JP2014077783A - 熱電対、サーモパイル、赤外線センサー及び赤外線センサーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サーモパイル5を備えた赤外線センサーにおいて、サーモパイル5は第一半導体材料31と第二半導体材料32を含んでいる。第一半導体材料31と第二半導体材料32は積層されている。第一半導体材料31と第二半導体材料32の層間に第一半導体材料31の熱酸化膜からなる層間絶縁膜35が形成されている。
【選択図】図14
Description
図11は、従来の赤外線センサーを説明するための概略的な図であり、(A)は平面図、(B)は(A)のX−X’位置での断面図である。
半導体材料3,4の基材の一例はポリシリコンである。第一半導体材料3には1×1018〜1×1019cm-3程度の不純物濃度となるようにリンが導入されている。第二半導体材料4には、シリコンに対するリンの固溶限である5×1020cm-3程度の不純物濃度のリンが導入されている。
(4)第二半導体材料4を形成するための半導体層4aを形成する。半導体層4aは例えばポリシリコンである。
4 第二半導体材料
5 サーモパイル
20 周辺回路部
31 第一半導体材料
32 第二半導体材料
35 層間絶縁膜(熱酸化膜)
Claims (19)
- サーモパイルを備えた赤外線センサーにおいて、
前記サーモパイルは、第一半導体材料と第二半導体材料を含み、
前記第一半導体材料と前記第二半導体材料は積層されており、
前記第一半導体材料と前記第二半導体材料の層間に前記第一半導体材料の熱酸化膜を有することを特徴とする赤外線センサー。 - 前記第一半導体材料と前記第二半導体材料の層間に、前記熱酸化膜に替えて又は前記熱酸化膜に積層されて、前記熱酸化膜とは異なる絶縁膜が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサー。
- 前記第一半導体材料と前記第二半導体材料は、同じ極性のキャリアを生じる不純物が互いに異なる濃度で導入されており、かつ、ゼーベック係数の極性が互いに反対になっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の赤外線センサー。
- 前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料は、ゼーベック係数の極性が互いに反対になるように前記不純物の濃度が選択又は調整されていることを特徴とする請求項3に記載の赤外線センサー。
- 前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料は、シリコンを主とすることを特徴とする半導体材料である請求項3又4に記載の赤外線センサー。
- 前記不純物はN型不純物であることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載の赤外線センサー。
- 前記第一半導体材料と前記第二半導体材料のうち一方は、前記不純物の濃度が固溶限に達していることを特徴とする請求項3から6のいずれか一項に記載の赤外線センサー。
- 積層されている前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料の長手方向に沿った側面は同一面に配置されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の赤外線センサー。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の赤外線センサーの製造方法であって、
前記第一半導体材料と前記第二半導体材料を同時にエッチングする工程を含むことを特徴とする赤外線センサーの製造方法。 - 電気的に接続される第一半導体材料と第二半導体材料を備え、
前記第一半導体材料と前記第二半導体材料は、同じ極性のキャリアを生じる不純物が互いに異なる濃度で導入されており、かつ、ゼーベック係数の極性が互いに反対になっていることを特徴とする熱電対。 - 前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料は、ゼーベック係数の極性が互いに反対になるように前記不純物の濃度が選択又は調整されていることを特徴とする請求項10に記載の熱電対。
- 前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料は、シリコンを主とする半導体材料であることを特徴とする請求項10又は11に記載の熱電対。
- 前記不純物はN型不純物であることを特徴とする請求項10から12のいずれか一項に記載の熱電対。
- 前記第一半導体材料と前記第二半導体材料のうち一方は、前記不純物の濃度が固溶限に達していることを特徴とする請求項10から13のいずれか一項に記載の熱電対。
- 前記第一半導体材料及び前記第二半導体材料は、互いに異なる層の半導体材料で形成されていることを特徴とする請求項10から14のいずれか一項に記載の熱電対。
- 複数の熱電対が直列又は並列に接続されたサーモパイルにおいて、
前記熱電対として請求項10から15のいずれか一項に記載の熱電対を備えていることを特徴とするサーモパイル。 - 複数の熱電対が直列に接続されたサーモパイルを備えた赤外線センサーにおいて、
前記サーモパイルとして請求項16に記載のサーモパイルを備えていることを特徴とする赤外線センサー。 - 同一基板上に前記サーモパイルと周辺回路が形成されていることを特徴とする請求項1から7又は17のいずれか一項に記載の半導体センサー。
- 複数の前記サーモパイルがアレイ状に配置されていることを特徴とする請求項1から7、17又は18のいずれか一項に記載の半導体センサー。
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