JP2014142323A - 感圧型センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カンチレバー22と、前記カンチレバー22の周囲に設けられ前記カンチレバー22の基端を保持するフレーム23と、前記カンチレバー22と前記フレーム23との間に形成されたギャップ24と、前記ギャップ24を密閉する液体28とを備える。
【選択図】図1
Description
(1)圧力センサの基本的構成
図1に示す感圧型センサとしての圧力センサ10は、下側構造12及び上側構造14を有する。圧力センサは、外界から作用する力として、気圧、水圧、音圧、応力等の外界圧力の検出に用いられ、より詳しくは、力、振動、加速度等の物理量を計測するものである。圧力センサは、一般計測、工業生産、自動車、医療等の様々な産業分野において利用可能である。本願明細書において「下側」及び「上側」は各部材を説明するための相対的概念に過ぎない。
下側構造12は、エアキャビティ17を有する容器16を備えている。容器16は、例えば樹脂、半導体その他の気密性を有する材料により構成される。エアキャビティ17は気体室であり、その内部には後に詳述するようにエア(大気)が封入される。エアキャビティ17は上方が開いた窪み形状あるいは立方体形状を有している。圧力センサ10は、後述する検出回路に接続されている。
図5には、圧力センサの組み立てが模式的に示されている。カンチレバー60を有する第1部分58が、第2部分を構成する配線基板(ベース基板)62の中央部に接合固定される。配線基板62には一対の電極66A,66Bが形成されている。配線基板62の上面には、中央部としての液体保存領域68と、周辺部としての液体排斥領域70と、が形成されている。液体が水性であれば、液体保存領域68は例えば親水領域であり、液体排斥領域70は例えば疎水領域である。液体排斥領域70は疎水加工が施された領域である。液体保存領域68に対して親水処理を施すようにしてもよい。配線基板62の下側には、エアキャビティ48を有する容器46としての第3部分が接合固定される。第1部分58が上記の上側構造を構成し、第2部分(配線基板62)と第3部分が上記の下側構造を構成する。第1部分から第3部分までを接合させることにより組立体72が製作され、その組立体72の上面に液体74が設けられる。その場合、液体74は液体保存領域内に留まることになる。以上により、圧力センサ76が構成される。
図7には、上述した圧力センサを試験するための実験系が示されている。実験対象として用いた圧力センサ10Aは、例えば図5に示した構成において、上側構造だけを取り出したものであり、閉空間としてのエアキャビティを有していないものである。圧力センサ10Aの上側には圧力室108Aが設けられており、圧力センサ10Aの下側には圧力室108Bが事実上、設けられている。この圧力室108Bがエアキャビティに相当する。図7に示す実験系においては、圧力室108Aと圧力室108Bのそれぞれの内圧P1,P2を独立して制御するため、圧力室108A、108Bに圧力コントローラ106が接続されている。圧力コントローラ106によって、圧力差ΔP(=P1−P2)を自在に設定することが可能である。圧力センサ10Aは検出回路110に接続されており、検出回路110の出力信号が図7に示す例においてオシロスコープ112に入力されている。
(a)変形例1
図14には、ギャップに対して局所的に液体が設けられた圧力センサの構成例が示されている。圧力センサ150は、液体を局所的に設ける点を除き、基本的に、図1に示した圧力センサ10と同様の構成を有している。すなわち、圧力センサ150は、下側構造152と上側構造154とからなり、下側構造152はエアキャビティ157を有する容器156を備えている。上側構造154は、カンチレバー162及びその周囲に設けられたフレーム161を有する。カンチレバー162とフレーム161との間にはギャップ164が生じている。カンチレバー162が有する2つの脚部の間には穴166が生じている。図10に示される圧力センサ150においては、ギャップ164及び穴166の内部に液体168が局所的に設けられている。すなわち、それらの開口部分が液体168によって密閉されている。液体168はカンチレバー162の上面まで設けられていない。同様に液体168はフレーム161の上面にも設けられていない。この結果、極めて少量の液体168を利用して、局所的な密閉しかも効果的な密閉を行える。
(i)全体構成
図23には、圧力センサの応用例としてのハイドロホン206が示されている。このハイドロホン206は水中において圧力(音)を検出するユニットである。
図28には、ハイドロホンの性能を試験するために使用した実験系が示されている。液体として水を収容した水槽208の内部にはスピーカ234が上向きで設けられている。水槽208の上部には図23に示したハイドロホン206が下向きで設置されている。それと横並びでリファレンスとしてのマイクロホン236が下向きで設置されている。マイクロホン236としてB&K社製のハイドロホン(タイプ8103)が用いられた。ちなみに、スピーカ234としてFostex US300が用いられた。
