JP2014065220A - 液体吐出装置の製造方法、ノズルプレートの製造方法、及び、液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズルプレートの基材として、樹脂層と金属層との間に接着剤が介在していない積層体を使用し、接着剤に起因する吐出不良を生じさせない液体吐出装置の製造方法の提供。
【解決手段】樹脂層40と金属層41とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体42を準備する。次に、積層体42の金属層41の一部を除去して樹脂層40を部分的に露出させる。そして、樹脂層40に、金属層41から露出した領域において開口するようにノズル44を形成する。
【選択図】図4
【解決手段】樹脂層40と金属層41とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体42を準備する。次に、積層体42の金属層41の一部を除去して樹脂層40を部分的に露出させる。そして、樹脂層40に、金属層41から露出した領域において開口するようにノズル44を形成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、液体吐出装置の、ノズルが形成されたノズルプレートに関する。
インクジェットヘッド等の液体吐出装置において、ノズルが形成されるノズルプレートには、合成樹脂製のものが広く採用されている。しかし、合成樹脂製のノズルプレートは強度が低く、また、柔らかいために、用紙等の接触によって吐出面が摩耗しやすく、傷もつきやすいといった問題がある。
これに関し、従来から、ノズルが形成される樹脂層に、吐出面の保護や補強等の目的で金属層が積層されたノズルプレートが提案されている。例えば、特許文献1には、高分子樹脂材料からなるヘッド基板の、複数のノズルが開口する吐出面に、金属板が貼り付けられたインクジェットヘッドが開示されている。金属板は、予めノズルに対応した穴が形成された上で、ヘッド基板に接着される。これにより、ノズルの吐出口の周囲領域が金属板で取り囲まれて保護される。
しかし、前記特許文献1では、ノズルが形成される樹脂層(ヘッド基板)と金属層とが接着剤によって接着されている。そのため、製造工程中に接着剤の一部がノズル内に入り込み、液体の吐出が妨げられて不吐出や吐出曲がりが生じる虞がある。例えば、前記特許文献1のように、樹脂層にノズルを形成してから金属板を樹脂層に接着する場合であれば、金属板の貼り合わせの際に余剰の接着剤がノズル内に流れ込む虞がある。
また、図5のように、樹脂層40と金属板41とを接着剤61で接着した後に、金属板41の一部を除去して樹脂層40を部分的に露出させてから、レーザー加工等で樹脂層40にノズル44を形成することも考えられる。この場合は、樹脂層40だけでなく接着剤61の層を突き破るようにノズル44を形成することになる。従って、図6(a)のように接着剤の一部が吐出口44aの周囲で盛り上がる虞がある。また、図6(b)のように溶けた接着剤の一部がノズル44内に流入する、あるいは、吐出口44aを塞ぐように残存する虞もある。
本発明の目的は、ノズルプレートの基材として、樹脂層と金属層との間に接着剤が介在しない積層体を使用し、接着剤に起因する吐出不良を生じさせないことにある。
第1の発明の液体吐出装置の製造方法は、液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路構造体とを有する、液体吐出装置の製造方法であって、
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、前記樹脂層に、前記金属層から露出した領域において開口するように、前記ノズルを形成する、ノズル形成工程と、前記ノズル形成工程の前、又は、前記ノズル形成工程の後に、前記ノズル形成工程を経て前記ノズルプレートとなる前記積層体を、前記流路構造体に接合する接合工程と、を備えていることを特徴とするものである。
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、前記樹脂層に、前記金属層から露出した領域において開口するように、前記ノズルを形成する、ノズル形成工程と、前記ノズル形成工程の前、又は、前記ノズル形成工程の後に、前記ノズル形成工程を経て前記ノズルプレートとなる前記積層体を、前記流路構造体に接合する接合工程と、を備えていることを特徴とするものである。
