JP2001018171A

JP2001018171A - 機械部品の加工方法

Info

Publication number: JP2001018171A
Application number: JP19289699A
Authority: JP
Inventors: Chuichi Sato; 忠一佐藤
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1999-07-07
Filing date: 1999-07-07
Publication date: 2001-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】薄肉の環状部材をワークとした場合であって
も極めて優れた平面精度及び真円度を有する機械部品を
得ることができるようにした。【解決手段】マグネットチャック６に対しワーク４を
非拘束状態とし、非拘束時加工面データｕ（θ）を得る
（図９（ａ））。次に、ワーク４をマグネットチャック
６で拘束させ、拘束時加工面データｖ（θ）を得る（図
９（ｂ））。次に、非拘束時加工面データｕ（θ）と拘
束時加工面データｖ（θ）とに基づいて、砥石５の切込
送り量Ｚ（θ）を制御し、ワーク４の端面を研削加工す
る（図９（ｃ））。次に、ワーク４の拘束状態を解除す
ると、周縁部には反りが生ずる一方、上面は良好な平面
精度を有するものとなり、マグネットチャック６の面上
からのワーク４の高さはＺ₀となる（図９（ｄ））。そ
して、この後、ワーク４を上下反転させ、他方の端面を
研削加工する（図９（ｅ））。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は機械部品の加工方法
に関し、より詳しくは環状部材等のリング状被加工物の
表面（平面部及び円周面）を研削加工する機械部品の加
工方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、転がり軸受の軌道輪（内輪及
び外輪）等の環状部材においては、熱処理が施された被
加工物（以下、「ワーク」という）をマグネットチャッ
クの電磁力により吸着保持して該ワークを前記マグネッ
トチャックで拘束し、該拘束されたワークの表面を砥石
で研削加工することにより、所望の寸法精度に仕上げて
いる。

【０００３】すなわち、前記軌道輪等の環状部材は肉厚
が薄いため、前工程である熱処理工程で熱の影響を受
け、ワークに歪が生じる。したがって、該ワークの平面
部（以下、「端面」という）や円周面に研削加工を施す
ことにより、前記歪を除去して所望の良好な平面精度や
真円度を得ている。

【０００４】図２７は、ワーク端面を研削加工する従来
の加工方法の一例を示した図である（以下、「第１の従
来技術」という）。

【０００５】すなわち、この図２７に示すように、ワー
ク端面を研削する場合は、薄くて変形し易い吸い取り
紙、或いはゴムや薄肉リング等のスペーサ部材１０１を
介してワーク１０２をマグネットチャック１０３に拘束
させ、該マグネットチャック１０３を矢印ａ方向に回転
させる一方、砥石１０４を矢印ｂ方向に回転させつつ矢
印ｃ方向に送り込むことによりワーク１０２の端面１０
５を研削加工している。すなわち、軌道輪等の環状部材
としてのワーク１０２は上述したように肉厚が薄いた
め、該ワーク１０２をマグネットチャック１０３に拘束
させた場合、該マグネットチャック１０３の吸着力によ
って前記ワーク１０２は変形し易い。このため上記スペ
ーサ部材１０１をワーク１０２とマグネットチャック１
０３との間に挿入してワーク１０２に対するマグネット
チャック１０３の吸着力を弱め、かつ、スペーサ部材１
０１の弾性変形を利用してワーク１０２の変形を回避せ
んとしている。

【０００６】また、前記第１の従来技術では、砥石１０
４をドレッサ等で「切味」を常に良好な状態に維持する
ことにより小さな研削力Ｆでもって所望の研削加工を可
能とし、これにより矢印ｃ方向への研削力Ｆに起因する
ワーク１０２の変形を極力抑制することも行なわれてい
る。

【０００７】図２８は、ワーク円周面を研削加工する従
来の加工方法の一例を示した図である（以下、「第２の
従来技術」という）。

【０００８】すなわち、該第２の従来技術では、図２８
（ａ）（ｂ）に示すように、フロントシュー１０６とリ
アシュー１０７でもってワーク１０２の外周面１０８を
支持すると共に、マグネットチャック１０８により前記
ワーク１０２の一方の側面１０９を吸着させてワーク１
０２をマグネットチャック１０８に拘束し、マグネット
チャック１０８を矢印ｄ方向に回転させる一方で、砥石
１１０を矢印ｅ方向に回転させながら矢印ｆ方向に送り
込み、これにより矢印ｇ方向に回転しているワーク１０
２の外周面１０８を研削加工している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
１の従来技術（図２７）では、ワーク１０２の端面１０
５を研削加工する場合、スペーサ部材１０１によりマグ
ネットチャック１０３の吸着力を弱め、かつ、スペーサ
部材１０１を弾性変形させることにより、端面１０５に
おけるワーク１０２の変形を或る程度抑制することがで
きるものの、斯かる変形の発生を完全には解消すること
ができず、したがって、斯かる状態で前記端面１０５を
砥石１０４で研削した場合、ワーク１０２がマグネット
チャック１０３に吸着されている状態では良好な平面精
度を得ることができても、マグネットチャック１０３に
よる吸着を解除すると該吸着に起因した変形量がワーク
の変形量として残存し、このため所望の優れた平面精度
を有する機械部品を得ることは困難であるという問題点
があった。

【００１０】また、上記第２の従来技術（図２８）で
は、砥石１１０の矢印ｆ方向への研削力やフロントシュ
ー１０６及びリアシュー１０７とワーク１０２との間で
発生する摩擦力等によって弾性変形が生じ易く、このた
め高精度な真円度を有する機械部品を得ることができな
いという問題点があった。

【００１１】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであって、薄肉の環状部材をワークとした場合であ
っても、極めて優れた平面精度及び真円度を有する機械
部品を得ることができる機械部品の加工方法を提供する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る機械部品の加工方法は、環状に形成され
た被加工物を拘束部材で拘束すると共に、前記拘束部材
で拘束された前記被加工物の加工面を砥石で研削加工す
る機械部品の加工方法において、前記被加工物を前記拘
束部材に対し非拘束とした状態で、前記加工面の寸法計
測を行って非拘束時加工面データを取得し、さらに前記
被加工物を前記拘束部材に拘束した状態で、前記加工面
の寸法計測を行って拘束時加工面データを取得し、前記
拘束時加工面データと前記非拘束時加工面データとに基
づいて前記砥石の前記被加工物方向への送り量又は被加
工物の前記砥石方向への送り量の少なくとも一方の送り
量を制御しながら前記加工面に研削加工を施すことを特
徴としている。

