JP2005286114A - 平板型基板ホルダー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持台10の上面に載置された平板型基板12を保持する平板型基板ホルダーが提供される。この平板型基板ホルダーは,支持台10の上部に略水平に配設され,底面に複数の第1の孔22が穿設された保持板20と;保持板20の底面に装着され,第1の孔22を密閉する複数の第1の弾性膜24と;第1の弾性膜24の下面側に設けられ,平板型基板12を粘着する粘着膜26と;第1の弾性膜を下方に膨張させる弾性膜制御手段と;を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
まず,本発明の第1の実施形態にかかる平板型基板ホルダーについて説明する。図1ないし図5は,第1の実施形態にかかる平板型基板ホルダーを示す図である。
次に,本発明の第2の実施形態にかかる平板型基板ホルダーについて説明する。図6ないし図8は,第2の実施形態にかかる平板型基板ホルダーの弾性膜制御手段を示す図である。この第2の実施形態にかかる平板型基板ホルダーは,保持板20を独立に構成して移送負荷を減らすことが可能な構成である。
次に,本発明の第3の実施形態にかかる平板型基板ホルダーについて説明する。図9ないし図11は,第3の実施形態にかかる平板型基板ホルダーの弾性膜制御手段を示す図である。この第3の実施形態にかかる平板型基板ホルダーは,移送負荷を減らす構造を維持し,弾性膜の制御を電気の力で具現している。
次に,図12ないし図15に基づいて,本発明の第4の実施形態にかかる平板型基板ホルダーについて説明する。
次に,図16ないし図19に基づいて,本発明の第5の実施形態にかかる平板型基板ホルダーについて説明する。この第5の実施形態では,磁性板80を用いて基板12を保持する構造について説明する。図16は,第5の実施形態にかかる平板型基板ホルダーの全体構成を示す。
12 平板型基板
20 保持板
22 孔(第1の孔)
24 弾性膜
26 粘着膜
26a 非粘着部
28 第1の通気口
30 調節弁
40,50 昇降板
42,52 延長管
44 第2の通気口
54 外部ソレノイド
56 内部ソレノイド
56a 作動バー
60 弾性板
70 粘着用プレート
72 分離用プレート
80 磁性板
90 保持板
100 分離用プレート
Claims (14)
- 支持台の上面に載置された平板型基板を保持する平板型基板ホルダーにおいて:
前記支持台の上部に略水平に配設され,底面に複数の第1の孔が穿設された保持板と;
前記保持板の底面に装着され,前記第1の孔を密閉する複数の第1の弾性膜と;
前記第1の弾性膜の下面側に設けられ,前記平板型基板を粘着する粘着膜と;
前記第1の弾性膜を下方に膨張させる弾性膜制御手段と;
を備えることを特徴とする,平板型基板ホルダー。 - 前記弾性膜制御手段は,
前記保持板に設けられ前記複数の第1の孔と連通した第1の通気口,に供給される空気を制御して,前記第1の弾性膜の内外に気圧差を発生させることにより,前記第1の弾性膜を下方に膨張させることを特徴とする,請求項1に記載の平板型基板ホルダー。 - 前記弾性膜制御手段は,前記保持板の上部に垂直移動可能に配設された昇降板を備え:
前記昇降板は,
前記昇降板の底面において前記第1の孔に対応する位置にそれぞれ穿設された複数の第2の孔と;
前記第2の孔と連通し,前記昇降板の底面から下方に突出し,貫通孔である前記第1の孔に挿入可能な複数の延長管と;
前記延長管の下端を密閉する複数の第2の弾性膜と;
前記複数の延長管と連通した第2の通気口と;
を有し:
前記弾性膜制御手段は,
前記昇降板の前記延長管を前記保持板の前記第1の孔に挿入させた状態で,前記第2の通気口に供給される空気を制御して,前記第2の弾性膜の内側と前記第1の弾性膜の外側との間に気圧差を発生させることにより,前記第1の弾性膜を下方に膨張させることを特徴とする,請求項1に記載の平板型基板ホルダー。 - 前記弾性膜制御手段は,前記保持板の上部に垂直移動可能に配設された昇降板を備え:
前記昇降板は,
前記昇降板の底面から下方に突出し,貫通孔である前記第1の孔に挿入可能な複数の延長管と;
前記延長管内に配設されたソレノイドと;
を有し:
前記弾性膜制御手段は,
前記昇降板の前記延長管を前記保持板の前記第1の孔に挿入させた状態で,前記ソレノイドに印加する電気信号を制御して前記延長管から前記ソレノイドを突出させることにより,前記第1の弾性膜を膨張させることを特徴とする,請求項1に記載の平板型基板ホルダー。 - 前記ソレノイドは,
前記第1の弾性膜の全体を押圧可能な基板粘着用の外部ソレノイドと;
前記外部ソレノイドの内部に設けられ,前記第1の弾性膜の中心部を押圧可能な基板分離用の内部ソレノイドと;
を有することを特徴とする,請求項4に記載の平板型基板ホルダー。 - 前記第1の弾性膜は,伸張性を有する軟質の合成樹脂材からなり,前記第1の孔と略同一形状を有し,前記第1の孔の周縁部に接着されることを特徴とする,請求項1,2,3,4または5のいずれかに記載の平板型基板ホルダー。
- 前記粘着膜は,中央部に非粘着部が設けられることを特徴とする,請求項1,2,3,4,5または6のいずれかに記載の平板型基板ホルダー。
- 前記第1の弾性膜及び粘着膜は,少なくとも4角以上の略多角形状または略円形状を有することを特徴とする,請求項1,2,3,4,5,6または7のいずれかに記載の平板型基板ホルダー。
- 前記非粘着部は,前記粘着膜の中央部に,前記粘着膜の長手方向に帯状に設けられることを特徴とする,請求項7に記載の平板型基板ホルダー。
- 支持台の上面に載置された平板型基板を保持する平板型基板ホルダーにおいて:
前記支持台の上部に略水平に配設され,係止部を有する複数の孔が穿設された保持板と;
前記保持板の前記孔内に配設され,前記係止部によって係止される被係止部を有し,底部が前記保持板の底面から突出するように弾性変形可能な複数の弾性板と;
前記弾性板の底面に設けられ,前記平板型基板を粘着する粘着膜と;
前記保持板の上部に垂直および水平移動可能に配設され,底面には前記孔に挿入可能な複数の第1の突出部が設けられており,前記第1の突出部によって前記弾性板の底部の略全体を押圧して前記保持板の底面から突出させる粘着用プレートと;
前記保持板の上部に前記粘着用プレートと干渉しないように垂直および水平移動可能に配設され,底面には前記孔に挿入可能な複数の第2の突出部が設けられており,前記第2の突出部によって前記弾性板の底部の中央部を押圧して前記弾性板の底部を湾曲した状態で突出させる分離用プレートと;
を備えることを特徴とする,平板型基板ホルダー。 - 前記被係止部と前記係止部との間には弾性部材が配設されていることを特徴とする,請求項10に記載の平板型基板ホルダー。
- 支持台の上面に載置された平板型基板を保持する平板型基板ホルダーにおいて:
前記平板型基板の上面に装着された1または2以上の磁性板と;
前記支持台の上部に略水平に配設され,前記磁性板に対応する1または2以上の磁石が底面に装着され,略垂直方向に複数の貫通孔が穿設された保持板と;
前記保持板の上部に配設され,前記貫通孔に挿入されて前記平板型基板の上面と当接する複数の突出ピンが底面に設けられた分離用プレートと;
を備えることを特徴とする,平板型基板ホルダー。 - 前記磁性板は,真空状態で使用可能な粘着剤によって前記平板型基板に付着されることを特徴とする,請求項12に記載の平板型基板ホルダー。
- 前記磁性板は,真空状態で使用可能であり前記磁性体より広面積の単面接着フィルムによって覆われるようにして前記平板型基板に付着されることを特徴とする,請求項12に記載の平板型基板ホルダー。
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