本発明によれば、樹脂層の、ノズルが開口する側の面が金属層で覆われているため、吐出口の周囲領域が金属層で保護される。また、積層体を構成する樹脂層と金属層との間に接着剤が存在しない。そのため、製造工程中に接着剤のノズルへの流入等が起こらず、接着剤によってノズルからの液体の吐出が妨げられるという問題が生じない。尚、本発明において、ノズルが開口する「金属層から露出した領域」とは、あくまでも金属層によって覆われていない領域のことを指す。つまり、前記の「金属層から露出した領域」には、金属層が除去された後に、撥液膜等の別の層によって覆われている状態も含む。
第2の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第1の発明において、前記除去工程の後に、前記積層体の、少なくとも前記樹脂層が前記金属層から露出している領域に撥液膜を形成する、撥液膜形成工程をさらに備えていることを特徴とするものである。
樹脂層と金属層との間に接着剤が存在しないため、樹脂層の、金属層から露出した領域、即ち、ノズルの吐出口の周囲領域において、撥液膜が樹脂層に直接接触する。従って、撥液膜の樹脂層に対する密着強度が高くなり、撥液膜が剥離しにくい。また、通常、撥液膜の形成には熱処理が必要になることが多いが、接着剤が存在する場合には、接着剤の耐熱温度を考慮して接着剤の選定を行う必要が生じる。この点、本発明では、接着剤が存在しないことから、熱処理温度が高い撥液膜を選定することも可能となり、撥液膜の選択の自由度が広がる。
第3の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第1又は第2の発明において、前記積層体は、前記金属層の一方の面に液状の樹脂材料を塗布した後に、この樹脂材料を固化させることによって形成されていることを特徴とするものである。
樹脂層と金属層とを貼り合わせる方法では、特に、金属層が薄い場合に、金属層のハンドリングが難しい。例えば、樹脂層に貼り合わせる際に金属層にシワがよったり破れたりする虞がある。また、樹脂層に貼り合わせるまでの間に金属層を搬送する際においても、金属層に折れ曲がりや破断等が生じる虞がある。一方、本発明では、金属層に液状の樹脂材料を塗布し、これを固化させることによって、金属層に樹脂層を形成する。そのため、本発明では、金属層を樹脂層に貼り付けるなどの金属層のハンドリングが不要であり、金属層が薄い場合でも積層体の形成が容易である。
第4の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第3の発明において、前記金属層の前記一方の面に前記液状の樹脂材料を塗布する前に、前記金属層の前記一方の面の、前記除去工程で除去されない領域にのみ、粗面処理を施すことを特徴とするものである。
金属層の一方の面を荒らして凹凸を形成した上で、この面に液状の樹脂材料を塗布して樹脂層を形成すると、金属層と樹脂層との間の密着強度が高まる。但し、このとき、樹脂層の、金属層との接触面は、金属層の粗面形状に応じた凹凸形状となる。そして、樹脂層の、ノズルの吐出口近くに上記のような凹凸形状が存在すると、吐出曲がり等の吐出不良が生じる虞がある。本発明では、金属層のうちの、除去工程で除去されずに残される部分にのみ粗面処理を施すため、樹脂層の吐出口の周囲領域に凹凸が形成されない。
第5の発明のノズルプレートの製造方法は、液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの製造方法であって、
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、前記樹脂層に、前記金属層から露出する領域において開口するように、前記ノズルを形成するノズル形成工程と、を備えていることを特徴とするものである。
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、前記樹脂層に、前記金属層から露出する領域において開口するように、前記ノズルを形成するノズル形成工程と、を備えていることを特徴とするものである。
本発明によれば、積層体を構成する樹脂層と金属層との間に接着剤が存在しないことから、接着剤によってノズルからの液体の吐出が妨げられるという問題が生じない。
第6の発明の液体吐出装置は、液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する液体流路が形成され、且つ、前記ノズルプレートに接合された流路構造体と、を備え、前記ノズルプレートは、接着剤を介在させずに積層された樹脂層と金属層とを有し、前記樹脂層は前記金属層から部分的に露出しており、前記樹脂層に、前記金属層から露出した領域において開口する前記ノズルが形成されていることを特徴とするものである。
本発明によれば、ノズルプレートの樹脂層と金属層との間に接着剤が存在しないことから、接着剤のノズルへの流入等が起こらず、接着剤によってノズルからの液体の吐出が妨げられるという問題が生じない。
