JP2014059541A - 空気圧を用いた基板固定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に中空部110が形成されているボディーフレーム100;前記ボディーフレーム100の上面100aに形成され、前記ボディーフレーム100を貫通して前記中空部110と連結される複数の貫通孔130;前記中空部110内で移動可能に設けられた真空調節レバー200;および前記ボディーフレーム100に形成され、前記中空部110内の空気を外部に排出したり前記中空部110に空気を流入したりするための空気出入口300を含む。
【選択図】図1
Description
フレキシブルディスプレイを用いた平板ディスプレイの製造工程には、フレキシブルディスプレイのような薄部材を固定して切断したりまたは洗浄したりする工程が含まれてもよい。このような工程過程においては、前記フレキシブルディスプレイ基板を破損せずに堅固に固定させる技術が必要である。
したがって、従来の真空吸着力を用いた基板固定装置は、真空吸着力を生成するための別途の吸入手段と、前記吸着面と吸入手段とを連結する構成要素がさらに必要となるという問題がある。
前記真空調節レバー200は、前記中空部110の第1方向に配置される圧着部210、および前記圧着部210を前記第1方向と水平に交差する第2方向に移動させるための取っ手部220を含むことができる。
前記真空調節レバー200の前記圧着部210には密着用パッド部230が備えられる。
前記取っ手部220の一端は前記圧着部210と連結され、他端は前記ボディーフレーム100を貫通して外部に延びる。
前記取っ手部220は、1つ以上の方向に折り畳むことのできる関節部221を含むことができる。
前記空気出入口300は、前記ボディーフレーム100に少なくとも1つ以上形成される。
前記空気出入口300は、前記ボディーフレーム100の基板支持面120が形成されない上面100aに形成される。
前記空気出入口300には空気調節バルブ400が形成される。
前記空気調節バルブ400は、前記空気が移動できる通路を備えたバルブボディー410、および前記バルブボディー410の一部に備えられたスプリング420を含むことができる。
前記貫通孔130の直径は1〜100mm範囲の値を有する。
前記貫通孔130は、単位面積当たり(m2)10〜1,000個が形成される。
本発明の一実施形態による基板固定装置によれば、前記空気調節バルブを利用して前記中空部の内部に外部空気を流入させることにより、前記中空部と外部間に形成された空気圧差を解除して基板を前記ボディーフレームから脱着することができる。
本発明の一実施形態による基板固定装置は、別途に空気圧を提供する設備は必要なく、構造が簡単で且つ製造費用が節減される。
図1および図2を参照すれば、前記基板固定装置は、ボディーフレーム100および真空調節レバー200を含むことができ、前記ボディーフレーム100に形成された空気出入口300、空気調節バルブ400、およびレバー固定装置500などを含むことができる。
前記ボディーフレーム100の内部には中空部110が形成されており、前記ボディーフレーム100の上面100aには前記ボディーフレーム100を貫通して前記中空部110と連結される複数の貫通孔130が形成される。
前記ボディーフレーム100の内部に形成された中空部110には、前記中空部110内の空気を外部に排出するための真空調節レバー200が備えられることができる。
前記第2方向が前記第1方向と水平に交差するということは、直交または一定の角度を持って交差することを含むことができる。
前記真空調節レバー200は、前記中空部110の第1方向に配置され、前記中空部110の上に存在する空気を排出するための圧着部210、および前記第1方向と水平に直交する第2方向に移動させるための取っ手部220を含むことができる。
前記パッド部230はゴムのような弾性体を含んで形成することができる。
前記圧着部210の両端には前記レール140上で均一に移動できるようにレール溝240が形成される。前記レール溝240は前記レール140の形態に応じて変形させることができる。
また、前記取っ手部220の他端は、前記ボディーフレーム100を貫通する空気出入口300を通して外部に連結される。
前記外部に連結された取っ手部220の他端には、使用者が前記取っ手部220を握ることができるように取っ手222が形成される。
前記空気調節バルブ400は、空気が移動できる通路部413を備えるバルブボディー410、および前記バルブボディー410の一部に備えられるスプリング420を含むことができる。
前記密閉部412とボディーフレーム100が接触する部分には、空気が抜け出ないように圧着パッド430が形成される。
前記スプリング420の剛性は、固定される基板にかかる圧力が大きすぎて変形が生じることを防止するために適切なものを用いる。
図5aに示すように、一般的な場合、前記ボディーフレーム100と前記密閉部412は、A−B間に備えられたスプリング420の弾性力によって密着した状態で配置される。このように、前記密閉部412は、外部から前記中空部110に流入する空気を遮断して前記中空部110が密閉されるようにする。