図32には、ハイドロホンの変形例が示されている。ハイドロホン246は下側構造250を有し、その内部のエアキャビティを覆うようにカンチレバー252が設けられている。ハイドロホン246の上部構造は音響ガイド254を有している。その音響ガイド254は上方に広がったパラボラ形状を有し、上方から来る音をカンチレバー252側へ反射又は誘導する作用を発揮する。これによって集音効率を高め、指向方向について感度を高めることが可能である。
更に変形例について説明する。図35にはカンチレバー保護機構を有する圧力センサ284が断面図として示されている。圧力センサ284はエアキャビティを有する下側構造を有し、またカンチレバー290を有する上側構造を有する。カンチレバーの周囲にはフレーム292が設けられている。上側構造は枠体に相当する容器294を有し、その内部には液体296が収容されている。図35に示す状態では、カンチレバー290が原姿勢にある。液体296は容器294の内容積よりも多く収容されており、その一部が容器294の上面レベルよりも上側にはみ出ている。そのはみ出た部分にフロート板300が載せられている。はみ出た部分の内でフロート板300より下側においては符号296Aで示すように液体の表面張力が働いており、液体296が水平方向に流出することはない。カンチレバー290とフレーム292との間のギャップ293は液体296によって密閉されており、そこに界面298が生じている。
変形例としてのセンサアレイについて説明する。同じ方向を向いた又は異なる方向を向いた複数のハイドロホンを配列し、それらによって水中において音を検出することも可能である。それをソナーとして利用してもよい。また、複数の圧力センサをアレイ状に配列して聴診器を構成することも可能である。聴診器は、循環器からの音、内臓からの音、筋肉からの音、その他の生体組織からの音を検出するものである。いずれにしても複数の圧力センサからの信号の総和により、微弱音を高感度で検出することが可能である。以上のようなセンサアレイ又は圧力センサ単体をウエアラブルに構成してもよい。
図38は変形例としてのウエアラブル聴診器(以下、「聴診器」という)320を示す概念図である。聴診器320は、例えば人体に装着され、筋肉からの音、内臓からの音、循環器からの音等を検出するものである。そのような音は例えば100Hz以下の周波数をもっており、そのような低い周波数の音を感度良く検出するものとして聴診器320が構成されている。図38に示すように、聴診器320は、この例では手に巻き付けられたシート状部322と、それに対してアレイ状に設けられた複数のセンサ(音圧センサ)324と、を有している。
(1)全体構成
次に、第2実施形態に係る感圧型センサとしてのガスセンサ451について図を参照して説明する。なお、上記第1実施形態に係る圧力センサと同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。図2に対応して同様の符号を付した図40に示すガスセンサ451は、下側構造452及び上側構造14を有する。ガスセンサ451は、検出対象のガスや化学物質(以下、「ガス成分」という)、例えばアセトン、エタノール、二酸化炭素などの検出に用いることができる。
本実施形態に係るガスセンサ451において、上側構造14は上記第1実施形態と同様に製造することができる。上側構造14と下側構造452を接合固定することにより、ガスセンサ451を得ることができる。
次に上記のように構成されたガスセンサ451の動作及び効果について説明する。ガスセンサ451は、エアキャビティ454内に外部の気体(検出対象のガス成分を除く)が自由に流通するように構成されているので、エアキャビティ454内の圧力と外界圧力はP0で同じである。また液体462は、上述のとおり重量が極めて小さいため、液体462に作用する重力は無視できる。したがってガスセンサ451は、液体462の内圧P1と外界圧力P0が均衡を保つことによってカンチレバー22が原姿勢に保持される。このときのカンチレバー22のピエゾ抵抗値を初期値とする。
本実施形態の場合、液体表面464は、球の一部の形状になるように設けられている場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば図43に示すように、楕円体の一部の形状になるように設けることとしてもよい。
評価に用いたガスセンサは、図40に示した構成である。液体表面にのみ検出対象のガス成分を供給し得るように構成した。ガスセンサは、ギャップを1μm、液体を信越化学工業株式会社により製造されたシリコーンオイルHIVAC F-4、検出対象のガス成分をアセトンの液滴を蒸発させて得たアセトン蒸発ガスとした。ガスセンサは、図8に示す検出回路に接続されている。
(1)全体構成
次に、第3実施形態に係る感圧型センサとしてのガスセンサについて説明する。なお、上記第2実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。図40に対応して同様の符号を付した図45に示すガスセンサ480は、下側構造のみが上記第2実施形態と異なる。本実施形態に係るガスセンサ480は、下側構造が基台482で構成されている。基台482は、エアキャビティを有しておらず、したがってカンチレバー22の表面及び裏面は、同じ環境に曝される。本実施形態の場合、液体表面464の表面積がギャップ24の面積に比べ十分に小さくなるように形成されている。液体表面464の表面積とギャップ24の面積の比は、液体462の種類、例えば100:1程度以上であることが好ましい。