本発明によれば、樹脂層の、ノズルが開口する側の面が金属層で覆われるため、ノズルの吐出口の周囲領域が金属層で保護される。また、積層体を構成する樹脂層と金属層との間に接着剤が存在しない。そのため、接着剤によってノズルからの液体の吐出が妨げられるという問題が生じない。
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置としてのインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。まず、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの概略構成について説明する。図1は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。尚、以下では、図1の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、搬送機構5と、メンテナンス機構6等を備えている。
プラテン2の上面には、被記録媒体である記録用紙100が載置される。キャリッジ3は、プラテン2と対向する領域において、2本のガイドレール10,11に沿って走査方向に往復移動可能である。キャリッジ3には無端ベルト14が連結され、キャリッジ駆動モータ15によって無端ベルト14が駆動されることで、キャリッジ3は走査方向に移動する。
インクジェットヘッド4はキャリッジ3に取り付けられており、キャリッジ3とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド4の、図1の紙面向こう側の面である下面には、複数のノズル44が形成されている。また、図1に示すように、プリンタ1のプリンタ本体1aにはホルダ9が設けられている。ホルダ9には、ブラック、イエロー、シアン及びマゼンタの、4色のインクがそれぞれ貯留された4つのインクカートリッジ17が装着される。キャリッジ3に搭載されたインクジェットヘッド4とホルダ9は、図示しないチューブによって接続されている。そして、4つのインクカートリッジ17にそれぞれ貯留された4色のインクが、チューブを介してインクジェットヘッド4に供給される。インクジェットヘッド4は、複数のノズル44から、プラテン2に載置された記録用紙100に対して4色のインクを吐出する。
搬送機構5は、搬送方向にプラテン2を挟むように配置された2つの搬送ローラ18,19を有する。搬送機構5は、2つの搬送ローラ18,19によって、プラテン2に載置された記録用紙100を搬送方向に搬送する。
インクジェットプリンタ1は、プラテン2上に載置された記録用紙100に対して、キャリッジ3とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド4からインクを吐出させる。これとともに、2つの搬送ローラ18,19によって記録用紙100を搬送方向に搬送する。以上の動作によって記録用紙100に画像や文字等が記録される。
メンテナンス機構6は、走査方向に関するキャリッジ3の移動範囲のうちの、プラテン2よりも右側の位置に配置されている。メンテナンス機構6は、キャップ30と、キャップ30に接続された吸引ポンプ31と、ワイパー32等を備える。
キャップ30は上下方向に移動可能である。キャップ30は、キャリッジ3がこのキャップ30と対向する位置にあるときに上方に移動することで、インクジェットヘッド4の下面に密着して複数のノズル44を覆う。この状態で、吸引ポンプ31によりキャップ30内を減圧することで、複数のノズル44からそれぞれインクを強制的に排出する、吸引パージが実行される。このとき、インクジェットヘッド4内の塵や気泡、あるいは、乾燥により増粘したインクが、複数のノズル44から排出されるため、上記塵や気泡等に起因するノズル44の吐出不良が解消される。
ワイパー32は、ゴム材料などの弾性材料で形成された薄板状の部材であり、走査方向においてキャップ30に隣接した位置に立設されている。上記の吸引パージが行われた後の状態では、インクジェットヘッド4の下面にはインクが付着している。そこで、吸引パージ後に、キャップ30がインクジェットヘッド4の下面から離れた状態で、キャリッジ3を走査方向に移動させる。このとき、ワイパー32は、インクジェットヘッド4の下面に接触した状態でインクジェットヘッド4に対して相対移動し、インクジェットヘッド4の下面に付着したインクを拭き取る。
