JP2014111292A - アクチュエータとロボット - Google Patents
アクチュエータとロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014111292A JP2014111292A JP2012266410A JP2012266410A JP2014111292A JP 2014111292 A JP2014111292 A JP 2014111292A JP 2012266410 A JP2012266410 A JP 2012266410A JP 2012266410 A JP2012266410 A JP 2012266410A JP 2014111292 A JP2014111292 A JP 2014111292A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- hollow rod
- motor
- actuator
- ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】 煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることが可能なアクチュエータとロボットを提供すること。
【解決手段】 ボールネジ用モータと、上記ボールネジ用モータによって回転・駆動されるボールネジと、上記ボールネジに螺合され上記ボールネジの回転によって軸方向に移動されるボールナットと、上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとともに移動されるとともに上記ボールナットに対して回転可能に支持され、上記ボールネジと同軸上に配置され上記ボールネジが収容される中空部を備えた中空ロッドと、上記中空ロッドを回転・駆動させる中空ロッド用モータと、を具備したもの。
【選択図】図6
【解決手段】 ボールネジ用モータと、上記ボールネジ用モータによって回転・駆動されるボールネジと、上記ボールネジに螺合され上記ボールネジの回転によって軸方向に移動されるボールナットと、上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとともに移動されるとともに上記ボールナットに対して回転可能に支持され、上記ボールネジと同軸上に配置され上記ボールネジが収容される中空部を備えた中空ロッドと、上記中空ロッドを回転・駆動させる中空ロッド用モータと、を具備したもの。
【選択図】図6
Description
本発明は、アクチュエータとロボットに係り、特に、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができるように工夫したものに関する。
いわゆる「テーブルトップ」と称される作業用ロボットは、次のような構成を成している。まず、テーブルがあり、このテーブルにはX軸アクチュエータが設置されている。上記X軸アクチュエータは、ボールネジと、このボールネジに螺合されその回転を規制されたボールナットと、このボールナットに固着されたX軸スライダとから構成されている。上記X軸アクチュエータは、いわゆる、スライダタイプであり、モータによって上記ボールネジが回転されると上記ボールナット、ひいては上記X軸スライダが上記ボールネジの軸方向(X軸方向)に沿って移動されるようになっている。また、上記X軸スライダ上には、例えば、ワークが載置される。
また、上記テーブルには柱体が立設されていて、この柱体にはY軸アクチュエータが設置されている。上記Y軸アクチュエータは、ボールネジと、このボールネジに螺合されその回転を規制されたボールナットと、このボールナットに固着されたY軸スライダとから構成されている。上記Y軸アクチュエータは、いわゆる、スライダタイプであり、モータによって上記ボールネジが回転されると上記ボールナット、ひいては上記Y軸スライダが上記ボールネジの軸方向(X軸方向に直交するY軸方向)に沿って移動されるようになっている。
また、上記Y軸スライダにはZ軸アクチュエータが設置されている。上記Z軸アクチュエータは、ボールネジと、このボールネジに螺合されその回転を規制されたボールナットと、このボールナットに固着されたロッドとから構成されている。上記Z軸アクチュエータは、いわゆる、ロッドタイプであり、モータによって上記ボールネジが回転されると上記ボールナット、ひいては上記ロッドが上記ボールネジの軸方向(X軸方向及びY軸方向に直交するZ軸方向)に沿って移動されるようになっている。
また、上記ロッドにはZ軸スライダが設置されている。このZ軸スライダには上記モータとは別のモータと、このモータによって回転される回転軸が取り付けられている。そして、この回転軸の先端に各種作業具が取り付けられる。すなわち、上記Z軸アクチュエータと上記Z軸スライダに取り付けられたモータと回転軸とによって、Z軸方向の移動とZ軸心周りの回転を行うZ−R軸アクチュエータが構成されていることになる。
このようなZ−R軸アクチュエータとして使用されるアクチュエータとしては、例えば、特許文献1や特許文献2に示すようなものが知られている。
このようなZ−R軸アクチュエータとして使用されるアクチュエータとしては、例えば、特許文献1や特許文献2に示すようなものが知られている。
しかし、従来の構成では、次のような問題があった。
まず、Z−R軸アクチュエータには、ロッド(Z軸スライダ)を移動させるためのボールネジとは別に各種作業具を回転させるための回転軸が設けられている。その際、上記ボールネジと上記回転軸とが干渉しないように、それぞれ平行に配置しなければならず、構成が複雑化するとともに大型化してしまうという問題があった。
特許文献1に記載された「部品搭載ヘッド」においても、このような構成となっており、送りねじ軸(上記Z−R軸アクチュエータにおけるボールネジに相当)とスプラインシャフト(上記Z−R軸アクチュエータにおける回転軸に相当)が平行に設置されている。
まず、Z−R軸アクチュエータには、ロッド(Z軸スライダ)を移動させるためのボールネジとは別に各種作業具を回転させるための回転軸が設けられている。その際、上記ボールネジと上記回転軸とが干渉しないように、それぞれ平行に配置しなければならず、構成が複雑化するとともに大型化してしまうという問題があった。
特許文献1に記載された「部品搭載ヘッド」においても、このような構成となっており、送りねじ軸(上記Z−R軸アクチュエータにおけるボールネジに相当)とスプラインシャフト(上記Z−R軸アクチュエータにおける回転軸に相当)が平行に設置されている。
また、これに対しては、ボールネジと回転軸を一体化させる構成も提案されている。特許文献2に記載された「産業用ロボットの手首用2自由度駆動機構」においては、ボールネジとボールスプライン(上記Z−R軸アクチュエータにおける回転軸に相当)が一体化されている。
しかし、このような構成の場合には、ボールスプライン(回転軸)を回転駆動させるとボールネジまでもが回転されて、Z軸方向の位置がずれてしまう。そのため、Z軸方向の位置を調整するために複雑な制御が必要となってしまう。
しかし、このような構成の場合には、ボールスプライン(回転軸)を回転駆動させるとボールネジまでもが回転されて、Z軸方向の位置がずれてしまう。そのため、Z軸方向の位置を調整するために複雑な制御が必要となってしまう。
