JP2014099471A - 両面研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高研磨レートで研磨する第1の研磨工程と、次に低研磨レートで研磨する第2の研磨工程とを有する両面研磨方法であって、研磨後に、ウェーハの最外周部から中心を通る直線を所定の区間に分割し、該分割した区間の断面形状を光学的に測定する工程と、測定した断面形状に分割した区間毎に予め設定した重みを加えて区間毎の平坦度を数値化する工程と、数値化した平坦度に基づいて次回研磨時の第1の研磨工程の研磨条件及び第2の研磨工程の研磨条件を設定する工程とを含み、断面形状を測定する工程において、最外周区間の測定に用いる測定装置の光束径を最外周区間以外の区間の測定に用いる光束径より小さいものを用いる両面研磨方法。
【選択図】 図1
Description
ここで、一般的に用いられている遊星歯車式の両面研磨装置の概略を図8に示す。両面研磨装置101は上下定盤を有し、上定盤は上下動が可能で上定盤を下定盤に押し付けることで上下定盤間に挟まれたウェーハに対して荷重を加えることができる。図8に示すように、両面研磨装置101は下定盤内側に設けられたサンギヤ107と、下定盤外側に設けられたインターナルギヤ108とを有している。
上記した仕上がり厚さの調整はこの第1の研磨工程の研磨時間を変化させることによって行われる。上記方法では平坦度の高いウェーハに研磨するためにはキャリアの厚さに対して最適な厚さでウェーハを仕上げる必要がある。
近年では、特に外周部に発生するハネやダレが最先端素子の収率に大きく影響を及ぼしているため、外周部の平坦度が全体の平坦度以上に重要となってきている。しかし、単に全体の平坦度を制御するだけでは外周部の平坦度の改善は困難である。また、上記のように、キャリアの厚さを基準に用いる方法では、キャリアの厚さの摩耗などによる経時変化に対応するのが困難である。
このようにすれば、最外周区間の形状をより確実に精度良く測定できる。
このようにすれば、断面形状の測定をより精度良く行うことができる。
このようにすれば、断面形状をより精度良く測定できる。
上記したような、近年、特に重要とされている外周部の平坦度向上の課題に対し、本発明者は鋭意検討を重ね、以下のことを見出した。
まず、研磨後のウェーハ外周部の平坦度の評価に関し、従来では外周部の光学的形状測定の際に外周部、特に面取り部からの測定用レーザー光の反射の影響を避けるために、外周から2mm程度の領域を測定領域から除外している点に着目した。そして、このことが、平坦度の測定精度を低下させる原因となっていることを見出した。
測定装置は、例えば、ウェーハに対して光学的に透過する波長の波長可変赤外線レーザー装置を具備するウェーハ厚さ測定装置である。また、測定装置はウェーハに照射するレーザー光の光束径を調整できるようになっている。
図1に示すように、まず、研磨対象のウェーハの厚さを測定しながら研磨を開始する(図1のS1)。このウェーハの厚さの測定には、赤外線レーザーによる光反射干渉法を用いることが好ましく、測定精度を向上できる。研磨工程としては、上記したようにまず第1の研磨工程を行う(図1の(S2))。この第1の研磨工程における研磨条件は、後述のように、前回の研磨を行った際に設定した条件を用いる。
その後、研磨後のウェーハをキャリアから取り出し(図1のS5)、ウェーハの断面形状の測定装置まで移送する(図1のS6)。ウェーハの断面形状の測定前には、ウェーハの表面に空気を吹き付けてウェーハに付着した研磨剤、水分を除去することが好ましい(図1のS7)。このようにすれば測定精度を向上できる。
なお、光束径が0.04mm以下になってしまうと焦点が合わせずらくなり現実的でない。
このように最外周区間の測定に用いる測定装置の光束径を最外周区間以外の区間の測定に用いる光束径より小さいものを用いることで、ウェーハ最外周部までの形状を短時間で測定でき、生産性の低下を抑制できる。また、測定時に面取り部からのレーザー光の反射の影響を抑制でき、形状測定の精度を向上できる。
上記した光束径の切り替えは、例えば図4に示すように、集光レンズ12を用いてレーザー光11を集光させることで光束径をt1からt2に小さくすることができる。尚、光束径が0.06mmである場合の焦点距離dは100mm程度である。このようにすれば、測定装置を小型化でき、コストを削減できる。
以上のような本発明の両面研磨方法では、研磨後のウェーハの最外周部までの形状を精度良く測定でき、その測定形状から数値化した平坦度を次回の研磨に正確に反映させて最外周部を含めたウェーハ全体の平坦度を向上できる。しかも、測定時間が増加することもないので、生産性の低減を抑制できる。
