JP2014084434A - 接着剤組成物及び接着フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着剤組成物は、スチレン単位の含有量が14重量%以上、50重量%以下であるエラストマーと、炭化水素樹脂とを含み、上記エラストマー及び上記炭化水素樹脂の総量に対して、上記エラストマーの含有率は、50重量%以上、99重量%以下であり、上記炭化水素樹脂の含有率は、1重量%以上、50重量%以下である。
【選択図】なし
Description
本発明に係る接着剤組成物に含まれるエラストマーは、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含んでおり、当該スチレン単位の含有量は、14重量%以上、50重量%以下である。
炭化水素樹脂は、炭化水素骨格を有し、単量体成分を重合してなる樹脂である。本実施形態に係る接着剤組成物に含まれる炭化水素樹脂としては、例えば、シクロオレフィンポリマー(以下、「樹脂A」ともいう)、ならびにテルペン系樹脂、ロジン系樹脂及び石油系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂(以下、「樹脂B」ともいう)が挙げられる。
本発明に係る接着剤組成物に含まれる溶剤は、エラストマー及び炭化水素樹脂を溶解する機能を有するものであればよく、例えば、非極性の炭化水素系溶剤、極性及び無極性の石油系溶剤等を用いることができる。
本発明において、接着剤組成物は熱重合禁止剤を含有していてもよい。熱重合禁止剤は、熱によるラジカル重合反応を防止する機能を有する。具体的には、熱重合禁止剤はラジカルに対して高い反応性を示すため、モノマーよりも優先的に反応してモノマーの重合を禁止する。そのような熱重合禁止剤を含む接着剤組成物は、高温環境下(特に、250℃〜350℃)において重合反応が抑制される。
また、本発明に係る接着剤組成物は、熱重合禁止剤を溶解し、エラストマー及び炭化水素樹脂を溶解するための溶剤とは異なる組成からなる添加溶剤を含有する構成であってもよい。添加溶剤としては、特に限定されないが、接着剤組成物に含まれる成分を溶解する有機溶剤を用いることができる。
接着剤組成物には、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含んでいてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤及び界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いることができる。
本実施形態に係る接着剤組成物の調製方法は特に限定されず、公知の方法を用いればよいが、例えば、エラストマーと、炭化水素樹脂とを溶剤に溶解させ、既存の攪拌装置を用いて、各組成を攪拌することにより、本実施形態に係る接着剤組成物を得ることができる。
本実施形態に係る接着剤組成物は、ウエハ(基板)と当該ウエハの支持体とを接着するために用いられる。
本実施形態に係る接着剤組成物によって接着されたウエハと支持体とを、上記の反応層を変質すること等によって分離した後に、接着剤層を除去する場合、上述の溶剤を用いれば容易に溶解して除去することができる。また、上記の反応層等を用いずに、ウエハと支持体とを接着した状態で接着剤層に直接、溶剤を供給することによって、容易に接着剤層が溶解して当該接着剤層が除去され、ウエハと支持体とを分離することができる。この場合、接着剤層への溶剤の供給効率を上げるため、支持体には貫通した孔が設けられていることがより好ましい。
本発明に係る接着剤組成物は、用途に応じて様々な利用形態を採用することができる。例えば、液状のまま、半導体ウエハなどの被加工体の上に塗布して接着剤層を形成する方法を用いてもよいし、本発明に係る接着フィルム、すなわち、予め可撓性フィルムなどのフィルム上に上記何れかの接着剤組成物を含む接着剤層を形成した後、乾燥させておき、このフィルム(接着フィルム)を、被加工体に貼り付けて使用する方法(接着フィルム法)を用いてもよい。
まず、実施例1及び実施例2として接着剤組成物を調製した。実施例1及び実施例2において使用したエラストマー、炭化水素樹脂、重合禁止剤、主溶剤及び添加溶剤の組成を、以下の表1に示す。なお、表1中の「部」は全て重量部である。また、表1において、エラストマー及び炭化水素樹脂は、これらの総量に対するそれぞれの割合を表している。重合禁止剤は、エラストマー及び炭化水素樹脂の合計を100部としたときの量を表し、添加溶剤は、主溶剤100部に対する量である。
半導体ウエハ基板(12インチ、シリコン)に接着剤組成物をスピン塗布し、100℃、160℃、220℃の温度で各5分間ベークし、膜厚50μmの接着層を形成した。
真空下、215℃、4000kgの条件で5分間、532nmのレーザ吸収を示す反応層であるフルオロカーボン層(厚さ0.5μm)を兼ね備えたベアのガラス支持体(12インチ)とウエハとの貼り合わせを行い積層体とした。その際、その後の薄化工程及び熱工程でウエハの破損またはウエハの面内均一性の低下につながる貼り付け不良(未接着部分)が無いことを確認した。なお、当該反応層は、流量400sccm、圧力700mTorr、高周波電力2800W及び成膜温度240℃の条件下において、反応ガスとしてC4F8を使用したCVD法により形成した。
ウエハに対し、ガラス面から532nmのレーザ照射を行い、ガラス支持体と接着層との間で分離した。ガラス支持体を取り除いたウエハは、p−メンタンでスピン洗浄することで接着層を残渣なく除去することができた。実施例1及び比較例2の結果を表1に示し、比較例1及び比較例2の結果を表2に示す。
Claims (9)
- 主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み当該スチレン単位の含有量が14重量%以上、50重量%以下であるエラストマーと、
炭化水素樹脂とを含み、
上記エラストマー及び上記炭化水素樹脂の総量に対して、
上記エラストマーの含有率は、50重量%以上、99重量%以下の範囲であり、
上記炭化水素樹脂の含有率は、1重量%以上、50重量%以下の範囲であることを特徴とする接着剤組成物。 - 上記エラストマーの主鎖の構成単位として含まれるスチレン単位の含有量が、17重量%以上、40重量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーは、主鎖の構成単位として含まれるスチレン単位の含有量が互いに異なる二種類以上のスチレン系エラストマーを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーの重量平均分子量が20,000以上、200,000以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーが水添物であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーの両末端がスチレンのブロック重合体であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーは、スチレン及び共役ジエンのブロックコポリマーの水添物であることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記炭化水素樹脂がシクロオレフィンであることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- フィルム上に、請求項1〜8の何れか一項に記載の接着剤組成物からなる接着層が形成されていることを特徴とする接着フィルム。
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