JP2014067762A - 異方性導電接着剤 - Google Patents

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    • H01L2224/29338Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29347Copper [Cu] as principal constituent
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    • H01L2224/29363Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29369Platinum [Pt] as principal constituent
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    • H01L2224/29417Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/29418Zinc [Zn] as principal constituent
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    • H01L2224/29438Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29444Gold [Au] as principal constituent
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    • H01L2224/29438Coating material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29455Nickel [Ni] as principal constituent
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    • H01L2224/29399Coating material
    • H01L2224/29486Coating material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2224/29487Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
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    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/3201Structure
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    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/325Material
    • H01L2224/32501Material at the bonding interface
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49107Connecting at different heights on the semiconductor or solid-state body
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8138Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/81399Material
    • H01L2224/814Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/81438Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/81444Gold [Au] as principal constituent
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/818Bonding techniques
    • H01L2224/81801Soldering or alloying
    • H01L2224/81805Soldering or alloying involving forming a eutectic alloy at the bonding interface
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/819Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector with the bump connector not providing any mechanical bonding
    • H01L2224/81901Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector
    • H01L2224/81903Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector by means of a layer connector
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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Abstract

【課題】高い放熱性が得られる異方性導電接着剤を提供する。
【解決手段】導電性粒子31と、導電性粒子1よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子32とをバインダーに分散させる。この異方性導電接着剤を用いて熱圧着したLED実装体は、LED素子の端子(電極12a、14a)と、基板の端子(電極22a、23a)とが導電性粒子31を介して電気的に接続され、LED素子の端子と基板の端子との間に熱伝導粒子32が捕捉される。
【選択図】図3

Description

本発明は、導電性粒子が分散された異方性導電接着剤に関し、特に、ドライバーIC(Integrated Circuit)、LED(Light Emitting Diode)等のチップ(素子)が発する熱を放熱することが可能な異方性導電接着剤に関する。
従来、LED素子を基板に実装する工法として、ワイヤーボンド工法が用いられている。ワイヤーボンド工法は、図5に示すように、LED素子の電極(第1導電型電極104a及び第2導電型電極102a)面を上に向け(フェイスアップ)、そのLED素子と基板の電気的接合をワイヤーボンド(WB)301a、301bで行い、LED素子と基板との接着には、ダイボンド材302を用いる。
しかし、このようなワイヤーボンドで電気的接続を得る方法では、電極(第1導電型電極104a及び第2導電型電極102a)からのワイヤーボンドの物理的破断・剥離のリスクがあるため、より信頼性の高い技術が求められている。さらに、ダイボンド材302の硬化プロセスは、オーブン硬化で行われるため、生産に時間が掛かる。
ワイヤーボンドを用いない工法として、図6に示すように、LED素子の電極(第1導電型電極104a及び第2導電型電極102a)面を基板側に向け(フェイスダウン、フリップチップ)、そのLED素子と基板との電気的接続に、銀ペーストに代表される導電性ベースト303a、303bを用いる方法がある。