【００１３】上記機械部品の加工方法によれば、ワーク
の拘束部材に対する非拘束状態及び拘束状態での加工面
データが非拘束時加工面データ及び拘束時加工面データ
として夫々取得され、該非拘束時加工面データ及び拘束
時加工面データに基づいて砥石又はワークの少なくとも
一方の送り量が制御されるので、拘束部材に起因するワ
ークの変化量を考慮した研削加工を行うことができ、し
たがって、研削加工後、拘束状態が解除された時に精度
（主に平面度及び／又は真円度）の良好な機械部品を得
ることが可能となり、特に、変形し易い肉厚の薄いワー
クを研削加工した場合であっても、高精度に仕上げされ
た機械部品を得ることができる。

【００１４】例えば、ワークの端面を加工面として研削
する場合は、ワークの拘束部材からの高さ寸法を非拘束
状態と拘束状態とでワークの全周に亙って計測して非拘
束時加工面データ及び拘束時加工面データを取得し、該
非拘束時加工面データ及び拘束時加工面データに基づい
て砥石又はワークの送り量を制御しながらワークに研削
加工を施すことにより、ワーク端面に所謂「反り」が生
じている場合であっても加工後には良好な平面精度を有
する機械部品を得ることができる。

【００１５】すなわち、本発明は、上記加工方法におい
て、前記加工面が端面である場合は、ワークの周方向の
高さ寸法に基づいて前記非拘束時加工面データ及び前記
拘束時加工面データを取得することを特徴とする。

【００１６】また、前記非拘束状態でワークが傾斜して
いても拘束状態でワークは傾斜しなくなるため、斯かる
傾斜成分を計測された加工面寸法から除去するのが好ま
しい。

【００１７】そこで、本発明は、上記非拘束時加工面デ
ータは、計測された前記加工面寸法から傾斜成分を除去
することを特徴としている。

【００１８】また、ワークの加工面が内径面や外径面等
の円周面である場合は、非拘束状態及び拘束状態でのワ
ークの半径寸法を計測して非拘束時加工面データ及び拘
束時加工面データを取得し、該非拘束時加工面データ及
び拘束時加工面データに基づいて砥石又はワークの送り
量を制御することにより、拘束部材の影響を受けること
なく優れた真円度を有する機械部品を得ることができ
る。

【００１９】すなわち、本発明は、上記加工方法におい
て、前記加工面が円周面である場合は、ワークの半径寸
法に基づいて前記非拘束時加工面データ及び前記拘束時
加工面データを取得することを特徴とする。

【００２０】また、前記非拘束状態でワークが研削加工
装置の軸芯に対して偏心している場合は、加工精度の悪
化を招く虞があり、したがって、斯かる偏心成分を計測
された加工面寸法から除去するのが好ましい。

【００２１】また、上記加工方法に使用される研削加工
装置は、ワークの端面を吸着保持して拘束する拘束部材
と、該拘束部材を第１の所定方向に往復運動させる第１
の往復運動機構と、前記ワークの表面に加工を施す砥石
と、該砥石を回転可能に支持する砥石支持部と、該砥石
支持部を第２の所定方向に往復運動させる第２の往復運
動機構と、前記拘束部材を回転駆動させる回転駆動機構
とを備えた研削加工装置において、前記ワークの加工対
象となる加工面データを前記ワークの前記拘束部材への
拘束前後で計測する計測手段と、該計測手段の計測結果
に基づいて前記砥石又はワークの少なくとも一方の送り
量を制御する制御手段とを備えていることを特徴として
いる。

【００２２】また、前記計測手段は、前記ワークの前記
拘束部材に対する非拘束時及び拘束時における加工面寸
法を夫々測定する測定手段と、前記測定手段における測
定位置を角度位置データとして計測する角度データ計測
手段とを有し、前記制御手段は、前記測定手段の測定結
果及び前記角度データ計測手段の計測結果に基づいて加
工面データを算出する算出手段と、該算出手段の算出結
果に基づいて前記砥石又はワークの少なくとも一方の送
り量を制御する送り量制御手段とを備えていることを特
徴とするのが好ましい。

【００２３】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳説する。

【００２４】図１は本発明の第１の実施の形態に係る機
械部品の加工方法に使用される研削加工装置（縦軸型研
削加工装置）の平面図、図２は図１の正面図であって、
本第１の実施の形態では環状に形成されたワークの端面
を研削加工する場合について説明する。

【００２５】図１及び図２において、テーブル１は基台
２に載設されると共に、矢印Ｘで示す水平方向に往復運
動可能とされ、該テーブル１はボールねじ（不図示）及
びテーブル駆動用サーボモータ（以下「テーブル駆動用
モータ」という）３により、ワーク４の載置位置である
ローディング位置Ｌ（図中、一点鎖線で示す）、ワーク
４の加工面寸法等を測定する測定位置Ｍ（図中、二点鎖
線で示す）、及びワーク４を研削加工するための研削位
置Ｇ（図中、実線で示す）を適宜移動する。

【００２６】また、テーブル１にはワーク４を吸着保持
して該ワーク４を拘束する円形形状のマグネットチャッ
ク６が設けられ、さらに該マグネットチャック６はワー
クスピンドル７に取り付けられ、また該ワークスピンド
ル７の基端には前記マグネットチャック６を回転駆動す
るためのサーボモータ（以下、「マグネット回転用モー
タ」という）８が取り付けられ、さらに該マグネット回
転用モータ８の基端にはワーク４の角度位置データθを
検出するエンコーダ９が設けられている。また、マグネ
ットチャック６の周縁部適所にはストッパ１０が設けら
れ、さらに、テーブル１の端部には砥石５のツルーイン
グやドレッシングを行うドレッサ１１が配設されてい
る。

【００２７】また、基台２には、ワーク４の加工面寸法
を測定する測定ヘッド１２が支持台１２ａを介して取り
付けられている。そして、該測定ヘッド１２の先端には
端面測定子１３が取り付けられ、該端面測定子１３によ
りワーク４のマグネットチャック６への吸着前後におけ
るワークの高さ寸法（加工面寸法ｕ、ｖ）が全周に亙っ
て測定される。尚、本第１の実施の形態では端面測定子
１３として静電容量型の非接触式変位センサを使用して
いる。

【００２８】砥石５は平板形状に形成されると共に、該
砥石５を回転駆動させる砥石スピンドル（ビルトインモ
ータ）１４に嵌合され、また、該砥石スピンドル１４は
上下方向（矢印Ｚで示す）に往復運動する切込スライド
１５に取り付けられている。

