JP2014131015A - セラミック焼結体、これを用いた流路部材ならびに半導体検査装置および半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 内部に、少なくとも一部が外部に繋がる網目状の第1孔を有していることから、クラック等の発生を抑制したセラミック焼結体10,20,30とすることができる。そして、この様な、セラミック焼結体10,20,30を流路部材40として用いたいた場合には、流体が漏れることもなく信頼性の高いものとでき、この流路部材40を半導体検査装置50や半導体製造装置60に用いると信頼性の高いものとすることができる。
【選択図】 図1
Description
れるバインダは、網目状の第1孔1を介して効率よく外部に排出され、スムーズに脱脂を行なうことができる。それによりセラミック焼結体10にクラックが発生することを抑制できる。このようなセラミック焼結体10は、大型のセラミック焼結体において特に有用である。
バインダをスムーズに外部に脱脂することができ、特に内部側に発生し易いクラックの発生を効果的に抑制することができる。
に向けて75%の領域までを意味するものとし、第1孔1が形成された領域とは第2の領域よりも外側の領域をいう。但し、上記領域は、セラミック焼結体20のサイズや必要な強度および焼成温度プロファイルによって脱脂の状況が変わることから上記範囲内で適宜調整することができる。なお、上記範囲内において、第2孔2の形状が明らかに変化する部分を、第2孔2と第1孔1との境界とすることができ、図2(b)においては、この点を踏まえて、第2孔2をハッチングにて示している。
が好適である。
用意し、これに焼結助剤、バインダ、溶媒および分散剤等を所定量添加して混合したスラ
リーを噴霧造粒法(スプレードライ法)により噴霧乾燥して造粒し、1次原料とする。
の粉末と、焼結助剤として、炭化硼素およびカルボン酸塩の粉末とを準備する。そして、各粉末を、例えば、炭化珪素の粉末100質量%に対して、炭化硼素の粉末を0.12質量%以
上1.4質量%以下、カルボン酸塩の粉末を1質量%以上3.4質量%以下となるように秤量して混合する。
0〜15時間乾燥させることによって成形体を得ることができる。また、必要に応じて供給
口41および排出口42を、フライス盤などを用いてドリル加工を施すほか、流路45を設ける場合には、グリーンシートに第1孔1等を加工するときに供給口および排出口となる孔を加工しても良い。
40:流路部材
1:第1孔
2:第2孔
3:第3孔
4:第4孔
5:連通孔
41:供給口
42:排出口
43:供給流路
44:排出流路
45:流路
50:半導体検査装置
51:供給チューブ
52:排出チューブ
53:テスタヘッド部
60:半導体製造装置
63:ポリッシング治具
W:ウェハ
Claims (8)
- 内部に、少なくとも一部が外部に繋がる網目状の第1孔を有していることを特徴とするセラミック焼結体。
- 前記第1孔の内側に、前記第1孔に接続された網目状の第2孔を有し、第1孔および第2孔に沿った断面視において、前記第2孔が形成された領域における前記第2孔が占める面積の割合が、前記第1孔が形成された領域における前記第1孔が占める面積の割合よりも高いことを特徴とする請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記第1孔および前記第2孔が形成された第1の部位と、内部に、内側から延びて外部に繋がらない網目状の第3孔および該第3孔の内側に第3孔に繋がる網目状の第4孔が形成された第2の部位とのそれぞれ少なくとも1個を上下に有し、前記第1の部位と前記第2の部位間に形成され、上下に隣接する孔同士を繋ぐ複数の連通孔を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック焼結体。
- セラミック焼結体の積層体からなり、該積層体は少なくとも、前記第1孔と第2孔とが形成された部材と、前記第3孔と第4孔とが形成された部材とが積層されてなることを特徴とする請求項3に記載のセラミック焼結体。
- 前記第1孔、前記第2孔、前記第3孔および前記第4孔のうち少なくとも1つが、平面視において、外形が複数の円の交わった形状であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のセラミック焼結体。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のセラミック焼結体に、流体が流れる流路が、前記第1孔から前記第4孔に連通しないように形成されていることを特徴とする流路部材。
- 請求項6に記載の流路部材を、ウェハを載置する部材として備えることを特徴とする半導体検査装置。
- 請求項6に記載の流路部材を、ウェハを載置する部材として備えることを特徴とする半導体製造装置。
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