しかし、導電性ペースト303a、303bは、接着力が弱いため、封止樹脂304による補強が必要である。さらに、封止樹脂304の硬化プロセスは、オーブン硬化で行われるため、生産に時間が掛かる。
導電性ペーストを用いない工法として、図7に示すように、LED素子の電極面を基板側に向け(フェイスダウン、フリップチップ)、そのLED素子と基板との電気的接続及び接着に、絶縁性の接着剤バインダー305中に導電性粒子306を分散させた異方性導電接着剤を用いる方法がある。異方性導電接着剤は、接着プロセスが短いため、生産効率が良い。また、異方性導電接着剤は、安価であり、透明性、接着性、耐熱性、機械的強度、電気絶縁性等に優れている。
また、近年、フリップチップ実装するためのLED素子が開発されている。このFC実装用LED素子は、パッシベーション105により、電極面積を大きく取る設計が可能であるため、バンプレス実装が可能となる。また、発光層の下に反射膜を設けることによって光取り出し効率が良くなる。
FC実装用LED素子を基板に実装する工法としては、図8に示すように、金スズ共晶接合が用いられている。金スズ共晶接合は、チップ電極を金とスズの合金307で形成し、フラックスを基板に塗布し、チップを搭載、加熱することで基板電極と、共晶接合させる工法である。しかし、このようなはんだ接続工法は、加熱中のチップズレや洗浄しきれなかったフラックスによる信頼性への悪影響があるため歩留まりが悪い。また、高度な実装技術が必要である。
金スズ共晶を用いない工法として、図9に示すように、LED素子の電極面と基板との電気的接続に、はんだペーストを用いるはんだ接続工法がある。しかし、このようなはんだ接続工法は、ペーストが等方性の導電性を有するため、pn電極間がショートしてしまい歩留まりが悪い。
はんだペーストを用いない工法として、図10に示すように、LED素子と基板との電気的接続及び接着に、図7と同様、絶縁性のバインダー中に導電性粒子を分散させたACFなどの異方性導電接着剤を用いる方法がある。異方性導電接着剤は、pn電極間に絶縁性のバインダーが充填される。よって、ショートが発生しにくいため歩留まりが良い。また、接着プロセスが短いため、生産効率が良い。
ところで、LED素子の活性層(ジャンクション)103は、光の他に多くの熱を発生し、発光層温度(Tj=ジャンクション温度)が100℃以上になると、LEDの発光効率が低下し、LEDの寿命が短くなる。このため、活性層103の熱を効率良く逃がすための構造が必要である。
図5に示すようなWB実装では、活性層103がLED素子の上側に位置するため、発生した熱が基板側に効率良く伝わらないため放熱性が悪い。
また、図6、8、9に示すようなフリップチップ実装を行うと、活性層103が基板側に位置するため、熱が基板側に効率良く伝わる。図6、9に示すように、電極間を導電性ペースト303a、303bで接合した場合、高効率で放熱することができるが、導電性ペースト303a、303bによる接続は、上記で述べたように接続信頼性が悪い。また、図8に示すように、金スズ共晶接合を行った場合も、上記で述べたのと同様に接続信頼性が悪い。
また、図7、10に示すように、導電性ペースト303a、303bを用いずにACF(Anisotropic conductive film)やACP(Anisotropic Conductive Paste)等の異方性導電接着剤でフリップチップ実装することで、活性層103が基板側近く配置され、熱が基板側に効率良く伝わる。また、接着力が高いため、高い接続信頼性が得られる。
特開2005−108635号公報 特開2009−283438号公報 特開2008−041706号公報 特開2007−023221号公報
しかしながら、従来の異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は、0.2W/(m・K)程度であるため、LED素子から発生する熱を基板側に十分に逃がすことができない。また、異方性導電接着剤を用いたフリップチップ実装では、電気接続部分の導電性粒子のみが放熱路となるため、放熱性が悪い。
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、高い放熱性が得られる異方性導電接着剤を提供する。
本件発明者は、鋭意検討を行った結果、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子と、導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とを配合することにより、上述の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明に係る異方性導電接着剤は、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子と、前記導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とが接着剤成分に分散され、前記熱伝導粒子が、金属粒子、又は金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子であることを特徴としている。
また、本発明に係る接続構造体は、第1の電子部品の端子と、第2の電子部品の端子とが、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子を介して電気的に接続されてなる接続構造体において、前記第1の電子部品の端子と前記第2の電子部品の端子との間に、前記導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子が捕捉されてなり、前記熱伝導粒子が、金属粒子、又は金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子であることを特徴としている。
本発明によれば、圧着時に導電性粒子が押圧により扁平変形するとともに、熱伝導粒子が潰れ、対向する端子間のとの接触面積を増加させるため、高い放熱性を得ることができる。
圧着前における対向する端子間を模式的に示す断面図である。 圧着後における対向する端子間を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施の形態に係るLED実装体の一例を示す断面図である。 本発明の他の一実施の形態に係るLED実装体の一例を示す断面図である。 ワイヤーボンド工法によるLED実装体の一例を示す断面図である。 導電性ペーストを用いたLED実装体の一例を示す断面図である。 異方性導電接着剤を用いたLED実装体の一例を示す断面図である。 FC実装用LEDを金スズ共晶接合により実装したLED実装体の一例を示す断面図である。 FC実装用LEDを導電性ペーストにより実装したLED実装体の一例を示す断面図である。 FC実装用LEDを異方性導電接着剤により実装したLED実装体の一例を示す断面図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら下記順序にて詳細に説明する。
1.異方性導電接着剤及びその製造方法
2.接続構造体及びその製造方法
3.実施例
<1.異方性導電接着剤及びその製造方法>
本実施の形態における異方性導電接着剤は、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子と、導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とがバインダー(接着剤成分)中に分散されたものであり、その形状は、ペースト、フィルムなどであり、目的に応じて適宜選択することができる。