【００２９】切込スライド１５は、コラム１６に固着さ
れた一対の支持部材１７ａ、１７ｂにより所定の予圧で
もって挟持されると共に、図３に示すように、保持器１
８により互いに所定間隔に保持されている多数のコロ１
９によって転がり案内可能に構成されている。すなわ
ち、切込スライド１５の上端には該切込スライド駆動用
サーボモータ（以下、「切込用モータ」という）２０が
取り付けられ、該切込用モータ２０を駆動させることに
より支持部材１７ａ、１７ｂで挟持された切込スライド
１５はコロ１９により転がり案内されて矢印Ｚ方向に往
復運動する。

【００３０】また、切込スライド１５には超電歪素子２
１が収容されており、具体的には、図４に示すように、
ナットブラケット２２が切込スライド１５と一体的に固
着されると共に、ねじ軸２３に螺着したボールねじナッ
ト２４の鍔部とナットブラケット２２との間には超電歪
素子２１が伸縮可能に挟持されている。

【００３１】また、図２に示すように、コラム１６には
目盛が付されたスケール２５が付設されると共に、切込
スライド１５の適所にはスケール２５の目盛を検知する
リニアスケール２６が取り付けられている。

【００３２】そして、本研削加工装置では、リニアスケ
ール２６がスケール２５の目盛を検出すると、その検出
結果に応じて切込用モータ２０が駆動し切込スライド１
５は矢印Ｚ方向に粗動した後、超電歪素子２１により微
調整され、これにより該切込スライド１５と一体的に移
動する砥石スピンドル１４の移動量が制御される。そし
てその結果、砥石５の切込送り量Ｚ（θ）が制御され、
図５に示すように、砥石５を矢印Ａ方向に回転駆動させ
ながら矢印Ｂ方向に送り込んでマグネットチャック６に
載置されたワーク４の端面を研削加工している。

【００３３】図６は本研削加工装置の制御系のブロック
構成図であって、該制御系２７は、アンプ２８により増
幅された端面測定子１３の測定結果（加工面寸法ｕ、
ｖ）やエンコーダ９の検出結果（角度位置データθ）並
びにリニアスケール２６の検出結果が入力されると共に
マグネット回転用モータ８及び切込用モータ２０や超電
歪素子２１に所定の指令信号を供給する入出力部２９
と、該入出力部２９に入力されたアンプ２８及びエンコ
ーダ９の出力結果に基づいて加工面データｕ（θ）、ｖ
（θ）を記憶するメモリ３０と、該メモリ３０の記憶内
容に基づき超電歪素子２１の伸縮する微動量ΔＺを算出
する演算器３１と、該演算器３１の演算結果とエンコー
ダ９からの角度位置データθ及びリニアスケール２６か
らのスケールデータに基づいて所定の制御信号を出力す
るコントローラ３２とを備えている。

【００３４】このように構成された研削加工装置におい
ては、まず、図７（ａ）の二点鎖線に示すように、マグ
ネットチャック６に拘束されていない状態（以下、この
状態を「非拘束状態」という）でのワーク４の高さ寸
法、すなわち非拘束時加工面寸法ｕが端面測定子１３に
よって測定され、その測定結果がアンプ２８を介して入
出力部２９に入力され、さらに、図７（ｂ）に示すよう
に、非拘束時加工面寸法ｕの円周上の測定位置を示す角
度位置データθをエンコーダ９で検出し、該検出結果が
入出力部２９に入力される。すなわち、マグネット回転
用モータ８を駆動させながら順次端面測定子１３で非拘
束時加工面寸法ｕを測定すると共にエンコーダ９で角度
位置データθを検出し、その結果が入出力部２９に順次
入力される。そして、該入出力部２９では非拘束時加工
面寸法ｕと角度位置データθとを関連付けて非拘束時加
工面データｕ（θ）を取得し、その結果をメモリ３０に
記憶する。

【００３５】次に、図７（ａ）の実線に示すように、マ
グネットチャック６に拘束された状態（以下、この状態
を「拘束状態」という）でのワーク４の高さ寸法、すな
わち拘束時加工面寸法ｖが端面測定子１３によって測定
され、その測定結果がアンプ２８を介して入出力部２９
に入力され、さらに、図７（ｂ）に示すように、非拘束
状態のときと同様、拘束時加工面寸法ｕの円周上の測定
位置を示す角度位置データθをエンコーダ９で検出し、
該検出結果が入出力部２９に入力される。すなわち、非
拘束状態のときと同様、マグネット回転用モータ８を回
転させながら順次端面測定子１３で拘束時加工面寸法ｖ
を測定すると共にエンコーダ９で角度位置データθを検
出し、その結果が入出力部２９に順次入力される。次い
で、該入出力部２９では、拘束時寸法データｖと角度位
置データθとを関連付けて拘束時加工面データｖ（θ）
を取得し、その結果をメモリ３０に記憶する。

【００３６】次に、演算器３１では、数式（１）に示す
ように、非拘束時加工面データｕ（θ）と拘束時加工面
データｖ（θ）の偏差を演算して超電歪素子２１の微動
量ΔＺを算出し、その算出結果をコントローラ３２に供
給する。

【００３７】ΔＺ＝ｕ（θ）−ｖ（θ） …（１）そして、コントローラ３２は、リニアスケール２６の検
出結果に応じた粗動量Ｚ₀を入出力部２９を介して切込
モータ２０に指令すると共に、微動量ΔＺを入出力部２
９を介して超電歪素子２１に指令し、切込スライド１５
を移動させて砥石５による研削加工を行なう。

【００３８】すなわち、非拘束時加工面寸法ｕ及び拘束
時加工面寸法ｖがワークの角度位置データθの所定角度
間隔（例えば、１′（分））毎に全周に亙って得られた
場合、これら加工面寸法ｕ、ｖにおける切込送り方向Ｚ
と角度位置データθとの関係は図８のようになる。Ｚ＝
０をマグネットチャック６の上面位置とし、ワーク４を
Ｚ＝Ｚ₀の厚さに研削する場合、切込スライド１５（切
込用モータ２０及び超電歪素子２１）には数式（２）で
示す切込送り量Ｚ（θ）がコントローラ３２からの指令
値として付与される。

【００３９】そして、研削加工は砥石５及びワーク４を回転させなが
ら、砥石５のＺ軸方向の位置決めをすることにより行わ
れる。

【００４０】すなわち、切込用モータ２０には粗動量Ｚ
₀がコントローラ３２からの指令値として付与され、こ
れにより切込スライド１５はＺ＝Ｚ₀に相当する位置ま
で移動する。同時に、超電歪素子２１には微動量ΔＺが
コントローラ３２からの指令値として付与され、これに
より超電歪素子２１は微動量ΔＺに応じて上下方向（図
２中、矢印Ｚで示す）に微動する。

