JP2015188067A - 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 蓋体部と、底板部と、側壁部と、隔壁部とを有し、各部に囲まれた空間が流体の流路となる流路部材であって、流体の流れの変化領域に障壁部を備えていることにより、熱交換性能の向上した流路部材とすることができる。また、このような流路部材を備えていることにより、熱交換性能の向上した熱交換器ならびに半導体製造装置とすることができる。
【選択図】 図1
Description
があるが、一方の変化領域C2においては、独立障壁部8aを備えていることにより、出口側流路11の変化領域C2における流体の滞留を抑制することができる。また、他方の変化領域C3においては、付属障壁部8bを備えていることにより、出口側流路11の変化領域C3における流体の滞留を抑制することができる。
し、顆粒原料とする。
ることができる。
電極である金属部材15と上部電極20と間に生じさせたプラズマをウェハ17に当てることができるようになっている。そして、熱交換器14が本実施形態の流路部材1を備えていることから、プラズマ処理する際に高温となる下部電極としての金属部材15を安定した温度に維持することができる。また、ウェハ17の温度も制御されることから、寸法精度の高い加工ができる。
2:蓋体部
3:側壁部
4:底板部
7:隔壁部
8:障壁部
8a:独立障壁部
8b:付属障壁部
14:熱交換器
16:半導体製造装置
C:変化領域
Claims (7)
- セラミックスからなり、蓋体部と、側壁部と、底板部と、隔壁部とを有し、各部に囲まれた空間が流体の流路となる流路部材であって、前記流体の流れの変化領域に障壁部を備えていることを特徴とする流路部材。
- 前記障壁部が、前記蓋体部の主面に平行な断面視において、曲線部を有していることを特徴とする請求項1に記載の流路部材。
- 前記隔壁部の一端および他端の少なくとも一方に前記障壁部を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の流路部材。
- 前記流路が折り返しの流路構造であり、折り返し部に近接する前記隔壁部の端部に前記障壁部を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の流路部材。
- 前記流体の入り口に近接する前記隔壁部の一端に前記障壁部を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の流路部材。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部の表面または内部に金属部材が設けられていることを特徴とする熱交換器。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部に金属部材が設けられた熱交換器を備えていることを特徴とする半導体製造装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10415901B2 (en) | 2016-09-12 | 2019-09-17 | Hamilton Sundstrand Corporation | Counter-flow ceramic heat exchanger assembly and method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1041778A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2013048204A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-03-07 | Kyocera Corp | 流路部材、これを用いた熱交換器および電子部品装置ならびに半導体製造装置 |
WO2013147037A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 京セラ株式会社 | 流路部材およびこれを備える熱交換器ならびに半導体製造装置 |
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2015
- 2015-02-19 JP JP2015030730A patent/JP6437844B2/ja active Active
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---|---|---|---|---|
JPH1041778A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2013048204A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-03-07 | Kyocera Corp | 流路部材、これを用いた熱交換器および電子部品装置ならびに半導体製造装置 |
WO2013147037A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 京セラ株式会社 | 流路部材およびこれを備える熱交換器ならびに半導体製造装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10415901B2 (en) | 2016-09-12 | 2019-09-17 | Hamilton Sundstrand Corporation | Counter-flow ceramic heat exchanger assembly and method |
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