図1及び図2は、それぞれ圧着前及び圧着後における対向する端子間を模式的に示す断面図である。本実施の形態では、異方性導電接着剤を後述する構成とすることにより、圧着前において導電性粒子31と熱伝導粒子32とを端子間に存在させることができる。そして、圧着時、芯材に樹脂粒子を使用した導電性粒子31が押圧により扁平変形し、変形に対する弾性反発が生じるため、電気的な接続状態を維持することができる。また、圧着時、熱伝導粒子32が導電性粒子の扁平変形に追従して潰れ、端子と接触する面積が大きくなるため、放熱性を向上させることができる。また、熱伝導粒子32として、高熱伝導金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子を用いた場合、押圧により絶縁層が破れて金属部分が端子と接触するため、放熱性を向上させることができるとともに優れた耐電圧性が得られる。
導電性粒子は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、アクリロニトリル・スチレン(AS)樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、スチレン系樹脂等の樹脂粒子の表面をAu、Ni、Zn等の金属で被覆した金属被覆樹脂粒子である。金属被覆樹脂粒子は、圧縮時に潰れやすく、変形し易いため、配線パターンとの接触面積を大きくでき、また、配線パターンの高さのバラツキを吸収することができる。
また、導電性粒子の平均粒径は、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは2〜6μmである。また、導電性粒子の配合量は、接続信頼性及び絶縁信頼性の観点から、バインダー100質量部に対して1〜100質量部であることが好ましい。
熱伝導粒子は、金属粒子、又は金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子である。また、熱伝導粒子の形状は、粒状、燐片状などであり、目的に応じて適宜選択することができる。
金属粒子は、200W/(m・K)以上の熱伝導率を有することが好ましい。熱伝導率が200W/(m・K)未満である場合、熱抵抗値が大きくなり、放熱性が悪くなる。200W/(m・K)以上の熱伝導率を有する金属粒子としては、Ag、Au、Cu、Ptなどの金属単体又はこれらの合金を挙げることができる。これらの中でも、LEDの光取り出し効率の観点や、圧着時の潰れ易さの観点からAg又はAgを主成分とする合金であることが好ましい。
また、金属粒子の配合量は、5〜40体積%であることが好ましい。金属粒子の配合量が少なすぎると優れた放熱性が得られなくなり、配合量が多すぎると接続信頼性を得ることができない。
また、絶縁被覆粒子の絶縁層としては、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの樹脂、又は、SiO、Al、TiOなどの無機材料であることが好ましい。また、絶縁被覆粒子の絶縁層の厚みは、10〜1000nmであることが好ましく、より好ましくは100〜800nmである。絶縁層が薄すぎると優れた耐電圧性が得られず、絶縁層が厚すぎると接続構造体の熱抵抗値が大きくなってしまう。
また、絶縁被覆粒子の配合量は、5〜50体積%であることが好ましい。絶縁被覆粒子の配合量が少なすぎると優れた放熱性が得られなくなり、配合量が多すぎると接続信頼性を得ることができない。
また、熱伝導粒子の平均粒径(D50)は、導電性粒子の平均粒径の5〜80%であることが好ましい。熱伝導粒子が導電性粒子に対して小さすぎると、圧着時に熱伝導粒子が対向する端子間に捕捉されず、優れた放熱性を得ることができない。一方、熱伝導粒子が導電性粒子に対して大きすぎると、熱伝導粒子を高充填することができず、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率を向上させることができない。
また、熱伝導粒子は、白又は灰色の無彩色であることが好ましい。これにより、熱伝導粒子が光反射粒子として機能するため、LED素子に用いた場合、高い輝度を得ることができる。
バインダーとしては、従来の異方性導電接着剤や異方性導電フィルムにおいて使用されている接着剤組成物を利用することができる。接着剤組成物としては、脂環式エポキシ化合物や複素環系エポキシ化合物や水素添加エポキシ化合物等を主成分としたエポキシ硬化系接着剤が好ましく挙げられる。
脂環式エポキシ化合物としては、分子内に2つ以上のエポキシ基を有するものが好ましく挙げられる。これらは、液状であっても固体状であってもよい。具体的には、グリシジルヘキサヒドロビスフェノールA、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート等を挙げることができる。中でも、硬化物にLED素子の実装等に適した光透過性を確保でき、速硬化性にも優れている点から、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートを好ましく使用することができる。
複素環状エポキシ化合物としては、トリアジン環を有するエポキシ化合物を挙げることができ、特に好ましくは1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)−トリオンを挙げることができる。
水添加エポキシ化合物としては、先述の脂環式エポキシ化合物や複素環系エポキシ化合物の水素添加物や、その他公知の水素添加エポキシ樹脂を使用することができる。
脂環式エポキシ化合物や複素環系エポキシ化合物や水素添加エポキシ化合物は、単独で使用してもよいが、2種以上を併用することができる。また、これらのエポキシ化合物に加えて本発明の効果を損なわない限り、他のエポキシ化合物を併用してもよい。例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールA、ジアリールビスフェノールA、ハイドロキノン、カテコール、レゾルシン、クレゾール、テトラブロモビスフェノールA、トリヒドロキシビフェニル、ベンゾフェノン、ビスレゾルシノール、ビスフェノールヘキサフルオロアセトン、テトラメチルビスフェノールA、テトラメチルビスフェノールF、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン、ビキシレノール、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等の多価フェノールとエピクロルヒドリンとを反応させて得られるグリシジルエーテル;グリセリン、ネオペンチルグリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の脂肪族多価アルコールとエピクロルヒドリンとを反応させて得られるポリグリシジルエーテル;p−オキシ安息香酸、β−オキシナフトエ酸のようなヒドロキシカルボン酸とエピクロルヒドリンとを反応させて得られるグリシジルエーテルエステル;フタル酸、メチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラハイドロフタル酸、エンドメチレンテトラハイドロフタル酸、エンドメチレンヘキサハイドロフタル酸、トリメット酸、重合脂肪酸のようなポリカルボン酸から得られるポリグリシジルエステル;アミノフェノール、アミノアルキルフェノールから得られるグリシジルアミノグリシジルエーテル;アミノ安息香酸から得られるグリシジルアミノグリシジルエステル;アニリン、トルイジン、トリブロムアニリン、キシリレンジアミン、ジアミノシクロヘキサン、ビスアミノメチルシクロヘキサン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン等から得られるグリシジルアミン;エポキシ化ポリオレフィン等の公知のエポキシ樹脂類が挙げられる。