【００４１】このようにワーク４の角度位置データθに
応じて切込送り量Ｚ（θ）を変化させることにより、マ
グネットチャック６の吸着力を考慮した研削加工を行う
ことができ、平面精度に優れたワークを得ることができ
る。

【００４２】図９は、本発明の加工方法の処理手順を示
す工程図であり、図１及び図２を参照しながら加工手順
を説明する。

【００４３】まず、ドレッサ１１で砥石５の表面にツル
ーイング・ドレッシングを施して砥石５の研削準備とす
る。次に、テーブル駆動用モータ３を駆動させてテーブ
ル１を矢印Ｘ方向に移動させ該テーブル１をローディン
グ位置Ｌで停止させる。そして、ワーク４をマグネット
チャック６にストッパ１０を基準に載置し、ワーク４を
非拘束状態としたままテーブル１を測定位置Ｍに移動さ
せる。このときワーク４は非拘束状態にあり、マグネッ
トチャック６に吸着されていないため、図９（ａ）に示
すように、ワークには「反り」が生じている。

【００４４】次いで、測定位置Ｍで非拘束状態としたま
まワークスピンドル７を回転させて非拘束時加工面デー
タｕ（θ）を計測・算出し、メモリ３０に記憶する。

【００４５】次に、マグネットチャック６を作動させて
ワーク４をマグネットチャック６に拘束させる。このと
き、ワーク４は、図９（ｂ）に示すように、マグネット
チャック６の吸着力により、マグネットチャック６との
接触面の反りがほぼ生じない状態となる。

【００４６】そしてこの状態で、ワークスピンドル７を
回転させて拘束時加工面データｖ（θ）を計測・算出
し、メモリ３０に記憶する。

【００４７】次に、テーブル１を研削位置Ｇに移動し、
リニアスケール２６からの検出値に基づいて切込用モー
タ２０を駆動させて切込スライド１５を粗動量Ｚ₀だけ
粗動させると共に、超電歪素子２１を演算部３１で算出
した微動量ΔＺに応じて伸縮させ、これにより砥石５の
切込送り量Ｚ（θ）を制御し、図９（ｃ）に示すよう
に、ワーク４の端面に研削加工を施す。

【００４８】そして、この状態でワーク４の拘束状態を
解除すると、該ワーク４の周縁部の反りが復元されるた
め、図９（ｄ）に示すように、周縁部には反りが生ずる
一方、上面は良好な平面精度を有するものとなり、マグ
ネットチャック６の面上からのワーク４の高さはＺ₀と
なる。

【００４９】そして、この後、図９（ｅ）に示すよう
に、ワーク４を上下反転させ、他方の端面を研削加工す
る。すなわち、この場合は良好な平面精度に研削加工さ
れた端面がマグネットチャック６の表面に密着するの
で、通常の砥石送りでもって良好な平面精度を有する厚
さＺ₁の環状部材としての機械部品（ワーク４）を得る
ことができる。

【００５０】また、ワーク４が、非拘束状態で、図１０
（ａ）に示すように傾斜量Δｕを有して傾いている場
合、マグネットチャック６により拘束状態とされたとき
は斯かる傾斜成分Δｕはマグネットチャック６の吸着力
によって殆ど生じなくなるため、結果として反り量を反
映しない傾斜量Δｕが加算された微動量ΔＺでもって超
電歪素子２１の伸縮量が制御され、したがって斯かる微
動量ΔＺに基づいて研削加工を施した場合は非拘束状態
に復元されたときは図１０（ｂ）に示すように、他方の
端面の反り状態が歪な状態となる。このため、該ワーク
４を反転して前記他方の端面を研削する場合、加工量が
面上で不均一となり、砥石５の研削力Ｆに変動を来す虞
がある。したがって、砥石５の研削力Ｆを均一化するた
めには前記傾斜量Δｕを考慮した微動量ΔＺでもって研
削加工する必要があり、そのためには非拘束時加工面デ
ータｕ（θ）から傾斜成分ｕ₁（θ）を除去する必要が
ある。

【００５１】しかして、非拘束時加工面データｕ（θ）
は数式（３）に示すようにフーリエ級数で表される。

【００５２】

【数１】

【００５３】ここで、ａ_nはｎ次成分の振幅、ψ_nは位相
のずれを示す。このうち、傾斜成分ｕ₁（θ）は、図１
１に示すように、ワーク１周（３６０°）で１周期の正
弦波状を描く。

【００５４】すなわち、この図１１から分かるように、
ワーク４は１８０°回転する間に傾斜量の最大値Ｐと最
小値Ｑが各１回宛表れるため、斯かるｎ＝１（１次成
分）がワーク４の傾斜成分ｕ₁（θ）を示す。すなわ
ち、傾斜成分ｕ₁（θ）は数式（４）で表される。

【００５５】ｕ₁（θ）＝ａ₁sin(θ＋ψ₁) …（４）ここで、ａ₁及びψ₁は、夫々数式（５）、（６）で求め
られる。

【００５６】

【数２】

【００５７】なお、数式（５）、（６）の右辺の値は、
前記メモリ３０に記憶された所定角度間隔毎の角度位置
データθ及び非拘束時加工面データｕ（θ）の測定結果
に基づき、演算器３１によって、予め用意された所定の
プログラムを用いて数値計算を行わせることにより近似
的に算出される。

【００５８】したがって、切込送り量Ｚ（θ）から傾斜
成分ｕ₁（θ）を除去した修正切込送り量Ｚ′（θ）
は、数式（７）で表される。

【００５９】Ｚ′（θ）＝Ｚ（θ）−ｕ₁（θ）＝Ｚ₀−（ｕ（θ）−ｕ₁（θ）−ｖ（θ））…（７）すなわち、前記修正切込送り量Ｚ′（θ）に基づいて砥
石５の移動量を制御することにより、ワーク４が研削加
工前に傾斜量Δｕを有している場合であっても略均一な
研削力Ｆでもって前記他方の端面の研削加工を行うこと
ができる。

【００６０】図１２は本発明の第２の実施の形態に係る
機械部品の加工方法に使用される研削加工装置（縦軸型
研削加工装置）の平面図であり、図１３は図１２の正面
図である。

【００６１】本第２の実施の形態では、上記平板形状の
砥石５に代えて、カップ状に形成された砥石６０を使用
して研削加工を行っている。

【００６２】すなわち、本第２の実施の形態において
も、上記第１の実施の形態と同様、測定位置Ｍで非拘束
状態及び拘束状態における加工面データｕ（θ）、ｖ
（θ）を算出してメモリ３０に記憶した後、微動量ΔＺ
を算出し、次いでワーク４が載置されたマグネットチャ
ック６を研削位置Ｇに移動させて所望の研削加工を施し
ている。

