JP2014047884A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 容易に組み立て・分解を行うことができると共に、防塵・防水性能を高めることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ボールネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したことを特徴とするもの。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、モータを含んだアクチュエータ本体をハウジング内に内装し、且つ、ハウジングを構成するハウジング本体と該ハウジング本体の両端開口部を閉塞するフロントカバとリアカバとの間にシール部材を介挿して、組立・分解を容易に行うことができると共に、防塵・防水性能を高めるように工夫したものに関する。

従来のアクチュエータ、例えば、リニアアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１がある。この特許文献１に開示されているリニアアクチュエータは次のような構成になっている。まず、ケースがあり、このケース内にはモータが内装されている。また、ケース内には、モータによって回転される中空状回転軸も内装されている。この中空状回転軸内にはネジナットが固着されていて、このネジナットには出力用ネジ軸が螺合・配置されている。
よって、上記モータが回転することにより上記中空状回転軸が回転され、この中空状回転軸の回転によってネジナットも一体的に回転される。このネジナットの回転によって上記出力用ネジ軸がその長さ方向両側に直線運動することになる。
また、上記ケースの両端の開口部はエンドプレートによってそれぞれ固着・閉塞されている。

特許第４９１８２３４号公報

しかし、従来の構成では、次のような問題があった。
まず、前述したリニアアクチュエータにおいては、エンドプレートがケースの両端に対して固着されている。固着の方法としては、例えば、接着剤の使用が考えられるが、仮に、接着剤による固着の場合には、リニアアクチュエータの組立・分解が困難になってしまうという問題があった。
また、接着剤による固着の場合には、別途シール部材を介在させることはなく、専ら、接着剤のみによってシール性能を得ることになる。しかしながら、接着剤のみで所望のシール性能を得ることは困難であった。

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、容易に組立・分解を行うことができ、且つ、防塵・防水性能を高めることが可能なアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ボールネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したことを特徴とするものである。
また、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第１ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第２ロッド用シール部材とが設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするものである。
また、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであることを特徴とするものである。
また、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられていることを特徴とするものである。

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ボールネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したため、上記フロントカバや上記リアカバの着脱により容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができる。また、上記フロントカバ用シール部材及び上記リアカバ用シール部材によって防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項２記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第１ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第２ロッド用シール部材とが設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項４記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられているため、例えば、上記フロントブラケットや上記軸受ブラケットの互いに向かい合う側に溝を形成することによって、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜りを形成することができる。
また、請求項５記載のアクチュエータによると、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられているため、上記フロントブラケットを取り外すだけで、容易に上記ロッド用シール部材の交換を行うことができる。また、上記フロントブラケットを取り外すだけで上記ロッド用シール部材が除去された状態となるため、上記ロッド用シール部材による摺動抵抗が生じない状態において上記ロッドの軸心調整を容易に行うことができる。
また、請求項６記載のアクチュエータによると、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドとロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項７記載のアクチュエータによると、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項８記載のアクチュエータによると、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドと上記ロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項９記載のアクチュエータによると、請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項１０記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されているため、より防塵・防水性を高めることができる。
また、請求項１１記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられているため、より防塵・防水性を高めることができる。

本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの分解斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３におけるＩＶ部の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータに用いられるフロントブラケットの背面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータに用いられる軸受ブラケットとアクチュエータ本体の先端部分の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３におけるＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの先端部分の拡大断面図である。

以下、図１乃至図７を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ１は、図１乃至図３に示すように、まず、ハウジング３を備えている。このハウジング３は、ハウジング本体５と、上記ハウジング本体５の前端側（図３中左側）に設けられたフロントカバ７と、上記ハウジング本体５の後端側（図３中右側）に設けられたリアカバ９とから構成されている。
また、上記アクチュエータ１のハウジング３内には、アクチュエータ本体１０が内装されている。