硬化剤としては、酸無水物、イミダゾール化合物、ジシアン等を挙げることができる。中でも、硬化物を変色させ難い酸無水物、特に脂環式酸無水物系硬化剤を好ましく使用できる。具体的には、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物等を好ましく挙げることができる。
接着剤組成物において、脂環式エポキシ化合物と脂環式酸無水物系硬化剤とを使用する場合、それぞれの使用量は、脂環式酸無水物系硬化剤が少なすぎると未硬化エポキシ化合物が多くなり、多すぎると余剰の硬化剤の影響で被着体材料の腐食が促進される傾向があるので、脂環式エポキシ化合物100質量部に対し、脂環式酸無水物系硬化剤を、好ましくは80〜120質量部、より好ましくは95〜105質量部の割合で使用する。
このような構成からなる異方性導電接着剤は、圧着時に導電性粒子が押圧により扁平変形するとともに、熱伝導粒子が潰れ、対向する端子間のとの接触面積を増加させるため、高い放熱性及び高い接続信頼性を得ることができる。
また、本実施の形態における異方性導電接着剤は、接着剤組成物と、導電性粒子と、熱伝導粒子とを均一に混合することにより製造することができる。
<2.接続構造体及びその製造方法>
次に、前述した異方性導電接着剤を用いた接続構造体について説明する。本実施の形態における接続構造体は、第1の電子部品の端子と、第2の電子部品の端子とが、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子を介して電気的に接続されてなる接続構造体において、第1の電子部品の端子と前記第2の電子部品の端子との間に、導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子が捕捉されている。
本実施の形態における電子部品としては、熱を発するドライバーIC(Integrated Circuit)、LED(Light Emitting Diode)等のチップ(素子)が好適である。
図3は、LED実装体の構成例を示す断面図である。このLED実装体は、LED素子と基板とを、前述した導電性粒子と、導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とが接着剤成分中に分散された異方性導電接着剤を用いて接続したものである。
LED素子は、例えばサファイヤからなる素子基板11上に、例えばn−GaNからなる第1導電型クラッド層12と、例えばInAlGa1−x−yN層からなる活性層13と、例えばp−GaNからなる第2導電型クラッド層14とを備え、いわゆるダブルヘテロ構造を有する。また、第1導電型クラッド層12上の一部に第1導電型電極12aを備え、第2導電型クラッド層14上の一部に第2導電型電極14aを備える。LED素子の第1導電型電極12aと第2導電型電極14aとの間に電圧を印加すると、活性層13にキャリアが集中し、再結合することにより発光が生じる。
基板は、基材21上に第1導電型用回路パターン22と、第2導電型用回路パターン23とを備え、LED素子の第1導電型電極12a及び第2導電型電極14aに対応する位置にそれぞれ電極22a及び電極23aを有する。
異方性導電接着剤は、前述と同様、導電性粒子31と、導電性粒子31よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子32とがバインダー33に分散されている。
図3に示すように、LED実装体は、LED素子の端子(電極12a、14a)と、基板の端子(電極22a、23a)とが導電性粒子31を介して電気的に接続され、LED素子の端子と基板の端子との間に熱伝導粒子32が捕捉されている。
これにより、LED素子の活性層13で発生した熱を効率良く基板側に逃がすことができ、発光効率の低下を防ぐとともにLED実装体を長寿命化させることができる。また、熱伝導粒子32が、白又は灰色の無彩色であることにより、活性層13からの光を反射し、高い輝度を得ることができる。
また、フリップチップ実装するためのLED素子は、図4に示すように、パッシベーション105により、LED素子の端子(電極12a、14a)が大きく設計されているため、LED素子の端子(電極12a、14a)と基板の端子(回路パターン22、23)との間に導電性粒子31及び熱伝導粒子32がより多く捕捉される。これにより、LED素子の活性層13で発生した熱をさらに効率良く基板側に逃がすことができる。
次に、上述した接続構造体の製造方法について説明する。本実施の形態における実装体の製造方法は、前述した導電性粒子と、導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とが接着剤成分中に分散された異方性導電接着剤を、第1の電子部品の端子と第2の電子部品の端子との間に挟み、第1の電子部品と第2の電子部品とを熱圧着する。
これにより、第1の電子部品の端子と、第2の電子部品の端子とが導電性粒子を介して電気的に接続され、第1の電子部品の端子と第2の電子部品の端子との間に熱伝導粒子が捕捉されてなる接続構造体を得ることができる。
本実施の形態における接続構造体の製造方法は、圧着時に導電性粒子が押圧により扁平変形するとともに、熱伝導粒子が潰れ、対向する端子間のとの接触面積を増加させるため、高い放熱性及び高い接続信頼性を得ることができる。
<3.実施例>
以下、本発明の実施例について詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
<3.1 熱伝導粒子の種類について>
本実験では、熱伝導粒子を配合した異方性導電接着剤(ACP)を作製し、LED実装体を作製し、熱伝導粒子の種類について検討した。
異方性導電接着剤の作製、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定、LED実装体の作製、LED実装体の放熱性の評価、光特性の評価、及び電気特性の評価は、次のように行った。
[異方性導電接着剤の作製]
エポキシ硬化系接着剤(エポキシ樹脂(商品名:CEL2021P、(株)ダイセル化学製)及び酸無水物(MeHHPA、商品名:MH700、新日本理化(株)製)を主成分としたバインダー)中に、樹脂粒子の表面にAuが被覆された平均粒径5μmの導電性粒子(品名:AUL705、積水化学工業社製)を10質量%配合した。この樹脂組成物に熱伝導粒子を配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。
[異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定]
異方性導電接着剤をガラス板で挟み込み、これを150℃、1時間の条件で硬化し、厚み1mmtの硬化物を得た。そして、レーザーフラッシュ法による測定装置(キセノンフラッシュアナライザーLFA447、NETZSCH製)を用いて、硬化物の熱伝導率の測定を行った。
[LED実装体の作製]
異方性導電接着剤を用いてLEDチップ(青色LED、Vf=3.2V(If=20mA))をAu電極基板に搭載した。異方性導電接着剤をAu電極基板に塗布した後、LEDチップをアライメントして搭載し、200℃−20秒−1kg/chipの条件で加熱圧着を行った。Au電極基板は、バンプボンダーにてAuバンプを形成した後、フラットニング処理を行ったものを使用した(ガラスエポキシ基板、導体スペース=100μmP、Ni/Auメッキ=5.0/0.3μm、金バンプ=15μmt)。
[放熱性の評価]
過渡熱抵抗測定装置(CATS電子設計社製)を用いて、LED実装体の熱抵抗値(℃/W)を測定した。測定条件はIf=200mA(定電流制御)で行った。
[光特性の評価]
積分球による全光束測定装置(LE−2100、大塚電子株式会社製)を用いて、LED実装体の全光束量(mlm)を測定した。測定条件はIf=200mA(定電流制御)で行った。
[電気特性の評価]
