JP2014048180A - 位置ずれ計測方法およびフォトマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下層部1のアライメントマーク1Bを基準に下層部1に形成されるデバイスパターン1Aの位置ずれを計測し、下層部1上の上層部2のアライメントマーク2Bを基準に上層部2に形成されるデバイスパターン2Aの位置ずれを計測し、下層部1のアライメントマーク1Bと上層部2のアライメントマーク2Bとの間の位置ずれを計測し、アライメントマーク1B、2B間の位置ずれに基づいてデバイスパターン1A、2A間の位置ずれを算出する。
【選択図】図1
Description
一般に半導体デバイス製造時の合わせ計測技術は、下層に属するアライメントマークと上層に属するアライメントマークを近接して形成し、その相対的な位置関係を計測するものである。下層のアライメントマークを計測するには上層を透過する必要があるため、計測には光学顕微鏡が用いられる。
それゆえ、アライメントマークは当該波長域で観察可能な一辺100nm以上のパターンにて形成されるか、より小さいパターンを密集して並べることで、光学顕微鏡で認識可能な大きさのアライメントマークを形成している。
一方で先端的なデバイスのパターンはリソグラフィ技術の微細化の進行により、最小寸法が100nm以下のパターンにて形成されている。このため、デバイスの動作に関わるパターンと、そのデバイスパターンの上下層の位置関係を計測するアライメントマークの寸法が乖離するという状況が起こっている。
リソグラフィ工程において露光装置からフォトマスクに照射される光源の波長よりもフォトマスク上のパターンの寸法が小さいため、パターンに照射された光は回折し露光装置の光学系を経てウェハ上に結像するが、その回折角は原理的にパターンの寸法が小さい程大きくなる。従って、寸法の異なるパターンにそれぞれ照射され回折した光は異なる回折角で回折した結果、レンズの異なる場所を通過するため、レンズの局所的な歪み等によってウェハ上に結像するパターンが受ける影響が異なることになる。
以上から、レンズを透過した光の結像の状態が、アライメントマークとデバイスパターンとで異なる可能性があり、今後デバイスパターンの微細化の進行とともにその傾向は顕著になることが予想される。
図1(a)〜図1(c)は、第1実施形態に係る位置ずれ計測方法を示す斜視図である。
図1(a)において、デバイスパターン1Aおよびアライメントマーク1Bを下層部1に形成する。そして、走査型電子顕微鏡3にてデバイスパターン1Aおよびアライメントマーク1Bを観測し、それらの画像データを例えば設計データと比較することで、アライメントマーク1Bを基準としたデバイスパターン1Aの位置ずれZ1を算出する。なお、走査型電子顕微鏡3には測長機能を持たせることができる。また、デバイスパターン1Aの位置ずれZ1は、デバイスパターン1Aに対応したレジストパターンの位置ずれZ1であってもよいし、デバイスパターン1Aに対応したレジストパターンをマスクとして加工された加工パターンの位置ずれZ1であってもよい。
図2において、下層部1のレジストパターンを形成する(S1)。そして、アライメントマーク1Bを基準としたデバイスパターン1Aの位置ずれZ1を走査型電子顕微鏡3にて計測する(S2)。この時、レジストパターンを計測してもよいし、レジストパターンをマスクとして加工された加工パターンを計測してもよい。
この後、算出されたデバイスパターン1A、2A間の位置ずれがデバイスとして許容される範囲内であるか否かが判定され、許容範囲内と判定された場合は、上層部2のレジストパターンをマスクとして上層部2の被加工体を加工して加工パターンを形成する。一方、デバイスパターン1A、2A間の位置ずれが許容範囲内にない場合は、上層部2のレジストパターンをアッシング等により剥離した上でレジストパターンを再形成し、その後デバイスパターン1A、2A間の位置ずれが許容範囲内であると判定されるまでデバイスパターン1A、2A間の位置ずれを算出するステップ(S6)までが繰り返し行われる。
図3(a)は、第2実施形態に係る位置ずれ計測方法を示す斜視図、図3(b)は、図3(a)の表示部9の表示画面21の一例を示す図である。
図3において、走査型電子顕微鏡5には光学レンズ6が搭載されている。なお、走査型電子顕微鏡5の視野の最大値は100μm以上に設定することができる。また、走査型電子顕微鏡5には、光学レンズ6を介して観測された光学像を撮像する撮像部7、走査型電子顕微鏡5の走査電子像を撮像する撮像部8および撮像部7、8による撮像画像を表示する表示部9が設けられている。
図4は、第3実施形態に係る位置ずれ計測における異なる計測装置間の計測機差補正方法を示す斜視図である。