本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができるアクチュエータとロボットを提供することにある。
上記課題を解決するべく請求項1に記載されたアクチュエータは、ボールネジ用モータと、上記ボールネジ用モータによって回転・駆動されるボールネジと、上記ボールネジに螺合され上記ボールネジの回転によって軸方向に移動されるボールナットと、上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとともに移動されるとともに上記ボールナットに対して回転可能に支持され、上記ボールネジと同軸上に配置され上記ボールネジが収容される中空部を備えた中空ロッドと、上記中空ロッドを回転・駆動させる中空ロッド用モータと、を具備したことを特徴とするものである。
また、請求項2に記載されたアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記中空ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが係合・配置されていて、このスプラインナットを上記中空ロッド用モータによって回転・駆動させることを特徴とするものである。
また、請求項3に記載されたアクチュエータは、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ボールネジ用モータは上記ボールネジと同軸上に配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項4に記載されたロボットは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項5に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
また、請求項6に記載されたロボットは、水平多関節ロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
また、請求項2に記載されたアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記中空ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが係合・配置されていて、このスプラインナットを上記中空ロッド用モータによって回転・駆動させることを特徴とするものである。
また、請求項3に記載されたアクチュエータは、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ボールネジ用モータは上記ボールネジと同軸上に配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項4に記載されたロボットは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項5に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
また、請求項6に記載されたロボットは、水平多関節ロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
以上述べたように、請求項1記載のアクチュエータによると、ボールネジ用モータと、上記ボールネジ用モータによって回転・駆動されるボールネジと、上記ボールネジに螺合され上記ボールネジの回転によって軸方向に移動されるボールナットと、上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとともに移動されるとともに上記ボールナットに対して回転可能に支持され、上記ボールネジと同軸上に配置され上記ボールネジが収容される中空部を備えた中空ロッドと、上記中空ロッドを回転・駆動させる中空ロッド用モータと、を具備したため、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。すなわち、上記ボールネジと、このボールネジとは別に回転される中空ロッドを同軸上に配置することで構成の簡略化と小型化を図ることができる。また、上記ボールネジと上記中空ロッドとはそれぞれ別々に回転可能となっている。そのため、例えば、上記中空ロッドを回転させた場合に上記ボールネジまでもが回転されて上記中空ロッドの位置がずれてしまうことはなく、上記中空ロッドの位置を調整するための複雑な制御は不要である。また、上記中空ロッドには上記ボールネジが収容される中空部が備えられており、上記中空ロッドが上記ボールネジの軸方向に移動する際に互いに干渉しないようにすることができる。
また、請求項2記載のアクチュエータによると、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記中空ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが係合・配置されていて、このスプラインナットを上記中空ロッド用モータによって回転・駆動させるため、上記中空ロッドの軸方向への移動と、軸心周りでの回転を円滑に行うことができる。
また、請求項3記載のアクチュエータによると、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ボールネジ用モータは上記ボールネジと同軸上に配置されているため、上記ボールネジの側方の構成を簡略化させてスペースの有効利用を図ることができる。
また、請求項4に記載されたロボットは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータを用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項5に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項6に記載されたロボットは、水平多関節ロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項2記載のアクチュエータによると、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記中空ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが係合・配置されていて、このスプラインナットを上記中空ロッド用モータによって回転・駆動させるため、上記中空ロッドの軸方向への移動と、軸心周りでの回転を円滑に行うことができる。
また、請求項3記載のアクチュエータによると、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ボールネジ用モータは上記ボールネジと同軸上に配置されているため、上記ボールネジの側方の構成を簡略化させてスペースの有効利用を図ることができる。
また、請求項4に記載されたロボットは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータを用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項5に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項6に記載されたロボットは、水平多関節ロボットであり、請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
