JP2008091367A - 重ね合わせ検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】リソグラフィー後の重ね合わせずれ検査を正確に実行して、重ね合わせずれ検査結果に誤差が含まれることを極力防止する。
【解決手段】本発明の重ね合わせ計測方法は、半導体の製造工程において重ね合わせて形成される第1の層と第2の層との間のずれ量を計測する方法であって、下地マークに対し内側または外側に前記下地マークと同形状のレジスト像を形成してなるオーバーレイマークに光を照射し、前記オーバーレイマークからの回折光を受光し、この受光信号の強度に基づいて重ね合わせずれ量を計測する方法において、前記オーバーレイマークをウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所に、ウエハのダイシングラインに対して回転配置し、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、測定線が垂直になるオーバーレイマークだけを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにした。
【選択図】図3
【解決手段】本発明の重ね合わせ計測方法は、半導体の製造工程において重ね合わせて形成される第1の層と第2の層との間のずれ量を計測する方法であって、下地マークに対し内側または外側に前記下地マークと同形状のレジスト像を形成してなるオーバーレイマークに光を照射し、前記オーバーレイマークからの回折光を受光し、この受光信号の強度に基づいて重ね合わせずれ量を計測する方法において、前記オーバーレイマークをウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所に、ウエハのダイシングラインに対して回転配置し、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、測定線が垂直になるオーバーレイマークだけを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにした。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体の製造工程において重ね合わせて形成される第1の層と第2の層との間の重ね合わせのずれ量、例えばメタル配線工程におけるメタルのリソグラフィー後の重ね合わせずれ量を計測するときに用いる重ね合わせ検査方法に関する。
半導体製造プロセスのメタル配線工程においては、層間膜に形成した穴に対して、タングステンを埋め込み、メタルをスパッタして、メタルのリソグラフィーを行い、重ね合わせずれ検査、メタルエッチングというプロセスを実行するように構成されている。この構成の場合、メタルリソグラフィー工程後に行われる重ね合わせ検査工程において計測した合わせずれ検査結果(メタルマーク対するレジストマークのずれ量の検査結果)に基づいて、露光装置に合わせ補正値をフィードバックするようにしている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、メタルスパッタ工程においては、マグネトロンスパッタの異方性により、メタルで形成した重ね合わせ検査マークが非対称になるという現象が生ずる。このため、メタルリソグラフィー工程後に行われる重ね合わせ検査工程において、上記非対称スパッタマークを計測する場合に、本来重ね合わせずれ量として計測されるべき重ね合わせずれ量(穴マーク対するレジストマークのずれ量)と実際に計測される重ね合わせずれ量(メタルマークに対するレジストマークのずれ量)が異なる事態が発生することがある。
これは、ウェハ外周にいくほど顕著に見られる。即ち、ウェハ面内で倍率成分として観測され、孔に対するメタル配線の合わせずれ検査に影響を及ぼす、つまり、合わせずれ検査結果に誤差が含まれるようになる。そして、リソグラフィー後の合わせずれ検査結果から露光装置に合わせ補正値をフィードバックしているため、合わせずれ検査結果に誤差が含まれていると、合わせ補正が良好に行われず、露光を正常に実行できなくなる。
例えば、200mmの半導体ウエハを用いて作成される0.13μm世代の半導体メモリにおいては、リソグラフィー後の合わせずれ検査結果とメタルエッチング後の合わせずれ検査結果の差は、ウェハ外周で合わせ規格50nmに対して80nmにも上る。このため、リソグラフィーで合わせ規格内に入っているものでも、メタルエッチング後は、特にウェハ外周で規格外になる事態が多発しているという問題点がある。
特開2004−221194
本発明の目的は、重ね合わせずれ検査を正確に実行することができて、合わせずれ検査結果に誤差が含まれることを極力防止できる重ね合わせ計測方法を提供するにある。
