JP2014141377A - シリカチタニアガラス、シリカチタニアガラスの製造方法及びシリカチタニアガラスの選別方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】a)Si原料とTi原料からTiO2を5〜9wt%含むシリカチタニアガラスを合成する工程、b)前記工程a)で得られたシリカチタニアガラスを2150℃より高い温度で加熱する工程、及びc)前記工程b)で得られたシリカチタニアガラスを700〜1300℃でアニールする工程、を含むシリカチタニアガラスの製造方法であって、前記c)工程後のシリカチタニアガラスが、試験サンプルを特定の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力FがF<0.06×C(TiO2)・・・(1)[C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である]の範囲に収まるものであるようにした。
【選択図】図1
Description
b)前記工程a)で得られたシリカチタニアガラスを2150℃より高い温度で加熱する工程、及び
c)前記工程b)で得られたシリカチタニアガラスを700〜1300℃でアニールする工程、
を含むシリカチタニアガラスの製造方法であって、
前記c)工程後のシリカチタニアガラスが、厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まるものであることを特徴とする。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。
厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まることを特徴とする。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。
F<0.03×C(TiO2)・・・(3)
(前記式(3)において、F及びC(TiO2)は前記式(1)と同じである)
厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まるシリカチタニアガラスを良品として選別することを特徴とする。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。
本発明のシリカチタニアガラスの選別方法は、X線照射に起因して発生する体積変化を、X線照射領域12とX線非照射領域14の間に発生する応力として読み取ることを特徴とする。マスキングをする等の手法によってX線を被検体となるシリカチタニアガラス10の一領域にのみ照射すると、照射領域12において緻密化が起きる。一方、非照射領域14では緻密化は起こらない。このため、緻密化した照射領域12と緻密化が起こらない非照射領域14との間で引張り応力が発生する(図1)。なお、図1において符号13は緻密化領域、符号15は非緻密化領域、符号16はマスキングに用いたマスクである。
F[MPa]=d[nm/cm]/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
前記式(2)において、Fは引張り応力、dは複屈折である。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
前記式(1)において、Fは前記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である。
F<0.03×C(TiO2)・・・(3)
OH基濃度はフーリエ変換赤外分光装置(Nicolet社製 AVATOR360)を用いて、2.7μmのO−H伸縮振動による吸収の吸光度と試料の厚さt(cm)から、下記式(4)によって求めることができる。
OH基濃度=(吸光度)×100/t ・・・(4)
工程a)はSi原料とTi原料からTiO2を5〜9wt%含むシリカチタニアガラスを合成する工程である。シリカチタニアガラスの合成方法は直接法、VAD法、OVD法のいずれの方法でも良い。TiO2濃度は後工程で調整することはできないため、TiO2濃度はこの合成段階で調整する。具体的には、TiCl4、Ti(OC2H5)4、Ti[OCH2(CH3)2]4等のTi源と、SiCl4、SiCH3Cl3、Si(CH3)2Cl2、SiCH3(OCH3)3、Si(OCH3)4、Si(OC2H5)4等のSi源の供給量を適宜調整しながら加水分解もしくは酸化燃焼等をすることによって合成される。VAD法、OVD法では、まずシリカチタニア多孔質体を合成し、これを焼結することでシリカチタニアガラスを得ることができる。尚、OVD法、VAD法で合成した場合、工程b)における加熱で透明ガラス化できるため、工程a)において透明ガラス化しなくてもよい。
加熱気化されたSiCl4およびTiCl4を酸水素火炎中に導入して生じるSiO2−TiO2微粒子を回転するシリカチタニアガラスターゲット材に堆積させ、堆積面が一定位置となるように伸長に合わせてターゲットを鉛直方向に引き上げるVAD法により、直径250mm長さ500mmのシリカチタニアガラス多孔質体を作製した[工程a)]。このときのSiCl4とTiCl4の流量比は合成されるシリカチタニアガラスのTiO2濃度が6.9wt%となるよう調整した。
このシリカチタニア多孔質体を真空中1500℃にて5時間加熱し、直径150mm長さ400mmのシリカチタニアガラス焼結体を得た[工程a)]。
このシリカチタニアガラスをダミー棒から切り離し、大気中1000℃において150時間のアニール処理をすることで、歪み除去されたシリカチタニアガラスを得た[工程c)]。
酸水素火炎による加熱温度を2230℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2210℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2200℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2180℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2160℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
