JP2008021944A - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】自身の接続用電極15bが、CSP10aの接続用電極15aと逆向きに位置するようにCSP10bを配置し、CSP10a、10bを挟むように多層回路部21a、21bを配置し、CSP10aの接続用電極15aを多層回路部21aに接続し、CSP10bの接続用電極15bを多層回路部21bに接続することで、配線が多層配線基板の片面に集中して反りが発生することが防止される。
【選択図】図1
Description
しかし、ベアチップを内蔵する半導体装置においては、チップの選別(良否判定)技術が確立されておらず、良品チップの供給が困難であり、歩留まりに課題があった。
図12は、CSPを内蔵した従来の多層配線基板の製造工程の概略を示す断面図である。
また、以下のような課題もあった。
図12と同様の構成要素については同一符号としている。例えば、CSP50bがキャパシタの機能を有している場合、CPU70をその真下に接続することで、低インダクタンス化が可能になる。しかし、従来の多層配線基板では、接続用の半田バンプ63が片面のみにあるので、図13のようにCPU70を接続した場合、構造上、マザーボードなどを2次実装できなかった。そのため、構造上、高密度実装が困難であった。
また、本発明の他の目的は、外付け電子部品の搭載を容易にし、高密度実装が可能な多層配線基板の製造方法を提供することである。
図1は、第1の実施の形態の多層配線基板の構成を示す図である。
第1の実施の形態の多層配線基板は、CSP10a、10bと、コア層20、多層回路部21a、21bを有している。
例えば、CSP10bがキャパシタの機能を有している場合、図2のように、CPU25を半田バンプ26によって多層回路部21bに接続し、CSP10bの直上に配置することによって、低インダクタンス化を達成できる。また、このような構造にしても反対面の多層回路部21aにマザーボードなどの2次実装が可能となり、高密度実装が期待できる。
図3は、CSPをチップ搭載面同士が対面するように配置した多層配線基板の例を示す図である。
図3で示す多層配線基板では、多層回路部21aに接続するCSP10a−1、10a−2と、多層回路部21bに接続するCSP10b−1、10b−2とが、互いにチップ搭載面同士が対面するように配置され、コア層20aの凹部に嵌合され固定されている。このような配置にすることで、少ない面積に多くのCSP10a−1、10a−2、10b−1、10b−2を搭載でき、高密度実装が可能となるとともに、多層配線基板の反りも防止できる。
なお、以下では図1と同じ構成要素については同一符号としている。
図4は、CSPを配置する工程を示す断面図である。
例えば、貫通開口部を有するガラス繊維強化樹脂を硬化させた積層体2枚の間に、貫通開口部を形成していないガラス繊維強化樹脂を硬化させた積層体を貼り付けることで、コア層20を形成する。貼り付ける方法としては、接着剤を用いてもよいし、ガラス繊維強化樹脂の半硬化状態(Bステージ)のプリプレグを用いてもよい。
また、コア層20として、銅などの金属を用いることもできる。その場合、貫通開口部を形成した金属板2枚の間に、貫通開口部を形成していない金属板を接着剤で貼り付けることで、コア層20を形成する。また、1枚の金属板の両側にレジストを形成し、エッチングにより両側にCSP10a、10bを嵌合させるための凹部を形成するようにしてもよい。
上記のように形成したコア層20の凹部に、CSP10a、10bを嵌合して固定する。なお、このとき、CSP10a、10bの接続用電極15a、15bは、コア層20の表面に露出するような向きで凹部に嵌合して、図4(B)のように固定する。固定する際には、樹脂系の接着性を有するものを用いるのが好ましいが、熱硬化型の接着剤でもよいし、ガラス繊維強化樹脂の半硬化状態(Bステージ)のプリプレグを用いてもよい。
このように、コア層20の両側に凹部を形成してCSP10a、10bを嵌合することで、コア層20自体の反りも軽減できる。これにより、次の多層回路部21a、21bの作成時に、レジスト露光の焦点ぼけなどを防止でき、微細パターンを作成することが容易になる。
例えば、コア層20が、ガラス繊維強化樹脂など、非導電性の材質で構成されている場合、図4(B)のようにしてコア層20にCSP10a、10bを固定した後、コア層20の両側にCSP10aの接続用電極15aと接続する多層回路部21a、CSP10bの接続用電極15bと接続する多層回路部21bを形成する。
そして、最後に、図6のように、スルーホール30の内壁にめっき層31を形成することで、多層回路部21a、21bの電気的導通が可能になる。