本発明の重ね合わせ計測方法は、半導体の製造工程において重ね合わせて形成される第1の層と第2の層との間の重ね合わせのずれ量を計測する方法であって、下地マークに対し内側または外側に前記下地マークと同形状のレジスト像を形成してなるオーバーレイマークに光を照射し、前記オーバーレイマークからの回折光を受光し、この受光信号の強度に基づいて重ね合わせずれ量を計測する方法において、前記オーバーレイマークをウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所に、ウエハのダイシングラインに対して回転配置し、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、測定線が垂直になるオーバーレイマークを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにした方法である。
本発明によれば、重ね合わせずれ検査を正確に実行することができ、合わせずれ検査結果に誤差が含まれることを極力防止できる。
以下、本発明の第1の実施形態について、図1ないし図4を参照しながら説明する。まず、図1に従って、半導体製造プロセスのメタル配線工程について説明する。
このメタル配線工程おいては、まず、層間絶縁膜(例えばシリコン酸化膜SiO2)1に穴2を形成し(図1(a)参照)、この穴2に対して、タングステン(W)3を埋め込む(図1(b)参照)。次に、メタルをスパッタしてメタル膜(Al/Si/Cu)4、バリアメタル膜(TiNまたはTi/TiN)5を形成(図1(c)参照)し、メタルのリソグラフィーを行ってレジストパターン6を形成する(図1(d)参照)。この後、重ね合わせずれ検査を実行し、更に、メタルエッチングを行ってメタル配線7を形成する(図1(e)参照)。
このメタル配線工程おいては、まず、層間絶縁膜(例えばシリコン酸化膜SiO2)1に穴2を形成し(図1(a)参照)、この穴2に対して、タングステン(W)3を埋め込む(図1(b)参照)。次に、メタルをスパッタしてメタル膜(Al/Si/Cu)4、バリアメタル膜(TiNまたはTi/TiN)5を形成(図1(c)参照)し、メタルのリソグラフィーを行ってレジストパターン6を形成する(図1(d)参照)。この後、重ね合わせずれ検査を実行し、更に、メタルエッチングを行ってメタル配線7を形成する(図1(e)参照)。
その後、メタルリソグラフィー工程後に実行される重ね合わせずれ検査工程において計測された重ね合わせずれ検査結果に基づいて、露光装置に合わせ補正値をフィードバックしている。
ここで、メタルリソグラフィー工程後に実行される重ね合わせずれ検査工程について、図2、図3、図4を参照して説明する。尚、重ね合わせ検査工程において計測するマーク(メタルマーク、レジストマーク)を、オーバーレイマークと呼ぶ。重ね合わせずれ検査を実行する場合、図2(a)に示すような形状のオーバーレイマーク8a、8b、8cを測定して重ね合わせずれ量を求める。これらオーバーレイマーク8a、8b、8cは、全て同じ形状のマークであり、オーバーレイマーク8aは標準配置のマーク、オーバーレイマーク8bはオーバーレイマーク8aを例えば30度回転させたマーク、オーバーレイマーク8cはオーバーレイマーク8aを例えば45度回転させたマークである。
各オーバーレイマーク8a、8b、8cは、正方形状の(正方形の4辺に配置された第1の棒状マークからなる)メタルマーク(Via Mark)9と、このメタルマーク9の内側に配置され、メタルマーク9を構成する第1の棒状マークに沿って、それぞれ正方形の4辺に配置された第2の棒状マークからなるレジストマーク(Resist Mark)10とから構成されている。尚、第1の棒状マークの長さはそれぞれ同一であり、また幅もそれぞれ同一である。さらに、第2の棒状マークの長さおよび幅もそれぞれ同一である。メタルマーク9は、図1に示したメタル膜4、5に形成された凹状のマーク(図1(c)、(d)に示す凹部に相当するもの)であり、本発明の下地マークを構成している。レジストマーク10は、図1に示したメタル膜5上に形成された凸状のマーク(図1(d)に示す凸状のレジストパターン6に相当するもの)であり、本発明のレジストパターーンを構成している。
このような構成のオーバーレイマークを検査するに際しては、オーバーレイマークに光を照射し、オーバーレイマークからの回折光をカメラ(例えばCCDカメラ)により受光し、この受光信号の強度に基づいて重ね合わせずれ量、具体的には、メタルマーク9に対するレジストマーク10のずれ量を計測し、この計測結果を、重ね合わせのずれ量の検査結果としている。
尚、このような重ね合わせずれ量検査を実行する検査装置としては、周知構成の重ね合わせずれ検査装置を使用すれば良く、特には、ウエハを保持するステージを回転させる機能を有する装置を使用する必要がある。また、上記重ね合わせずれ量検査を実行するための検査システムのシステム構成の一例を、図4に示す。この図4に示すように、検査システム11は、露光装置12と、重ね合わせずれ検査装置13と、これら露光装置12及び重ね合わせずれ検査装置13をそれぞれコントロールするシステム制御装置14とから構成されている。ここで、露光装置12及びシステム制御装置14としても、それぞれ周知構成の装置を使用すれば良い。尚、システム制御装置14には、以下説明する検査方法を実現するプログラムをインストールしておけば良い。