以下、図1乃至図7を参照して、本発明の一実施の形態について説明する。
図1は、テーブルトップタイプの作業ロボット1の全体構成を示す斜視図である。上記作業ロボット1にはテーブル5が設けられている。このテーブル5は中空の箱であり、その内部には図示しない制御用の基板や電源装置等が設置されている。また、上記テーブル5の右側面(図1中右下側の面)には、コネクタ7、9、11や押しボタンスイッチ13、15、非常停止ボタン17が設置されている。
図1は、テーブルトップタイプの作業ロボット1の全体構成を示す斜視図である。上記作業ロボット1にはテーブル5が設けられている。このテーブル5は中空の箱であり、その内部には図示しない制御用の基板や電源装置等が設置されている。また、上記テーブル5の右側面(図1中右下側の面)には、コネクタ7、9、11や押しボタンスイッチ13、15、非常停止ボタン17が設置されている。
また、上記テーブル5には、X軸アクチュエータ19が設置されている。このX軸アクチュエータ19の下側部分(図1中下側部分)は上記テーブル5内に収容・配置されており、上側部分(図1中上側部分)は上記テーブル5の上方(図1中上側)に露出・配置されている。
上記X軸アクチュエータ19は、次のような構成となっている。
まず、上記X軸アクチュエータ19はハウジング21を備えている。このハウジング21は、略U字型の断面形状を成し、上記テーブル5の長手方向(図1中左上から右下に向かう方向)に延長されている。上記ハウジング21の上端部(図1中上側端部)の幅方向(図1中左下から右上に向かう方向)両側は、外側に向けて突出・形成され、板状の覆い部23、23となっている。
まず、上記X軸アクチュエータ19はハウジング21を備えている。このハウジング21は、略U字型の断面形状を成し、上記テーブル5の長手方向(図1中左上から右下に向かう方向)に延長されている。上記ハウジング21の上端部(図1中上側端部)の幅方向(図1中左下から右上に向かう方向)両側は、外側に向けて突出・形成され、板状の覆い部23、23となっている。
上記ハウジング21内には、図示しないモータと、このモータによって回転される図示しないボールネジと、このボールネジに螺合されるボールナット(図示せず)が備えられている。そして、上記ボールナットにはスライダ25が固着されている。このスライダ25の上側部分(図1中上側部分)は外部に露出・配置されている。
また、上記ハウジング21内には、上記スライダ25をガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記スライダ25、ひいてはボールナット(図示せず)が、上記ボールネジの軸方向(図1中左上から右下に向かう方向、X軸方向)にガイドされる構成になっている。そして、上記図示しないボールネジの回転によって上記ボールナットとスライダ25がX軸方向に移動されるようになっている。
なお、上記スライダ25上には図示しないワークが載置される。
なお、上記スライダ25上には図示しないワークが載置される。
また、上記ハウジング21の上方(図1中上側)には上部カバ27が設置されている。この上部カバ27は、上記ハウジング21の図示しない上側(図1中上側)の開口部を閉塞するように配置されている。また、上記上部カバ27は上記スライダ25を貫通している。
上記テーブル5には、図1に示すように、柱体29が立設されている。そして、この柱体29には、Y軸アクチュエータ31が設置されている。
このY軸アクチュエータ31は次のような構成となっている。
まず、上記Y軸アクチュエータ31は、ハウジング33を備えている。このハウジング33内には図示しないボールネジと、このボールネジに螺合されるボールナット(図示せず)が備えられている。また、上記図示しないボールナットにはスライダ35が固着されている。
まず、上記Y軸アクチュエータ31は、ハウジング33を備えている。このハウジング33内には図示しないボールネジと、このボールネジに螺合されるボールナット(図示せず)が備えられている。また、上記図示しないボールナットにはスライダ35が固着されている。
また、上記Y軸アクチュエータ31には駆動部カバ37が備えられている。この駆動部カバ37内には、図示しないモータや、このモータの出力軸に固着されたモータ側プーリ(図示せず)や、上記図示しないボールネジの端部に固着されたボールネジ側プーリ(図示せず)、及び、上記モータ側プーリやボールネジ側プーリ間に巻回された図示しないベルト等が備えられている。上記モータが回転することにより、上記モータ側プーリ、ベルト、ボールネジ側プーリを介して、上記ボールネジが回転されることになる。
また、上記ハウジング33内には、上記スライダ35をガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記スライダ35、ひいてはボールナット(図示せず)が、上記ボールネジの軸方向(図1中左下から右上に向かう方向、X軸方向に直交するY軸方向)にガイドされる構成になっている。また、上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとスライダ35がY軸方向に移動されるようになっている。
また、上記ハウジング33にはカバ39が設置されている。このカバ39は、上記ハウジング33の開口部41を閉塞するように配置されている。また、上記カバ39は上記スライダ35を貫通している。
上記スライダ35には、Z−R軸アクチュエータ36が設置されている。このZ−R軸アクチュエータ36は、後述する中空ロッド113のZ軸方向(図1中上下方向、X軸方向及びY軸方向に直交する方向)への移動とZ軸心周りの回転(図1中上下方向の軸、X軸方向及びY軸方向に直交する軸を回転軸とした回転)を行うもので、図2〜図7に示すような構成を成している。
上記Z−R軸アクチュエータ36にはハウジング43が備えられている。このハウジング43は、ガイド部45とカバ部47とから構成されている。
上記Z−R軸アクチュエータ36にはハウジング43が備えられている。このハウジング43は、ガイド部45とカバ部47とから構成されている。
上記ガイド部45は略U字形の断面形状を成しており、図2や図6に示すように、その内側の幅方向(図6中紙面垂直方向)両側にはガイドレール49、49が設置されている(図6中片側のガイドレール49のみを示す)。このガイドレール49には長さ方向(図6中上下方向)に延長された凹部51が形成されている。
また、上記ガイド部45の長さ方向(図6中上下方向)両端側底部にはストッパ53、53が設置されている。上記ストッパ53は、上記ガイド部45の底部を貫通し、上記ストッパ53に螺合されるボルト55によって固定されている。
上記ハウジング43の後端側(図6中上側)には、ベアリングケース57が設置されている。上記ベアリングケース57には貫通孔59が形成されており、この貫通孔59内には軸受61、61が内装されている。上記軸受61は、外輪63と、この外輪63の内側に配置された内輪65と、上記外輪63と内輪65との間に転動可能に設置された複数の鋼球67と、これら鋼球67を保持するリテイナ69とから構成されている。
