CN105632991A - 刚性衬底基板、柔性显示基板制备设备及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种刚性衬底基板、柔性显示基板制备设备及制备方法。所述刚性衬底基板包括基体，所述基体具有一承托面，用于放置形成柔性显示基板所需的基材，所述基体的与所述承托面对应的内部区域设置有内腔，所述承托面和内腔之间设置有多个将所述内腔与承托面连通的通孔；且所述内腔通过通气管分别与抽气装置、输气装置连接。上述刚性衬底基板一方面无需使用粘结剂，可以降低形成柔性显示基板的工艺的成本；另一方面，在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会造成柔性显示基板的损伤，而且，无需对刚性衬底基板进行清洗，就可以利用刚性衬底基板再次制备柔性衬底基板，这样能够提高生产效率。

Description

刚性衬底基板、柔性显示基板制备设备及制备方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种用于制备柔性显示基板的刚性衬底基板，以及包括上述刚性衬底基板的柔性显示基板制备设备，以及一种柔性显示基板的制备方法。
背景技术
柔性显示是显示技术的未来发展方向之一，但在目前，柔性显示面板在制备过程中还存在着诸多问题，导致其成本较高，良率较低。
如在柔性显示基板制备过程中，目前，需要使用粘结剂将用于形成柔性显示基板的基材贴附在刚性衬底基板(刚性衬底基板一般为玻璃基板)上，然后在所述基材上形成柔性显示基板中的各种图形。在柔性显示基板制备完成之后，通过对粘结剂加热，使刚性衬底基板和所形成的柔性显示基板彼此剥离。
上述制备柔性显示基板的方式所存在的问题在于：
首先，在对粘结剂进行加热时，很容易出现温度控制不当，这样在进行剥离时容易造成柔性显示基板的损伤。
其次，残留在柔性基板上的粘性材料不易清除。
再次，在制备完成一片柔性显示基板后，所述刚性衬底基板上也会残留粘性材料，在再次使用之前必须进行清洗；
最后，使用粘结剂，也会增加柔性显示基板制备的成本。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种刚性衬底基板、柔性显示基板制备设备以及柔性显示基板的制备方法，其无需通过粘结剂将基材(柔性显示基板)固定在刚性衬底基板上，可以降低成本，而在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会造成柔性显示基板的损伤，而且刚性衬底基板上不会残留粘性材料，无需清洗就可以再次进行制备柔性显示基板的工艺。
为实现本发明的目的而提供一种刚性衬底基板，其包括基体，所述基体具有一承托面，用于放置形成柔性显示基板所需的基材，所述基体的与所述承托面对应的内部区域设置有内腔，所述承托面和内腔之间设置有多个将所述内腔与承托面连通的通孔；且所述内腔通过通气管分别与抽气装置、输气装置连接。
其中，所述基体的材质为金属或硬质PVC。
其中，所述多个通孔在所述承托面上的投影呈矩阵状。
其中，所述多个通孔在所述承托面上的投影均匀分布。
其中，所述抽气装置、输气装置设置在所述基体的下方或侧向。
其中，所述内腔中设置有压力检测单元，用于检测所述内腔中的气压。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种柔性显示基板制备设备，其包括本发明提供的上述刚性衬底基板。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种柔性显示基板的制备方法，其包括下述步骤：
将基材放置在本发明提供的上述刚性衬底基板上；
抽气装置从内腔中抽出气体，将所述基材固定；
在所述基材上制备形成柔性显示基板所需的各图形；
输气装置向内腔中输入气体，将所形成的柔性显示基板从所述刚性衬底基板上移走。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的刚性衬底基板，其可以改变内腔中的气压，在放置在承托面上的基材的两侧形成压差，通过该压差使所述基材(柔性显示基板)紧贴在刚性衬底基板的基体上，或者使基材(柔性显示基板)从刚性衬底基板上脱离。与现有技术相比，其无需使用粘结剂将基材(柔性显示基板)与刚性衬底基板固定，可以降低形成柔性显示基板的工艺的成本；同时，也无需通过加热的方式使基材(柔性显示基板)与刚性衬底基板脱离，从而在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会对柔性显示基板造成损伤，而刚性衬底基板上也不会残留粘性材料，无需清洗就可以再次将基材放置在其承托面上进行形成柔性显示基板的工艺，从而可以提高生产效率。