まず、上記ハウジング本体５について説明する。
上記ハウジング本体５は、図２や図３に示すように、筒状の部材であり、その前方端（図３中左側端）にはフロント開口部１１ａが形成されていると共に、その後方端（図３中右側端）にはリア開口部１１ｂが形成されている。また、図２に示すように、上記ハウジング本体５の前端面（図２中左下側の面）には、雌ネジ部１３、１３、１３、１３が形成されており、上記ハウジング本体５の後端面（図２中右上側の面）にも、上記雌ネジ部１３、１３、１３、１３と同様の図示しない雌ネジ部が形成されている。また、上記ハウジング本体５の底面１５には、複数の取付ボルト用貫通孔１７が穿孔されている。
また、図２に示すように、上記ハウジング本体５の底面１５には、アクチュエータ１が設置場所に設置される際に使用される取付用溝１６、１６が長さ方向（図２中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。

また、図２や図３に示すように、上記ハウジング本体５の上面１９には工具用貫通孔２１ａが穿孔されている。この工具用貫通孔２１ａは、常時においては、シールキャップ２１ｂによって閉塞されている。このシールキャップ２１ｂは上記ハウジング本体５に対して着脱可能なものとなっており、後述するように上記工具用貫通孔２１ａから図示しない治具を挿入する際には取り外されるものである。
また、上記ハウジング本体５の上面１９にはグリス供給用貫通孔２２ａが穿孔されている。このグリス供給用貫通孔２２ａは、常時においては、シールキャップ２２ｂによって閉塞されている。このシールキャップ２２ｂは上記ハウジング本体５に対して着脱可能なものとなっており、後述するように上記グリス供給用貫通孔２２ａからグリスを供給する際には取り外されるものである。
以上が、上記ハウジング本体５についての説明である。

次に、フロントカバ７について説明する。
上記フロントカバ７は、図３や図４に示すように、フロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとから構成される。
上記フロントブラケット２３ａには、まず、ロッド用貫通孔２５が穿孔されている。このロッド用貫通孔２５の前端側（図４中左側）には、第１シール部材嵌合部２５ａが形成されており、上記ロッド用貫通孔２５の後端側（図４中左側）には第２シール部材嵌合部２５ｂが形成されている。上記第１シール部材嵌合部２５ａは、前方側（図４中左側）と上記ロッド用貫通孔２５の内周面側が開口された凹部である。一方、上記第２シール部材嵌合部２５ｂは上記ロッド用貫通孔２５の内周面に設けられた環状溝である。

また、図４や図５に示すように、上記フロントブラケット２３ａの軸受ブラケット２３ｂ側（図４中右側）の面には、グリス溜り用凹部２７ａが形成されている。このグリス溜り用凹部２７ａは、上記ロッド用貫通孔２５の外周側に設けられた環状溝である。また、図４に示すように、上記グリス溜り用凹部２７ａの内側にはグリス溜り用凸部２７ｂが形成されている。また、上記フロントブラケット２３ａの上面側（図４中上側）には、ニップル取付用凹部２９ａが形成されており、その底面側にはニップル取付用貫通孔２９ｂが穿孔されている。また、上記ニップル取付用貫通孔２９ｂと上記グリス溜り用凹部２７ａとは、グリス供給路２９ｃによって連絡されている。また、上記グリス供給路２９ｃと上記ロッド用貫通孔２５とは、グリス供給路２９ｄによって連絡されている。

また、上記フロントブラケット２３ａには、エアパージ用貫通孔３０が形成されている。このエアパージ用貫通孔３０は、図１乃至図４に示すように、上記フロントブラケット２３ａの前面（図４中左側の面）と上記ロッド用貫通孔２５の内周面に開口されている。また、上記エアパージ用貫通孔３０の上記ロッド用貫通孔２５側の開口部は、上記第１シール部材嵌合部２５ａと上記第２シール部材嵌合部２５ｂとの間に位置している。
また、上記フロントブラケット２３ａのハウジング本体５側の端面には、シール部材用溝３１が形成されている。
また、図２や図５に示すように、上記フロントブラケット２３ａには、ボルト用貫通孔３２、３２、３２、３２が形成されている。