また、上記軸受61、61は、軸受押え70によって押えられている。
また、上記軸受61、61は、軸受押え70によって押えられている。
また、上記ハウジング43の前端側(図6中下側)には、ベアリングケース71が設置されている。上記ベアリングケース71には貫通孔73が形成されており、この貫通孔73内には軸受75、75が内装されている。この軸受75も、前述した軸受61と同様に、外輪77、内輪79、複数の鋼球81、リテイナ83とから構成されている。
また、上記軸受75、75は軸受押え84によって押えられている。
また、上記軸受75、75は軸受押え84によって押えられている。
また、上記ハウジング43内にはボールネジ85が回転可能に設置されている。上記ボールネジ85の後端側は上記軸受61、61によって回転可能に支持されている。また、上記ボールネジ85の外周面には螺旋状の雄ネジ部87が形成されている。
上記ボールネジ85にはボールナット89が螺合されている。このボールナット89の内周面には螺旋状の雌ネジ部91が形成されている。また、上記ボールナット89内には図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記ボールナット89の前後両端(図6中上下方向両端)にはエンドキャップ93、93が設置されており、このエンドキャップ93、93にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。そして、上記雌ネジ部91と上記ボールネジ85の雄ネジ部87との間の空間(転動路)、上記無負荷循環路、及び、上記リターン路内には、複数の鋼球95が循環・転動している。この鋼球95によって、上記ボールナット89の移動が円滑なものとされる。
また、上記ボールナット89にはスライダ97が固着されている。このスライダ97には貫通孔99が形成されており、この貫通孔99の後端側(図6中上側)に上記ボールナット89が固着されている。
また、上記スライダ97の前後両端(図6中上下方向両端)の図6中紙面垂直方向奥側にはエンドキャップ101、101が設置されている。また、上記スライダ97の前後両端(図6中上下方向両端)の図6中紙面垂直方向手前側にもそれぞれ同様に図示しないエンドキャップが設置されている。これらエンドキャップ101、図示しないエンドキャップ内にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。
また、上記スライダ97の幅方向両側(図6中紙面垂直方向両側)には凹部が形成された図示しないガイドレールが備えられている。また、上記スライダ97内には図6中紙面垂直方向奥側と図6中紙面垂直方向手前側それぞれに図示しない無負荷循環路が形成されている。
そして、図6中紙面垂直方向奥側においては、上記スライダ97内の図示しない無負荷循環路と上記エンドキャップ101、101内のリターン路、及び、上記ガイドレール49の凹部51と上記スライダ97の図示しないガイドレールの凹部との間の空間(転動路)内には、図示しない複数の鋼球が循環している。また、図6中紙面垂直方向手前側においても同様に、上記スライダ97内の図示しない無負荷循環路と上記図示しないエンドキャップ内のリターン路、及び、上記ガイドレール49の凹部51と上記スライダ97の図示しないガイドレールの凹部との間の空間(転動路)内に、図示しない複数の鋼球が循環している。
この図示しない複数の鋼球によって上記スライダ97の移動が円滑にされる。また、上記図示しない複数の鋼球とガイド部45のガイドレール49や上記スライダ97の図6中紙面垂直方向奥側の図示しないガイドレールとの相互作用、及び、上記図示しない複数の鋼球とガイド部45の図示しないガイドレールや上記スライダ97の図6中紙面垂直方向手前側の図示しないガイドレールとの相互作用により、上記スライダ97、ひいては、上記ボールナット89のボールネジ85軸心周りの回転が防止されている。また、このことにより、上記ボールネジ85の回転によって、上記ボールナット89やスライダ97が前後方向(図6中上下方向、X軸及びY軸に直交するZ軸方向)に移動される。
また、上記スライダ97の貫通孔99の前端側(図6中下側)には、軸受103が内装されている。この軸受103も、前述した軸受61と同様に、外輪105、内輪107、複数の鋼球109、リテイナ111とから構成されている。
また、上記軸受103は軸受押え112によって押えられている。
また、上記軸受103は軸受押え112によって押えられている。
上記スライダ97には、中空ロッド113が回転可能に設置されている。この中空ロッド113は、その後端側(図6中上側)を上記スライダ97の軸受103によって回転可能に支持されている。上記中空ロッド113の内側には中空部115が形成されており、この中空部115の内部に上記ボールネジ85が収容されている。
また、この中空ロッド113は、いわゆる、スプライン軸でもあり、外周側には、図3や図7に示すように長さ方向(図3中上下方向)に延長された、スプライン溝117、117が形成されている。
また、この中空ロッド113は、いわゆる、スプライン軸でもあり、外周側には、図3や図7に示すように長さ方向(図3中上下方向)に延長された、スプライン溝117、117が形成されている。
また、図6に示すように、上記中空ロッド113の外周面にはスプラインナット119が設置されていて、これら中空ロッド113とスプラインナット119は、軸方向に対しては相互に移動可能な状態にあり、回転方向に対しては相互に拘束された状態にある。このスプラインナット119はフランジ付の円筒形状を成しており、図7に示すように、内周面には長さ方向(図7中紙面垂直方向)に延長されたスプライン溝121、121が形成されている。
また、上記スプラインナット119の内部には、図7に示すように、上記スプライン溝121、121の前端側(図7中紙面垂直方向手前側)と後端側(図7中紙面垂直方向奥側)に連通された無負荷循環路123、123が形成されている。また、上記中空ロッド113のスプライン溝117と上記スプラインナット119の内周面のスプライン溝121との間の空間(転動路)と上記スプラインナット119の無負荷循環路123の前端側(図7中紙面垂直方向手前側)と後端側(図7中紙面垂直方向奥側)は、それぞれ図示しないリターン路によって連通されている。
ちなみに、本実施の形態の場合には、リターン路を備えた図示しないリターンキャップを設置して、上記中空ロッド113のスプライン溝117と上記スプラインナット119の内周面のスプライン溝121との間の空間(転動路)と上記無負荷循環路123とを連通させる構成になっている。
なお、無負荷循環路とリターン路が一体の部材に形成されていて、この部材が上記スプラインナット119の180°の対向する位置に設けられた貫通孔内にそれぞれ内装されている構成を採用することも考えられる。
なお、無負荷循環路とリターン路が一体の部材に形成されていて、この部材が上記スプラインナット119の180°の対向する位置に設けられた貫通孔内にそれぞれ内装されている構成を採用することも考えられる。