初期Vf値として、If=20mA時のVf値を測定した。また、85℃、85%RH環境下でLED実装体をIf=20mAで500時間点灯させ(高温高湿試験)、If=20mA時のVf値を測定した。接続信頼性の評価は、初期Vf値よりも5%以上上昇した場合を「導通NG」と評価し、初期Vf値よりも5%以上低下した場合を「絶縁NG」と評価し、それ以外を「○」と評価した。
[実施例1]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1μmのAg粒子(熱伝導率:428W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を5体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.3W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は160℃/W、全光束量の測定結果は320mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[実施例2]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1μmのAg粒子(熱伝導率:428W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を20体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.4W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は130℃/W、全光束量の測定結果は300mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[実施例3]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1μmのAg粒子(熱伝導率:428W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を40体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.5W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は120℃/W、全光束量の測定結果は280mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[実施例4]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を100nm厚みのSiOで被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.5W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は115℃/W、全光束量の測定結果は280mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[実施例5]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1.5μmのAg/Pd合金粒子(熱伝導率:400W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を5体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.4W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は135℃/W、全光束量の測定結果は300mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[比較例1]
熱伝導粒子を配合せずに異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.2W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は200℃/W、全光束量の測定結果は330mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で○であった。
[比較例2]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1μmのAg粒子(熱伝導率:428W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、0.55W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は110℃/W、全光束量の測定結果は250mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で絶縁NGであった。
[比較例3]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1.2μmのAlN粒子(熱伝導率:190W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を55体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は、1.0W/(m・K)であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は170℃/W、全光束量の測定結果は250mlm、接続信頼性の評価結果は、初期で○、高温高湿試験後で導通NGであった。
表1に、実施例1〜5、及び比較例1〜3の評価結果を示す。
Figure 2014067762
比較例1のように、熱伝導粒子を添加しない場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.2W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は200℃/Wであり、優れた放熱性を得ることができなかった。
また、比較例2のように、Ag粒子を50体積%配合した場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.55W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は110℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。しかし、Ag粒子の配合量が多いため、LED実装体の高温高湿試験においてVf値が初期Vf値よりも5%以上低下した。
また、比較例3のように、AlN粒子を55体積%配合した場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は1.0W/(m・K)であったが、AlNの導電率が低いためLED実装体の熱抵抗値は170℃/Wであった。また、AlN粒子の配合量が多く、また、AlNの高い電気絶縁性により、LED実装体の高温高湿試験においてVf値が初期Vf値よりも5%以上上昇した。
一方、実施例1〜3のように、Ag粒子を5〜40体積%配合した場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.3〜0.5W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は120〜160℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。また、LED実装体の高温高湿試験においても、高い接続信頼性を得ることができた。
