JP2014096483A - 反射型マスクおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射基板11上にマスクパターン1が設けられ、反射基板11とマスクパターン1の表面は面一であり、反射基板11の表面には保護膜50を有する。反射基板11は、表層部が多層反射膜20により構成されている。基板10の一方側表面から多層反射膜20を積層し、多層反射膜20の上にレジスト40を塗布し、レジスト40をパターニングしたマスクパターン1の上から多層反射膜20をエッチングしてマスクパターン1の逆パターンを多層反射膜20に形成し、レジスト40を剥離し、パターニングされた多層反射膜20の表面に保護膜50を成膜し、成膜された保護膜50の上に光吸収膜60を成膜し、その光吸収膜60を保護膜50の表面と面一になるようにエッチングまたは研磨する。
【選択図】図1
Description
近年、半導体デバイスの微細化に伴い、波長が13.5nm近傍のEUVを光源に用いたEUVリソグラフィが提案されている。EUVリソグラフィは光源波長が短く光吸収性が非常に高いため、真空中で行われる必要がある。またEUVの波長領域においては、ほとんどの物質の屈折率は1よりもわずかに小さい値である。このため、EUVリソグラフィにおいては従来から用いられてきた透過型の屈折光学系を使用することができず、反射光学系となる。従って、原版となるフォトマスク(以下、マスクと呼ぶ)も、従来の透過型のマスクは使用できないため、反射型のマスクとする必要がある。
以下、従来の技術を、図5、図6を用いて説明する。
図5は、従来例に係る反射型マスクおよびその製造方法を説明するための側断面図である。図5(a)〜図5(g)は、製造工程の順に沿って概略形状を模式説明する側断面図であり、完成した状態の反射型マスクを図5(g)に示している。図5において、符号1はマスクパターン、符号10は基板、符号20は多層反射膜、符号30は裏面導電膜、符号40はレジスト、符号50は保護膜、符号60は光吸収膜である。
また、大規模集積回路の高集積化は、回路を構成する配線パターンの細線化技術を必須のものとして要求する。大規模集積回路のパターン微細化が加速されるのは、その高速動作と低消費電力化のためであり、その最も有効な手段がパターンの微細化だからである。このため、上述の細線化された配線パターンを有するマスクを実現する目的で、より微細なパターンをマスク基板上に形成する必要がある。
本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、反射型マスクの反射特性を損なうことなく、微細なマスクパターンが形成可能な反射型マスクを提供することを目的とするものである。
請求項2に記載の本発明は、請求項1に記載の反射型マスクにおいて、前記反射基板(11)は、少なくとも表層部が多層反射膜(20)により構成されていることを特徴とする反射型マスクである(図1、図3)。
図2に示すように、反射型マスクの製造方法には、反射基板11の基部を構成する基板10の一方側表面から多層反射膜20を積層する工程S10と、多層反射膜20の上にレジスト40を塗布する工程S20と、レジスト40をパターニングする工程S35と、パターニングしたレジスト40をマスクとして多層反射膜20をエッチングしてマスクパターン1の逆パターンを多層反射膜20に形成する工程S40と、レジスト40を剥離する工程S55と、パターニングされた多層反射膜20の表面に保護膜50を成膜する工程S60と、成膜された保護膜50の上に光吸収膜60を成膜する工程S70と、成膜された光吸収膜60を保護膜50の表面と面一になるようにエッチングする工程S80とを有している。
図1(a)工程S10に示されるように、反射基板11の基部を構成する基板10の一方側表面に、多層反射膜20を積層し、もう一方側の表面に裏面導電膜30を成膜する。
図1(b)工程S20に示されるように、多層反射膜20の上にレジスト40を塗布する)。レジスト40の上に導電膜を塗布しても良い。
図1(d)工程S40に示されるように、パターニングしたレジストをマスクとして、多層反射膜20をエッチングして、多層反射膜20に所定のマスクパターンの逆パターンを形成する。なお、多層反射膜20をエッチングする際、多層反射膜20を完全に除去しなくても良く、多層反射膜20がエッチングされる深さが、後程光吸収膜60によって形成されるマスクパターンが、露光光源波長を充分吸収するに足る膜厚になる深さ以上であれば良い。
図1(f)工程S60に示されるように、パターニングされた多層反射膜20の表面に、保護膜50を成膜する。
図1(g)工程S70に示されるように、成膜された保護膜50の上に光吸収膜60を成膜する。
図1(h)工程S80に示されるように、成膜された光吸収膜60を保護膜50の表面と面一になるようにエッチングあるいは研磨する。
図1(a)工程S10に示されるように、反射基板11の基部を構成する基板10の一方側表面に、MoとSiを交互に40ペア積層して多層反射膜20(膜厚280nm)を成膜し、もう一方側の表面にCrNをスパッタし、裏面導電膜30(膜厚20nm)を成膜した。
図1(c)工程S35に示されるように、レジスト40に対して電子線描画機を用いてマスクパターン1となる部分を描画し、露光後、PEB(Post Exposure Bake)と呼ばれる軽い熱処理(110℃10分)および現像(2.38%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム / Tetramethylammonium hydroxide)水溶液)を施し、レジストをパターニングした。