【００６３】そして、本第２の実施の形態では、カップ
状に形成された砥石３３の尖端を使用してワーク４に研
削加工を施しているので、ワーク４との接触面積を小さ
くすることができ、したがって砥石６０の研削力Ｆを小
さくすることが可能となる。

【００６４】図１４は本発明の第３の実施の形態に係る
機械部品の加工方法に使用される研削加工装置（横軸型
研削加工装置）の平面図であって、本第３の実施の形態
は、２個のテーブル（第１のテーブル３３及び第２のテ
ーブル３４）を有し、第２のテーブル３４は第１及び第
２の実施の形態における切込スライド１５（図１及び図
２、図１２及び図１３参照）と同様の作用・効果を奏す
るように構成されている。すなわち、上記第１及び第２
の実施の形態では上下方向に往復運動する切込スライド
１５により砥石５の切込送り量Ｚ（θ）を制御している
のに対し、本第３の実施の形態では第２のテーブル３４
を水平方向に往復運動させることによりワーク４の切込
送り量Ｚ（θ）を制御し、これにより前記切込スライド
１５と同様の作用・効果を奏するように構成されてい
る。

【００６５】具体的には、基台２には第２のテーブル３
４を不図示の送りねじ装置を介して駆動するための切込
用モータ２０が取り付けられると共に、上記第１、第２
の実施の形態と同様、超電歪素子（不図示）が内有さ
れ、該第２のテーブル３４は矢印Ｚで示す水平方向に往
復運動可能とされている。また、該第２のテーブル３４
にはワーク４を回転させるためのワークスピンドル７が
回転可能に設けられ、さらに、前記第１の実施の形態と
同様、該ワークスピンドル７の基端にはマグネット回転
用モータ８及び第１のエンコーダ３５が取り付けられ、
また、該ワークスピンドル８の先端にはワーク４を吸着
保持して拘束するためのマグネットチャック６が配設さ
れている。

【００６６】一方、砥石５を回転させる砥石スピンドル
１４は、その回転軸がワークスピンドル７の回転軸と直
交するように第１のテーブル３３に載設されている。ま
た、該第１のテーブル３３には前記マグネットチャック
６と対向状に測定スピンドル３６が載設され、さらに該
測定スピンドル３６の先端には端面測定子３７が配設さ
れると共に、該測定スピンドル３６の基端には該測定ス
ピンドル３６を回転駆動させるためのサーボモータ（以
下、「測定用モータ」という）３８及び測定角度を検出
するための第２のエンコーダ３９が配設されている。

【００６７】そして、第１のテーブル３３はテーブル駆
動用モータ３（及びボールねじ）を介して矢印Ｘで示す
水平方向に往復運動可能とされ、ワーク４の加工面デー
タを測定するときは、ワークスピンドル７と測定スピン
ドル３６とが同一軸芯上となるように実線で示す位置で
停止し、研削加工時には砥石５がワーク４に切込可能と
なるように二点鎖線で示す位置で停止する。

【００６８】また、本第３の実施の形態では、図１５及
び図１６に示しように、ワーク４の配置位置に対応する
下方には左右一対のワークレスト４０ａ、４０ｂが進退
可能に配設されている。すなわち、非拘束状態のときは
ワーク４をワークレスト４０ａ、４０ｂで支持してワー
ク４が下方に落下するのを防止すると共に、拘束状態の
ときはワークレスト４０ａ、４０ｂを矢印Ｈ方向及び矢
印Ｉ方向（図１６）に後退させている。

【００６９】本第３の実施の形態では、以下のようにワ
ーク４の研削加工が行われる。

【００７０】すなわち、まず、ドレッサ１１により所定
のツルーイング及びドレッシングを行った後、第１のテ
ーブル３３を矢印Ｘ方向に移動させて測定スピンドル３
６を測定位置Ｍ（測定スピンドル３６の回転軸とワーク
スピンドル７の回転軸とが合致する位置）に移動させ、
次いでワーク４をワークレスト４０ａ、４０ｂ上に載置
する。尚、このときワーク４の中心とワークスピンドル
７の回転軸の軸芯が略一致するようにワーク４の位置を
調整する。

【００７１】そして、ワーク４をワークレスト４０ａ、
４０ｂで支持した状態で測定スピンドル３６を回転さ
せ、端面測定子３７で非拘束時加工面寸法ｕを測定する
と共に、第２のエンコーダ３９で角度位置データθを検
出し、第１の実施の形態と同様にして非拘束時加工面デ
ータｕ（θ）をメモリ３０に記憶する。

【００７２】次いで、マグネットチャック６を作動させ
てワーク４を拘束状態とした後、ワークレスト４０ａ、
４０ｂを矢印Ｈ方向及び矢印Ｉ方向に後退させ、この
後、測定スピンドル３６を再び回転させ、端面測定子３
７で拘束時加工面寸法ｖを測定すると共に、第２のエン
コーダ３９で角度位置データθを検出し、拘束時加工面
データｖ（θ）を取得してメモリ３０に記憶する。

【００７３】そしてこの後、砥石５が二点鎖線で示す研
削位置に来るように第１のテーブル３３を移動させると
共に、切込送り量Ｚ（θ）を算出して第２のテーブル３
４を矢印Ｚ方向に移動させ、これにより、第１及び第２
の実施の形態と同様、マグネットチャック６の吸着力を
考慮した研削加工を行うことができる。

【００７４】このように本第３の実施の形態では第２の
テーブル３４と一体的にマグネットチャック６を移動さ
せ、すなわちワーク４を移動させて所望の平面精度を有
する研削加工を行っている。

【００７５】すなわち、本第３の実施の形態では、第１
及び第２の実施の形態のように切込スライド１５を垂直
方向に上下運動させる必要がなく、したがって砥石スピ
ンドル１４をコラム等に支持する必要がなく、剛性を高
めることができる。

【００７６】図１７は本発明の第４の実施の形態に係る
機械部品の加工方法に使用される研削加工装置（縦軸型
研削加工装置）の平面図、図１８は図１７の正面図であ
って、本第４の実施の形態では環状に形成されたワーク
４の外周を研削加工する場合について説明する。

【００７７】本第４の実施の形態においては、テーブル
４１が超電歪素子（不図示）を内有すると共に基台２に
載設されており、また、テーブル４１にはワークスピン
ドル７が回転可能に設けられると共に、該ワ−クスピン
ドル７の先端にはマグネットチャック６が嵌合され、さ
らに該ワ−クスピンドル７の基端にはマグネット回転用
モータ８及びエンコーダ９が固着されている。そして、
テーブル４１の一端にはドレッサ１１が配設されてい
る。