次に、インクジェットヘッド4について説明する。図2は、インクジェットヘッドの平面図である。図3(a)は図2のA部拡大図、(b)は(a)のB−B線断面図である。図2、図3に示すように、インクジェットヘッド4は、流路ユニット33と、圧電アクチュエータ34とを備えている。尚、図3(b)では、インク流路内に充填されているインクを符号“I”で示している。
まず、流路ユニット33について説明する。図3(b)に示すように、流路ユニット33は、5枚のプレート35〜39が積層された構造を有する。5枚のプレート35〜39のうちの最下層のプレート39は、複数のノズル44が形成されたノズルプレート39である。ノズルプレート39は、ポリイミド等の合成樹脂からなる樹脂層40と、ステンレス鋼等の金属材料からなる金属層41の積層体42を基材としたプレートである。後でも触れるが、樹脂層40と金属層41とは直接接触した状態で積層されており、両者の間には接着剤が介在していない。樹脂層40には、この樹脂層40を厚み方向に貫通し、且つ、先細りのテーパ形状の複数のノズル44が形成されている。金属層41は、複数のノズル44の吐出口44aが形成されている樹脂層40の下面を覆っている。また、金属層41には、各ノズル44の吐出口44aを取り囲むように、吐出口44aよりも一回り大きい穴41aが形成されている。これにより、樹脂層40の下面の、吐出口44a及びその周囲領域が、吐出口44aに対応する穴41aを通して金属層41から露出している。
ノズルプレート39の下面は、PTFEなどのフッ素系樹脂で形成された撥液膜43によって覆われている。この撥液膜43が、特に、金属層41から露出した吐出口44aの周囲領域を覆うことで、ノズル44から吐出されたインクが吐出口44aの周囲で濡れて滞留することを防ぐ。尚、図3(b)では、撥液膜43は、金属層41も含むノズルプレート39の下面全域に形成されているが、撥液膜43は、少なくとも、樹脂層40の下面の、吐出口44aの周囲領域を覆っていればよいのであって金属層41を覆っていなくてもよい。
このノズルプレート39では、樹脂層40に金属層41が積層されて、吐出口44aの周囲領域が金属層41で囲まれている。そのため、搬送される記録用紙100の角や縁がノズルプレート39に接触した場合でも、樹脂層40に記録用紙100が直接接触しにくく、樹脂層40が摩耗したり傷ついたりすることが防止される。特に、吐出口44aの周囲領域に形成された撥液膜43に傷がつくと、撥液性が低下して吐出口44aの周囲にインクが残りやすくなり、吐出曲がり等の吐出不良の原因となる。この点、本実施形態では金属層41によって吐出口44aの周囲領域の撥液膜43が保護されることから、撥液膜43に傷が付くことが防止される。
また、前述した吸引パージを行った後には、ノズル44から排出されたインクが金属層41の穴41aの内側にインクが溜まる。このインクはワイパー32によって穴41aから確実に掃き出す必要がある。しかし、金属層41が厚いと穴41aの深さが大きくなり、ワイパー32が穴41aの内部に入り込みにくくなる。尚、金属層41が厚くても、穴41aの径を大きくすればワイパー32が穴41aの内部に入り込みやすくはなるが、吐出口44aの周囲を保護するという本来の目的からは、穴41aが、吐出口44aに対して大きすぎることは好ましくない。以上の理由から、吸引パージ後にワイパー32で穴41aの内部のインクを確実に排出するために、金属層41の厚みは一定以下であることが好ましい。具体的には5〜30μmであることが好ましい。尚、樹脂層40の厚みは、主に、必要とされるノズル44の内容積から決定され、例えば、30〜100μmである。
流路ユニット33を構成する5枚のプレート35〜39のうちの、上側の残り4枚のプレート35〜38は、ステンレス鋼などの金属材料で形成されている。これら4枚の金属プレート35〜38には、複数のノズル44に連通するマニホールド46や圧力室47等の流路が形成されている。
次に、流路ユニット33に形成されているインク流路の構成について説明する。図2に示すように、流路ユニット33の上面には、4つのインク供給孔45が走査方向に並んで形成されている。4つのインク供給孔45には、ホルダ9の4つのインクカートリッジ17(図1参照)から4色のインクがそれぞれ供給される。また、流路ユニット33は、その内部に、それぞれ搬送方向に延在する4本のマニホールド46を有する。4本のマニホールド46は、4つのインク供給孔45に接続されている。
さらに、流路ユニット33は、その下面に開口した複数のノズル44と、これら複数のノズル44にそれぞれ連通する複数の圧力室47とを有する。図2に示すように、平面視で、複数のノズル44は、4本のマニホールド46にそれぞれ対応して4列に配列されている。複数の圧力室47も、複数のノズル44と同様に、4本のマニホールド46に対応して4列に配列されている。図3(b)に示すように、各圧力室47は対応するマニホールド46に連通している。