本发明提供的柔性显示基板制备设备，其采用本发明提供的上述刚性衬底基板，一方面，无需使用粘结剂，可以降低形成柔性显示基板的工艺的成本；另一方面，在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会造成柔性显示基板的损伤，而且，无需对刚性衬底基板进行清洗，就可以利用刚性衬底基板再次制备柔性衬底基板，这样能够提高生产效率。
本发明提供的柔性显示基板的制备方法，在制备柔性显示基板时，通过在基材两侧形成压差实现对基材的固定，从而无需通过粘结剂实现基材与刚性衬底基板之间的固定，减少了成本；另外，在柔性显示基板制备完成后，通过消除柔性显示基板两侧的压差实现柔性显示基板与刚性衬底基板之间的脱离，在该过程中，不会造成柔性显示基板的损伤，而且，无需对刚性衬底基板进行清洗，就可以利用刚性衬底基板再次制备柔性衬底基板，这样能够提高生产效率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明实施方式中提供的刚性衬底基板的示意图；
图2为将基材固定在刚性衬底基板上时的示意图；
图3为柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时的示意图；
图4为本发明实施方式中柔性显示基板的制备方法的流程图。
其中，附图标记：
10：基体；11：内腔；12：通孔；13：通气管；14：抽气装置；15：输气装置；20：基材。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
本发明提供一种刚性衬底基板，并给出其具体实施方式。在本发明提供的实施方式中，如图1所示，所述刚性衬底基板包括基体10，所述基体10具有一承托面(即图1中基体10的上表面)，用于放置形成柔性显示基板所需的基材20；具体地，所述基体10的材质可以为金属或硬质PVC，以使所述基体10具有刚性，当然，所述基体10也可以采用其他具有刚性特性的材质来制备。所述基体10的与所述承托面对应的内部区域设置有内腔11，所述承托面和内腔11之间设置有多个将内腔11与所述承托面连通的通孔12，这样在将基材20放置在所述承托面上的时候，基材20能够将所有的通孔12完全覆盖住。所述内腔11还通过通气管13分别与抽气装置14、输气装置15连接。所述抽气装置14、输气装置15可以为单独的一个装置，分别具有抽气和输气功能；此外，其二者还可以为集成为一个整体，即一个同时具有抽气和输气功能的装置，如真空泵。
在本实施方式中，将基材20放置在基体10的承托面上之后，如图2所示，抽气装置14从内腔11中将气体经通气管13抽出，内腔11内的气体流动方向如图2中箭头所示，最终使内腔11中的气压降低；而由于基材20在放置在承托面上之后，会将连接内腔11与承托面的通孔12覆盖住，因此，基材20上表面的环境气压保持不变；这样在基材20两侧就会存在压差，该压差会使得基材20紧贴在基体10的承托面上。在将基材20固定在承托面上之后，就可以在基材上制备形成柔性显示基板所需的各种图形。
在形成柔性显示基板所需的各种图形均制备完成之后，如图3所示，输气装置15经通气管13向内腔11中输入气体，内腔11内的气体流动方向如图3中箭头所示，最终使内腔11中的气压升高，减小内腔11中的气压与基材20上表面所处的环境气压之间的压差，直至内腔11中的气压接近于基材20上表面所处的环境气压，或者等于基材20上表面所处的环境气压，或者略高于基材20上表面所处的环境气压，这时，由基材20而形成的柔性显示基板不会再紧贴在所述承托面上，从而可以轻微用力，或者直接就可以将所述柔性显示基板从基体10上拿下来，传输至相应位置。
所述多个通孔12在所述承托面上的投影呈矩阵状；以使所述基材20在放置在所述承托面上时受力均匀，基材20上的各区域能够稳定地紧贴在所述承托面上，避免部分区域没有被吸附，相对于其他被吸附的区域形成翘起。进一步地，所述多个通孔12在所述承托面上的投影均匀分布，以进一步使被放置在承托面上的基材20能够受力均匀。
所述抽气装置14、输气装置15设置在所述基体10的下方或侧向。这样可以在基材20上制备形成柔性显示基板所需的各种图形的工艺过程中，避免抽气装置14、输气装置15对上述工艺产生干扰。
优选地，所述内腔11中设置有压力检测单元(图中未示出)，用于检测所述内腔11中的气压。这样可以在从内腔11中抽气时，以及向内腔11中输气时，及时获得内腔11中的压力参数，从而能够根据内腔11中的压力参数，控制从内腔11中抽气，以及向内腔11中输气的过程，最终实现对抽气完成后，以及输气完成后内腔11中的压力的控制。例如，在向内腔11中输气时，根据压力检测单元所检测到的内腔11中的气压，可以在内腔11中的气压等于或略大于柔性显示基板上表面所处的环境气压时，停止向内腔11中输气，这样就可以避免向内腔11中输气不足，导致无法将柔性显示基板从基体10上卸下，以及避免向内腔11中输气过多，导致柔性显示基板从基体10上脱落。