【００７８】また、基台２には支持台４２ａを介して測
定子ヘッド４２が取り付けられ、さらに該測定子ヘッド
４２の先端には真円度測定用の真円度測定子４３が突設
されている。また、先端に砥石５を嵌合した砥石スピン
ドル１４は切込スライド１５と一体的に矢印Ｚ方向に移
動可能となるように基台２に対して垂直方向に配設され
ている。尚、本第４の実施の形態では、真円度測定子４
３は、第１〜第３の実施の形態と同様、静電容量型の非
接触式変位センサを使用している。

【００７９】そして、本第４の実施の形態では、図１９
に示すように、ワーク４が載置されたマグネットチャッ
ク６を矢印Ｊ方向に回転させながらテーブル４１に内有
された超電歪素子により矢印Ｋ方向に微動させてワーク
４の切込送り量Ｚ（θ）を制御しながら矢印Ｌ方向に回
転している砥石５でワーク４の外周に研削加工を施して
いる。

【００８０】次に、第４の実施の形態の加工手順を説明
する。

【００８１】図１７及び図１８において、まずテーブル
駆動用モータ３を駆動させてテーブル４１を矢印Ｘ方向
に移動させた後、ドレッサ１１を所定のドレス位置にセ
ットして切込スライド１５を矢印Ｚ方向に上下運動させ
て砥石５の外表面にツルーイング及びドレッシングを施
し研削加工の準備をする。

【００８２】次いで、マグネットチャック６の中心が真
円度測定位置Ｍの位置にくるようにテーブル４１を矢印
Ｘ方向に移動させ、ワーク４をマグネットチャック６に
載置する。

【００８３】次に、不図示の旋回駆動部を駆動させて測
定ヘッド旋回部４２を二点鎖線に示すように旋回させ真
円度測定子４３をワーク４の外周面と対向する位置に配
置し、マグネットチャック６を非作動状態としたままマ
グネットチャック６を回転させて非拘束時加工面データ
ｒ（θ）を計測し、メモリに記憶する。

【００８４】次いで、マグネットチャック６を作動状態
として該マグネットチャック６を回転させ、拘束時加工
面データｓ（θ）を計測し、メモリに記憶する。

【００８５】そして、非拘束時加工面データｒ（θ）と
拘束時加工面データｓ（θ）に基づいてテーブル４１の
制御量、すなわちワーク４の切込送り量Ｒ（θ）を算出
する。

【００８６】すなわち、非拘束時加工面データｒ（θ）
及び拘束時加工面データｓ（θ）は、端面研削時の反り
成分の場合と同様、数式（９）、（１０）のように、振
幅ｂ _n、ｂ_n′、任意の角度θ、位相φ、φ′からなるフ
ーリエ級数で表される。

【００８７】

【数３】

【００８８】しかるに、ワーク４の径寸法をマグネット
チャック６に載置して測定する場合、通常はワーク４の
中心とマグネットチャック６の中心とが偏心して載置さ
れるため、上記した非拘束時加工面データｒ（θ）及び
拘束時加工面データｓ（θ）には偏心成分が含まれるこ
ととなる。そして、斯かる偏心成分は、反り成分と略同
様の理由から、数式（１１）、（１２）に示すように、
非拘束時加工面データｒ（θ）及び拘束時加工面データ
ｓ（θ）の１次成分ｒ₁（θ）、ｓ₁（θ）で表される。

【００８９】ｒ₁（θ）＝ｂ₁sin（θ＋φ₁） …（１１）ｓ₁（θ）＝ｂ₁′sin（θ＋φ₁′） …（１２）ここで、振幅ｂ₁、ｂ₁′、位相φ₁、φ₁′は数式（１
３）〜（１６）で表される。

【００９０】

【数４】

【００９１】

【数５】

【００９２】したがって、非拘束時加工面データｒ
（θ）及び拘束時加工面データｓ（θ）から１次成分ｒ
₁（θ）、ｓ₁（θ）、すなわち偏心成分を除去すること
により、数式（１７）、（１８）に示すように、修正非
拘束時加工面データｒ′（θ）及び修正拘束時加工面デ
ータｓ′（θ）が得られる。

【００９３】ｒ′（θ）＝ｒ（θ）−ｒ₁（θ）…（１７）ｓ′（θ）＝ｓ（θ）−ｓ₁（θ）…（１８）一方、真円度からの半径変動量ΔＲ₀（θ）は、数式
（１９）で表される。

【００９４】 ΔＲ₀（θ）＝ｒ′（θ）−ｓ′（θ）…（１９）しかるに、ワーク４の半径寸法Ｒ（θ）は、図２０に示
すように、平均半径Ｒ ₀（θ）と該平均半径Ｒ₀（θ）か
らの半径変動量ΔＲ₀（θ）の和として算出され、した
がって半径寸法Ｒ（θ）は数式（２０）で表される。

【００９５】Ｒ（θ）＝Ｒ₀（θ）＋ΔＲ₀（θ）…（２０）したがって、斯かる半径寸法Ｒ（θ）がテーブル４１に
付与される指令値、すなわち、ワーク４の切込送り量Ｒ
（θ）となる。

【００９６】そして、不図示の旋回駆動部を駆動させて
測定ヘッド旋回部４２を旋回させ、測定ヘッド旋回部４
２を実線に示す元の位置に戻して停止させた後、テーブ
ル４１をテーブル駆動用モータ３により矢印Ｘ方向に粗
動させてマグネットチャック６を研削位置に移動させる
と共に、切込スライド１５を矢印Ｚ方向に移動させ、テ
ーブル４１内の超電歪素子を切込送り量Ｒ（θ）でもっ
て伸縮制御しながらワーク４の外周に研削加工を施す。

【００９７】そして、外周の研削加工が完了すると、テ
ーブル４１を測定位置Ｍに移動させてマグネットチャッ
ク６をオフにし、ワーク４をマグネットチャック６から
取り除き、加工工程を終了する。

【００９８】尚、上記数式（１９）により、非拘束時と
拘束時とで相対的な偏心成分が除去されているが、ワー
クスピンドル７の軸芯とワーク４との軸芯とが偏心する
点が解消されておらず、研削力Ｆの均一化を図る観点か
らは斯かる点を考慮し、数式（２０）の半径変動量ΔＲ
₀（θ）に代えて数式（２１）に示すような修正半径変
動量ΔＲ₀′（θ）を使用するのが好ましい。