以上より、図3(b)に示すように、流路ユニット33内には、各マニホールド46から分岐して、圧力室47を経てノズル44に至る個別流路48が複数形成されている。
次に、圧電アクチュエータ34について説明する。図2、図3に示すように、圧電アクチュエータ34は、振動板50と、圧電層54,55と、複数の個別電極52と、共通電極56を備えている。振動板50は、複数の圧力室47を覆った状態で流路ユニット33の上面に接合されている。2枚の圧電層54,55は、振動板50の上面に積層されている。複数の個別電極52は、上層の圧電層55の上面において、複数の圧力室47とそれぞれ対向するように配置されている。共通電極56は、2枚の圧電層54,55の間において、複数の圧力室47に跨って配置されている。
複数の個別電極52は、圧電アクチュエータ34を駆動するドライバIC53とそれぞれ接続されている。一方、共通電極56は常にグランド電位に保持されている。また、上層の圧電層55の、個別電極52と共通電極56とに挟まれた部分は、それぞれ、厚み方向に分極されている。
ノズル44からインクを吐出させる際の圧電アクチュエータ34の動作は以下の通りである。ある個別電極52に対してドライバIC53から駆動信号が印加されると、この個別電極52とグランド電位に保持されている共通電極56の間に電位差が生じる。これによって、圧電層55の、個別電極52と共通電極56の間に挟まれた部分に厚み方向の電界が生じる。また、圧電層55の分極方向と電界の方向とが一致するために、圧電層55はその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この圧電層55の収縮変形に伴って、振動板50の圧力室47と対向する部分が圧力室47側に凸となるように撓む。このとき、圧力室47の容積が減少してその内部のインクに圧力が付与され、圧力室47に連通するノズル44からインクの液滴が吐出される。
次に、インクジェットヘッド4の製造に関し、特に、ノズルプレート39の製造工程に関して、図4を参照して説明する。
(積層体準備)
まず、図4(a)に示すように、樹脂層40と金属層41とが積層された積層体42を準備する。積層体42は、樹脂層40と金属層41とが、接着剤を介在させずに直接接触した状態で積層されたものである。接着剤を使用しない積層体42の製造方法として、下記のキャスト法を例示する。
まず、図4(a)に示すように、樹脂層40と金属層41とが積層された積層体42を準備する。積層体42は、樹脂層40と金属層41とが、接着剤を介在させずに直接接触した状態で積層されたものである。接着剤を使用しない積層体42の製造方法として、下記のキャスト法を例示する。
キャスト法では、金属層41の一方の面に液状の樹脂材料を塗布した後に、この樹脂材料を固化させることで樹脂層40を形成する。ポリイミド樹脂層を形成する場合を例に挙げて説明する。まず、ステンレス鋼などの金属層41の一方の面に、ポリイミド前駆体溶液を塗布する。次に、ポリイミド前駆体層を200℃以上に加熱し、この前駆体層を固化させポリイミド層とする。尚、樹脂層40の金属層41に対する密着強度を高めるため、液状樹脂の塗布前に、化学エッチングかマイクロブラスト装置等を用いて金属層41の一方の面を荒らして凹凸を形成する、粗面処理を行ってもよい。
(除去工程)
図4(b)に示すように、金属層41に複数の穴41aをそれぞれ形成して金属層41を部分的に除去する。図5は、図4(b)の積層体の一部拡大平面図である。尚、図5では、金属層41の残存部分にハッチングを施してある。図5に示すように、穴41aは、樹脂層40の、後工程でノズル44が形成される部分を取り囲むように形成する。これにより、樹脂層40の、ノズル44が形成される部分を金属層41から露出させる。尚、以下では、樹脂層40の、金属層41によって覆われていない領域を「露出領域40a」と称す。上記の金属層41の除去は、例えばウェットエッチングで行うことができる。具体的には、金属層41の、除去せずに残しておく領域にレジストをパターニングしてマスクを形成した後、エッチング液によって、レジストで覆われていない金属層41の部分を除去する。
図4(b)に示すように、金属層41に複数の穴41aをそれぞれ形成して金属層41を部分的に除去する。図5は、図4(b)の積層体の一部拡大平面図である。尚、図5では、金属層41の残存部分にハッチングを施してある。図5に示すように、穴41aは、樹脂層40の、後工程でノズル44が形成される部分を取り囲むように形成する。これにより、樹脂層40の、ノズル44が形成される部分を金属層41から露出させる。尚、以下では、樹脂層40の、金属層41によって覆われていない領域を「露出領域40a」と称す。上記の金属層41の除去は、例えばウェットエッチングで行うことができる。具体的には、金属層41の、除去せずに残しておく領域にレジストをパターニングしてマスクを形成した後、エッチング液によって、レジストで覆われていない金属層41の部分を除去する。
