JP2014098572A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低コヒーレンス光源12から放射された低コヒーレンス光は、コリメータ16を介してビームスプリッタ18に入射され、ビームスプリッタ18によって測定光と参照光とに分割される。測定光はテレセントリック光学系20によって拡大、平行化されて測定対象物Oに照射される。測定対象物Oで反射した測定光は、ビームスプリッタ18によって、CCPで反射した参照光と一つに合わされて干渉し、光検出器24に入射される。光検出器24は、受光素子をマトリクス状に配列して構成される。光検出器24の各受光素子で検出される干渉光の光強度に基づいて測定光が照射された部位の三次元形状が測定される。
【選択図】図1
Description
[装置構成]
図1は、本発明に係る形状測定装置の第1の実施の形態を示す概略構成図である。
次に、以上のように構成される本実施の形態の形状測定装置10を用いた測定対象物の面の三次元形状の測定方法について説明する。
図6は、本発明に係る形状測定装置の第2の実施の形態を示す概略構成図である。
次に、以上のように構成される本実施の形態の形状測定装置10Aを用いた測定対象物の面の三次元形状の測定方法について説明する。
[1]測定データの較正
上記のように、本発明に係る形状測定装置では、測定光をテレセントリック光学系によって拡大、平行化して測定対象物に照射する。しかし、測定光をテレセントリック光学系によって拡大、平行化して測定対象物に照射すると、偏向された測定光の光路長に変化が生じ、測定データにズレが生じる。そこで、測定光の偏向方向に基づく測定データのズレを補正するため、事前に補正データを取得し、この補正データを用いて測定データを補正する。これにより、より高精度な測定を行うことができる。
上記のように、測定光をテレセントリック光学系によって拡大し平行化すると、測定光の光路長に変化が生じる。したがって、この拡大、平行化による測定光の光路長の変化に応じて、参照光の光路長も変化させることにより、より高精度な測定を行うことができる。すなわち、測定光の光路長の変化に対応させて、参照光の光路長を変化させる。これにより、測定光を拡大、平行化させることによる影響を取り除くことができる。
上記実施の形態では、分割手段及び光干渉手段としてビームスプリッタを使用しているが、分割手段及び光干渉手段には、この他、光カプラ等を用いることもできる。
上記実施の形態では、参照光反射体としてCCPを使用しているが、参照光反射体としては、この他、CCM(Corner Cube Mirror:コーナーキューブミラー)や直角プリズム、直角ミラーなどを使用することもできる。
本発明によれば、測定対象物の寸法を広範囲にわたって高精度に測定することができる。測定対象物は特に限定されない。低コヒーレンス干渉法では、透明体を透過させて屈折率の異なる多層膜も計測することができるため、膜厚及び透明プラスチックなどで覆われた物体の形状測定も行うことができる。
上記のように、光検出器24にはCCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどの固体撮像素子が好適に用いられる。このような固体撮像素子を光検出器24に用いた場合、面の形状の測定と同時に、その面の画像を取得することができる。したがって、固体撮像素子を光検出器24に用いた場合は、形状の測定と同時に、その形状が測定された面の画像を撮像する構成とすることもできる。これにより、三次元形状のデータだけではなく、その三次元形状のデータが得られた面の画像データも取得することができる。
Claims (7)
- 測定対象物の面の三次元形状を測定する形状測定装置であって、
低コヒーレンス光を放射する光源と、
前記光源から放射される前記低コヒーレンス光を平行光に変換するコリメート光学系と、
前記コリメート光学系によって平行光にされた前記低コヒーレンス光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記光分割手段から出射される前記参照光を反射する参照光反射体と、
前記参照光反射体を移動させて前記参照光の光路長を変更する参照光路長変更手段と、
前記参照光反射体の位置を検出する参照光反射体位置検出手段と、
前記光分割手段から出射される前記測定光を拡大かつ平行化し、前記測定対象物に照射するテレセントリック光学系と、
前記参照光反射体で反射される前記参照光と前記測定対象物で反射される前記測定光とを一つに合わせて干渉させる光干渉手段と、
