JP4911305B2 - 基板表裏面パターン位置測定方法及びその方法を用いた測定装置 - Google Patents
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Description
ΔXt=Xt0−Xt180=2・Xtr (1)
ΔYt=Yt0−Yt180=2・Ytr (2)
また、下面側対物レンズ3による点Qの観測において、測定用ステージ10を回転する前後のx軸方向の位置ずれをΔXb、y方向の位置ずれをΔYb、回転軸を原点とした時の位置を(Xbr,Ybr)とすると、次の(3)、(4)式が成立する。
ΔXb=Xb0−Xt180=2・Xbr (3)
ΔYb=Yb0−Yb180=2・Ybr (4)
この操作をする事により図12に示すように、表裏同一の回転中心からの位置ずれ量に置き換える事ができる。
ΔX=Xbr−Xtr (5)
ΔY=Ybr−Ytr (6)
本測定原理においては、(Xt0,Yt0)および(Xb0,Yb0)を厳密に測定する代わりに、(1)〜(4)の式を用いて、点Pと点Qの位置ずれ量を、ΔXt、ΔYt、ΔXb、ΔYbの測定結果お用いて次の(7)、(8)式のように計算する。
(点Pと点Qの位置ずれ量)
ΔX=Xbr−Xtr=(ΔXb−ΔXt)/2 (7)
ΔY=Ybr−Ytr=(ΔYb−ΔYt)/2 (8)
すなわち、本測定方法によれば、測定用ステージ10を回転する前後のx軸方向の位置ずれ量、y軸方向の位置ずれ量を用いることにより、光軸等の位置あわせ、精度あわせを不要として、フォトマスク基板1の両面の各ポイント間の位置ずれ量を測定することが可能となる。
図4は、フォトマスク基板1の表面を上面側対物レンズ2で、裏面を下面側対物レンズ3で観測した様子を示す図である。図4(A)は上面側対物レンズ2で点Pを測定している様子であり、図4(B)は下面側対物レンズ3で点Qを測定している様子であり、上記のようにフォトマスク基板1にθxの角度ずれが生じた場合の点Pおよび点Qの測定は図4に示すとおりである。
(ΔX,ΔY) (9)
とする。(7)、(8)式における定義とは異なることに留意されたい。以下、(7)、(8)式における(ΔX,ΔY)は新たに、(ΔX0,ΔY0)と定義し直される。
(α,β)=(Ttanθx,Ttanθy) (10)
フォトマスク基板1を測定用ステージ10上で回転させずに、背景技術の欄の方法(測定用ステージ10の180°回転前後の2回の測定により表裏面のマークやパターン等の位置ずれを測定する方法)で測定した位置ずれを、
(ΔX0,ΔY0) (11)
フォトマスク基板1を測定用ステージ10上で反時計回りに90°回転させた上で、背景技術の欄の方法(測定用ステージ10の180°回転前後の2回の測定により表裏面のマークやパターン等の位置ずれを測定する方法)で測定した位置ずれを、
(ΔX90,ΔY90) (12)
とすると、フォトマスク基板1は測定用ステージ10上で反時計回りに90°回転させることから、以下の(13)式乃至(16)式が成立する。
ΔX0=ΔX+α (13)
ΔY0=ΔY+β (14)
ΔX90=−ΔY+α (15)
ΔY90=ΔX+β (16)
ここから、真値の位置ずれ(ΔX,ΔY)は、(13)式乃至(16)式からα、βを消去することによって、
ΔX=(ΔX0―ΔY0―ΔX90+ΔY90)/2 (17)
および
ΔY=(ΔX0+ΔY0―ΔX90―ΔY90)/2 (18)
というように求めることができる。
(ΔX180,ΔY180) (19)
とすると、フォトマスク基板1は測定用ステージ10上で180°回転させることから、以下の(20)式乃至(23)式が成立する。
ΔX0=ΔX+α (20)
ΔY0=ΔY+β (21)
ΔX180=−ΔX+α (22)
ΔY180=ΔY+β (23)
ここから、真値の位置ずれ(ΔX,ΔY)は、(20)式乃至(23)式からα、βを消去することによって、
ΔX=(ΔX0―ΔX180)/2 (24)
および
ΔY=(ΔY0―ΔY180)/2 (25)
というように求めることができる。
Claims (2)
- 基板の表面に形成されたパターンと、該基板の裏面に形成されたパターンとの位置ずれを測定する基板表裏面パターン位置測定方法において、
回転可能なステージ上に該基板を載置した第1状態で、該ステージの180°回転前後の2回の測定により該基板の表面のパターンと裏面のパターンの第1の位置ずれ量を求める第1位置ずれ量測定ステップと、
該第1状態から該基板自身を該ステージに対して90°もしくは180°回転させた第2状態で、該ステージの180°回転前後の2回の測定により該基板の表面のパターンと裏面のパターンの第2の位置ずれ量を求める第2位置ずれ量測定ステップと、
該第1の位置ずれ量と該第2の位置ずれ量とから真の位置ずれ量を算出する真値位置ずれ量算出ステップと、からなることを特徴とする基板表裏面パターン位置測定方法。 - 請求項1に記載の基板表裏面パターン位置測定方法を用いた測定装置。
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JP2007083357A JP4911305B2 (ja) | 2007-03-28 | 2007-03-28 | 基板表裏面パターン位置測定方法及びその方法を用いた測定装置 |
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JP2008241496A JP2008241496A (ja) | 2008-10-09 |
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JPH03282301A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-12 | Toppan Printing Co Ltd | 表裏パターン検査装置 |
JP4591039B2 (ja) * | 2004-10-28 | 2010-12-01 | 凸版印刷株式会社 | 両面マスクの表裏パターンずれの測定方法および両面マスクの作成方法 |
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