JP2014160057A5 - - Google Patents
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Claims (15)
- レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光を第１の光束と第２の光束とに分岐する光分岐部と、
前記第１の光束を信号光として測定対象に集光して照射するレンズと、
前記第２の光束を測定対象に照射せずに参照光として反射させる光反射部と、
測定中に前記第１の光束の集光位置を少なくとも光軸方向に走査する走査部と、
測定対象によって反射もしくは散乱された信号光を前記参照光と合波し、互いに位相関係が異なる３つ以上の干渉光を生成する干渉光学系と、
前記干渉光を検出する複数の光検出器と、
を有することを特徴とする光計測装置。 - 請求項１に記載の光計測装置において、前記レンズは０．４以上の開口数を有することを特徴とする光計測装置。
- 請求項１に記載の光計測装置において、前記レーザ光のコヒーレンス長は、前記第１の光束の集光位置を光軸方向に走査することにより生ずる信号光の光路長変化以上であることを特徴とする光計測装置。
- 請求項１に記載の光計測装置において、前記光反射部の位置は測定中に固定されていることを特徴とする光計測装置。
- 請求項１に記載の光計測装置において、
前記光検出器の個数は４個であり、
前記４個の光検出器上での前記信号光と前記参照光の干渉位相が互いに略９０度の整数倍だけ異なり、
前記信号光と前記参照光の干渉位相が互いに略１８０度異なる干渉光の対が電流差動型の検出器によって検出されることを特徴とする光計測装置。 - 請求項１に記載の光計測装置において、
前記走査部を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記第１の光束の集光位置の走査が前記光軸方向に繰り返されるように前記走査部を制御することを特徴とする光計測装置。 - 請求項６に記載の光計測装置において、
前記制御部は、前記集光位置が測定対象の被観察領域を超えて前記光軸方向に折り返されるように、前記走査部を制御することを特徴とする光計測装置。 - 請求項６に記載の光計測装置において、
前記レンズと測定対象との間にカバーガラスが設けられ、
前記制御部は、前記集光位置の前記光軸方向の走査範囲に前記カバーガラスの表面が含まれるように前記走査部を制御し、
前記カバーガラスの表面からの信号を用いて観察像の補正を行うことを特徴とする光計測装置。 - 請求項６に記載の光計測装置において、
前記集光位置の光軸方向への繰り返し走査における折り返し位置の近傍では、前記レーザ光の強度を、前記集光位置が前記折り返し位置の近傍以外の領域にある場合よりも小さくすることを特徴とする光計測装置。 - 請求項６に記載の光計測装置において、
前記集光位置の光軸方向への繰り返し走査における折り返し位置の近傍では、前記レーザ光のパワーをゼロにすることを特徴とする光計測装置。 - 請求項６に記載の光計測装置において、
前記レーザ光は、信号取得のタイミングと同期して発光するようにパルス変調されていることを特徴とする光計測装置。 - レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光を第１の光束と第２の光束とに分岐する光分岐部と、
前記第１の光束を信号光として測定対象に集光して照射するレンズと、
前記第２の光束を測定対象に照射せずに参照光として反射させる光反射部と、
測定中に前記第１の光束の集光位置を少なくとも光軸方向に走査する走査部と、
光ファイバが接続される光ファイバ接続部と、
測定対象によって反射もしくは散乱された信号光を前記参照光と合波し、前記信号光と前記参照光が合波されて生成された合成光を、前記光ファイバ接続部に接続された光ファイバに入射させる光学系と、
を有することを特徴とする観察ユニット。 - レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光を第１の光束と第２の光束とに分岐する光分岐部と、
前記第１の光束を信号光として測定対象に集光して照射するレンズと、
前記第２の光束を測定対象に照射せずに参照光として反射させる光反射部と、
測定中に前記第１の光束の集光位置を光軸方向に走査する走査部と、
前記参照光の光路長を、前記第１の光束の集光位置の走査により発生する信号光の光路長の変化速度よりも高速に変調させる光路長変調部と、
測定対象によって反射もしくは散乱された信号光を前記参照光と合波した光を検出する光検出器と、
を有することを特徴とする光計測装置。 - 請求項１３に記載の光計測装置において、前記光路長変調部はピエゾ素子を備えることを特徴とする光計測装置。
- レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光を第１の光束と第２の光束とに分岐する光分岐部と、
前記第１の光束を信号光として測定対象に集光して照射するレンズと、
前記第１の光束の光路中に配置された球面収差補正部と、
前記第２の光束を測定対象に照射せずに参照光として反射させる光反射部と、
測定中に前記第１の光束の集光位置を少なくとも光軸方向に走査する走査部と、
測定対象によって反射もしくは散乱された信号光を前記参照光と合波し、互いに位相関係が異なる３つ以上の干渉光を生成する干渉光学系と、
前記干渉光を検出する複数の光検出器と、
を有することを特徴とする光計測装置。
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