JP2014144513A - 研削加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】砥石とワークピースとを相対的に往復移動させる送り台を制御することにより、前記砥石と前記ワークピースを回転させつつ安全な接触を可能にする空走を経て接触させ、前記ワークピースの表面を研削するための研削加工方法であって、前記ワークピースを加工目標位置までの研削した後に前記砥石の位置を戻す途中で、前記送り台の変位に含まれる機械の弾性変形が無視できる状態になったときに前記送り台の位置または変位量を測定し、前記送り台の位置または変位量に基づいて空走開始位置の補正値を算出し、前記補正値に基づいて次回の空走開始位置を補正する。
【選択図】図4
Description
また、同様の効果を得るもう一つの手段は、砥石送り軸のモータの負荷電流であり、これにより判断してもよい。
−((Xb(N)−X(0))−(Sb(N)−S(0))) …(1)
Xpa(N+1)=(Sa(N+1)−S(0))+X(0)−Δ(N)+MA …(2)
−((Xb(N)−X(0))−(S(N)−S(0))) …(3)
Claims (4)
- 砥石とワークピースとを相対的に往復移動させる送り台を制御することにより、前記砥石と前記ワークピースを回転させつつ安全な接触を可能にする空走を経て接触させ、前記ワークピースの表面を研削するための研削加工方法であって、
前記ワークピースを加工目標位置までの研削した後に前記砥石の位置を戻す途中で、前記送り台の変位に含まれる機械の弾性変形が無視できる状態になったときに前記送り台の位置または変位量を測定し、
前記送り台の位置または変位量に基づいて空走開始位置の補正値を算出し、
前記補正値に基づいて次回の空走開始位置を補正する、研削加工方法。 - 前記砥石の位置を戻す途中で、前記砥石を前記ワークピースに押し当てる押付け力が所定値まで低下したら、前記弾性変形が無視できる状態になったと判断する、請求項1に記載の研削加工方法。
- 前記砥石の位置を戻す途中で、前記弾性変形が無視できる状態になったときに、更に、前記ワークピースの表面位置または厚みを測定し、
前記ワークピースの表面位置または厚みと、前記送り台の位置または変位量とに基づいて、前記空走開始位置の補正値を算出する、
請求項1に記載の研削加工方法。 - 砥石とワークピースとを相対的に往復移動させる送り台を制御することにより、前記砥石と前記ワークピースを回転させつつ安全な接触を可能にする空走を経て接触させ、前記ワークピースの表面を研削するための研削加工方法であって、
前記ワークピースを加工目標位置まで研削したときに、前記ワークピースの表面位置または厚みと、前記送り台の位置または変位量と、を測定し、
前記ワークピースを前記加工目標位置まで研削したときの前記送り台の変位に含まれる機械の弾性変形量を取得し、
前記ワークピースの表面位置または厚みと、前記送り台の位置または変位量とに基づいて算出される空走開始位置の補正値を前記弾性変形量によって修正し、
修正した前記補正値に基づいて次回の空走開始位置を補正する、研削加工方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013015148A JP6023598B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 研削加工方法 |
KR1020157015521A KR20150111906A (ko) | 2013-01-30 | 2013-12-18 | 연삭 가공 방법 |
CN201380064490.5A CN104853880A (zh) | 2013-01-30 | 2013-12-18 | 磨削加工方法 |
PCT/JP2013/083883 WO2014119163A1 (ja) | 2013-01-30 | 2013-12-18 | 研削加工方法 |
TW103100529A TW201436949A (zh) | 2013-01-30 | 2014-01-07 | 研磨加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013015148A JP6023598B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 研削加工方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014144513A true JP2014144513A (ja) | 2014-08-14 |
JP2014144513A5 JP2014144513A5 (ja) | 2016-01-07 |
JP6023598B2 JP6023598B2 (ja) | 2016-11-09 |
Family
ID=51261888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013015148A Expired - Fee Related JP6023598B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 研削加工方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6023598B2 (ja) |
KR (1) | KR20150111906A (ja) |
CN (1) | CN104853880A (ja) |
TW (1) | TW201436949A (ja) |
WO (1) | WO2014119163A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019155488A (ja) * | 2018-03-07 | 2019-09-19 | 株式会社東京精密 | 研削盤 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN106078510B (zh) * | 2016-07-26 | 2019-01-18 | 佛山职业技术学院 | 一种具有在线测量功能的磨削机床 |
CN106078515B (zh) * | 2016-07-26 | 2018-08-03 | 佛山职业技术学院 | 一种集检测、磨削功能于一体的恒力磨削系统 |
CN109202721B (zh) * | 2017-07-03 | 2021-12-03 | 株式会社安川电机 | 研磨工艺的控制方法、研磨装置和机器人研磨系统 |
JP7135288B2 (ja) * | 2017-10-20 | 2022-09-13 | 株式会社ジェイテクト | 研削盤及び研削方法 |
JP6973237B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-11-24 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラスの製造方法 |
JP7098257B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2022-07-11 | 住友重機械ファインテック株式会社 | 研削装置の制御装置、プログラム、及び研削方法 |
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-
2013
- 2013-01-30 JP JP2013015148A patent/JP6023598B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-18 KR KR1020157015521A patent/KR20150111906A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-12-18 WO PCT/JP2013/083883 patent/WO2014119163A1/ja active Application Filing
- 2013-12-18 CN CN201380064490.5A patent/CN104853880A/zh active Pending
-
2014
- 2014-01-07 TW TW103100529A patent/TW201436949A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014119163A1 (ja) | 2014-08-07 |
CN104853880A (zh) | 2015-08-19 |
JP6023598B2 (ja) | 2016-11-09 |
KR20150111906A (ko) | 2015-10-06 |
TW201436949A (zh) | 2014-10-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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