JP2020086393A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決する本発明の一側面としての光源装置は、複数のＬＥＤチップを有するＬＥＤアレイと、前記複数のＬＥＤチップを制御する制御部と、を有する光源装置であって、前記複数のＬＥＤチップからの光強度分布は、所定面において向きが互いに異なる光強度分布にして重ね合わせ、前記制御部は、前記複数のＬＥＤチップの少なくとも１つの出力を制御することにより、前記複数のＬＥＤチップが前記所定面に形成する光強度分布を変更することを特徴とする。

Claims (13)

1. 複数のＬＥＤチップを有するＬＥＤアレイと、
   前記複数のＬＥＤチップを制御する制御部と、を有する光源装置であって、
   前記複数のＬＥＤチップからの光強度分布は、所定面において向きが互いに異なる光強度分布にして重ね合わせ、
   前記制御部は、前記複数のＬＥＤチップの少なくとも１つの出力を制御することにより、前記複数のＬＥＤチップが前記所定面に形成する光強度分布を変更することを特徴とする光源装置。
2. 前記ＬＥＤアレイは、基板上における配置角度を互いに異ならせた前記複数のＬＥＤチップを有し、
   互いに配置角度の異なる複数のＬＥＤチップ間の出力を異ならせることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
3. 前記ＬＥＤアレイは、基板上において第１角度で配置された複数のＬＥＤチップにより構成された第１サブユニットと、基板上において前記第１角度とは異なる第２角度で配置された複数のＬＥＤチップにより構成された第２サブユニットと、を有し、
   前記制御部は、前記第１サブユニットから出射される光の強度と、前記第２サブユニットから出射される光の強度とが異なるように、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットを制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の光源装置。
4. 前記制御部は、前記第１サブユニットに含まれる複数のＬＥＤチップの出力を一括して制御し、且つ前記第２サブユニットに含まれる複数のＬＥＤチップの出力を一括して制御することを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
5. 前記複数のＬＥＤチップからの光束を回転させることにより、前記所定面に向きが互いに異なる光強度分布を形成することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の光源装置。
6. 前記複数のＬＥＤチップは、四角形状のチップであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の光源装置。
7. 複数のＬＥＤチップの各々に対応して各レンズが設けられたレンズアレイを有することを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の光源装置。
8. 照明装置であって、
   請求項１乃至７の何れか１項に記載の光源装置と、
   コンデンサレンズと、
   オプティカルインテグレータと、を有し、
   前記光源装置の複数のＬＥＤチップのそれぞれからの光強度分布を、前記コンデンサレンズを介して前記オプティカルインテグレータの入射面において向きが互いに異なる光強度分布にして重ね合わせることを特徴とする照明装置。
9. 前記オプティカルインテグレータはレンズ群を有することを特徴とする請求項８に記載の照明装置。
10. 照明装置であって、
    請求項１乃至７の何れか１項に記載の光源装置と、
    照明装置の瞳面における瞳強度分布を計測する計測器と、を有し、
    前記計測器によって計測された瞳強度分布に基づいて、前記複数のＬＥＤチップの少なくとも１つの出力を制御することを特徴とする照明装置。
11. 請求項８乃至１０の何れか１項に記載の照明装置を用いてパターンが形成されたマスクを照明し、前記パターンを基板に転写することを特徴とする露光装置。
12. パターンの結像特性に基づいて、前記複数のＬＥＤチップの少なくとも１つの出力を制御することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
13. 物品の製造方法であって、
    請求項１１又は１２に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    露光された基板を現像する工程と、を有し、
    現像された基板から物品を得ることを特徴とする物品の製造方法。