JP2014067940A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2014067940A5
JP2014067940A5 JP2012213573A JP2012213573A JP2014067940A5 JP 2014067940 A5 JP2014067940 A5 JP 2014067940A5 JP 2012213573 A JP2012213573 A JP 2012213573A JP 2012213573 A JP2012213573 A JP 2012213573A JP 2014067940 A5 JP2014067940 A5 JP 2014067940A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
processing
substrate
coating
blocks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012213573A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5920981B2 (ja
JP2014067940A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012213573A priority Critical patent/JP5920981B2/ja
Priority claimed from JP2012213573A external-priority patent/JP5920981B2/ja
Publication of JP2014067940A publication Critical patent/JP2014067940A/ja
Publication of JP2014067940A5 publication Critical patent/JP2014067940A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5920981B2 publication Critical patent/JP5920981B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012213573A 2012-09-27 2012-09-27 基板処理システム Active JP5920981B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012213573A JP5920981B2 (ja) 2012-09-27 2012-09-27 基板処理システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012213573A JP5920981B2 (ja) 2012-09-27 2012-09-27 基板処理システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014067940A JP2014067940A (ja) 2014-04-17
JP2014067940A5 true JP2014067940A5 (enExample) 2014-11-27
JP5920981B2 JP5920981B2 (ja) 2016-05-24

Family

ID=50744024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012213573A Active JP5920981B2 (ja) 2012-09-27 2012-09-27 基板処理システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5920981B2 (enExample)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101919122B1 (ko) * 2014-08-12 2018-11-15 주식회사 제우스 공정 분리형 기판 처리장치 및 처리방법
JP6929105B2 (ja) * 2017-04-06 2021-09-01 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08115968A (ja) * 1994-10-13 1996-05-07 Touyoko Kagaku Kk 多段式複数チャンバ真空熱処理装置
US6749390B2 (en) * 1997-12-15 2004-06-15 Semitool, Inc. Integrated tools with transfer devices for handling microelectronic workpieces
JPH1074818A (ja) * 1996-09-02 1998-03-17 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JP3462405B2 (ja) * 1998-10-29 2003-11-05 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP3845585B2 (ja) * 2002-01-25 2006-11-15 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP4209658B2 (ja) * 2002-10-22 2009-01-14 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP4464993B2 (ja) * 2007-06-29 2010-05-19 東京エレクトロン株式会社 基板の処理システム
JP5284808B2 (ja) * 2009-01-26 2013-09-11 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ ストッカー装置及び基板処理装置
JP2010251380A (ja) * 2009-04-10 2010-11-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウエハローディング・アンローディング方法および装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011253897A5 (enExample)
JP2006287178A5 (enExample)
JP2009278138A5 (enExample)
JP2014138063A5 (enExample)
TWI456360B (zh) 基板處理系統及基板處理方法
JP2012151312A5 (enExample)
JP2014513429A5 (enExample)
JP6723110B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP6243784B2 (ja) 基板処理装置
JP6049367B2 (ja) 基板処理装置および基板処理システム
WO2008059684A1 (fr) Equipement de transport de substrat
JP2014067940A5 (enExample)
TWI525739B (zh) 基板處理裝置
JP2020035935A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP5569508B2 (ja) 基板処理装置
JP2014063791A5 (enExample)
JP5977729B2 (ja) 基板処理システム
JP2013162111A5 (enExample)
JP6363284B2 (ja) 基板処理システム
JP5378686B2 (ja) 基板処理装置
JP7142566B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP7232593B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP5925869B2 (ja) 基板処理装置
JP5920981B2 (ja) 基板処理システム
JP2020107686A (ja) 基板処理装置および基板処理方法