本実施形態においては、標準配置のオーバーレイマーク8aを30度回転させたオーバーレイマーク8bまたはオーバーレイマーク8aを45度回転させたオーバーレイマーク8cのいずれかを用いる。
具体的には、図2(b)に示すように、ウエハに露光する1つのショットを示すショット領域15のうちの枠状部分であるダイシングライン部15aの4隅部(図5(b)中の円部分)に、オーバーレイマーク8bまたはオーバーレイマーク8cを配設している。ここで、オーバーレイマーク8aは一辺がダイシングライン部15aの線に沿って配置されたものであり、オーバーレイマーク8bはダイシングライン部15aの線に対して30度の角度をもって配置され、オーバーレイマーク8cはダイシングライン部15aの線に対して45度の角度をもって配置されたマークと定義される。
尚、ショット領域15のうちのダイシングライン部15a以外の部分である露出領域部15bには、半導体チップ(の回路構成)が形成されている。また、上記ショット領域15のサイズが例えば20mm*20mmの場合、1枚のウエハ(例えば200mmのウエハ)に対しては、上記ショット領域15を例えば20個形成(露光)する。
そして、図3に示すように、ウエハ16上に形成されたオーバーレイマーク8bまたは8cの重ね合わせずれ量を測定する場合、ウエハ16を保持するステージを回転させることにより、ウエハ中心Cとウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマーク8bまたは8cだけを測定して重ね合わせずれ量を求める。
尚、測定線Qとは、オーバーレイマーク8bまたは8cにおいて、対向する一対の第1および第2の棒状マークを横断する、重ね合わせずれ量検査装置13上の仮想線である。実際に測定する重ね合わせずれ量は、メタルマーク9に対するレジストマーク10の相対的なずれ量であり、測定線Q上のオーバーレイ測定領域Qaにおける下地パターンからの信号とレジストパターンからの信号を用いて前記重ね合わせずれ量検査装置13によって測定される。
図3(b)に示すように、重ね合わせずれ量の検査結果(Overlay Result)は、ウエハ座標系のX軸Y軸に投影し、ずれ量X(Overlay Error(X Direction))とずれ量Y(Overlay Error(Y Direction))を得て、これらを露光合わせ補正値算出に用いる。
ここで、上述したような重ね合わせずれ量の検出方法を、本実施形態で採用している理由について説明する。
メタルスパッタ工程においては、マグネトロンスパッタの異方性により、メタルで形成した重ね合わせ検査マーク(オーバーレイマーク)が非対称になるという現象が生ずる。このため、メタルリソグラフィー工程後に行われる重ね合わせ検査工程において、上記非対称のオーバーレイマークを計測する場合に、本来重ね合わせずれ量として計測されるべき重ね合わせずれ量(穴マーク(図1の穴2)対する図2のレジストマーク10(図1のレジストパターン6)のずれ量)と、実際に計測される重ね合わせずれ量(メタルマーク9に対するレジストマーク10のずれ量)が異なる事態が発生することがある。
メタルスパッタ工程においては、マグネトロンスパッタの異方性により、メタルで形成した重ね合わせ検査マーク(オーバーレイマーク)が非対称になるという現象が生ずる。このため、メタルリソグラフィー工程後に行われる重ね合わせ検査工程において、上記非対称のオーバーレイマークを計測する場合に、本来重ね合わせずれ量として計測されるべき重ね合わせずれ量(穴マーク(図1の穴2)対する図2のレジストマーク10(図1のレジストパターン6)のずれ量)と、実際に計測される重ね合わせずれ量(メタルマーク9に対するレジストマーク10のずれ量)が異なる事態が発生することがある。
具体的には、図1(c)に示すように、穴2の中心と、メタル膜4、5の凹部(メタルマーク9)の中心がずれていること、即ち、メタル非対称であることから、上述した事態が発生するのである。このずれは、ウェハ外周にいくほど顕著に見られる。従って、前記した本実施形態をとらずに、図2(a)に示す標準配置のオーバーレイマーク8aのみをウエハ16に配設して、重ね合わせずれ量検査を実行すると、非対称のオーバーレイマーク8aに起因して、重ね合わせずれ検査結果に誤差が含まれてしまう。
リソグラフィー後の合わせずれ検査結果から露光装置に合わせ補正値をフィードバックするときに、上記重ね合わせずれ検査結果に誤差が含まれていると、合わせ補正が良好に行われず、露光を正確(正常)に実行できなくなってしまう。
