との間の角部が曲面状である凸部を形成する工程と、
前記金属箔の前記一主面を覆う一主面および前記凸部を覆うとともに前記凸部に対応した形状である凹部を有する第1絶縁層を形成する工程と、
前記金属箔の他主面をエッチングすることによって、前記第1絶縁層の前記一主面を露出させつつ、前記第1絶縁層の前記一主面よりも前記凹部の内側に位置する前記凸部の一部を残存させて、前記凸部の前記一部からなる第1パッドを形成する工程とを備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013029833A JP6105316B2 (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013029833A JP6105316B2 (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 電子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014160705A true JP2014160705A (ja) | 2014-09-04 |
JP6105316B2 JP6105316B2 (ja) | 2017-03-29 |
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ID=51612209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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JP6105316B2 (ja) | 2017-03-29 |
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