本実施形態に係るガスセンサ480において、上側構造14は上記第1実施形態と同様に製造することができるので説明を省略する。
本実施形態に係るガスセンサ480は、液体462の表面張力が変化することによってカンチレバー22が変形する(図46)。これによりガスセンサ480は、検出対象のガス成分を検出、測定することとしたので、上記第2実施形態と同様の効果を得ることができる。
本実施形態の場合、ガスセンサとして適用する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、加速度や音圧などを計測する圧力センサとして適用することもできる。この場合、圧力センサは、外部の振動を液体がカンチレバーに伝達するので、エアキャビティを有していなくとも加速度や音圧などを計測することができる。
評価に用いたガスセンサは、図45に示した構成である。これにより、カンチレバーの表面及び裏面は、同じ環境に曝される。ガスセンサは、ギャップを1μm、液体を信越化学工業株式会社により製造されたシリコーンオイルHIVAC F-4、検出対象のガス成分をアセトンの液滴を蒸発させて得たアセトン蒸発ガスとした。ガスセンサは、図8に示す検出回路に接続されている。
Claims (16)
- カンチレバーと、
前記カンチレバーの周囲に設けられ前記カンチレバーの基端を保持するフレームと、
前記カンチレバーと前記フレームとの間に形成されたギャップと、
前記ギャップを密閉する液体と
を備えることを特徴とする感圧型センサ。 - 前記カンチレバーの変形に関係なく前記液体によって前記ギャップが密閉した状態に保持されることを特徴とする請求項1記載の感圧型センサ。
- 前記カンチレバーの表面と前記ギャップとを含む液体保持領域と、前記液体保持領域の周囲に形成された液体排斥領域とが設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の感圧型センサ。
- 前記ギャップに繋がった気体室が前記カンチレバーの裏面側に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の感圧型センサ。
- 前記液体を覆う可撓性を有する膜が設けられ、前記膜を介して外界圧力が前記液体へ伝達されることを特徴とする請求項4記載の感圧型センサ。
- 前記液体が前記ギャップに対して局所的に設けられ、前記カンチレバーに対して前記外界圧力が直接的に伝わることを特徴とする請求項4又は5記載の感圧型センサ。
- 液体槽の中に配置され、前記液体槽中の液体を伝わる圧力を検出することを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項記載の感圧型センサ。
- 前記液体中を伝わる音波を検出するハイドロホンであることを特徴とする請求項4〜7のいずれか1項記載の感圧型センサ。
- 前記ハイドロホンは前記音波を前記カンチレバーへ案内する音響ガイドを有することを特徴とする請求項8記載の感圧型センサ。
- 前記カンチレバーの変形を一定範囲内に制限することにより前記カンチレバーを保護する保護機構を含む請求項4〜9のいずれか1項記載の感圧型センサ。
- 前記液体は、検出対象のガス成分を吸着する吸着分子を液体表面に含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の感圧型センサ。
- 前記ギャップを通じて気体が流通し得るように前記カンチレバーの裏面側に形成された気体室と、
前記気体室内と外部とをつなぐ貫通穴と
前記貫通穴に設けられ、検出対象のガス成分を除く気体が通過することができるフィルターと
を有することを特徴とする請求項11記載の感圧型センサ。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載の感圧型センサを一次元又は二次元に配列したことを特徴とするセンサアレイ。
- 前記カンチレバーの温度特性を補償するための温度補償システムが設けられた請求項1〜12のいずれか1項記載の感圧型センサ。
- 前記温度補償システムは、前記カンチレバーが有する温度に対する抵抗変化特性と同様の特性を有する非変形型ダミーカンチレバーを有する請求項14記載の感圧型センサ。
- 感圧型センサの使用方法であって、
前記感圧型センサは、
カンチレバーと、前記カンチレバーの周囲に設けられ前記カンチレバーの基端を保持するフレームと、前記カンチレバーと前記フレームとの間に形成されたギャップと
を含み、
当該使用方法は、
前記ギャップを液体で密閉することによって、前記カンチレバーの変形に関係なく前記ギャップにおける前記液体の界面が前記ギャップの内部又は近傍に留まり、これにより前記ギャップの密閉状態が維持される工程と、
前記密閉状態において外界から作用する力により生じる前記カンチレバーの変形を前記カンチレバーが有する電気的特性の変化として検出する工程と、
を含むことを特徴とする感圧型センサの使用方法。
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