また、実施例4のように、Ag粒子表面をSiOで被覆した絶縁被覆粒子を用いた場合、50体積%配合しても、LED実装体の高温高湿試験において、高い接続信頼性を得ることができた。また、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.5W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は115℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。
また、実施例5のように、Ag/Pd合金粒子を20体積%配合した場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.4W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は135℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。また、LED実装体の高温高湿試験においても、高い接続信頼性を得ることができた。
<3.2 絶縁被覆粒子の絶縁層の厚みについて>
本実験では、熱伝導粒子として、金属粒子表面に絶縁層を形成した絶縁被覆粒子を配合した異方性導電接着剤(ACP)を作製し、LED実装体を作製し、絶縁被覆粒子の絶縁層の厚みついて検討した。
異方性導電接着剤の作製、LED実装体の作製、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定、LED実装体の放熱性の評価、及び光特性の評価は、前述の<3.1 熱伝導粒子の種類について>と同様に行った。また、絶縁被覆粒子の作製、及びACP硬化物の耐電圧の測定は、次のように行った。
[絶縁被覆粒子の作製]
スチレンを主成分とする樹脂粉末(接着剤層、粒径0.2μm)と、Ag金属粉(粒径1μm)とを混合した後、粉末同士を物理的な力で衝突させ成膜する成膜装置(ホソカワミクロン製メカノフージョン)にてAg金属粉末表面に100nm程度の白色絶縁層を形成した金属を得た。
[ACP硬化物の耐電圧の測定]
くし葉上にパターニングされた配線基板上に厚み100nmのACP硬化物を塗布計せした。くし葉の両極に電圧を500Vまで印加し、0.5mA電流が流れたときの電圧を耐電圧とした。配線間スペースが25μmのときの耐電圧、及び配線間スペースが100μmのときの耐電圧を測定した。
[実施例6]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を20nm厚みのスチレン樹脂で被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.5W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は150Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は130℃/W、全光束量の測定結果は300mlmであった。
[実施例7]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を100nm厚みのスチレン樹脂で被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.4W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は210Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は120℃/W、全光束量の測定結果は280mlmであった。
[実施例8]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を800nm厚みのスチレン樹脂で被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.5W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は450Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は115℃/W、全光束量の測定結果は280mlmであった。
[実施例9]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を100nm厚みのSiOで被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。実施例4と同様、前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.5W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は230Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は115℃/W、全光束量の測定結果は280mlmであった。
[実施例10]
熱伝導粒子として、Ag/Pd合金粒子表面を100nm厚みのスチレン樹脂で被覆した平均粒径(D50)1.5μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.4W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は210Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は135℃/W、全光束量の測定結果は280mlmであった。
[比較例4]
熱伝導粒子を配合せずに異方性導電接着剤を作製した。比較例1と同様、この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.2W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は200Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は200℃/W、全光束量の測定結果は330mlmであった。
[比較例5]
熱伝導粒子として、平均粒径(D50)1μmのAg粒子(熱伝導率:428W/(m・K))を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。比較例2と同様、この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.55W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は100Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は200Vであった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は110℃/W、全光束量の測定結果は250mlmであった。
[比較例6]
熱伝導粒子として、Ag粒子表面を1100nm厚みのスチレン樹脂で被覆した平均粒径(D50)1μmの絶縁被覆粒子を用いた。前述の樹脂組成物にこの熱伝導粒子を50体積%配合し、熱伝導性を有する異方性導電接着剤を作製した。この異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率の測定結果は0.4W/(m・K)であり、配線間スペースが25μmときの耐電圧の試験結果は300Vであり、配線間スペースが100μmときの耐電圧の試験結果は500V超であった。また、この異方性導電接着剤を用いて作製したLED実装体の熱抵抗の測定結果は190℃/W、全光束量の測定結果は300mlmであった。
表2に、実施例6〜10、及び比較例4〜6の評価結果を示す。
Figure 2014067762
