JP2014053426A - 露光装置、露光方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の露光装置は、アライメント計測部とフォーカスマップ計測部と制御部とを備えている。制御部は、下層側パターンの下層位置情報と上層側パターンの上層位置情報とに基づいて、上下層間の位置合わせに用いるアライメント補正値を算出する算出部を有している。前記下層位置情報は、前記下層側パターンを転写する際に計測されたアライメントデータおよびフォーカスマップと、過去の基板に基づいて設定された補正値と、を含んでいる。前記上層位置情報は、前記上層側パターンを転写する際に前記アライメント計測部が計測したアライメントデータおよび前記フォーカスマップ計測部が計測したフォーカスマップと、過去の基板に基づいて設定されて前記上層側パターンを転写する際に用いる補正値とを含んでいる。
【選択図】図2
Description
図1は、第1の実施形態に係る露光装置の構成を示す図である。露光装置(半導体リソグラフィ装置)1Aは、半導体装置を製造する際のリソグラフィ工程で用いられる装置である。
つぎに、図4を用いてこの発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、反射型投影光学系を用いて構成される露光処理機構で露光を行う際に、下層アライメントデータ、下層入力補正値および下層フォーカスマップを用いて、下層側パターンに対する上層側パターンのアライメント補正値を算出する。
つぎに、図5を用いてこの発明の第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、レチクル形状に基づいて、下層側パターンに対する上層側パターンのアライメント補正値を算出する。
つぎに、図6を用いてこの発明の第4の実施形態について説明する。第4の実施形態では、レチクルの温度分布に基づいて、下層側パターンに対する上層側パターンのアライメント補正値を算出する。
つぎに、図7を用いてこの発明の第5の実施形態について説明する。第5の実施形態では、ウエハ15の温度分布に基づいて、下層側パターンに対する上層側パターンのアライメント補正値を算出する。
Claims (7)
- マスクパターンが形成された原版に露光光を照射することによって基板に前記マスクパターンに対応するパターンを転写する露光処理部と、
前記露光処理部を制御する制御部と、
を備え、
前記露光処理部は、
前記基板のアライメントデータを計測するアライメントデータ計測部と、
前記基板のフォーカスマップを計測するフォーカスマップ計測部と、
前記原版の表面形状を計測する原版形状計測装置と、
を有し、
前記制御部は、
これから露光処理を行う基板である露光対象基板の下層側パターンの位置に関する下層側位置情報と、前記露光対象基板に転写する上層側パターンの位置に関する上層側位置情報と、に基づいて、前記下層側パターンに対して前記上層側パターンを位置合わせする際に用いるアライメント補正値を算出するアライメント補正値算出部を有し、
前記下層側位置情報は、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたアライメントデータである下層アライメントデータと、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたフォーカスマップである下層フォーカスマップと、
前記露光対象基板よりも以前に露光処理された基板から取得した下層側パターンと上層側パターンとの間の位置ずれ量の履歴に基づいて設定された前記位置合わせに対する補正値であって前記下層側パターンを形成する際に用いた下層補正値と、
前記下層側パターンの形成に用いられる下層用原版に対して前記下層側パターンを転写する際に計測された前記下層用原版の表面形状と、
を含み、
前記上層側位置情報は、
前記上層側パターンを転写する際に前記アライメントデータ計測部が計測したアライメントデータである上層アライメントデータと、
前記上層側パターンを形成する際に前記フォーカスマップ計測部が計測したフォーカスマップである上層フォーカスマップと、
前記位置合わせに対する補正値であって前記上層側パターンを転写する際に用いる上層補正値と、
前記上層側パターンの形成に用いられる上層用原版に対して前記上層側パターンを転写する際に前記原版形状計測装置が計測した前記上層用原版の表面形状と、
を含み、
前記制御部は、前記アライメント補正値算出部が算出したアライメント補正値を用いて、前記下層側パターンに対する前記上層側パターンの位置合わせを制御することを特徴とする露光装置。 - マスクパターンが形成された原版に露光光を照射することによって基板に前記マスクパターンに対応するパターンを転写する露光処理部と、
前記露光処理部を制御する制御部と、
を備え、
前記露光処理部は、
前記基板のアライメントデータを計測するアライメントデータ計測部と、
前記基板のフォーカスマップを計測するフォーカスマップ計測部と、
を有し、
前記制御部は、
これから露光処理を行う基板である露光対象基板の下層側パターンの位置に関する下層側位置情報と、前記露光対象基板に転写する上層側パターンの位置に関する上層側位置情報と、に基づいて、前記下層側パターンに対して前記上層側パターンを位置合わせする際に用いるアライメント補正値を算出するアライメント補正値算出部を有し、
前記下層側位置情報は、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたアライメントデータである下層アライメントデータと、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたフォーカスマップである下層フォーカスマップと、
前記露光対象基板よりも以前に露光処理された基板から取得した下層側パターンと上層側パターンとの間の位置ずれ量の履歴に基づいて設定された前記位置合わせに対する補正値であって前記下層側パターンを形成する際に用いた下層補正値と、
を含み、
前記上層側位置情報は、