図4(a)において、レイヤ11には、デバイスパターン11A、アライメントマーク11Bおよび計測機差補正用パターン11Cが設けられている。なお、このレイヤ11は、図1(a)〜図1(c)の下層部1であってもよいし、上層部2であってもよい。また、アライメントマーク11Bおよび計測機差補正用パターン11Cは、例えば、半導体ウェハのスクライブライン上に配置することができる。ここで、計測機差補正用パターン11Cには、ある位置ずれ量を有する一対のパターンが、位置ずれ量が互いに異なるように複数設けられている。そして、走査型電子顕微鏡3にて計測機差補正用パターン11Cの位置ずれ量を測定し、走査型電子顕微鏡3におけるパターン11Cの位置ずれ量を求める。
図5において、計測機差補正用パターン11Cには、第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3が設けられている。ここで、第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3には、内側パターンおよび外側パターンがそれぞれ設けられている。そして、外側パターンは内側パターンを囲むように配置されている。
図6において、図5の第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3を図4のレイヤ11に形成する。そして、第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3の位置ずれ量を走査型電子顕微鏡3にて計測することで、走査型電子顕微鏡3におけるP1,P2,P3それぞれの位置ずれ量の設計値と測定値との関係L1を直線近似で求める。次に、第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3の位置ずれ量を光学顕微鏡4にて計測することで、光学顕微鏡4におけるP1,P2,P3それぞれの位置ずれ量の設計値と測定値との関係L2を直線近似で求める。そして、走査型電子顕微鏡3と光学顕微鏡4との間で近似直線が一致するように走査型電子顕微鏡3もしくは光学顕微鏡4あるいはその両方の計測感度を補正する。この時、これらの関係L1、L2を示す2つの近似直線がオフセットを持っているか、あるいは傾きが異なる場合、これらの関係L1、L2を走査型電子顕微鏡3の測定結果に適用し、光学顕微鏡4の測定結果に一致するように補正を行うことができる。
図7において、レイヤ11のレジストパターンを形成する(S11)。そして、第1パターンP1、第2パターンP2および第3パターンP3の位置ずれ量を走査型電子顕微鏡3にて計測する(S12)。この時、レジストパターンを計測してもよいし、レジストパターンをマスクとして加工された加工パターンを計測してもよい。
Claims (5)
- 下層部のアライメントマークを基準に前記下層部に形成されるデバイスパターンの位置ずれを走査型電子顕微鏡にて計測するステップと、
前記下層部上の上層部のアライメントマークを基準に前記上層部に形成されるデバイスパターンの位置ずれを前記走査型電子顕微鏡にて計測するステップと、
前記下層部のアライメントマークと前記上層部のアライメントマークとの間の位置ずれを光学顕微鏡にて計測するステップと、
前記アライメントマーク間の位置ずれに基づいて前記デバイスパターン間の位置ずれを算出するステップとを備え、
前記上層部または前記下層部に一対の第1パターンと前記第1パターンと位置ずれ量の異なる一対の第2パターンとを有する計測機差補正用パターンが形成され、
前記第1パターンおよび前記第2パターンの位置ずれ量を前記走査型電子顕微鏡にて計測することで、前記走査型電子顕微鏡における位置ずれ量の設計値と測定値との関係を直線近似で求め、前記第1パターンおよび前記第2パターンの位置ずれ量を前記光学顕微鏡にて計測することで、前記光学顕微鏡における位置ずれ量の設計値と測定値との関係を直線近似で求め、それらの結果に基づき前記走査型電子顕微鏡と前記光学顕微鏡との間で計測機差を補正することを特徴とする位置ずれ計測方法。 - 下層部のアライメントマークを基準に前記下層部に形成されるデバイスパターンの位置ずれを計測するステップと、
前記下層部上の上層部のアライメントマークを基準に前記上層部に形成されるデバイスパターンの位置ずれを計測するステップと、
前記下層部のアライメントマークと前記上層部のアライメントマークとの間の位置ずれを計測するステップと、
前記アライメントマーク間の位置ずれに基づいて前記デバイスパターン間の位置ずれを算出するステップとを備えることを特徴とする位置ずれ計測方法。 - 前記デバイスパターンの位置ずれは走査型電子顕微鏡にて計測し、前記アライメントマーク間の位置ずれは光学顕微鏡にて計測することを特徴とする請求項2に記載の位置ずれ計測方法。
- 前記アライメントマークおよび前記デバイスパターンが同時に撮像されるように前記走査型電子顕微鏡の視野を設定することを特徴とする請求項3に記載の位置ずれ計測方法。
- 一対の第1パターンと
前記第1パターンと位置ずれ量の異なる一対の第2パターンとを備えることを特徴とするフォトマスク。
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