また、上記中空ロッド113のスプライン溝117と上記スプラインナット119の内周面のスプライン溝121との間の空間(転動路)、上記リターン路、及び、上記スプラインナット119の無負荷循環路123内には複数の鋼球125が転動・循環している。この複数の鋼球125の転動・循環により、上記中空ロッド113の上記スプライン溝117に沿った移動、すなわち、Z軸方向への円滑な移動が保障される。
また、上記中空ロッド113の先端(図6中下端)には、取付部127が備えられている。この取付部127に工具等の各種作業具が取り付けられる。
また、上記ハウジング43の後端側(図6中上側)には、上記ボールネジ85を回転・駆動するためのモータユニット129がブラケット131を介して設置されている。
上記モータユニット129には、まず、ボールネジ用モータ133が備えられている。このボールネジ用モータ133は、モータハウジング135と、このモータハウジング135の内周面側に設置されたステータ137と、このステータ137の内側に回転可能に配置されたロータ139と、上記モータハウジング135の前後側に突出されると共に上記ロータ139が固着され、上記モータハウジング135内に回転可能に設けられた出力軸141とから構成されている。
上記モータユニット129には、まず、ボールネジ用モータ133が備えられている。このボールネジ用モータ133は、モータハウジング135と、このモータハウジング135の内周面側に設置されたステータ137と、このステータ137の内側に回転可能に配置されたロータ139と、上記モータハウジング135の前後側に突出されると共に上記ロータ139が固着され、上記モータハウジング135内に回転可能に設けられた出力軸141とから構成されている。
また、上記ボールネジ用モータ133の後端側(図6中下側)には、エンコーダ143が設置されている。このエンコーダ143には、上記ボールネジ用モータ133の出力軸141の後端側(図6中下側)に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール145と、このエンコーダホイール145の後方側(図6中下側)に設置されるとともに上記エンコーダホイール145に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール145による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板147が備えられている。また、上記エンコーダホイール145や上記基板147は、上記ボールネジ用モータ133の後端側(図6中後側)に取り付けられたエンコーダカバ149によって覆われている。
上記ボールネジ用モータ133の出力軸141が回転されると、上記基板147上の図示しないセンサによって検出される上記エンコーダホイール145による反射光の強度が変化し、これにより上記ボールネジ用モータ133の回転を検出する。
また、上記ボールネジ用モータ133の前端側(図6中上側)には、ベアリングケース151が備えられている。このベアリングケース151は、上部ケース153と下部ケース155とから構成されている。
上記上部ケース153には貫通孔157が形成されている。この貫通孔157の前端側(図6中上側)には軸受159、159が内装されている。この軸受159も、前述した軸受61と同様に、外輪161、内輪163、複数の鋼球165、リテイナ167とから構成されている。
また、上記軸受159、159は軸受押え168によって押えられている。
また、上記軸受159、159は軸受押え168によって押えられている。
また、上記貫通孔157の後端側(図6中下側)には電磁ブレーキ169が内装されている。この電磁ブレーキ169には、本体171と、この本体171を貫通するとともに上記軸受159によって回転可能に支持された電磁ブレーキ回転軸173が備えられている。そして、この電磁ブレーキ回転軸173には略円板状のブレーキ板175が固着されている。
上記本体171内には電磁石177が内装されている。また、上記本体171には複数(本実施の形態の場合には3本)のネジ179が立設されており、このネジ179と上記電磁ブレーキ回転軸173を貫通するアーマチュア181とサイドプレート183が設置されている。上記ブレーキ板175は上記アーマチュア181と上記サイドプレート183との間に配置されている。
また、上記本体171内には上記電磁ブレーキ回転軸173に貫通されたコイルバネ185が設置されている。また、上記本体171の先端側(図6中上側)にはバネ押え184が設置されており、上記コイルバネ185は上記バネ押え184と上記アーマチュア181との間に介挿されている。
上記アーマチュア181は、常時は上記コイルバネ185の弾性力によって図6中下側に付勢されている。このときは、上記アーマチュア181は上記ブレーキ板175に押し付けられており、上記電磁ブレーキ回転軸173の回転が規制されている。しかし、上記電磁石177に通電を行うと、上記コイルバネ185の弾性力に抗して上記アーマチュア181が図6中上側に移動し、上記アーマチュア181と上記ブレーキ板175との接触が解除される。これにより、上記電磁ブレーキ回転軸173の回転の規制が解除される。
また、上記下部ケース155には貫通孔187が形成されている。この貫通孔187内には上記電磁ブレーキ回転軸173の後端部(図6中下側部分)が配置されている。
上記電磁ブレーキ回転軸173と上記ボールネジ用モータ133の出力軸171とは、上記下部ケース155の貫通孔187内において、カップリング188によって連結されている。
上記電磁ブレーキ回転軸173と上記ボールネジ用モータ133の出力軸171とは、上記下部ケース155の貫通孔187内において、カップリング188によって連結されている。
また、上記電磁ブレーキ回転軸173の前端側(図6上側部分)には、モータ側プーリ189が固着されているとともに、ボールネジ85の後端側(図6中上側)にはボールネジ側プーリ191が固着されている。このモータ側プーリ189とボールネジ側プーリ191との間にはベルト193が巻回され、上記ボールネジ用モータ133の出力軸141の回転が上記ボールネジ85へと伝達される。
また、上記下部ケース155は、上記下部ケース155を貫通し、上記上部ケース153に螺合されるボルト195、195、195、195によって固定されている。
なお、図1に示すように、上記モータユニット129、プーリ189、及び、ボールネジ側プーリ191は駆動部カバ197によって覆われている。
なお、図1に示すように、上記モータユニット129、プーリ189、及び、ボールネジ側プーリ191は駆動部カバ197によって覆われている。
また、ハウジング43の前端側(図6中下側)のベアリングケース71には、ブラケット199を介して、モータユニット201が設置されている。
まず、このモータユニット201には、中空ロッド用モータ203が備えられている。
この中空ロッド用モータ203は、モータハウジング205と、このモータハウジング205の内周面側に設置されたステータ207と、このステータ207の内側に配置されたロータ209と、上記モータハウジング205の前後側に突出されると共に上記ロータ209が固着され、上記モータハウジング205内に回転可能に設けられた出力軸211とから構成されている。
まず、このモータユニット201には、中空ロッド用モータ203が備えられている。