比較例4のように、熱伝導粒子を添加しない場合、比較例1と同様、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.2W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は200℃/Wであり、優れた放熱性を得ることができなかった。耐電圧については、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときに200V、配線間スペースが100μmのときに500V超であり、安定した絶縁特性が得られた。
また、比較例5のように、Ag粒子を50体積%配合した場合、比較例2と同様、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.55W/(m・K)、実装体の熱抵抗値は110℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。しかし、Ag粒子の配合量が多いため、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときの耐電圧が100V、配線間スペースが100μmのときの耐電圧が200Vとなり、安定した絶縁特性が得られなかった。
また、比較例6のように、Ag粒子表面を1100nm厚みのスチレン樹脂で被覆した絶縁被覆粒子を用いた場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.4W/(m・K)であった。しかし、LED実装体の熱抵抗値は190℃/Wであり、比較例4よりも若干低い値しか得られなかった。これは、スチレン樹脂の絶縁層が厚いため、熱伝導の阻害が起こったためだと考えられる。耐電圧については、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときに300V、配線間スペースが100μmのときに500V超であり、安定した絶縁特性が得られた。
一方、実施例6〜8のように、スチレン樹脂の絶縁層を20〜800nmとした場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.4〜0.5W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は115〜130℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。また、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときの耐電圧は210〜450V、配線間スペースが100μmのときの耐電圧は500V超となり、安定した絶縁特性が得られた。
また、実施例9のように、Ag粒子表面をSiOで被覆した絶縁被覆粒子を用いた場合、実施例4と同様、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.5W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は115℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。また、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときの耐電圧は230V、配線間スペースが100μmのときの耐電圧は500V超となり、安定した絶縁特性が得られた。
また、実施例10のように、Ag/Pd合金粒子をスチレン樹脂で被覆した絶縁被覆粒子を用いた場合、異方性導電接着剤の硬化物の熱伝導率は0.4W/(m・K)、LED実装体の熱抵抗値は135℃/Wであり、比較例1よりも優れた放熱性を得ることができた。また、異方性導電接着剤の硬化物の配線間スペースが25μmのときの耐電圧は210V、配線間スペースが100μmのときの耐電圧は500V超となり、安定した絶縁特性が得られた。
11 素子基板、12 第1導電型クラッド層、13 活性層、14 第2導電型クラッド層、15 パッシベーション、21 基材、22 第1導電型用回路パターン、23 第2導電型用回路パターン、31 導電性粒子、32 熱伝導粒子、33 バインダー、101 素子基板、102 第1導電型クラッド層、103 活性層、104 第2導電型クラッド層、105 パッシベーション、201 基材、202 第1導電型用回路パターン、203 第2導電型用回路パターン、301 ワイヤーボンド、302 ダイボンド材、303 導電性ペースト、304 封止樹脂、305 バインダー、306 導電性粒子、307 金スズ合金

Claims (12)

  1. 樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子と、前記導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子とが接着剤成分に分散され、
    前記熱伝導粒子が、金属粒子、又は金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子である異方性導電接着剤。
  2. 前記金属粒子が、200W/(m・K)以上の熱伝導率を有する請求項1記載の異方性導電材料。
  3. 前記金属粒子が、Ag又はAgを主成分とする合金からなる請求項1又は2記載の異方性導電材料。
  4. 前記金属粒子の配合量が、5〜40体積%である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異方性導電接着剤。
  5. 前記絶縁被覆粒子の絶縁層の厚みが、20〜1000nmである請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異方性導電接着剤。
  6. 前記絶縁被覆粒子の絶縁層が、樹脂又は無機材料からなる請求項1乃至5のいずれか1項に記載の異方性導電接着剤。
  7. 前記絶縁被覆粒子の配合量が、5〜50体積%である請求項6に記載の異方性導電接着剤。
  8. 前記熱伝導粒子の平均粒径が、前記導電性粒子の平均粒径の5〜80%である請求項1乃至7のいずれか1項に記載の異方性導電接着剤。
  9. 前記熱伝導粒子が、白又は灰色の無彩色である請求項1乃至8のいずれか1項に記載の異方性導電接着剤。
  10. 第1の電子部品の端子と、第2の電子部品の端子とが、樹脂粒子の表面に導電性金属層が形成された導電性粒子を介して電気的に接続されてなる接続構造体において、
    前記第1の電子部品の端子と前記第2の電子部品の端子との間に、前記導電性粒子よりも平均粒径が小さい熱伝導粒子が捕捉されてなり、
    前記熱伝導粒子が、金属粒子、又は金属粒子の表面に絶縁層が形成された絶縁被覆粒子である接続構造体。
  11. 第1の電子部品が、LED素子であり、
    第2の電子部品が、基板である請求項10記載の接続構造体。
  12. 前記熱伝導粒子が、白又は灰色の無彩色である請求項10記載の接続構造体。
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KR1020157006951A KR102096575B1 (ko) 2012-09-24 2013-09-17 이방성 도전 접착제 및 접속 구조체
US14/430,440 US20150197672A1 (en) 2012-09-24 2013-09-17 Anisotropic conductive adhesive and connection structure
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6450923B2 (ja) * 2013-12-20 2019-01-16 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法ならびに電子部品実装装置
