JP2014154611A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置は、複数の半導体チップ5と、複数の半導体チップ5上に配置されて複数の半導体チップ5を接続するプレート電極7と、プレート電極7上に配置される電極17と、を備える。電極17は、プレート電極7と接合する間欠した複数の接合部17aと、複数の接合部17aから立設状に突出した突出部とを有する。突出部は、接合部17aに平行で、外部電極と超音波接合される超音波接合部17bを有する。
【選択図】図1
Description
図9は、本発明の前提技術に係る半導体装置100の構造を示す斜視図である。半導体装置100は、ベース板1、絶縁層2、ヒートスプレッダ3、半導体チップ5、プレート電極7、制御用ドライブ基板8、電極ポスト10,12を備えている。ベース板1は、銅やAlSiC等の熱伝導率の高い金属からなる。ベース板1上には絶縁層2が、絶縁層2上にはヒートスプレッダ3が設けられる。ヒートスプレッダ3上には半導体チップ5が半田などの接合材4を用いてダイボンドされる。半導体チップ5上には半田や銀などの接合材6を用いてプレート電極7が接続される。プレート電極7上には半田や銀などの接合材9を用いて電極ポスト10が接続される。また、ヒートスプレッダ3上には接合材11により電極ポスト12が接続される。
<B−1.構成>
図1は、実施の形態1に係る半導体装置101の構成を示す断面図である。半導体装置101は、ベース板1、絶縁層2、ヒートスプレッダ3、半導体チップ5、プレート電極7、制御用ドライブ基板(図示せず)、電極17、外部電極15を備えている。ベース板1は、銅やAlSiC等の熱伝導率の高い金属からなる。ベース板1上には絶縁層2が設けられ、絶縁層2上にはヒートスプレッダ3が設けられる。ヒートスプレッダ3上には、半導体チップ5が半田などの接合材4を用いてダイボンドされる。半導体チップ5上には、半田や銀などの接合材6を用いてプレート電極7が接続される。
図2は、実施の形態1の変形例に係る半導体装置102の構成を示す断面図である。電極17の導電部17cを段曲げ形状とする以外、半導体装置102の構成は半導体装置101と同じである。導電部17cを段曲げ形状とすることで、超音波接合時の振動による応力や熱が段曲げ形状の角に集中するので、接合部17aの応力が緩和される。なお、段曲げ形状における段の数は任意である。
実施の形態1の半導体装置101,102は、複数の半導体チップ5と、複数の半導体チップ5上に配置されて複数の半導体チップ5を接続するプレート電極7と、プレート電極7上に配置される電極17と、を備え、電極17は、プレート電極7と接合する間欠した複数の接合部17aと、複数の接合部17aから立設状に突出した突出部を有し、突出部は、複数の接合部17aに平行で、外部電極15と超音波接合される超音波接合部を有する。電極17はプレート電極7に対して2箇所以上で接合されているので、超音波接合時の振動や熱が各接合部17aに分散され、接合部材の溶融やクラックが生じにくい。
<C−1.構成>
図3は、実施の形態2に係る半導体装置103の構成を示す断面図である。実施の形態1では、外部電極15と超音波接合する電極17を設けたが、実施の形態2では、電極17を廃してプレート電極7に外部電極15を超音波接合する。そのため、半導体装置103のプレート電極7は、複数の半導体チップ5と接合する接合プレート部7aと、接合プレート部7aから立設状に突出した突出部とを有する。プレート電極7の突出部は、接合プレート部7aに平行で、外部電極15が超音波接合される超音波接合部7bと、超音波接合部7bと接合プレート部7aを連結する導電部7cを備えている。プレート電極7のかかる形状は、CuやAlの曲げ加工や絞り加工により形成される。電極17に代えてプレート電極7で外部電極15と超音波接合する以外の半導体装置103の構成は、実施の形態1の半導体装置101と同様であるので説明を省略する。
図4は、実施の形態2の変形例に係る半導体装置104のプレート電極7の構造を示す斜視図である。この変形例において、プレート電極7の突出部は、接合プレート部7aの端部を略S字状に折り曲げて形成される。略S字状の上部が接合プレート部7aと平行な超音波接合部7bとなる。超音波接合部7bは封止樹脂14から露出し、外部電極15が超音波接合される。ここで略S字状とは、底部と底部に平行な上部(超音波接合部7b)を有し、底部から90°未満の仰角で延伸する導電部7cによって底部と上部が連結した形状のことを言う。なお、導電部7cと超音波接合の振動方向は直交するように配置されてもよい。
実施の形態2の半導体装置103,104は、複数の半導体チップ5と、複数の半導体チップ5上に配置されるプレート電極7と、を備え、プレート電極7は、複数の半導体チップ5と接合して当該複数の半導体チップ5を接続する接合プレート部7aと、接合プレート部7aから立設状に突出した突出部を有し、突出部は、接合プレート部7aに平行で、外部電極15が超音波接合される超音波接合部7bを有する。従来、プレート電極7上に設けていた外部電極15との接合用の電極17を廃し、プレート電極7に外部電極15を接合するための超音波接合部7bを設けたことにより、電極17とプレート電極7上の接合箇所で生じる超音波接合時の熱や振動による破壊という問題を解消した。プレート電極7は複数の半導体チップ5と接合材6により接合されるが、超音波接合時にプレート電極7に生じる振動や熱はこれら複数の接合箇所に分散するため、接合材6の破壊は抑制される。
<D−1.超音波接合方法>
図6は、実施の形態3に係る半導体装置105の構造を示す断面図である。半導体装置105は、実施の形態1の半導体装置101と比べて、電極17の超音波接合部17bの表面だけでなく導電部17cの一部までもが封止樹脂14から露出している点が異なる。それ以外の構成は、半導体装置101と同様であるため、説明を省略する。