SiCl4とTiCl4の流量をシリカチタニアガラスのTiO2濃度が6.3wt%となるように調整した以外は、実施例1と同様の方法で歪除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
SiCl4とTiCl4の流量をシリカチタニアガラスのTiO2濃度が5.4wt%となるように調整した以外は、実施例1と同様の方法で歪除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
SiCl4とTiCl4の流量をシリカチタニアガラスのTiO2濃度が7.5wt%となるように調整した以外は、実施例1と同様の方法で歪除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
加熱気化されたSiCl4およびTiCl4を酸水素火炎中に導入して生じるSiO2−TiO2微粒子を回転するシリカチタニアガラスターゲット材に堆積、溶融させながら、堆積位置が一定になるように伸長に合わせてターゲットを水平方向に後退させる直接法によって、直径130mm長さ700mmのシリカチタニアガラスを得た[工程a)]。このときのSiCl4とTiCl4の流量比は合成されるシリカチタニアガラスのTiO2濃度が6.6wt%となるよう調整した。尚、直接法による合成中のシリカチタニアガラスの堆積面温度を放射温度計で測定したところ、1910℃であった。このシリカチタニアガラスを実施例1と同様に酸水素火炎加熱[工程b)]、アニール処理[工程c)]をすることで、歪み除去されたシリカチタニアガラスを得た。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
アニール処理時間を5時間とした以外は実施例10と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを得た。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
Si源をSiCH3Cl3とし、酸水素火炎による加熱温度を2170℃とした以外は実施例10と同様の方法で、直径120mm長さ800mmの歪み除去されたシリカチタニアガラスを得た。合成時のSiCH3Cl3とTiCl4の流量比は合成されるシリカチタニアガラスのTiO2濃度が7.1wt%となるよう調整した。尚、合成中の堆積面の温度は1950℃であった。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
アニール処理時間を5時間とした以外は実施例12と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを得た。
また、表1に示した如く、実施例1〜13のシリカチタニアガラスは、いずれもX線照射による緻密化に起因して生じた応力がいずれも上限未満であり、X線照射による緻密化が抑えられたシリカチタニアガラスであった。
酸水素火炎による加熱を行わない以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表2に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2130℃とした以外は実施例1と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表2に示す。
酸水素火炎による加熱を行わない以外は実施例10と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表2に示す。
酸水素火炎による加熱温度を2130℃とした以外は実施例10と同様の方法で歪み除去されたシリカチタニアガラスを作製した。得られたシリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表2に示す。
市販のシリカチタニアガラスであるコーニング社ULE C7972を得た。このTiO2濃度を測定したところ、TiO2濃度は6.5wt%であった。該シリカチタニアガラスに対して実施例1と同様の測定を行った。結果を表2に示す。
Claims (5)
- a)Si原料とTi原料からTiO2を5〜9wt%含むシリカチタニアガラスを合成する工程、
b)前記工程a)で得られたシリカチタニアガラスを2150℃より高い温度で加熱する工程、及び
c)前記工程b)で得られたシリカチタニアガラスを700〜1300℃でアニールする工程、
を含むシリカチタニアガラスの製造方法であって、
前記c)工程後のシリカチタニアガラスが、厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まるものであることを特徴とするシリカチタニアガラスの製造方法。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。 - TiO2を5〜9wt%含みゼロ膨張温度が0〜50℃の範囲内にあるシリカチタニアガラスであって、
厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まることを特徴とするシリカチタニアガラス。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。 - 2150℃より高い温度で加熱される工程を経ていることを特徴とする請求項2記載のシリカチタニアガラス。
- EUVリソグラフィー露光装置のミラー基板として用いられることを特徴とする請求項2または3記載のシリカチタニアガラス。
- TiO2を5〜9wt%含みゼロ膨張温度が0〜50℃の範囲内にあるシリカチタニアガラスの選別方法であって、
厚さ2mmの試験サンプルを次の条件で発生したX線が部分的に照射したときのX線照射領域とX線非照射領域との間に生じる引張り応力Fが下記式(1)の範囲に収まるシリカチタニアガラスを良品として選別することを特徴とするシリカチタニアガラスの選別方法。
X線照射条件:RhターゲットX線管球、管電圧50kV、管電流70mA、照射時間1.5時間。
F<0.06×C(TiO2) ・・・(1)
(前記式(1)において、Fは下記式(2)により算出される引張り応力(MPa)、C(TiO2)はTiO2濃度(wt%)である)
F(MPa)=d(nm/cm)/42[(nm/cm)/(MPa)]・・・(2)
(前記式(2)において、dは複屈折である)。
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