JP2014107404A - 配線構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaN基板1上に下側金属層2を形成する。下側金属層2の一部を露出させる開口3を有するフォトレジスト4を下側金属層2上に形成する。フォトレジスト4の開口3内において下側金属層2上に上側金属層5を形成する。上側金属層5に対してフォトレジスト4を選択的にエッチングしてフォトレジスト4を薄膜化する。薄膜化したフォトレジスト4を第1のイオンミリングによりスパッタして上側金属層5の側壁に付着させてカバー膜16を形成する。カバー膜16を形成した後に、上側金属層5をマスクとして用いた第2のイオンミリングにより、上側金属層5の下方以外においてGaN基板1上に存在する下側金属層2を除去する。第2のイオンミリングの後にカバー膜16をエッチング液により除去する。
【選択図】図9
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る配線構造の製造方法のフローチャートである。図2〜図10は、本発明の実施の形態1に係る配線構造の製造工程を示す断面図である。このフローチャート及び工程断面図を参照しながら実施の形態1に係る配線構造の製造方法を説明する。
図11は、本発明の実施の形態2に係る配線構造の製造方法のフローチャートである。図12〜図19は、本発明の実施の形態2に係る配線構造の製造工程を示す断面図である。このフローチャート及び工程断面図を参照しながら実施の形態2に係る配線構造の製造方法を説明する。本実施の形態はめっきマスクとしてフォトレジストの代わりに酸化珪素又はチッ化珪素を用いる点が実施の形態1とは異なる。
Claims (9)
- 基板上に下側金属層を形成する工程と、
前記下側金属層の一部を露出させる開口を有する絶縁膜を前記下側金属層上に形成する工程と、
前記絶縁膜の前記開口内において前記下側金属層上に上側金属層を形成する工程と、
前記上側金属層に対して前記絶縁膜を選択的にエッチングして前記絶縁膜を薄膜化する工程と、
薄膜化した前記絶縁膜を第1のイオンミリングによりスパッタして前記上側金属層の側壁に付着させてカバー膜を形成する工程と、
前記カバー膜を形成した後に、前記上側金属層をマスクとして用いた第2のイオンミリングにより、前記上側金属層の下方以外において前記基板上に存在する前記下側金属層を除去する工程と、
前記第2のイオンミリングの後に前記カバー膜をエッチング液により除去する工程とを備えることを特徴とする配線構造の製造方法。 - 前記第2のイオンミリングによりスパッタされた前記下側金属層が前記カバー膜上に残渣として付着し、
前記エッチング液により前記カバー膜と共に前記残渣をリフトオフにより除去することを特徴とする請求項1に記載の配線構造の製造方法。 - 前記第1のイオンミリングと前記第2のイオンミリングを同じ真空チャンバ内で連続して実施することを特徴とする請求項1又は2に記載の配線構造の製造方法。
- 前記絶縁膜を薄膜化する際にドライアッシング又はドライエッチングを用いることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の配線構造の製造方法。
- 前記下側金属層に給電しながら電解めっきを行なうことにより前記上側金属層を形成することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の配線構造の製造方法。
- 前記絶縁膜はフォトレジストであることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の配線構造の製造方法。
- 前記基板は半導体であり、前記カバー膜を除去した後にシンター処理を行って前記下側金属層と前記基板とのオーミックコンタクトを形成する工程を更に備えることを特徴とする請求項6に記載の配線構造の製造方法。
- 前記絶縁膜は酸化珪素又はチッ化珪素であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の配線構造の製造方法。
- 前記基板は半導体であり、前記第2のイオンミリングの後、前記カバー膜を除去する前にシンター処理を行って前記下側金属層と前記基板とのオーミックコンタクトを形成する工程を更に備えることを特徴とする請求項8に記載の配線構造の製造方法。
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JP2010263132A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Hitachi High-Technologies Corp | ドライエッチング方法 |
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