JP2017125852A - 真空計測センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示す真空計測センサ10は、基準圧室12と、検知部14とを備える。基準圧室12は、一面に開口を有する密閉容器である。検知部14は、基準圧室12の開口を塞ぐように、設けられている。
次に、上記の真空計測センサ10の動作及び効果を説明する。まず基準圧室12内の気体を十分に排気する。排気することで、基準圧室12内は、媒体28の蒸気で満たされる。次いで、基準圧室12内の温度を計測し、媒体28の飽和蒸気圧を算出する。基準圧室12内の温度を計測する手段は、特に限定されない。例えば、予め計測しておいた上記温度補償用カンチレバー32の温度特性に基づいて、基準圧室12内の温度を計測することとしてもよい。
実際に図4に示す実験装置を作製し、真空計測センサ10を評価した。真空計測センサ10は、検知部14を挟んで、基準圧室12と反対側が、真空チャンバー30に接続されている。基準圧室12は、配管42及びバイパスバルブ44を通じて、排気配管46へ接続されている。排気配管46は、真空チャンバー30を真空ポンプへ接続している。配管42及び排気配管46には、それぞれピラニ型真空計48,50が設けられている。基準圧室12には、媒体28として水が収容されている。基準圧室12の容積は18cm3、収容する水の体積は0.5mlとした。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
12 基準圧室
14 検知部
16 圧力検出用カンチレバー
18 フレーム
20 ギャップ
24,25 電極
28 媒体
30 真空チャンバー
31 検出回路
32 温度補償用カンチレバー
33 ブリッジ回路
34 可変抵抗
35 接続点
36 固定抵抗
37 接続点
38 ロックインアンプ
58,59 電極
Claims (5)
- 一面に開口を有する基準圧室と、
前記開口を塞ぐように設けられた検知部と
を備え、
前記基準圧室は飽和蒸気圧に保持されており、
前記検知部は、前記基準圧室の内外の圧力差によって弾性変形する圧力検出用カンチレバーを有する
ことを特徴とする真空計測センサ。 - 前記基準圧室内には、飽和蒸気圧が既知である媒体が収容されていることを特徴とする請求項1記載の真空計測センサ。
- 前記検知部は、前記基準圧室と反対側が、真空チャンバーに接続されることを特徴とする請求項1又は2記載の真空計測センサ。
- 前記圧力検出用カンチレバーと、前記圧力検出用カンチレバーを前記基準圧室に保持するフレームの間のギャップは、計測圧力の範囲の最大圧力における平均自由行程以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の真空計測センサ。
- 前記検知部は、前記圧力検出用カンチレバーと同様の温度に対する抵抗変化特性を有する温度補償用カンチレバーをさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の真空計測センサ。
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