これに対して、本実施形態においては、オーバーレイマークを回転配置し、具体的には、30度回転させたオーバーレイマーク8bまたは45度回転させたオーバーレイマーク8cをウエハ16に配置し、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマークだけを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにしたので、測定したオーバーレイマークは対称のオーバーレイマークとなる(即ち、非対称のオーバーレイマークではなくなる)ことから、重ね合わせずれ検査結果に誤差が含まれなくなる。この結果、重ね合わせ補正を良好に行なうことができる。
この場合、ウエハ16上の全てのオーバーレイマークを測定し、これら測定結果のうちの、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマークの測定結果だけを使用して、重ね合わせずれ量を求めるように構成しても良い。
尚、30度回転させたオーバーレイマーク8bを用いた際の重ね合わせずれ量は、(ずれ量X、ずれ量Y)=(重ね合わせずれ量*1/2、重ね合わせずれ量*√3/2)である。また、45度回転させたオーバーレイマーク8cを用いた際の重ね合わせずれ量は、(ずれ量X、ずれ量Y)=(重ね合わせずれ量*1/√2、重ね合わせずれ量*1/√2)である。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
まず、上記第1実施形態においては、重ね合わせずれ量検査時に、ウェハ16を保持するステージを回転させるように構成したが、これに限られるものではなく、オーバーレイマークからの回折光を受光するカメラを回転させることにより、オーバーレイマークの測定線Qが、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、垂直になるようにしても良い。この構成の場合、重ね合わせずれ量検査装置は、カメラを回転させる機能を有している。
また、上記第1実施形態において、ステージまたはカメラを回転させる代わりに、CCDカメラによりウエハ16上の全てのオーバーレイマーク8b、8cの画像を取り込み、この取り込んだ画像データをデータ処理することにより、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマークだけを抽出し、これら抽出したオーバーレイマークの測定結果だけを使用して重ね合わせずれ量を求めるようにしても良い。
図5及び図6は、本発明の第2実施形態を示すものである。尚、第1実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第2実施形態においては、正方形状のオーバーレイマーク8b、8cの代わりに、正六角形状のオーバーレイマーク17b、17cを使用するようにした。オーバーレイマーク17bは、標準配置の正六角形状のオーバーレイマーク17aを30度回転させたオーバーレイマークである。オーバーレイマーク17cは、標準配置の正六角形状のオーバーレイマーク17aを45度回転させたオーバーレイマークである。
そして、ショット領域15のうちのダイシングライン部15aの左辺部の上下端部に、30度回転させたオーバーレイマーク17b、17bを配設している。更に、上記ダイシングライン部15aの右辺部の上下端部に、45度回転させたオーバーレイマーク17c、17cを配設している。
また、図6に示すように、ウエハ16上に形成されたオーバーレイマーク17b、17cの重ね合わせずれ量を測定する場合、ウエハ16を保持するステージを回転させることにより、ウエハ中心Cとウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマーク17b、17cだけを測定して、重ね合わせずれ量を求めるようにしている。
尚、上述した以外の第2実施形態の構成は、第1実施形態の構成と同じ構成となっている。従って、第2実施形態においても、第1実施形態と同じ作用効果を得ることができる。
また、上記第2実施形態においては、重ね合わせずれ量検査時に、ウェハ16を保持するステージを回転させるように構成したが、これに代えて、オーバーレイマーク17b、17cからの回折光を受光するカメラを回転させても良い。
更にまた、上記第2実施形態において、ステージまたはカメラを回転させる代わりに、CCDカメラによりウエハ16上の全てのオーバーレイマーク17b、17cの画像を取り込み、この取り込んだ画像データをデータ処理することにより、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマークだけを抽出し、これら抽出したオーバーレイマークを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにしても良い。
また、上記第1または第2実施形態においては、オーバーレイマークの形状を正方形状または正六角形状としたが、これらに限られるものではなく、オーバーレイマークの形状をn(ただしn≧4)角形状としても良い。