図6,7では、実施の形態1の半導体装置101に対して、ツール19a,19bで固定した状態で超音波接合を行う形態を示したが、外部電極15との接合部材が超音波接合面と垂直な互いに対向する一対の側面を有する形状である限り、当該一対の側面にツール19a,19bを接触させて接合部材を固定することが出来る。そのため、電極17に段曲げ部を有する半導体装置102や、実施の形態2の半導体装置103も、本実施の形態を適用することが可能である。
実施の形態3の半導体装置の製造方法は、(a)複数の半導体チップ5上にプレート電極7を接合することにより複数の半導体チップ5を接続する工程と、(b)間欠した複数の接合部17aと、接合部17aに平行な超音波接合部17bを有し接合部17aから立設状に突出する突出部とを有する、電極17をプレート電極7上に配置し、接合部17aをプレート電極7に接合する工程と、(c)超音波接合部17bの接合部17aと反対側の表面が露出するように、半導体チップ5、プレート電極7、及び電極17を封止樹脂14で封止する工程と、(d)超音波接合部17bの接合部17aと反対側の表面に外部電極15を超音波接合する工程と、を備える。電極17はプレート電極7と複数個所で接合されるので、超音波接合時の振動や熱は各接合部17aに分散され、溶融やクラックが生じにくい半導体装置を製造できる。
Claims (13)
- 複数の半導体チップと、
前記複数の半導体チップ上に配置されて前記複数の半導体チップを接続するプレート電極と、
前記プレート電極上に配置される電極と、を備え、
前記電極は、前記プレート電極と接合する間欠した複数の接合部と、前記複数の接合部から立設状に突出した突出部を有し、
前記突出部は、前記接合部に平行で、外部電極と超音波接合される超音波接合部を有する、
半導体装置。 - 前記電極の一部、前記半導体チップ、及び前記プレート電極を封止する封止樹脂をさらに備え、
前記電極の超音波接合部は前記封止樹脂から露出する、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記電極の突出部は、前記接合部と前記超音波接合部の間に段曲げ形状を有する、
請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 複数の半導体チップと、
前記複数の半導体チップ上に配置されるプレート電極と、を備え、
前記プレート電極は、前記複数の半導体チップと接合して当該複数の半導体チップを接続する接合プレート部と、前記接合プレート部から立設状に突出した突出部を有し、
前記突出部は、前記接合プレート部に平行で、外部電極が超音波接合される超音波接合部を有する、
半導体装置。 - 前記プレート電極の一部及び前記半導体チップを封止する封止樹脂をさらに備え、
前記プレート電極の超音波接合部の前記接合プレート部と反対側の表面は、前記封止樹脂から露出する、
請求項4に記載の半導体装置。 - 前記プレート電極における前記立設状は略S字状である、
請求項4又は5に記載の半導体装置。 - 前記プレート電極は、前記超音波接合部の端部から連続し前記接合プレート部と連続しない放熱部をさらに備え、
前記放熱部は、前記封止樹脂に封止される、
請求項5に記載の半導体装置。 - (a)複数の半導体チップ上にプレート電極を接合することにより前記複数の半導体チップを接続する工程と、
(b)間欠した複数の接合部と、前記接合部に平行な超音波接合部を有し前記接合部から立設状に突出する突出部とを有する、電極を前記プレート電極上に配置し、前記接合部を前記プレート電極に接合する工程と、
(c)前記超音波接合部の前記接合部と反対側の表面が露出するように、前記半導体チップ、前記プレート電極、及び前記電極を封止樹脂で封止する工程と、
(d)前記超音波接合部の前記接合部と反対側の表面に外部電極を超音波接合する工程と、を備える、
半導体装置の製造方法。 - 前記電極の突出部は前記超音波接合部の前記接合部と反対側の表面に垂直な一対の側面を有し、
前記工程(c)は、前記一対の側面の夫々少なくとも一部が露出するように、前記半導体チップ、前記プレート電極、及び前記電極を封止樹脂で封止する工程であり、
前記工程(d)は、前記封止樹脂から露出した前記一対の側面を加圧部材で両側から挟んで加圧しながら、前記超音波接合する工程である、
請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記加圧部材は前記一対の側面との接触面にシリコンゴムを有する、
請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - (a)複数の接合プレート部と、前記接合プレート部に平行な超音波接合部を有し前記接合プレート部から立設状に突出する突出部とを有するプレート電極を、複数の半導体チップ上に配置し、前記接合プレート部を前記半導体チップに接合する工程と、
(b)前記超音波接合部の前記接合プレート部と反対側の表面が露出するように、前記半導体チップ及び前記プレート電極を封止樹脂で封止する工程と、
(c)前記超音波接合部の前記接合部と反対側の表面に外部電極を超音波接合する工程と、を備える、
半導体装置の製造方法。 - 前記プレート電極の突出部は、前記超音波接合部の前記接合プレート部と反対側の表面に垂直な一対の側面を有し、
前記工程(b)は、前記一対の側面の夫々少なくとも一部が露出するように、前記半導体チップ及び前記プレート電極を封止樹脂で封止する工程であり、
前記工程(c)は、前記封止樹脂から露出した前記一対の側面を両側から挟んで加圧しながら、前記超音波接合を行う工程である、
請求項11に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記加圧部材は前記一対の側面との接触面にシリコンゴムを有する、
請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
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