前記レバー固定装置500は、前記真空調節レバー200の圧着部210を固定するためのラチェット510、前記ラチェット510を一定の範囲内で移動させるラチェット軸520、前記ラチェット軸520の移動範囲を制限するための固定部530、および前記固定部530を解除するための解除部540を含むことができる。
したがって、前記真空調節レバー200は前記ラチェット510によって固定されることができ、使用者が前記解除部540を押す場合には、前記固定部530が前記ラチェット軸520の固定を解除して前記真空調節レバー200を再び移動させることができる。
前記真空調節レバー200の圧着部210を前記中空部110の一側に押し上げた後、前記基板支持面120上に固定しようとする基板10を位置させる。
前記基板10を前記基板支持面120に位置させた状態で前記真空調節レバー200を引っ張れば、前記中空部110の内部に存在する空気が外部に排出されて、前記中空部110と外部との間に空気圧差を形成することができる。
前記中空部110の他の一側に引っ張られた前記真空調節レバー200は前記レバー固定装置500で固定することができる。
前記基板10が基板支持面120に固定された状態で所望の作業ができる。前記作業が終われば、前記空気調節バルブ400の流入部411を押して、外部の空気が前記中空部110の内部に流入できるようにする。
前記のような過程により、本発明は、半導体ウェハー、LCD、OLEDパネルなどのようなフレキシブル基板の付着および脱着が容易な基板固定装置を提供することができる。
100・・・ボディーフレーム
100a・・・ボディーフレーム上面
110・・・中空部
110a・・・中空部底面
120・・・基板支持面
130・・・貫通孔
140・・・レール
200・・・真空調節レバー
210・・・圧着部
220・・・取っ手部
221・・・関節部
222・・・取っ手
230・・・パッド部
240・・・レール溝
300・・・空気出入口
400・・・空気調節バルブ
410・・・バルブボディー
411・・・流入部
412・・・密閉部
413・・・通路部
420・・・スプリング
430・・・圧着パッド
500・・・レバー固定装置
510・・・ラチェット
520・・・ラチェット軸
530・・・固定部
540・・・解除部
Claims (15)
- 内部に中空部が形成されているボディーフレーム;
前記ボディーフレームの上面aに形成され、前記ボディーフレームを貫通して前記中空部と連結すされる複数の貫通孔;
前記中空部内で移動可能に設けられた真空調節レバー;および
前記ボディーフレームに形成され、前記中空部内の空気を外部に排出したり前記中空部に空気を流入したりするための空気出入口;を含む基板固定装置。 - 前記ボディーフレームの上面は基板支持面であることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記真空調節レバーは、
前記中空部の第1方向に配置される圧着部;および
前記圧着部を前記第1方向と水平に交差する第2方向に移動させるための取っ手部;を含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。 - 前記真空調節レバーの前記圧着部には密着用パッド部が備えられることを特徴とする、請求項3に記載の基板固定装置。
- 前記パッド部は弾性体を含むことを特徴とする、請求項4に記載の基板固定装置。
- 前記取っ手部の一端は前記圧着部と連結され、他端は前記ボディーフレームを貫通して外部に延びることを特徴とする、請求項3に記載の基板固定装置。
- 前記取っ手部は、1つ以上の方向に折り畳むことのできる関節部を含むことを特徴とする、請求項3に記載の基板固定装置。
- 前記空気出入口は、前記ボディーフレームに少なくとも1つ以上形成されることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記空気出入口は、前記ボディーフレームの上面を除いた残りの面に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記空気出入口は、前記ボディーフレームの上面において前記基板支持面が形成されない領域に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記空気出入口には空気調節バルブが形成されることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記空気調節バルブは、
前記空気が移動できる通路を備えたバルブボディー;および
前記バルブボディーの一部に備えられたスプリング;を含むことを特徴とする、請求項11に記載の基板固定装置。 - 前記空気調節バルブは、前記バルブボディーを前記ボディーフレームに密着させるためのパッド部を含むことを特徴とする、請求項11に記載の基板固定装置。
- 前記貫通孔の直径は、1〜100mm範囲の値を有することを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
- 前記貫通孔は、単位面積当たり(m2)10〜1,000個備えられることを特徴とする、請求項1に記載の基板固定装置。
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