受光素子がマトリクス状に配列されて構成され、前記光干渉手段から出射される前記測定光と前記参照光との干渉光を受光する光検出手段と、
前記受光素子ごとに前記干渉光の強度が最大となるときの前記参照光反射体の位置を検出して、前記測定光が照射された前記測定対象物の面の三次元形状を算出する演算手段と、
を有する形状測定装置。 - 測定対象物の面の三次元形状を測定する形状測定装置であって、
低コヒーレンス光を放射する光源と、
前記光源から放射される前記低コヒーレンス光を平行光に変換するコリメート光学系と、
前記コリメート光学系によって平行光にされた前記低コヒーレンス光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記光分割手段から出射される前記参照光を反射する参照光反射体と、
前記光分割手段から出射される前記測定光を拡大かつ平行化し、前記測定対象物に照射するテレセントリック光学系と、
前記参照光反射体で反射される前記参照光と前記測定対象物で反射される前記測定光とを一つに合わせて干渉させる光干渉手段と、
受光素子がマトリクス状に配列されて構成され、前記光干渉手段から出射される前記測定光と前記参照光との干渉光を受光する光検出手段と、
前記コリメート光学系と前記光分割手段と前記参照光反射体と前記光干渉手段と前記テレセントリック光学系と前記光検出手段とを前記テレセントリック光学系の光軸に沿って移動可能に支持する支持体と、
前記支持体を移動させて前記測定光の光路長を変更する測定光路長変更手段と、
前記支持体の位置を検出する支持体位置検出手段と、
前記受光素子ごとに前記干渉光の強度が最大となるときの前記支持体の位置を検出して、前記測定光が照射された前記測定対象物の面の三次元形状を算出する演算手段と、
を有する形状測定装置。 - 測定対象物の面の三次元形状を測定する形状測定装置であって、
低コヒーレンス光を放射する光源と、
前記光源から放射される前記低コヒーレンス光を平行光に変換するコリメート光学系と、
前記コリメート光学系によって平行光にされた前記低コヒーレンス光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記光分割手段から出射される前記参照光を反射する参照光反射体と、
前記光分割手段から出射される前記測定光を拡大かつ平行化し、前記測定対象物に照射するテレセントリック光学系と、
前記参照光反射体で反射される前記参照光と前記測定対象物で反射される前記測定光とを一つに合わせて干渉させる光干渉手段と、
受光素子がマトリクス状に配列されて構成され、前記光干渉手段から出射される前記測定光と前記参照光との干渉光を受光する光検出手段と、
前記測定対象物を前記テレセントリック光学系の光軸に沿って移動可能に支持する支持体と、
前記測定対象物を移動させて前記測定光の光路長を変更する測定光路長変更手段と、
前記測定対象物の位置を検出する測定対象物位置検出手段と、
前記受光素子ごとに前記干渉光の強度が最大となるときの前記測定対象物の位置を検出して、前記測定光が照射された前記測定対象物の面の三次元形状を算出する演算手段と、
を有する形状測定装置。 - 前記測定光を前記テレセントリック光学系によって拡大かつ平行化することによって生じる前記測定光の光路長の変化に基づく測定データの補正情報が記憶された補正情報記憶手段を更に備え、前記演算手段は算出した測定データを前記補正情報で補正して真の測定データとする請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記参照光反射体と前記光干渉手段との間に配置され、前記測定光を前記テレセントリック光学系によって拡大かつ平行化することによって生じる前記測定光の光路長の変化に応じて前記参照光の光路長を補正する参照光路長補正手段を更に備えた請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記光源は中心波長が紫外線領域に属する低コヒーレンス光を放射する請求項1から5のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記光検出手段が固体撮像素子で構成され、三次元形状の測定と同時に測定対象の面の画像が撮像される請求項1から6のいずれか1項に記載の形状測定装置。
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