例えば、コア層20が、金属や、カーボン繊維強化樹脂などの導電性の材質で構成されている場合、図4(B)のように、コア層20にCSP10a、10bを固定した後、コア層20のCSP10a、10bが存在しない領域にドリル加工でスルーホール32を形成する(図7(A))。次に、コア層20とスルーホール32を絶縁する必要があるため、まずスルーホール32内に絶縁樹脂33を充填する(図7(B))。その後、コア層20にランド(図示せず)を形成し、このランド及びCSP10a、10bの接続用電極15a、15bにビア(図示せず)が接続するような多層回路部21a、21bを両面同時に形成する(図8(A))。続いて再度ドリル加工で、絶縁樹脂33の直上から、多層回路部21a、21bを貫通するような、スルーホール32よりも直径の小さいスルーホール34を形成する(図8(B))。その後、図9のように、形成したスルーホール34の内壁にめっき層35を形成することで、多層回路部21a、21bの電気的導通を可能にする。
図4(B)のように、コア層20にCSP10a、10bを固定した後、コア層20のCSP10a、10bが存在しない領域にドリル加工でスルーホール36を形成する(図10(A))。その後、コア層20が、ガラス繊維強化樹脂などの非導電性の材質で構成されている場合、スルーホール36の内壁にめっき層37を形成する(図10(B))。
次に、本実施の形態の多層配線基板の、具体的な実施例について比較例とともに説明する。なお以下でも、図1〜図11で示した多層配線基板の符号を用いて説明することにする。
図1で示したような、CSP10a、10bとして、5mm×5mmで厚さが0.5mmのものを用いた。これは、シリコンウェハ上に再配線、柱状電極、封止膜などを形成した後、ダイシングにより個々の半導体構成体を得た、ウェハレベルCSPである。
実施例1におけるコア層20として、ガラス繊維強化樹脂を硬化させた積層体に代え、金属材料である銅板を用いた。CSP10a、10bを嵌合する凹部を形成する方法としては、貫通開口部を形成した銅板2枚の間に、貫通開口部を形成していない銅板を接着剤で貼り付けてもよいし、1枚の銅板の両側にレジストを形成し、エッチングにより凹部を形成するようにしてもよい。その他の条件は、実施例1とほぼ同様であるが、コア層20を銅板としたため、スルーホールの形成工程の際には、図7〜図9で示したような工程を用いて、多層回路部21a、21bの電気的導通を可能とした。最後にソルダーレジスト層を形成し、多層配線基板の反りを測定したところ、10mm×10mmエリア内で8μm以下であり、フリップチップ実装が可能な範囲であった。
実施例1におけるコア層20として、ガラス繊維強化樹脂を硬化させた積層体に代え、カーボン繊維強化樹脂を硬化させた積層体を用いた。CSP10a、10bを嵌合する凹部を形成する工程としては、貫通開口部を形成したカーボン繊維強化樹脂を硬化させた積層体2枚の間に、貫通開口部を形成していないカーボン繊維強化樹脂を硬化させた積層体を貼り付ける方法を用いた。貼り付ける方法は、接着剤を用いてもよいし、ガラス繊維強化樹脂またはカーボン繊維強化樹脂の半硬化状態(Bステージ)のプリプレグを用いてもよい。その他の状態は、実施例1とほぼ同様であるが、コア層20に導電性を有するカーボン繊維強化樹脂を用いたため、スルーホールの形成工程の際には、実施例2と同様の工程を用いた。最後にソルダーレジスト層を形成し、多層配線基板の反りを測定したところ、10mm×10mmエリア内で9μm以下であり、フリップチップ実装が可能な範囲であった。
実施例1と同じ、ガラス繊維強化樹脂を硬化させた積層体をコア層20として用いるが、コア層20にCSP10a、10bを嵌合させて接着剤で固定させた後、図10で示したような工程により、コア層20にスルーホール36を形成し、めっき層37を形成した。なお、CSP10a、10bを嵌合させた後に、CSP10a、10bの接続用電極15a、15bの表面が、コア層20の表面と同一面になるように研磨して調整し、その面にランドを形成した。その後、多層回路部21a、21bをビアが接続用電極15a、15b及びランドに接するようにビルドアップ工程で形成した。その他は、実施例1と同じ条件で作成した。実施例4の方法で作成した多層配線基板の反りを測定したところ、10mm×10mmのエリア内で10μm以下であり、フリップチップ実装が可能な範囲であった。
実施例1におけるコア層20において、片面だけに凹部を形成し、CSP(例えば、CSP10a)を嵌合させた。この時点でのコア層20の反りは10mm×10mmエリア内で30μm以上であった。また、多層回路部21a、21bを実施例1と同様に形成した後、測定した多層配線基板の反りは10mm×10mmエリア内で50μm以上であり、フリップチップ実装が困難であった。