この中空ロッド用モータ203は、モータハウジング205と、このモータハウジング205の内周面側に設置されたステータ207と、このステータ207の内側に配置されたロータ209と、上記モータハウジング205の前後側に突出されると共に上記ロータ209が固着され、上記モータハウジング205内に回転可能に設けられた出力軸211とから構成されている。
また、上記中空ロッド用モータ203の後端側(図6中上側)には、エンコーダ213が設置されている。このエンコーダ213には、上記中空ロッド用モータ203の出力軸211の後端側(図6中上側)に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール215と、このエンコーダホイール215の後方側(図6中上側)に設置されるとともに上記エンコーダホイール215に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール215による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板217が備えられている。また、上記エンコーダホイール215や上記基板217は、上記中空ロッド用モータ203の後端側(図6中上側)に取り付けられたエンコーダカバ219によって覆われている。
上記モータユニット201の前端側(図6中下側)には、ベアリングケース221が備えられている。このベアリングケース221には貫通孔223が形成されており、この貫通孔223内には軸受225、225が内装されている。この軸受225も、前述した軸受61と同様に、外輪227、内輪229、複数の鋼球231、リテイナ233とから構成されている。
また、上記軸受225、225は軸受押え234によって押えられている。
また、上記軸受225、225は軸受押え234によって押えられている。
上記中空ロッド用モータ203の出力軸211にはプーリ取付軸235が連結されている。このプーリ取付軸235は上記軸受225、225に回転可能に支持されている。
また、上記プーリ取付軸235の前端側(図6中下側)にはプーリ237が固着されている。
また、上記プーリ取付軸235の前端側(図6中下側)にはプーリ237が固着されている。
また、スプラインナット119には、中空ロッド側プーリ239が固着されている。この中空ロッド側プーリ239と上記プーリ237にはベルト241が巻回されており、上記中空ロッド用モータ203の出力軸211の回転が中空ロッド113に伝達されるようになっている。上記中空ロッド側プーリ239は、上記スプラインナット119のフランジ部243を貫通し上記中空ロッド側プーリ239に螺合されるボルト245、245、245、245によって固定されている。
また、スプラインナット119は中空ロッド側プーリ239を介して軸受75、75によって回転可能に支持されるとともに、上記中空ロッド113に鋼球125を介して回転方向に対して相互に拘束された状態で取り付けられている。そのため、上記中空ロッド側プーリ239の回転により上記中空ロッド113はZ軸心周りに回転される。
また、上記中空ロッド側プーリ239の近傍にはストッパ247が設置されている。このストッパ247は、ボルト248によってベアリングケース71に固定されており、上記中空ロッド側プーリ239の外周面の所望の位置に必要に応じて固着された図示しないストッパと当接されることで、上記中空ロッド側プーリ239、ひいては上記中空ロッド113の回転角度を規制するものである。
また、上記スプラインナット119の近傍にはセンサ249が配置されている。このセンサ249は、例えば、上記中空ロッド113をZ軸心周りの回転について原点復帰動作を行った際、上記中空ロッド113の回転角度が原点に戻っているか否かを確認するためのものである。
なお、図1に示すように、上記モータユニット201、プーリ237、及び、中空ロッド側プーリ239は駆動部カバ251によって覆われている。
以上が、Z−R軸アクチュエータ36の構成についての説明である。
以上が、Z−R軸アクチュエータ36の構成についての説明である。
次に、本実施の形態によるZ−R軸アクチュエータ36を用いた作業ロボット1や上記Z−R軸アクチュエータ36の作用について説明する。
上記作業ロボット1は、X軸アクチュエータ19の図示しないモータを駆動させてスライダ25をX軸方向(図1中左上から右下に向かう方向)に移動させる。これにより、上記スライダ25上に載置された図示しないワークをX軸方向(図1中左上から右下に向かう方向)に移動させる。
上記作業ロボット1は、X軸アクチュエータ19の図示しないモータを駆動させてスライダ25をX軸方向(図1中左上から右下に向かう方向)に移動させる。これにより、上記スライダ25上に載置された図示しないワークをX軸方向(図1中左上から右下に向かう方向)に移動させる。
また、上記作業ロボット1は、Y軸アクチュエータ31の図示しないモータを駆動させてスライダ35をY軸方向(図1中左下から右上に向かう方向)に移動させる。これにより、Z−R軸アクチュエータ36をY軸方向(図1中左下から右上に向かう方向)に移動させる。
そして、上記作業ロボット1は、上記Z−R軸アクチュエータ36のボールネジ用モータ133を駆動させることにより、スライダ97、ひいては、中空ロッド113をZ軸方向(図1中上下方向)に移動させる。これにより、上記中空ロッド113に取り付けられた図示しない工具等の各種作業具がZ軸方向(図1中上下方向)に移動させる。
すなわち、上記中空ロッド113にはスプライン溝117が形成されており、このスプライン溝117とスプラインナット119の内周面のスプライン溝121との間の空間と、上記スプラインナット119の無負荷循環路123内、及び、図示しないリターン路内には上記複数の鋼球125が循環・転動している。そのため、上記中空ロッド113は上記スプライン溝117に沿ってZ軸方向に移動する。
上記中空ロッド113のZ軸方向への移動の際には、ボールネジ85が上記中空ロッド113の中空部115内に収容されるため、上記ボールネジ85と上記中空ロッド113とは干渉しないようになっている。
また、上記Z−R軸アクチュエータ36の中空ロッド用モータ203を駆動させることにより、スプラインナット119、ひいては、上記中空ロッド113を、Z軸心周りに図5中時計回り方向又は反時計回り方向に回転させる。これにより、上記中空ロッド113に取り付けられた図示しない工具等の各種作業具がZ軸心周りに図5中時計回り方向又は反時計回り方向に回転される。
すなわち、上記中空ロッド113は軸受103によって回転可能に支持されており、上記スプラインナット119は中空ロッド側プーリ239を介して軸受75、75によって回転可能に支持されている。また、上記中空ロッド113のスプライン溝117と上記スプラインナット119の内周面のスプライン溝121との間の空間(転動路)には鋼球125が循環・転動している。
そのため、上記中空ロッド用モータ203の回転が上記中空ロッド側プーリ239に伝達されて、上記スプラインナット119が回転すると上記中空ロッド113がZ軸心周りに回転する。
そのため、上記中空ロッド用モータ203の回転が上記中空ロッド側プーリ239に伝達されて、上記スプラインナット119が回転すると上記中空ロッド113がZ軸心周りに回転する。
次に、本実施の形態によるZ−R軸アクチュエータ36の効果について説明する。
