JP5805117B2 - 赤外線撮像装置 - Google Patents
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また、低雑音化のためには、個々のダイオードが逆バイアスとなる箇所を電気的に接続するために形成されるコンタクトホールの底部に金属シリサイド膜を設ける構造(例えば、特許文献1参照)や、pn接合ダイオードを構成する半導体層の不純物に分布を持たせ、半導体層を流れる電気伝導キャリアを半導体層の中央部に多く偏在させる構造(例えば、特許文献2参照)が提案されている。
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる赤外線撮像装置の概略を示す斜視図である。赤外線撮像装置100は、アレイ状に設けられた赤外線検出器1を含む。赤外線検出器1の周囲には、駆動走査回路4と信号走査回路5とが設けられている。また、赤外線検出器1の間には、駆動走査回路4に接続された選択線2と、信号走査回路5に接続された信号線3が設けられ、それぞれの赤外線検出器1に接続されている。信号走査回路5には出力アンプ6が接続されている。
図6は、本発明の実施の形態2にかかる赤外線撮像装置の赤外線検出器(画素部)の上面図であり、図6中、図2A、2Bと同一符号は、同一または相当箇所を示す。
図9A〜図9Cは、本発明の実施の形態3にかかる赤外線撮像装置であり、図9Aは、図2Bの断面Bと同等の断面における断面図、図9B、図9Cは、図2Bの断面Cと同等の断面における断面図である。
図10A、図10Bは、本発明の実施の形態4にかかる赤外線撮像装置であり、図10Aは、図2Bの断面Bと同等の断面における断面図、図10Bは、図2Bの断面Cと同等の断面における断面図である。
図11A、図11Bは、本発明の実施の形態5にかかる赤外線撮像装置であり、図11Aは、図2Bの断面Bと同等の断面における断面図、図11Bは、図2Bの断面Cと同等の断面における断面図である。
Claims (6)
- 基板上に支持脚により保持された赤外線検知部を有する赤外線撮像装置であって、該赤外線検知部は、
n型不純物領域と、該n型不純物領域中に形成され、該n型不純物領域よりも不純物濃度が高いp型不純物領域とを含むpn接合ダイオードと、
該pn接合ダイオードを覆うように設けられた絶縁膜と、
該絶縁膜に設けられた開口部中に露出した該p型不純物領域に接続し、該pn接合ダイオードに順方向のバイアスを印加する配線層と、
該絶縁膜の上に形成され、該配線層と電気的に接続されたバイアス用配線層と、を含み、
該バイアス用配線層は、該絶縁膜を挟んで該n型不純物領域と対向することを特徴とする赤外線撮像装置。 - 上記配線層と上記バイアス用配線層とは、直接接続されたことを特徴とする請求項1に記載の赤外線撮像装置。
- 上記配線層と上記バイアス用配線層とは、上記基板に設けられた導電層を介して接続されたことを特徴とする請求項1に記載の赤外線撮像装置。
- 上記基板は、絶縁層と、該絶縁層上に形成された半導体層とを含むSOI基板からなり、該半導体層中に上記pn接合ダイオードが形成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の赤外線撮像装置。
- 上記n型不純物領域の側面にサイドウォールが設けられ、該サイドウォールの上に上記絶縁膜が設けられたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の赤外線撮像装置。
- 上記p型不純物領域は、その側面と底面とが上記n型不純物領域と接してpn接合を形成することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線撮像装置。
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