JP2014095877A5 - - Google Patents
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Description
本発明の光学素子は、透明な基板と、該基板の上に積層された反射防止膜と、を有する光学素子であって、前記反射防止膜は、前記基板の側から順に第１層、第２層、および第３層を有し、前記基板について、ｄ線に対する屈折率は１．８０〜２．０５であり、前記第１層について、ｄ線に対する屈折率は１．４３〜１．４７、物理膜厚は２９．０〜４０．０ｎｍ、であり、前記第２層について、ｄ線に対する屈折率は２．００〜２．２０、物理膜厚は１２．０〜４１．０ｎｍ、であり、前記第３層について、ｄ線に対する屈折率は１．２３〜１．２６、物理膜厚は１１０．０〜１３０．０ｎｍ、であることを特徴とする。
Claims (10)
- 透明な基板と、該基板の上に積層された反射防止膜と、を有する光学素子であって、
前記反射防止膜は、前記基板の側から順に第１層、第２層、および第３層を有し、
前記基板について、ｄ線に対する屈折率は１．８０〜２．０５であり、
前記第１層について、ｄ線に対する屈折率は１．４３〜１．４７、物理膜厚は２９．０〜４０．０ｎｍ、であり、
前記第２層について、ｄ線に対する屈折率は２．００〜２．２０、物理膜厚は１２．０〜４１．０ｎｍ、であり、
前記第３層について、ｄ線に対する屈折率は１．２３〜１．２６、物理膜厚は１１０．０〜１３０．０ｎｍ、であることを特徴とする光学素子。 - 前記第１層は、シリカを主成分とする無機系酸化膜であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子。
- 前記第２層は、無機系酸化膜であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子。
- 前記第３層は、シリカ微粒子を含むことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記シリカ微粒子は、中空微粒子であることを特徴とする請求項４に記載の光学素子。
- 前記中空微粒子の平均粒径は、２０ｎｍ以上７０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載の光学素子。
- 前記シリカ微粒子は、メソポーラスシリカであることを特徴とする請求項４に記載の光学素子。
- 前記第２層は、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化ランタン、アルミナ、シリカまたはこれらの少なくとも２つの混合物であることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
- 請求項９に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
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