図1に示すような本発明の両面研磨方法に従って直径300mmのシリコン単結晶ウェーハを両面研磨した。まず、CZ法により製造したシリコン単結晶インゴットをスライスし、面取り、ラッピング、エッチング処理を行ったウェーハを準備した。研磨には図2に示すような両面研磨装置を用いた。両面研磨装置の研磨布として上下定盤側共にウレタン発泡体のものを用い、研磨剤はコロイダルシリカ砥粒を含み、pHを10.0〜11.0の範囲内で調整されたものを使用した。
2回目の研磨後のウェーハ平坦度を評価したところ、図6(B)に示すように、最外周部を含めたウェーハ全体の平坦度を向上することができた。
研磨後に研磨条件を設定することなく、同じ研磨条件で研磨を繰り返した以外、実施例と同様な条件で両面研磨を行い、実施例と同様に評価した。
研磨後のウェーハの外周部の平坦度を評価した結果を図7に示す。図7に示すように、実施例の結果と比べ、平坦度が悪化してしまった。
5…キャリア、 6…保持孔、 7…サンギア、 8…インターナルギア、
9…貫通孔、 10…ノズル、 11…レーザー光、 12…集光レンズ。
Claims (7)
- キャリアに保持されるウェーハを研磨布が貼付された上下定盤で挟み込み、前記キャリアを自転及び公転させ、研磨剤を供給し、前記ウェーハの厚さを測定しながら前記ウェーハの両面を同時に研磨するウェーハの両面研磨において、高研磨レートで研磨する第1の研磨工程と、次に低研磨レートで研磨する第2の研磨工程とを有する両面研磨方法であって、
研磨後に、前記ウェーハの最外周部から中心を通る直線を所定の区間に分割し、該分割した区間の断面形状を光学的に測定する工程と、
前記測定した断面形状に前記分割した区間毎に予め設定した重みを加えて前記区間毎の平坦度を数値化する工程と、
前記数値化した平坦度に基づいて次回研磨時の前記第1の研磨工程の研磨条件及び前記第2の研磨工程の研磨条件を設定する工程とを含み、
前記断面形状を測定する工程において、最外周区間の測定に用いる測定装置の光束径を前記最外周区間以外の区間の測定に用いる光束径より小さいものを用いることを特徴とする両面研磨方法。 - 前記第1及び第2の研磨工程の研磨条件を設定する工程において、前記第1及び第2の研磨工程後の前記ウェーハの厚さが所定の目標値になるように、研磨荷重、前記キャリアの自転数及び公転数、前記上下定盤の回転数の少なくともいずれか1つを設定することを特徴とする請求項1に記載の両面研磨方法。
- 前記最外周区間の測定に用いる測定装置の光束径を1mm以下とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の両面研磨方法。
- 前記断面形状の測定方法は赤外線レーザーによる光反射干渉法であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の両面研磨方法。
- 前記断面形状を測定する工程において、前記ウェーハの最外周部から中心を通る直線を、前記ウェーハ中心に関して対称となるように前記所定の区間を分割し、該分割したそれぞれの区間の両端における前記ウェーハの厚さの差ΔAを求め、前記ウェーハ中心に関して対称な2つの区間それぞれのΔAを比較して絶対値が大きい方をそれら区間のΔAと定め、
前記平坦度を数値化する工程において、前記ウェーハ外周部の平坦度βを前記最外周区間のΔAから数値化し、前記ウェーハ外周部以外の全体の平坦度αを前記最外周区間以外のそれぞれの区間におけるΔAに、前記ウェーハ中心に近い区間ほど大きく重み付けするように設定した前記重みを加えた後、加算することによって数値化することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の両面研磨方法。 - 前記全体の平坦度αの数値化は、前記ウェーハ中心に最も近い区間の平坦度を、ΔAが0ならば0、ΔAがプラスなら1又は2、ΔAがマイナスなら−1又は−2とし、それ以外の区間の平坦度を、ΔAが0ならば0、ΔAがプラスなら0.5、ΔAがマイナスなら−0.5として加算することによって行い、前記ウェーハ外周部の平坦度βの数値化は、ΔAがプラスならβを1とし、マイナスならβを−1とし、0ならβを0とすることによって行い、
前記第1及び第2の研磨工程の研磨条件を設定する工程において、ウェーハの最大厚さと最小厚さの差をTとしたとき、前記次回研磨時の第1の研磨工程後の前記ウェーハの目標厚さを今回研磨時の目標厚さにβ×Tを加算して決定し、前記次回研磨時の第2の研磨工程後の前記ウェーハの目標厚さを今回研磨時の目標厚さにα×Tを減算して決定することを特徴とする請求項5に記載の両面研磨方法。 - 前記断面形状を測定する工程の前に、更に、前記キャリアから取り外した前記ウェーハの表面に空気を吹き付ける工程を有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の両面研磨方法。
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