上記フロントブラケット２３ａの第１シール部材嵌合部２５ａには、第１ロッド用シール部材３３が嵌合されている。第１ロッド用シール部材３３は、例えば、表面硬化処理としてＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングが施されたゴム製の部材である。また、上記第１ロッド用シール部材３３は、上記第１シール部材嵌合部２５ａに嵌合される環状部３３ａと、この環状部３３ａの前面側から突出・形成されたダストシール部３３ｂとから構成されている。また、上記第１ロッド用シール部材３３には、前後方向（図４中左右方向）に延長された貫通孔３３ｃが形成されている。また、上記環状部３３ａの後端側（図４中右側）にはソフトワイパ用嵌合部３３ｄが形成されており、このソフトワイパ用嵌合部３３ｄにソフトワイパ３３ｅが嵌合されている。このソフトワイパ３３ｅは、例えば、フェルト製である。
また、上記環状部３３ａ内には、例えば、金属製の環状部材３３ｆが埋設されている。
なお、上記第１ロッド用シール部材３３の表面硬化処理（ＤＬＣコーティング）は、上記第１ロッド用シール部材３３の内表面、もしくは、全体に施されている。

また、上記フロントブラケット２３ａの第２シール部材嵌合部２５ｂには、第２ロッド用シール部材３５が嵌合されている。この第２ロッド用シール部材３５は、表面硬化処理としてＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングが施されたゴム製の部材である。また、上記第２ロッド用シール部材３５は、図４に示すように、Ｘ字型の断面形状を有するリング状の部材である。なお、上記第２ロッド用シール部材３５の表面硬化処理（ＤＬＣコーティング）は、上記第２ロッド用シール部材３５の内表面、もしくは、全体に施されている。
また、上記ニップル取付用貫通孔２９ｂ内には、グリスニップル３７が圧入されている。上記グリスニップル３７内には図示しないコイルスプリングによって付勢されたボール３７ａが内装されていて、常時はこのボール３７ａがコイルスプリングによって付勢されていて閉じられている。グリスを供給する場合には、図示しない供給ホースを上記グリスニップル３７に接続してグリスを注入する。それによって、ボール３７ａがコイルスプリングのスプリング力に抗して押し下げられ、それによって、グリスの注入が行われる。

上記フロントブラケット２３ａは、上記ボルト用貫通孔３２、３２、３２、３２を貫通し、ハウジング本体５の前端面（図２中左下側の面）の雌ネジ部１３、１３、１３、１３に螺合されるボルト３９、３９、３９、３９によって、上記ハウジング本体５に固定される。
また、上記フロントブラケット２３ａのシール部材用溝３１内には、フロントカバ用シール部材４１が嵌合されており、このフロントカバ用シール部材４１は上記フロントブラケット２３ａと上記ハウジング本体５との間に介挿された状態となっている。なお、上記フロントカバ用シール部材４１はＯリングであるが、上記シール部材用溝３１内に嵌合された際、図２に示すような形状となる。

軸受ブラケット２３ｂには、図４に示すように、前後方向（図４中左右方向）に延長された貫通孔４３が形成されている。この貫通孔４３の前端側（図４中左端側）は径が大きくなっておりグリス溜り用凹部４５ａとなっているとともに、その外周側にグリス溜り用凸部４５ｂが形成されている。また、上記軸受ブラケット２３ｂの上記グリス溜り用凸部４５ｂの外周面には段付部が形成されており、この段付部がＯリング用係合部４７となっている。
また、図２に示すように、上記軸受ブラケット２３ｂの下側にはボルト用貫通孔４９、４９、４９、４９が形成されている。

上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとは、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａと上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂとが係合されることで一体となっている。また、上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとが一体化されると、上記グリス溜り用凹部２７ａと上記グリス溜り用凸部４５ｂとの間及び上記グリス溜り用凸部２７ｂと上記グリス溜り用凹部４５ａとの間に、グリス溜り５０が形成される。
また、上記軸受ブラケット２３ｂのＯリング用係合部４７にはＯリング５１が係合されている。また、このＯリング５１は、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａの内周面と上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂの外周面との間に介挿された状態となっている。
また、上記軸受ブラケット２３ｂの貫通孔４３の後端側（図４中右側）には円筒形状の軸受５３が内装されている。
以上が、フロントカバ７についての説明である。