(撥液膜形成工程)
次に、図4(c)に示すように、積層体42に撥液膜43を形成する。まず、積層体42の、金属層41、及び、樹脂層40の露出領域40aを含む全域に、フッ素系樹脂の液状の撥液性材料を塗布する。次に、フッ素系樹脂の種類に応じた所定の温度で熱処理を行って硬化させ、撥液膜43を得る。
次に、図4(c)に示すように、積層体42に撥液膜43を形成する。まず、積層体42の、金属層41、及び、樹脂層40の露出領域40aを含む全域に、フッ素系樹脂の液状の撥液性材料を塗布する。次に、フッ素系樹脂の種類に応じた所定の温度で熱処理を行って硬化させ、撥液膜43を得る。
(接合工程)
次に、図4(d)に示すように、積層体42を、流路ユニット33の、ノズル44に連通する孔49が形成された金属プレート38に接着剤60で接合する。このとき、樹脂層40の露出領域40aと、プレート38の孔49とが重なるように、積層体42とプレート38とを位置合わせした上で両者を接合する。尚、このノズル44に連通する孔49が形成された金属プレート38が、本発明における「流路構造体」に相当する。また、図では、積層体42を1枚の金属プレート38にのみ接合しているが、次述するレーザー加工によるノズル形成の妨げにならないのであれば、この接合工程で、流路ユニット33を構成する2枚以上の金属プレートを積層体42と接合してもよい。この場合は、前記2枚以上の金属プレートが、本発明における「流路構造体」に相当する。
次に、図4(d)に示すように、積層体42を、流路ユニット33の、ノズル44に連通する孔49が形成された金属プレート38に接着剤60で接合する。このとき、樹脂層40の露出領域40aと、プレート38の孔49とが重なるように、積層体42とプレート38とを位置合わせした上で両者を接合する。尚、このノズル44に連通する孔49が形成された金属プレート38が、本発明における「流路構造体」に相当する。また、図では、積層体42を1枚の金属プレート38にのみ接合しているが、次述するレーザー加工によるノズル形成の妨げにならないのであれば、この接合工程で、流路ユニット33を構成する2枚以上の金属プレートを積層体42と接合してもよい。この場合は、前記2枚以上の金属プレートが、本発明における「流路構造体」に相当する。
(ノズル形成工程)
次に、図4(e)に示すように、積層体42に対して、プレート38との接合側から、このプレート38に形成された孔49を通してレーザー光を照射する。これにより、樹脂層40の露出領域40aにおいて開口するように、樹脂層40を貫通するテーパ状のノズル44を形成する。
次に、図4(e)に示すように、積層体42に対して、プレート38との接合側から、このプレート38に形成された孔49を通してレーザー光を照射する。これにより、樹脂層40の露出領域40aにおいて開口するように、樹脂層40を貫通するテーパ状のノズル44を形成する。
先にも述べたように、本実施形態では、積層体42の樹脂層40と金属層41は、接着剤を介在させずに積層されている。これに対して、図6(a)のように、樹脂層40と金属層41との間に、例えば熱可塑性の接着剤61が存在していると、樹脂層40にノズル44を形成したときに、レーザー光のエネルギーで軟化又は融解した接着剤の一部61aが、ノズル44の周囲で盛り上がる虞がある。また、図6(b)のように、接着剤の一部61bが吐出口44aを覆う、あるいは、ノズル44内に入り込む虞もある。このような接着剤61a,61bはノズル44からのインクの吐出を妨げるため、不吐出や吐出曲がり等の吐出不良の原因となる。尚、接着剤61が、エポキシ系樹脂等の熱硬化性接着剤である場合は、レーザー光のエネルギーで軟化や融解といった現象は生じない。しかし、熱硬化性接着剤は、ポリイミド等の樹脂層40とはレーザーの加工性(レーザー光の吸収性)が異なるため、樹脂層40にのみレーザーが照射される場合とは加工速度が違い、理想のノズル形状(テーパ形状)とならない。その結果、熱可塑性接着剤を使用した場合と同様に、吐出曲がり等の吐出不良が生じる虞がある。この点、本実施形態では、樹脂層40と金属層41との間に接着剤が存在しないことから、接着剤によってインクの吐出が妨げられるという問題が生じない。