本发明提供的刚性衬底基板，其可以改变内腔11中的气压，在放置在承托面上的基材20的两侧形成压差，通过该压差使所述基材(柔性显示基板)紧贴在刚性衬底基板的基体10上，或者使基材(柔性显示基板)从刚性衬底基板上脱离。与现有技术相比，其无需使用粘结剂将基材(柔性显示基板)与刚性衬底基板固定，可以降低形成柔性显示基板的工艺的成本；同时，也无需通过加热的方式使基材(柔性显示基板)与刚性衬底基板脱离，从而在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会对柔性显示基板造成损伤，而刚性衬底基板上也不会残留粘性材料，无需清洗就可以再次将基材放置在其承托面上进行形成柔性显示基板的工艺，从而可以提高生产效率。
本发明还提供一种柔性显示基板制备设备。在所述柔性显示基板制备设备的实施方式中，所述柔性显示基板制备设备包括本发明上述实施方式中的刚性衬底基板。
本发明提供的柔性显示基板制备设备，其采用本发明提供的上述刚性衬底基板，一方面，无需使用粘结剂，可以降低形成柔性显示基板的工艺的成本；另一方面，在柔性显示基板与刚性衬底基板脱离时，不会造成柔性显示基板的损伤，而且，无需对刚性衬底基板进行清洗，就可以利用刚性衬底基板再次制备柔性衬底基板，这样能够提高生产效率。
本发明还提供一种柔性显示基板的制备方法。在所述柔性显示基板的制备方法的实施方式中，所述柔性显示基板的制备方法包括下述步骤S1～S4。
S1，将基材放置在刚性衬底基板上。
步骤S1中，所述刚性衬底基板为本发明上述实施方式提供的刚性衬底基板。
S2，抽气装置从内腔中抽出气体，将所述基材固定。
步骤S2中，从内腔中抽出气体之后，内腔中的气压降低，从而在基材两侧就形成了压差，该压差将基材固定在刚性衬底基板上。
S3，在所述基材上制备形成柔性显示基板所需的各图形。
步骤S3中，在基材上形成的图形一般包括薄膜晶体管、像素电极、各种信号线(如栅线、数据线、公共电极线等)等结构。
S4，输气装置向内腔中输入气体，将所形成的柔性显示基板从所述刚性衬底基板上移走。
步骤S4中，向内腔中输入气体之后，内腔中的气压会升高，使柔性显示基板两侧的压差减小，这样，将柔性显示基板固定在刚性衬底基板上的力就会相应减小、消失，从而可以轻易和方便地将柔性显示基板从刚性衬底基板上移走。
本实施方式提供的柔性显示基板的制备方法，在制备柔性显示基板时，通过在基材两侧形成压差实现对基材的固定，从而无需通过粘结剂实现基材与刚性衬底基板之间的固定，减少了成本；另外，在柔性显示基板制备完成后，通过消除柔性显示基板两侧的压差实现柔性显示基板与刚性衬底基板之间的脱离，在该过程中，不会造成柔性显示基板的损伤，而且，无需对刚性衬底基板进行清洗，就可以利用刚性衬底基板再次制备柔性衬底基板，这样能够提高生产效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种刚性衬底基板，包括基体，所述基体具有一承托面，用于放置形成柔性显示基板所需的基材，其特征在于，所述基体的与所述承托面对应的内部区域设置有内腔，所述承托面和内腔之间设置有多个将所述内腔与承托面连通的通孔；且所述内腔通过通气管分别与抽气装置、输气装置连接。
2.根据权利要求1所述的刚性衬底基板，其特征在于，所述基体的材质为金属或硬质PVC。
3.根据权利要求1所述的刚性衬底基板，其特征在于，所述多个通孔在所述承托面上的投影呈矩阵状。
4.根据权利要求1或3所述的刚性衬底基板，其特征在于，所述多个通孔在所述承托面上的投影均匀分布。
5.根据权利要求1所述的刚性衬底基板，其特征在于，所述抽气装置、输气装置设置在所述基体的下方或侧向。
6.根据权利要求1所述的刚性衬底基板，其特征在于，所述内腔中设置有压力检测单元，用于检测所述内腔中的气压。
7.一种柔性显示基板制备设备，其特征在于，包括权利要求1～6任意一项所述的刚性衬底基板。
8.一种柔性显示基板的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：
将基材放置在权利要求1～6任意一项所述的刚性衬底基板上；
抽气装置从内腔中抽出气体，将所述基材固定；
在所述基材上制备形成柔性显示基板所需的各图形；
输气装置向内腔中输入气体，将所形成的柔性显示基板从所述刚性衬底基板上移走。
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