次に、リアカバ９について説明する。
上記リアカバ９には、図２や図３に示すように、ハウジング本体５側（図３中左側）に開口された中空部５５が形成されている。また、上記リアカバ９の後端側には、吸排気ポート用貫通孔５７ａやケーブル用貫通孔５７ｂが形成されている。
また、上記リアカバ９のハウジング本体５側（図３中左側）の端面には、シール部材用溝５９が形成されている。
また、図２に示すように、上記リアカバ９には、ボルト用貫通孔６１、６１、６１、６１が形成されている。

上記リアカバ９は、上記ボルト用貫通孔６１、６１、６１、６１を貫通し、ハウジング本体５の後端面（図２中右上側の面）の図示しない雌ネジ部に螺合されるボルト３９、３９、３９、３９によって、上記ハウジング本体５に固定される。
また、上記リアカバ９のシール部材用溝５９内にはリアカバ用シール部材６２が嵌合されており、このリアカバ用シール部材６２は上記リアカバ９と上記ハウジング本体５との間に介挿された状態となっている。なお、上記リアカバ用シール部材６２はＯリングであるが、上記シール部材用溝５９内に嵌合された際、図２に示すような形状となる。

また、上記吸排気ポート用貫通孔５７ａを貫通して、吸排気ポート６３が設置されている。また、上記ケーブル用貫通孔５７ｂを貫通して、ケーブル６４が設置されている。このケーブル６４は電力線や信号線等がまとめられたものである。
以上がリアカバ９についての説明である。

次に、アクチュエータ本体１０について説明する。
上記アクチュエータ本体１０には、まず、ベース６５がある。図７に示すように、このベース６５の幅方向（図７中左右方向）両端側には、長さ方向（図７中紙面垂直方向）に延長されたガイドレール用溝６５ａ、６５ａが形成されている。このガイドレール用溝６５ａ、６５ａ内には、それぞれガイドレール６５ｂが圧入されている。このガイドレール６５ｂには長さ方向（図７中紙面垂直方向）に延長されたガイド用凹部６５ｃが形成されている。
また、上記ベース６５の底面側（図７中下側）には複数の雌ネジ部６５ｄが形成されている。図７には、上記複数の雌ネジ部６５ｄのうちの２つが図示されている。上記ベース６５とハウジング本体５とは、上記ハウジング本体５の取付ボルト用貫通孔１７を貫通し上記ベース６５の雌ネジ部６５ｄに螺合されるボルト６５ｅによって固定されている。また、上記ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材６５ｆが介挿されている。

また、図６に示すように、上記ベース６５の前端面（図６中左下側の面）には、軸受ブラケット２３ｂが固定されている。上記ベース６５と上記軸受ブラケット２３ｂとの固定は、上記軸受ブラケット２３ｂのボルト用貫通孔４９を貫通して上記ベース６５の図示しない複数の雌ネジ部のそれぞれに螺合されるボルト６５ｇによって行われている。
また、上記軸受ブラケット２３ｂのボルト用貫通孔４９の径は、上記ボルト６５ｇの径に対して、遊びを持たせたものとなっている。そのため、上記軸受ブラケット２３ｂの上記ベース６５に対する取付位置を、上記遊びの範囲内で調整することができるようになっている。また、上記軸受ブラケット２３ｂの上記ベース６５に対する取付位置を調整することで、後述するロッド８５の軸心調整を行うことができるようになっている。

また、図３に示すように、上記ベース６５の後方（図３中右側）にはベアリングハウジング６７が設置されている。上記ベアリングハウジング６７は、前端側（図３中左側）と後端側（図３中右側）に開口された中空形状の部材である。上記ベアリングハウジング６７には、ボールベアリング６７ａ、６７ａが内装されている。このボールベアリング６７ａには、外輪６７ｂと、この外輪６７ｂの内側に内装された内輪６７ｃがある。上記外輪６７ｂと上記内輪６７ｃとの間には複数の貫通孔が設けられたリテーナ６７ｄが設置されており、このリテーナ６７ｄの複数の貫通孔内にはそれぞれボール６７ｅが保持されている。この複数のボール６７ｅが転動することで、上記外輪６７ｂに対して上記内輪６７ｃが回転することになる。