また、樹脂層40と金属層41との間に接着剤61が介在していると、図6に示すように、吐出口44aの周囲領域において接着剤61の上に撥液膜43が形成されるため、この部分の撥液膜43が剥離しやすい。これに対して、本実施形態では、図4に示すように、吐出口44aの周囲領域において、撥液膜43が樹脂層40に直接接触するため、撥液膜43の樹脂層40に対する密着強度が高く、撥液膜43が剥離しにくい。
さらに、撥液膜43の熱処理温度が接着剤61の耐熱温度よりも高いと、熱処理時に接着剤61が軟化、溶融、あるいは、熱分解してしまう。また、一般的に使用される接着剤は耐熱温度があまり高くなく、せいぜい250℃程度である。従って、接着剤61の耐熱温度の制約から撥液膜43の選択が狭まる。この点、本実施形態では、接着剤が存在しないことから、樹脂層40の耐熱温度を超えない範囲で、より熱処理温度が高い撥液膜43を選定することも可能となり、撥液膜43の選択の自由度が広がる。例えば、ポリイミドの耐熱温度は400℃程度であることから、熱処理温度が350℃の撥液膜43を使用することが可能となる。例えば、樹脂材料の中で最も高い撥液性を有するPTFEで撥液膜43を形成する場合、ディスパージョン液(PTFE微粒子を水に分散させたもの)を塗布してから、330℃以上の熱を加えて焼き付ける。従って、積層体42に、耐熱温度が250℃程度の接着剤が存在する場合はPTFEを使用することはできないが、本願では、接着剤が存在しないことから、PTFEで撥液膜43を形成することが可能となる。
本実施形態の積層体42は、いわゆるキャスト法で製造されているが、この方法は、予め別々に形成した樹脂層40と金属層41とを貼り合わせるような方法ではない。樹脂層40と金属層41とを貼り合わせる方法では、金属層41が薄い場合にそのハンドリングが難しい。例えば、樹脂層40に貼り合わせる際に金属層41にシワがよったり破れたりする虞がある。また、樹脂層40に貼り合わせるまでの間に金属層41を搬送する際においても、僅かな振動で金属層41に折れ曲がりや破断が生じる虞がある。この点、本実施形態では、金属層41を樹脂層40に貼り付けるなどの金属層41のハンドリングが不要であるため、金属層41が薄い場合でも積層体42の形成が容易である。
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
1]図4に示すように、前記実施形態では、積層体42を、ノズル44に連通する孔49が形成された金属プレート38に接合してから、積層体42の樹脂層40にノズル44を形成している。これに対して、図7(a)〜(c)に示すように、積層体42の樹脂層40にノズル44を形成してノズルプレート39としてから、このノズルプレート39を金属プレート38に接合してもよい。
2]図4に示すように、前記実施形態では、積層体42に撥液膜43を形成してから、樹脂層40にノズル44を形成している。これに対して、図8(a)〜(c)に示すように、積層体42の樹脂層40にノズル44を形成してノズルプレート39としてから、このノズルプレート39の表面の吐出口44aの周囲領域に撥液膜43を形成してもよい。
3]液状の樹脂材料を金属層41に塗布する前に金属層41に粗面処理を行った場合、樹脂層40の金属層41との接触面には、金属層41の凹凸の粗面形状が転写されて、同じく凹凸が形成される。このとき、金属層41の一部を除去して樹脂層40の露出領域40aに開口するようにノズル44を形成したときに、吐出口44a近くに上記のような凹凸形状が存在すると、吐出曲がりが生じる虞がある。そこで、図9(a)に示すように、金属層41のうちの、次の除去工程(図9(b))で除去されずに残される領域41bにのみ粗面処理を施し、除去工程で除去される領域41cには粗面処理を行わないことが好ましい。これにより、樹脂層40にノズル44を形成したときに、その吐出口44aの周囲領域に凹凸が形成されない。
4]除去工程における金属層41の除去範囲は適宜変更可能である。例えば、図10(a)に示すように、樹脂層40の、一列のノズル列が形成される範囲全体を取り囲むように穴41bを形成してもよい。また、逆に、吐出口44aが形成される領域の周囲にのみ金属層41を残し、それ以外の金属層41を全て除去してもよい。例えば、図10(b)に示すように、樹脂層40の各吐出口44aが形成される領域の周囲に、孤立した島状の金属層41を残し、それ以外の金属層41は全て除去してもよい。
尚、前記実施形態の図5のように、1つの吐出口44aに対応して金属層41に穴41aを形成すると、吐出口44aが全周にわたって金属層41で取り囲まれる。そのため、吐出口44aの周囲領域の保護の観点からは、前記実施形態の方が、図10(a)、(b)の形態よりも好ましい。但し、金属層41の除去工程後に積層体42に形成する撥液膜43は、樹脂層40に対する密着強度が、金属層41に対する密着強度よりも高い。従って、積層体42の全域に撥液膜43を形成する場合、金属層41が樹脂層40を覆っている領域が少ないほど、撥液膜43の密着性が高く、剥離しにくいことになる。つまり、撥液膜43の剥離防止の観点からは、図10(a)、(b)のように、金属層41の除去範囲を広くする方が好ましいと言える。