前記上層側パターンを転写する際に前記アライメントデータ計測部が計測したアライメントデータである上層アライメントデータと、
前記上層側パターンを形成する際に前記フォーカスマップ計測部が計測したフォーカスマップである上層フォーカスマップと、
前記位置合わせに対する補正値であって前記上層側パターンを転写する際に用いる上層補正値と、
を含み、
前記制御部は、前記アライメント補正値算出部が算出したアライメント補正値を用いて、前記下層側パターンに対する前記上層側パターンの位置合わせを制御することを特徴とする露光装置。 - 前記露光処理部は、前記原版の表面形状を計測する原版形状計測装置をさらに有し、
前記下層側位置情報は、前記下層側パターンの形成に用いられる下層用原版に対して前記下層側パターンを転写する際に計測された前記下層用原版の表面形状をさらに含み、
前記上層側位置情報は、前記上層側パターンの形成に用いられる上層用原版に対して前記上層側パターンを転写する際に前記原版形状計測装置が計測した前記上層用原版の表面形状をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記露光処理部は、前記原版の温度分布を計測する原版温度分布計測装置をさらに有し、
前記下層側位置情報は、前記下層側パターンの形成に用いられる下層用原版に対して前記下層側パターンを転写する際に計測された下層用原版の温度分布をさらに含み、
前記上層側位置情報は、前記上層側パターンの形成に用いられる上層用原版に対して前記上層側パターンを転写する際に前記原版温度分布計測装置が計測した前記上層用原版の温度分布をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記露光処理部は、前記基板の温度分布を計測する基板温度分布計測装置をさらに有し、
前記下層側位置情報は、前記下層側パターンを転写する際に計測された基板の温度分布をさらに含み、
前記上層側位置情報は、前記上層側パターンを転写する際に前記基板温度分布計測装置が計測した基板の温度分布をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 基板のアライメントデータを計測するアライメントデータ計測ステップと、
前記基板のフォーカスマップを計測するフォーカスマップ計測ステップと、
マスクパターンが形成された原版に露光光を照射することによって前記基板に前記マスクパターンに対応するパターンを転写する露光処理ステップと、
を有し、
前記露光処理を行う際には、これから露光処理を行う基板である露光対象基板の下層側パターンの位置に関する下層側位置情報と、前記露光対象基板に転写する上層側パターンの位置に関する上層側位置情報と、に基づいて、前記下層側パターンに対して前記上層側パターンを位置合わせする際に用いるアライメント補正値を算出し、
前記下層側位置情報は、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたアライメントデータである下層アライメントデータと、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたフォーカスマップである下層フォーカスマップと、
前記露光対象基板よりも以前に露光処理された基板から取得した下層側パターンと上層側パターンとの間の位置ずれ量の履歴に基づいて設定された前記位置合わせに対する補正値であって前記下層側パターンを形成する際に用いた下層補正値と、
を含み、
前記上層側位置情報は、
前記上層側パターンを転写する際に前記アライメントデータ計測部が計測したアライメントデータである上層アライメントデータと、
前記上層側パターンを形成する際に前記フォーカスマップ計測部が計測したフォーカスマップである上層フォーカスマップと、
前記位置合わせに対する補正値であって前記上層側パターンを転写する際に用いる上層補正値と、
を含み、
算出したアライメント補正値を用いて、前記下層側パターンに対する前記上層側パターンの位置合わせを制御することを特徴とする露光方法。 - 基板のアライメントデータを計測するアライメントデータ計測ステップと、
前記基板のフォーカスマップを計測するフォーカスマップ計測ステップと、
マスクパターンが形成された原版に露光光を照射することによって前記基板に前記マスクパターンに対応するパターンを転写する露光処理ステップと、
転写されたパターンに対応する基板上パターンを前記基板上に形成するパターン形成ステップと、
を有し、
前記露光処理を行う際には、これから露光処理を行う基板である露光対象基板の下層側パターンの位置に関する下層側位置情報と、前記露光対象基板に転写する上層側パターンの位置に関する上層側位置情報と、に基づいて、前記下層側パターンに対して前記上層側パターンを位置合わせする際に用いるアライメント補正値を算出し、
前記下層側位置情報は、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたアライメントデータである下層アライメントデータと、
前記下層側パターンを転写する際に計測されたフォーカスマップである下層フォーカスマップと、
前記露光対象基板よりも以前に露光処理された基板から取得した下層側パターンと上層側パターンとの間の位置ずれ量の履歴に基づいて設定された前記位置合わせに対する補正値であって前記下層側パターンを形成する際に用いた下層補正値と、
を含み、
前記上層側位置情報は、
前記上層側パターンを転写する際に前記アライメントデータ計測部が計測したアライメントデータである上層アライメントデータと、
前記上層側パターンを形成する際に前記フォーカスマップ計測部が計測したフォーカスマップである上層フォーカスマップと、
前記位置合わせに対する補正値であって前記上層側パターンを転写する際に用いる上層補正値と、
を含み、
算出したアライメント補正値を用いて、前記下層側パターンに対する前記上層側パターンの位置合わせを制御することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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