【００９９】 ΔＲ₀′（θ）＝ｒ′（θ）−ｓ（θ）…（２１）図２１は本発明の第５の実施の形態に係る機械部品の加
工方法に使用される研削加工装置（横軸型研削加工装
置）の平面図であって、本第５の実施の形態では、基台
２に２個のテーブル（第１のテーブル４４及び第２のテ
ーブル６１）が設けられ、先端に砥石５が嵌合された砥
石スピンドル１４が第１のテーブル４４と一体的に矢印
Ｘ方向に移動可能に構成され、さらに第１のテーブル４
４には超電歪素子（不図示）が内有され、該超電歪素子
を微動させて砥石５の切込送り量を調整している。

【０１００】また、第２のテーブル６１には先端にマグ
ネットチャック６が嵌合されたワークスピンドル７が回
転可能に取り付けられ、さらに該ワークスピンドル７の
基端側にはマグネット回転用モータ８及び第１のエンコ
ーダ３５が取り付けられている。

【０１０１】さらに、第２のテーブル６１にはその軸芯
が前記ワークスピンドル７の軸芯と一致するように前記
マグネットチャック６と対向状に測定スピンドル３６が
載設され、さらに該測定スピンドル３６の先端には真円
度測定子４３が突設された測定子ヘッド４５が嵌合され
ると共に、該測定スピンドル３６の基端には該測定スピ
ンドル３６を回転駆動させるためのサーボモータ（以
下、「測定用モータ」という）３８及び測定角度を検出
するための第２のエンコーダ３９が配設されている。

【０１０２】また、本第５の実施の形態では、図２２に
示すように、ワーク４の配置位置に対応する下方には左
右一対のワークレスト４０ａ、４０ｂが進退可能に配設
されている。すなわち、第３の実施の形態と同様、非拘
束状態のときはワーク４をワークレスト４０ａ、４０ｂ
で支持してワーク４が下方に落下するのを防止する一
方、拘束状態のときはワークレスト４０ａ、４０ｂを後
退させている。

【０１０３】そして、本第５の実施の形態においては、
まず、ドレッサ１１により所定のツルーイング及びドレ
ッシングを行った後、第１のテーブル４４を矢印Ｘ方向
に移動させて二点鎖線で示す位置に停止させ、次いでワ
ーク４をワークレスト４０ａ、４０ｂ上に載置する。
尚、このときワーク４の中心とワークスピンドルの回転
軸の軸芯が略一致するようにワーク４の位置を調整す
る。

【０１０４】次いで、ワーク４をワークレスト４０ａ、
４０ｂで支持した状態で測定スピンドル３６を回転さ
せ、真円度測定子４３で非拘束時測定データｒを測定す
ると共に、第２のエンコーダ３９で角度位置データθを
検出し、第４の実施の形態と同様にして非拘束時加工面
データｒ（θ）をメモリに記憶する。

【０１０５】次に、マグネットチャック６を作動させて
ワーク４を拘束状態とした後、ワークレスト４０ａ、４
０ｂを後退させ、この後、測定スピンドル３６を再び回
転させ、真円度測定子４３で拘束時測定データｓを測定
すると共に、第２のエンコーダ３９で角度位置データθ
を検出し、非拘束時加工面データｓ（θ）をメモリに記
憶する。

【０１０６】そして、切込送り量Ｒ（θ）を算出し、第
１のテーブル４４を実線に示す位置までサーボモータ３
とボールねじを介して粗動させ、この後半径変動量ΔＲ
₀（θ）に基づいて超電歪素子を微動させ、これにより
真円度の良好な機械部品としての環状部材を得ている。

【０１０７】このように本第５の実施の形態では、第３
の実施の形態と略同様の研削加工原理により、ワーク４
の外周に研削加工を施すことにより、真円度の良好な機
械部品を得ることができる。

【０１０８】図２３は第６の実施の形態に使用される研
削加工装置（縦軸型研削加工装置）の要部平面図、図２
４は図２３の正面図であって、本第６の実施の形態では
テーブル６２に測定子支持台４６を設け、該測定子支持
台４６に第１の実施の形態と同様、先端に端面測定子１
３が突設された測定ヘッド１２が取り付けられると共
に、前記測定子支持台４６には旋回駆動部４７が取り付
けられ、該旋回駆動部４７には先端に真円度測定子４３
が突設された測定ヘッド４２が固着され、該旋回駆動部
４７を駆動させることにより測定ヘッド４２が所定角度
に旋回可能に構成されている。

【０１０９】また、その他の構成は第４の実施の形態
（図１７、図１８参照）と略同様とされているが、本第
６の実施の形態ではテーブル４１のみならず、切込スラ
イド１５にも超電歪素子（不図示）が内有されている。

【０１１０】そして、本第６の実施の形態においては、
ワークスピンドル７に嵌合されたマグネットチャック６
にワーク４を載置させ、次いで端面測定子１３及び真円
度測定子４２により非拘束時加工面データｕ（θ）、ｒ
（θ）、及び拘束時加工面データｖ（θ）、ｓ（θ）を
夫々計測して取得し、次いでテーブル６２及び切込スラ
イドを夫々テーブル駆動用モータ３及び切込用モータ２
０によりワーク４及び砥石５が所定位置にくるように粗
動させた後、切込スライド１５に内有された超電歪素子
により切込送り量Ｚ（θ）を微調整しながら一方の端面
を研削加工する。そしてこの後、再びテーブル６２及び
切込スライド１５を夫々テーブル駆動用モータ３及び切
込用モータ２０によりワーク４及び砥石５が所定位置に
くるように粗動させた後、テーブル４１に内有された超
電歪素子により半径変動量ΔＲ₀（θ）に基づいてワー
ク４の外周を研削加工する。そしてこの後ワークを反転
させて通常の平面研削を行い、研削加工を終了する。

【０１１１】このように本第６の実施の形態では、端面
と外周部の非拘束時加工面データｕ（θ）、ｒ（θ）、
及び拘束時加工面データｖ（θ）、ｓ（θ）を同時に計
測し、一方の端面を研削加工した後、外周研削を行い、
しかる後他方の端面を研削加工しているので、平面精度
及び真円度の優れた機械部品を効率良く得ることができ
る。

【０１１２】尚、上記第６の実施の形態では、上述した
ように、一方の平面→外周面→他方の平面の順序で研削
加工を行っているが、研削順序としては、一方の平面→
他方の平面→外周面としてもよく、斯かる場合は生産効
率は前者の場合に比べて劣るものの両平面が高精度に仕
上げられた後に外周面を研削しているので、前者に比べ
て外周面の加工精度の向上を図ることができる。

【０１１３】図２５は第７の実施の形態に使用される研
削加工装置（横軸型研削加工装置）の要部側面図であっ
て、第５の実施の形態と同様の構成にして平面研削と外
周面研削の双方を行うようにしたものである。