まず、本実施の形態によると、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。
すなわち、ボールネジ85と、このボールネジ85とは別に回転される中空ロッド113が同軸上に配置されていて、且つ、中空ロッド113には中空部115が形成されており、この中空部内に上記ボールネジ85が収容されるようになっているので、上記Z−R軸アクチュエータ36の小型化と構成の簡略化を図ることができる。
まず、本実施の形態によると、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。
すなわち、ボールネジ85と、このボールネジ85とは別に回転される中空ロッド113が同軸上に配置されていて、且つ、中空ロッド113には中空部115が形成されており、この中空部内に上記ボールネジ85が収容されるようになっているので、上記Z−R軸アクチュエータ36の小型化と構成の簡略化を図ることができる。
また、上記ボールネジ85はボールネジ用モータ133によって回転され、上記中空ロッド113は中空ロッド用モータ203によって回転される。すなわち、上記ボールネジ85と上記中空ロッド113とは、それぞれ別々に回転可能となっている。そのため、例えば、上記中空ロッド113を回転させた場合に上記ボールネジ85までもが回転されて上記中空ロッド113の位置がずれてしまうことはなく、上記中空ロッド113の位置を調整するための複雑な制御を不要とすることができる。
ちなみに、上記したように、中空ロッド113には中空部115が形成されており、この内部に上記ボールネジ85が収容されるようになっているので、上記中空ロッド113がZ軸方向に移動しても、上記中空ロッド113と同軸上に配置された上記ボールネジ85とが互いに干渉することはない。
なお、本発明は、前述の一実施の形態に限定されない。
例えば、ボールネジ85を回転・駆動させるボールネジ用モータ133を備えたモータユニット129は上記ボールネジ85に平行に配置されているが、このモータユニット129を上記ボールネジ85と同軸上に配置する場合も考えられる。この場合、Z−R軸アクチュエータ36の上下方向(図6中上下方向)での大きさが増加してしまうものの、水平方向(図6中紙面に垂直な面に平行な方向)での小型化を図ることができる。
例えば、ボールネジ85を回転・駆動させるボールネジ用モータ133を備えたモータユニット129は上記ボールネジ85に平行に配置されているが、このモータユニット129を上記ボールネジ85と同軸上に配置する場合も考えられる。この場合、Z−R軸アクチュエータ36の上下方向(図6中上下方向)での大きさが増加してしまうものの、水平方向(図6中紙面に垂直な面に平行な方向)での小型化を図ることができる。
また、上記モータユニット129には電磁ブレーキ169が備えられているが、中空ロッド用モータ203が備えられたモータユニット201にも電磁ブレーキが備えられる構成も考えられる。
また、上記Z−R軸アクチュエータ36は、水平多関節ロボット(スカラーロボット)のZ−R軸アクチュエータ等、様々な種類のロボットの様々な用途のアクチュエータとして用いられることが考えられる。
その他、本発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。
また、上記Z−R軸アクチュエータ36は、水平多関節ロボット(スカラーロボット)のZ−R軸アクチュエータ等、様々な種類のロボットの様々な用途のアクチュエータとして用いられることが考えられる。
その他、本発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。
本発明は、例えば、産業用ロボットに使用されるアクチュエータや、このアクチュエータを使用したロボットに係り、特に、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、テーブルトップタイプの作業ロボットに好適である。
1 作業ロボット
36 Z−R軸アクチュエータ
85 ボールネジ
89 ボールナット
133 ボールネジ用モータ
113 中空ロッド
115 中空部
119 スプラインナット
203 中空ロッド用モータ
36 Z−R軸アクチュエータ
85 ボールネジ
89 ボールナット
133 ボールネジ用モータ
113 中空ロッド
115 中空部
119 スプラインナット
203 中空ロッド用モータ
Claims (6)
- ボールネジ用モータと、
上記ボールネジ用モータによって回転・駆動されるボールネジと、
上記ボールネジに螺合され上記ボールネジの回転によって軸方向に移動されるボールナットと、
上記ボールネジの回転によって上記ボールナットとともに移動されるとともに上記ボールナットに対して回転可能に支持され、上記ボールネジと同軸上に配置され上記ボールネジが収容される中空部を備えた中空ロッドと、
上記中空ロッドを回転・駆動させる中空ロッド用モータと、
を具備したことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記中空ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが係合・配置されていて、
このスプラインナットを上記中空ロッド用モータによって回転・駆動させることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記ボールネジ用モータは上記ボールネジと同軸上に配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータを用いたロボット。
- テーブルトップ型のロボットであり、
請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。 - 水平多関節ロボットであり、
請求項1〜請求項3の何れかに記載したアクチュエータをZ−R軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012266410A JP2014111292A (ja) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | アクチュエータとロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012266410A JP2014111292A (ja) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | アクチュエータとロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014111292A true JP2014111292A (ja) | 2014-06-19 |
Family
ID=51168842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012266410A Pending JP2014111292A (ja) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | アクチュエータとロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014111292A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107443417A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-08 | 中国东方电气集团有限公司 | 一种具有伸缩自由度的腕关节 |