図1(e)工程S55に示されるように、レジスト40を硫酸系の剥離液とアンモニア過酸化水素水を用いて剥離した。
図1(g)工程S70に示されるように、成膜された保護膜50の上に電解メッキを用いてTaをメッキし、光吸収膜60(膜厚200nm)を成膜した。
図1(h)工程S80に示されるように、成膜された光吸収膜60を保護膜表面と面一になるように、CMP(Chemical Mechanical Polishing;科学的機械研磨)法を用いて研磨し、洗浄した。
図4は、本発明の実施例2に係る反射型マスクの製造方法を説明するためのフローチャートを示す図である。
図3(a)工程S10に示されるように、反射基板11の基部を構成する基板10の一方側表面に、多層反射膜20を積層し、もう一方側の表面に裏面導電膜30を成膜する。
図3(b)工程S25に示されるように、多層反射膜20の上に保護膜50を成膜する。
図3(c)工程S30に示されるように、保護膜50の上にレジスト40を塗布する。レジスト40の上に不図示の導電膜を塗布しても良い。
図3(e)工程S50に示されるように、パターニングしたレジスト40をマスクとして、保護膜50および多層反射膜20をエッチングして、保護膜および多層反射膜に所定のマスクパターンの逆パターンを形成する。なお、工程S50において、保護膜50および多層反射膜20をエッチングする際、多層反射膜20を、深層まで完全に除去しなくても良い。具体的に、保護膜50および多層反射膜20が、トータルでエッチングされる深さの必要条件は、後述する工程S80の完了時点において、光吸収膜60によって形成されるマスクパターン1が、露光光源波長を充分吸収するに足る膜厚になる深さ以上であれば良い。
図3(g)工程S65に示されるように、パターニングされた保護膜および多層反射膜20の表面に、光吸収膜60を成膜する。
図3(h)工程S80に示されるように、成膜された光吸収膜60を保護膜50の表面と面一になるようにエッチングあるいは研磨する。
図3(a)工程S10に示されるように、反射基板11の基部を構成する基板10の一方側表面に、MoとSiを交互に40ペア積層して多層反射膜20(膜厚280nm)を成膜し、もう一方側の表面にCrNをスパッタし、裏面導電膜30(膜厚20nm)を成膜した。
図3(c)工程S30に示されるように、保護膜50の上にレジスト40(FEP171:富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ、膜厚200nm)を塗布した。
図3(d)工程S35に示されるように、レジスト40に対して電子線描画機を用いてマスクパターンとなる部分を描画し、PEB(110℃10分)および現像(2.38%TMAH水溶液)を施し、レジスト40をパターニングした。
図3(f)工程S55に示されるように、レジストを硫酸系の剥離液とアンモニア過酸化水素水を用いて剥離した。
図3(h)工程S80に示されるように、成膜された光吸収膜60を保護膜表面と面一になるように、CMP(科学的機械研磨)法を用いて研磨し、洗浄した。
以上、説明した本実施例1,2によれば、反射型マスクの反射特性を損なうことなく、微細なマスクパターンが形成可能な反射型マスクおよびその製造方法を実現できた。
10 基板
11 反射率が高い基板(反射基板)
20 多層反射膜
30 裏面導電膜
40 レジスト
50 保護膜
60 光吸収膜
Claims (4)
- 反射基板の上面に所定のマスクパターンが設けられ、前記反射基板の表面と前記マスクパターンの表面とは面一であり、前記反射基板の表面には保護膜を有することを特徴とする反射型マスク。
- 請求項1に記載の反射型マスクにおいて、前記反射基板は、少なくとも表層部が多層反射膜により構成されていることを特徴とする反射型マスク。
- 反射基板の基部を構成する基板の一方側表面から多層反射膜を積層する工程と、
前記多層反射膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記レジストをパターニングする工程と、
前記パターニングした前記レジストをマスクとして前記多層反射膜をエッチングして前記マスクパターンの逆パターンを前記多層反射膜に形成する工程と、
前記レジストを剥離する工程と、
前記パターニングされた前記多層反射膜の表面に保護膜を成膜する工程と、
前記成膜された前記保護膜の上に光吸収膜を成膜する工程と、
前記成膜された前記光吸収膜を前記保護膜の表面と面一になるようにエッチングまたは研磨する工程とを有することを特徴とする反射型マスクの製造方法。 - 反射基板の基部を構成する基板の一方側表面から多層反射膜を積層する工程と、
前記多層反射膜の上に保護膜を成膜する工程と、
前記保護膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記レジストをパターニングする工程と、
前記パターニングした前記レジストをマスクとして前記保護膜および前記多層反射膜をエッチングして前記マスクパターンの逆パターンを前記保護膜および多層反射膜に形成する工程と、
前記レジストを剥離する工程と、
前記パターニングされた前記保護膜および前記多層反射膜の表面に光吸収膜を成膜する工程と、
前記成膜された前記光吸収膜を前記保護膜の表面と面一になるようにエッチングまたは研磨する工程とを有することを特徴とする反射型マスクの製造方法。
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