5]樹脂層40と金属層41とを接着剤を介在させずに積層された積層体42の作製方法は、前記実施形態で例示したキャスト法には限られない。例えば、表面に熱圧着性樹脂層を有する樹脂フィルムを加熱しながら金属層41に押し付けることで、接着剤を使用せずに貼り合わせる方法、いわゆる、ラミネート法を採用することもできる。
また、蒸着やスパッタリング、あるいは、無電解メッキ等の公知の金属薄膜形成技術を用いて、樹脂層40の表面に金属層41を成膜してもよい。尚、上記の薄膜形成技術では、マスクを用いて基材上に金属薄膜をパターニングする技術が確立されており、樹脂層40の所望の領域にのみ金属層41を形成することが可能である。この場合は、樹脂層40の全面に金属層41を形成してから、改めて、エッチング等によって金属層41の一部を除去するという工程を踏む必要はない。別の言い方をすれば、樹脂層40と金属層41とを積層する工程と、除去工程とを同時に行うことになる。
6]ノズルプレート39の基材となる積層体42は、1層の樹脂層40と1層の金属層41の2層構造には限られない。例えば、金属層41が、複数の異種金属が積層された多層構造であってもよい。また、金属層41にセラミックス層が積層されてもよい。例えば、金属層41の表面に、耐摩耗性を向上させるために、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)が積層されてもよい。
4 インクジェットヘッド
35〜38 プレート
39 ノズルプレート
40 樹脂層
41 金属層
42 積層体
43 撥液膜
44 ノズル
44a 吐出口
49 孔
35〜38 プレート
39 ノズルプレート
40 樹脂層
41 金属層
42 積層体
43 撥液膜
44 ノズル
44a 吐出口
49 孔
Claims (6)
- 液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路構造体とを有する、液体吐出装置の製造方法であって、
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、
前記樹脂層に、前記金属層から露出した領域において開口するように、前記ノズルを形成する、ノズル形成工程と、
前記ノズル形成工程の前、又は、前記ノズル形成工程の後に、前記ノズル形成工程を経て前記ノズルプレートとなる前記積層体を、前記流路構造体に接合する接合工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記除去工程の後に、前記積層体の、少なくとも前記樹脂層が前記金属層から露出している領域に撥液膜を形成する、撥液膜形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記積層体は、前記金属層の一方の面に液状の樹脂材料を塗布した後に、この樹脂材料を固化させることによって形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記金属層の前記一方の面に前記液状の樹脂材料を塗布する前に、前記金属層の前記一方の面の、前記除去工程で除去されない領域にのみ、粗面処理を施すことを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの製造方法であって、
樹脂層と金属層とが接着剤を介在させずに積層されてなる積層体の、前記金属層の一部を除去して前記樹脂層を部分的に露出させる除去工程と、
前記樹脂層に、前記金属層から露出する領域において開口するように、前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
を備えていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルに連通する液体流路が形成され、且つ、前記ノズルプレートに接合された流路構造体と、を備え、
前記ノズルプレートは、接着剤を介在させずに積層された樹脂層と金属層とを有し、
前記樹脂層は前記金属層から部分的に露出しており、
前記樹脂層に、前記金属層から露出した領域において開口する前記ノズルが形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
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