【０１１４】すなわち、本第７の実施の形態では、測定
スピンドル３６の先端に測定ヘッド４８が嵌合されると
共に、端面の平面度及び真円度の双方が測定可能となる
ように前記測定ヘッド４８には端面測定子１３及び真円
度測定子４３が取り付けられている。そして、非拘束時
にワーク４を支持するための左右一対のワークレスト４
０ａ、４０ｂがマグネットチャック６の前方下部に矢印
Ｈ方向（及び矢印Ｉ方向）に進退可能に設けられてい
る。

【０１１５】該第７の実施の形態においても、上記第６
の実施の形態と略同様、平面研削及び外周面研削の双方
を略同時に行うことができる。

【０１１６】図２６は第８の実施の形態に使用される研
削加工装置（縦軸型研削加工装置）の要部正面図であっ
て、本第８の実施の形態では、平面研削及び外周面研削
に加え、内周面研削も行うことができるように構成され
ている。

【０１１７】すなわち、本第８の実施の形態では、第６
の実施の形態に加えて、内周面研削用の砥石５０が先端
に嵌合された内面研削スピンドル４９がテーブル５１に
取り付けられ、サーボモータ５２とボールねじ５３を介
して内面研削スピンドル４９を矢印Ｎ方向に移動させて
内周面の研削を可能としている。

【０１１８】そして、本第８の実施の形態においては、
上記第６の実施の形態と略同様の加工手順により、ワー
クの端面、外周面及び内周面を高精度な研削加工を施す
ことができ、所望の機械部品を得ることができる。

【０１１９】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、上記実施の形態では砥石又はワークの切
込送り量Ｚ（θ）、Ｒ（θ）について、サーボモータで
粗動させると共に、超電歪素子を微動させて制御してい
るが、切込送り量Ｚ（θ）、Ｒ（θ）を高精度に制御で
きるものであればよく、サーボモータと超電歪素子の組
合せに限定されるものではない。また、各テーブルの往
復運動機構についてもボールねじとサーボモータとの組
合せに限定されるものではなく、例えば、リニアモータ
や摩擦駆動等他の方法を使用してもよいのはいうまでも
ない。また、上記実施の形態では、端面測定子１３及び
真円度測定子４３は静電容量型の非接触式変位センサを
使用したが、斯かる方式の変位センサに限定されるもの
ではない。また、上記実施の形態では切込スライドを転
がり案内により可動させているが、静圧案内等他の高精
度な可動方法を使用するのも好ましい。

【０１２０】さらに、上記実施の形態ではワーク４の拘
束部材としてマグネットチャック６を使用したが、該マ
グネットチャック６に代えて真空チャックを使用しても
よく、また、爪によるチャックを使用しても、把持によ
る変形量が考慮されるので、原理的には問題はなく、本
発明の所期の目的を達成することができる。

【０１２１】

【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る機械部
品の加工方法は、環状に形成された被加工物を拘束部材
で拘束すると共に、前記拘束部材で拘束された前記被加
工物の加工面を砥石で研削加工する機械部品の加工方法
において、前記被加工物を前記拘束部材に対し非拘束と
した状態で、前記加工面の寸法計測を行って非拘束時加
工面データを取得し、さらに前記被加工物を前記拘束部
材に拘束した状態で、前記加工面の寸法計測を行って拘
束時加工面データを取得し、前記拘束時加工面データと
前記非拘束時加工面データとに基づいて前記砥石の前記
被加工物方向への送り量又は被加工物の前記砥石方向へ
の送り量の少なくとも一方の送り量を制御しながら前記
加工面に研削加工を施すので、拘束部材による被加工物
の変形量の影響を受けることがなくなり、したがって拘
束部材の拘束力を最大限利用して研削加工を施すことが
可能となり、且つ平面精度及び真円度が極めて優れた機
械部品を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る機械部品の加
工方法に使用される研削加工装置の平面図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】切込スライドの要部平面図である。

【図４】切込スライドの要部正面図である。

【図５】第１の実施の形態で機械部品を研削加工してい
る状態を示す要部拡大正面図である。

【図６】前記研削加工装置の制御系を示すブロック構成
図である。

【図７】第１の実施の形態の加工原理を説明するための
説明図である。

【図８】第１の実施の形態の加工原理を説明するための
説明図である。

【図９】第１の実施の形態の加工手順を示す工程図であ
る。

【図１０】機械部品が傾斜している場合に第１の実施の
形態の加工方法で生じ得る課題を説明するための説明図
である。

【図１１】第１の実施の形態の変形例を説明するための
図である。

【図１２】本発明に係る第２の実施の形態に使用される
研削加工装置の平面図である。

【図１３】図１２の正面図である。

【図１４】本発明に係る第３の実施の形態に使用される
研削加工装置の平面図である。

【図１５】図１４のＤ−Ｄ矢視図である。

【図１６】図１５のＥ−Ｅ矢視図である。

【図１７】本発明に係る第４の実施の形態に使用される
研削加工装置の平面図である。

【図１８】図１７の正面図である。

【図１９】第４の実施の形態で機械部品を研削加工して
いる様子を示す要部拡大正面図である。

【図２０】第４の実施の形態の変形例を説明するための
図である。

【図２１】本発明に係る第５の実施の形態に使用される
研削加工装置の平面図である。

【図２２】図２１のＷ−Ｗ矢視図である。

【図２３】本発明に係る第６の実施の形態に使用される
研削加工装置の要部平面図である。

【図２４】図２３の要部正面図である。

【図２５】本発明に係る第７の実施の形態に使用される
研削加工装置の要部正面図である。

【図２６】本発明に係る第８の実施の形態に使用される
研削加工装置の要部平面図である。

【図２７】第１の従来技術の加工方法を示す図である。

【図２８】第２の従来技術の加工方法を示す図である。

【符号の説明】

４ワーク（被加工物）５砥石６マグネットチャック（拘束部材）５０砥石６０砥石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】環状に形成された被加工物を拘束部材で
拘束すると共に、前記拘束部材で拘束された前記被加工
物の加工面を砥石で研削加工する機械部品の加工方法に
おいて、前記被加工物を前記拘束部材に対し非拘束とした状態
で、前記加工面の寸法計測を行って非拘束時加工面デー
タを取得し、さらに前記被加工物を前記拘束部材に拘束
した状態で、前記加工面の寸法計測を行って拘束時加工
面データを取得し、前記拘束時加工面データと前記非拘
束時加工面データとに基づいて前記砥石の前記被加工物
方向への送り量又は被加工物の前記砥石方向への送り量
の少なくとも一方の送り量を制御しながら前記加工面に
研削加工を施すことを特徴とする機械部品の加工方法。