CN107078199B (zh) * 2014-09-26 2019-11-08 首尔伟傲世有限公司 发光器件及其制造方法
KR20160046977A (ko) * 2014-10-20 2016-05-02 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전입자
DE102015112967A1 (de) * 2015-08-06 2017-02-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements und optoelektronisches Bauelement
DE102016100320A1 (de) 2016-01-11 2017-07-13 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauelement, optoelektronisches Modul und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements
KR102535557B1 (ko) * 2016-03-07 2023-05-24 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 전자 디바이스
CN105741917B (zh) * 2016-03-11 2019-03-08 联想(北京)有限公司 一种导电胶膜及电子设备
KR102555383B1 (ko) * 2016-12-07 2023-07-12 엘지디스플레이 주식회사 유기발광소자를 이용한 조명장치 및 그 제조방법
US20180166426A1 (en) * 2016-12-14 2018-06-14 Nanya Technology Corporation Semiconductor structure and a manufacturing method thereof
JP2018145418A (ja) * 2017-03-06 2018-09-20 デクセリアルズ株式会社 樹脂組成物、樹脂組成物の製造方法、及び構造体
JP7160302B2 (ja) * 2018-01-31 2022-10-25 三国電子有限会社 接続構造体および接続構造体の作製方法
JP7185252B2 (ja) 2018-01-31 2022-12-07 三国電子有限会社 接続構造体の作製方法
JP7046351B2 (ja) 2018-01-31 2022-04-04 三国電子有限会社 接続構造体の作製方法
CN110707198A (zh) * 2019-09-20 2020-01-17 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 阵列基板及其制备方法
WO2024013858A1 (ja) * 2022-07-12 2024-01-18 三菱電機株式会社 放熱部材、基材付き放熱部材およびパワーモジュール

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08249922A (ja) * 1995-10-31 1996-09-27 Hitachi Chem Co Ltd 被覆粒子
JP2006233200A (ja) * 2005-01-31 2006-09-07 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 異方性導電性接着フィルム
JP2011510139A (ja) * 2008-01-17 2011-03-31 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 導電性接着剤
JP2012129202A (ja) * 2010-11-24 2012-07-05 Sekisui Chem Co Ltd 異方性導電ペースト、接続構造体及び接続構造体の製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5001542A (en) * 1988-12-05 1991-03-19 Hitachi Chemical Company Composition for circuit connection, method for connection using the same, and connected structure of semiconductor chips
JP2948038B2 (ja) * 1992-12-18 1999-09-13 住友ベークライト株式会社 異方導電フィルム
JPH11150135A (ja) * 1997-11-17 1999-06-02 Nec Corp 熱伝導性が良好な導電性ペースト及び電子部品
JP4461759B2 (ja) 2003-09-30 2010-05-12 ソニー株式会社 面発光装置および液晶表示装置
KR100597391B1 (ko) * 2004-05-12 2006-07-06 제일모직주식회사 절연 전도성 미립자 및 이를 함유하는 이방 전도성 접착필름
JP4741895B2 (ja) 2005-07-20 2011-08-10 バンドー化学株式会社 被覆発光体およびその利用
JP4876760B2 (ja) 2006-08-01 2012-02-15 大日本印刷株式会社 発光装置および白色変換シート
JP5010990B2 (ja) * 2007-06-06 2012-08-29 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 接続方法
JP2009283438A (ja) 2007-12-07 2009-12-03 Sony Corp 照明装置、表示装置、照明装置の製造方法
JP5617210B2 (ja) * 2009-09-14 2014-11-05 デクセリアルズ株式会社 光反射性異方性導電接着剤及び発光装置
JP5555038B2 (ja) * 2010-04-13 2014-07-23 デクセリアルズ株式会社 光反射性異方性導電接着剤及び発光装置
WO2011155348A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 光反射性異方性導電ペースト及び発光装置
KR101995599B1 (ko) * 2011-03-16 2019-07-02 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 광 반사성 이방성 도전 접착제 및 발광 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08249922A (ja) * 1995-10-31 1996-09-27 Hitachi Chem Co Ltd 被覆粒子
JP2006233200A (ja) * 2005-01-31 2006-09-07 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 異方性導電性接着フィルム
JP2011510139A (ja) * 2008-01-17 2011-03-31 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 導電性接着剤
JP2012129202A (ja) * 2010-11-24 2012-07-05 Sekisui Chem Co Ltd 異方性導電ペースト、接続構造体及び接続構造体の製造方法

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