WO2022173010A1 (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-18 | 国際計測器株式会社 | 電動リニアアクチュエーター |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58146690U (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-03 | 株式会社三協精機製作所 | 工業用ロボツトのヘツド |
JPS6133886A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツトの工具保持軸装置 |
JPH01274976A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-02 | Pentel Kk | 多関節ロボット |
JPH03251384A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Nitto Seiko Co Ltd | 作業工具昇降装置および作業工具回転駆動装置 |
JPH0463695A (ja) * | 1990-06-30 | 1992-02-28 | Yamaha Motor Co Ltd | スカラ型ロボット |
JPH08323660A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-10 | Fujitsu Ten Ltd | 卓上型ロボット |
JPH0938889A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-10 | Pentel Kk | 産業用ロボット |
-
2012
- 2012-12-05 JP JP2012266410A patent/JP2014111292A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58146690U (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-03 | 株式会社三協精機製作所 | 工業用ロボツトのヘツド |
JPS6133886A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツトの工具保持軸装置 |
JPH01274976A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-02 | Pentel Kk | 多関節ロボット |
JPH03251384A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Nitto Seiko Co Ltd | 作業工具昇降装置および作業工具回転駆動装置 |
JPH0463695A (ja) * | 1990-06-30 | 1992-02-28 | Yamaha Motor Co Ltd | スカラ型ロボット |
JPH08323660A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-10 | Fujitsu Ten Ltd | 卓上型ロボット |
JPH0938889A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-10 | Pentel Kk | 産業用ロボット |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107443417A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-08 | 中国东方电气集团有限公司 | 一种具有伸缩自由度的腕关节 |
WO2022173010A1 (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-18 | 国際計測器株式会社 | 電動リニアアクチュエーター |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200621418A (en) | An alignment device | |
EP2311599B1 (en) | Five-axis milling machine | |
JP2014111292A (ja) | アクチュエータとロボット | |
CN200975456Y (zh) | 一种直线往复运动机构 | |
JP2008024511A (ja) | 往復運動機構及びピックアンドプレイス装置 | |
JP6334939B2 (ja) | アクチュエータとロボット | |
JP2015147286A (ja) | アクチュエータとロボット | |
JP5636256B2 (ja) | 送り装置 | |
US11376697B2 (en) | Tool holding device and machine tool | |
WO2016199660A1 (ja) | 加工機 | |
JP2016147344A (ja) | グリッパ | |
JP2016078221A (ja) | 水平多関節ロボット | |
JP2007160445A (ja) | 送り装置 | |
JP2014084975A (ja) | 直動テーブル装置及び直動テーブル装置のボールねじサポート機構 | |
JP2014069205A (ja) | サポートユニット及びそれを用いた摩擦撹拌接合装置 | |
JP5294807B2 (ja) | 長尺テーブルを有する工作機械 | |
JP4096837B2 (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
JPWO2017056295A1 (ja) | ロータリーヘッド、及び、表面実装機 | |
JP2010075942A (ja) | スライド駆動機構 | |
JP2014043930A (ja) | 直動テーブル装置 | |
JP2014084974A (ja) | 直動テーブル装置及び直動テーブル装置のボールねじサポート機構 | |
KR101201584B1 (ko) | 직진?회전 기구 | |
JP2014083650A (ja) | 直動テーブル装置及び直動テーブル装置のボールねじサポート機構 | |
JP2014083631A (ja) | 直動テーブル装置及び直動テーブル装置のボールねじサポート機構 | |
JPH11201161A (ja) | 動力伝導装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160622 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161216 |