JP2014157892A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明は、照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板に転写する露光装置であって、投影光学系を収容する鏡筒の内部の複数の位置において気体を供給する、複数の供給部と、複数の供給部が供給する気体の温度を個別に制御して、鏡筒の内部の温度分布を制御する温度制御部と、を有することを特徴とする。
Claims (9)
- 照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パター
ンの像を基板に転写する露光装置であって、
前記投影光学系を収容する鏡筒の内部の複数の位置において気体を供給する、複数の供給部と、
前記複数の供給部が供給する前記気体の温度を個別に制御して、前記鏡筒の内部の温度分布を制御する温度制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記温度制御部は、前記投影光学系の結像性能が所定の結像性能に近づくように前記鏡筒の内部の温度分布を制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
- 前記供給部が供給した前記気体を、前記鏡筒の外部に排出する排出部と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
- 前記気体の供給する方向は、前記投影光学系を構成する複数のミラーのうち少なくとも２つの前記ミラーが並ぶ方向であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
- 前記排出部は、前記供給部が供給した前記気体の向かう側の複数の位置に配置されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、台形形状のミラーで反射された光が向かう、凹面ミラーを有し、
前記供給部は前記凹面ミラーの周囲に沿って配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置。 - 前記投影光学系の内部の複数の位置において温度を測定する、複数の温度測定部
をさらに備え、
前記温度制御部は、前記複数の温度測定部による測定結果に基づいて、前記鏡筒の内部の温度分布を制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。 - 前記複数の温度測定部による測定結果に基づいて前記投影光学系の結像性能を算出する結像性能算出部
をさらに備え、
前記温度制御部は、前記結像性能算出部によって算出された前記結像性能に基づいて、前記鏡筒の内部の温度分布を制御することを特徴とする請求項７に記載の露光装置。 - 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置を使用して基板を露光する工程と、
前記工程で露光した基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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Family Applications (1)
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| JP2013027295A Pending JP2014157892A (ja) | 2013-02-15 | 2013-02-15 | 露光装置、それを用いたデバイスの製造方法 |
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