図7及び図8は、本発明の第3実施形態を示すものである。尚、第1実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第3実施形態においては、正方形状のオーバーレイマーク8b、8cの代わりに、図7に示すような円形状のオーバーレイマーク18を使用するようにした。そして、ショット領域15のうちのダイシングライン部15aの左辺部及び右辺部の各上下端部(即ち、4隅部)に、上記円形状のオーバーレイマーク18を配設している。
また、図8に示すように、ウエハ16上に形成されたオーバーレイマーク18の重ね合わせずれ量を測定する場合、ウエハ16を保持するステージを回転させることにより、ウエハ中心Cとウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマーク18だけを測定して、重ね合わせずれ量を求めるように構成されている。
尚、上述した以外の第3実施形態の構成は、第1実施形態の構成と同じ構成となっている。従って、第3実施形態においても、第1実施形態と同じ作用効果を得ることができる。
また、上記第3実施形態においては、重ね合わせずれ量検査時に、ウェハ16を保持するステージを回転させるように構成したが、これに代えて、オーバーレイマーク18からの回折光を受光するカメラを回転させるようにしても良い。
更にまた、上記第3実施形態において、ステージまたはカメラを回転させる代わりに、CCDカメラによりウエハ16上の全てのオーバーレイマーク18の画像を取り込み、この取り込んだ画像データをデータ処理することにより、ウェハ中心Cとウェハ面内の重ね合わせずれ測定箇所Sを結ぶ線Pに対し、測定線Qが垂直になるオーバーレイマークだけを抽出し、これら抽出したオーバーレイマークを測定して重ね合わせずれ量を求めるようにしても良い。
また、上記各実施形態においては、メタルマーク9の内側にレジストマーク10を設けることによりオーバーレイマークを構成したが、これに代えて、メタルマークの外側にレジストマークを設けるように構成しても良い。
図面中、1は層間膜、2は穴、4、5はメタル膜、6はレジストパターン、8a、8b、8cはオーバーレイマーク、9はメタルマーク(下地マーク)、10はレジストマーク(レジスト像)、16はウエハ、17a、17b、17cはオーバーレイマーク、18はオーバーレイマークである。
Claims (5)
- 半導体の製造工程において重ね合わせて形成される第1の層と第2の層との間の重ね合わせのずれ量を計測する方法であり、下地マークに対し内側または外側に前記下地マークと同形状のレジスト像を形成してなるオーバーレイマークに光を照射し、前記オーバーレイマークからの回折光を受光し、この受光信号の強度に基づいて重ね合わせずれ量を計測する重ね合わせ検査方法であって、
前記オーバーレイマークをウエハ面内の重ね合わせずれ測定箇所に、ウエハのダイシングラインに対して回転配置し、
ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、測定線が垂直になるオーバーレイマークを測定して重ね合わせずれ量を求めることを特徴とする重ね合わせ検査方法。 - ウェハを保持するステージを回転させることにより、前記オーバーレイマークの測定線が、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、垂直になるようにして測定することを特徴とする請求項1記載の重ね合わせ検査方法。
- 前記オーバーレイマークからの回折光をカメラで受光し、前記カメラを回転させることにより、前記オーバーレイマークの測定線が、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、垂直になるようにして測定することを特徴とする請求項1記載の重ね合わせ検査方法。
- ウエハ上の複数個所に配置された全てのオーバーレイマークの画像を取り込み、この取り込んだ画像データをデータ処理することにより、ウェハ中心と前記重ね合わせずれ測定箇所を結ぶ線に対し、測定線が垂直になるオーバーレイマークを抽出し、これら抽出したオーバーレイマークを測定すること特徴とする請求項1記載の重ね合わせ検査方法。
- 前記オーバーレイマークは矩形状、円形状、または正六角形状のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の重ね合わせ検査方法。
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Cited By (2)
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TWI401429B (zh) * | 2009-04-30 | 2013-07-11 | Hermes Microvision Inc | 檢測荷電粒子顯微影像之微影光罩錯位的方法與系統 |
CN113848687A (zh) * | 2020-06-28 | 2021-12-28 | 中国科学院微电子研究所 | 一种套刻标记及使用套刻标记进行套刻误差测量的方法 |
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