JP2015014756A - マスク歪計測装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、光源11と、マスク保持部12と、投影光学系13と、撮像部15と、歪算出部と、を備えるマスク歪計測装置10が提供される。マスク保持部12は、複数枚のマスク210,220を重ねて保持する。投影光学系13は、光源11からの複数枚のマスク210,220への光の照射によって、それぞれのマスク210,220に設けられるパターンによる投影像を形成する。撮像部15は、投影像を撮像する。歪算出部は、撮像部15で撮像された投影像を用いて、複数枚のマスク210,220のうち、基準とするマスクに対する他のマスクの合わせずれを算出する。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態によるマスク歪計測装置の構成の一例を模式的に示す斜視図である。マスク歪計測装置10は、光源11と、計測対象のマスク210および基準マスク220を保持するマスク保持部12と、光源11から照射され、マスク210および基準マスク220を透過してきた光によって形成される投影像を投影板14に投影させる投影光学系13と、重ねられたマスク210と基準マスク220に描画されたパターンによって形成される投影像が投影される投影板14と、投影板14に投影された投影像を撮像する撮像部15と、撮像部15から得られる投影像に基づいて、基準マスク220に対するマスク210の合わせずれを算出し、マスク210の使用の可否の判定を行う演算処理部16と、を備える。
図4は、第2の実施形態によるマスク歪計測装置の構成の一例を模式的に示す斜視図である。このマスク歪計測装置10Aは、第1の実施形態と比較して、投影板14が省略された構造を有する。そのため、マスク210と基準マスク220とを透過した光が撮像部15で像を結ぶように投影光学系13の構成が調整され、または撮像部15の位置が調整される。なお、第1の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略している。また、このようなマスク歪計測装置10Aにおけるマスク歪計測方法も第1の実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
Claims (5)
- 光源と、
計測対象のマスクの歪を検出する際の基準となる基準マークを有する基準マスクと、前記基準マークの位置に対応して設けられる位置ずれ計測用マークを有する前記計測対象のマスクと、を少なくとも含む複数枚のマスクを重ねて保持するマスク保持部と、
前記光源からの前記複数枚のマスクへの光の照射によって、それぞれの前記マスクに設けられるパターンによる投影像を形成する投影光学系と、
前記投影像を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記投影像を用いて、前記基準マークに対する前記マスクの前記位置ずれ計測用マークの位置ずれである歪を算出する歪算出部と、
を備え、
前記位置ずれ計測用マークは、被加工物に転写されるパターンの形成位置以外に配置されるマークであり、前記被加工物にパターンを形成した際のスクライブラインに対応する領域に設けられ、
前記歪算出部は、前記撮像部で撮像された前記投影像中の前記基準マークと前記位置ずれ計測用マークとの間の距離を計測して、前記歪を算出することを特徴とするマスク歪計測装置。 - 光源と、
複数枚のマスクを重ねて保持するマスク保持部と、
前記光源からの前記複数枚のマスクへの光の照射によって、それぞれの前記マスクに設けられるパターンによる投影像を形成する投影光学系と、
前記投影像を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記投影像を用いて、前記複数枚のマスクのうち、基準とするマスクに対する他のマスクの合わせずれを算出する歪算出部と、
を備えることを特徴とするマスク歪計測装置。 - 前記複数枚のマスクのうち1枚は、計測対象のマスクの歪を検出する際の基準となる基準マークを有する基準マスクであり、残りのマスクのうち1枚は、前記基準マークの位置と対応して設けられる位置ずれ計測用マークを有する前記計測対象のマスクであり、
前記歪算出部は、前記撮像部で撮像された前記投影像を用いて、前記基準マークに対する前記マスクの前記位置ずれ計測用マークの位置ずれである歪を算出することを特徴とする請求項2に記載のマスク歪計測装置。 - 複数枚のマスクを重ねて保持し、
光源からの前記複数枚のマスクへ光を照射して、それぞれの前記マスクに設けられるパターンによる投影像を形成し、
前記投影像を撮像し、
前記投影像を用いて、前記複数枚のマスクのうち、基準とするマスクに対する他のマスクの合わせずれを算出することを特徴とするマスク歪計測方法。 - 前記複数枚のマスクのうち1枚は、計測対象のマスクの歪を検出する際の基準となる基準マークを有する基準マスクであり、残りのマスクのうち1枚は、前記基準マークの位置と対応して設けられる位置ずれ計測用マークを有する前記計測対象のマスクであり、
前記合わせずれの算出では、前記投影像を用いて、前記基準マークに対する前記マスクの前記位置ずれ計測用マークの位置ずれである歪を算出することを特徴とする請求項4に記載のマスク歪計測方法。
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