互いに電気的導通を有する2つの多層回路部と、
2つの前記多層回路部の間に配置され、前記多層回路部の一方に接続用電極を接続した第1のチップサイズパッケージと、
2つの前記多層回路部の間に、自身の接続用電極が、前記第1のチップサイズパッケージの前記接続用電極と逆向きに位置するように配置され、前記多層回路部の他方と接続した第2のチップサイズパッケージと、
を有することを特徴とする多層配線基板。
(付記4) 前記コア層は、ガラス繊維強化樹脂、カーボン繊維強化樹脂または金属によって構成されていることを特徴とする付記2または3記載の多層配線基板。
(付記8) チップサイズパッケージを内蔵した多層配線基板の製造方法において、
自身の接続用電極が、第1のチップサイズパッケージの接続用電極と逆向きに位置するように第2のチップサイズパッケージを配置し、
前記第1及び前記第2のチップサイズパッケージを挟むように配置され、前記第1のチップサイズパッケージの接続用電極と接続する第1の多層回路部及び前記第2のチップサイズパッケージの接続用電極と接続する第2の多層回路部を形成することを特徴とする多層配線基板の製造方法。
(付記10) 前記第1及び前記第2のチップサイズパッケージを、コア層の凹部に、前記接続用電極が前記コア層の表面に露出するように嵌合し、
前記コア層の両面に前記第1及び前記第2の多層回路部を形成することを特徴とする付記8または9記載の多層配線基板の製造方法。
11a、11b 半導体チップ
12a、12b 再配線
13a、13b 柱状電極
14a、14b 封止膜
15a、15b 接続用電極
20 コア層
21a、21b 多層回路部
22a、22b 配線層
23 半田バンプ
Claims (5)
- チップサイズパッケージを内蔵した多層配線基板において、
互いに電気的導通を有する2つの多層回路部と、
2つの前記多層回路部の間に配置され、前記多層回路部の一方に接続用電極を接続した第1のチップサイズパッケージと、
2つの前記多層回路部の間に、自身の接続用電極が、前記第1のチップサイズパッケージの前記接続用電極と逆向きに位置するように配置され、前記多層回路部の他方と接続した第2のチップサイズパッケージと、
を有することを特徴とする多層配線基板。 - 2つの前記多層回路部の間に、凹部が形成されたコア層を有し、前記第1及び前記第2のチップサイズパッケージは、前記接続用電極が前記コア層の表面に露出するように前記凹部に嵌合されていることを特徴とする請求項1記載の多層配線基板。
- 前記コア層には、2つの前記多層回路部を電気的に接続するためのビアまたはスルーホールが形成されていることを特徴とする請求項2記載の多層配線基板。
- 前記コア層は、ガラス繊維強化樹脂、カーボン繊維強化樹脂または金属によって構成されていることを特徴とする請求項2または3記載の多層配線基板。
- チップサイズパッケージを内蔵した多層配線基板の製造方法において、
自身の接続用電極が、第1のチップサイズパッケージの接続用電極と逆向きに位置するように第2のチップサイズパッケージを配置し、
前記第1及び前記第2のチップサイズパッケージを挟むように配置され、前記第1のチップサイズパッケージの接続用電極と接続する第1の多層回路部及び前記第2のチップサイズパッケージの接続用電極と接続する第2の多層回路部を形成することを特徴とする多層配線基板の製造方法。
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JP5261624B1 (ja) * | 2012-11-05 | 2013-08-14 | 太陽誘電株式会社 | 回路モジュール |
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JP2004319875A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Nec Tokin Corp | インダクタ内蔵型多層基板およびその製造方法 |
JP2005150395A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路部品内蔵モジュールの製造方法 |
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2006
- 2006-07-14 JP JP2006194770A patent/JP2008021944A/ja active Pending
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