また、前端側（図３中左側）のボールベアリング６７ａの外輪６７ｂは上記ベアリングハウジング６７の内面の前端側（図３中左側）に当接している。また、後端側（図３中右側）のボールベアリング６７ａの後端側（図３中右側）には、ボールベアリング固定部材６７ｆが設置されている。このボールベアリング固定部材６７ｆは、後端側（図３中右側）のボールベアリング６７ａの外輪６７ｂに当接された状態となっている。
また、上記ベース６５と上記ベアリングハウジング６７とは、上記ベアリングハウジング６７を貫通し上記ベース６５の図示しない複数の雌ネジ部のそれぞれに螺合される図示しないボルトによって固定されている。

また、上記ベアリングハウジング６７の後方（図３中右側）にはモータブラケット６９が設置されている。このモータブラケット６９には貫通孔６９ａが形成されている。また、上記貫通孔６９ａの前端側（図３中左側）は径が大きくなっており、ベアリングハウジング係合部６９ｂとなっている。このベアリングハウジング係合部６９ｂに上記ベアリングハウジング６７の後端側（図３中右側）を係合させることで、上記ベアリングハウジング６７と上記モータブラケット６９とが一体となっている。

また、上記モータブラケット６９の上部（図３中上側の部分）の前端側（図３中左側）には、セットスクリュ用雌ネジ部６９ｃが形成されている。上記モータブラケット６９と上記ベアリングハウジング６７とは、上記モータブラケット６９のセットスクリュ用雌ネジ部６９ｃに螺合され、上記ベアリングハウジング６７の後端側（図３中右側）の上面（図３中上側の面）を押圧するセットスクリュ７１によって固定されている。そのため、上記セットスクリュ７１を除去するだけで、上記ベアリングハウジング６７から上記モータブラケット６９が分離されるようになっている。
なお、上記セットスクリュ７１の上記セットスクリュ用雌ネジ部６９ｃへの螺合及び除去は、ハウジング本体５の工具用貫通孔２１ａから挿入される図示しない治具によって行われる。

また、上記アクチュエータ本体１０にはモータ７３がある。図３に示すように、モータ７３にはモータケース７３ａがあり、このモータケース７３ａの内周側にはステータ７３ｂが固着されている。このステータ７３ｂの内周側には永久磁石からなるロータ７３ｃが回転可能に内装されている。このロータ７３ｃの中心位置には出力軸７３ｄが固着されている。上記モータ７３は、ケーブル６４によって供給される電力により駆動されるものである。そして、上記ケーブル６４を介して電力が供給されると、ロータ７３ｃ及び出力軸７３ｄが一体的に正転・逆転することになる。
上記モータ７３のモータケース７３ａの先端側（図３中左端側）は、上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａの後端側（図３中右端側）に圧入されている。また、上記モータブラケット６９と上記モータ７３とは、上記モータブラケット６９を貫通し上記モータケース７３ａの図示しない雌ネジ部に螺合される図示しないボルトによって固定されている。
また、上記モータ７３の出力軸７３ｄは、上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａ内に位置している。

また、上記モータ７３の後端側（図３中右側）には、エンコーダ７５が設置されている。このエンコーダ７５には、上記モータケース７３ａの後端側（図３中右側）に設置されたエンコーダカバ７５ａがある。このエンコーダカバ７５ａの内部には、上記モータケース７３ａの後端面（図３中右側の面）にスペーサ７５ｂを介して基板７５ｃが設置されている。この基板７５ｃには、電子部品７３ｄ、７３ｅが実装されている。

また、上記モータ７３の出力軸７３ｄの上記エンコーダカバ７５ａ内に突出された部分には、エンコーダスケール７５ｆが固着されている。このエンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）には図示しないスケールが表示されている。この図示しないスケールにより上記エンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）に、反射される反射光の強度が強い部分と弱い部分が提供される。そして、上記基板７５ｃ上の電子部品７３ｄ、７３ｅには、光源とセンサが含まれており、上記光源から光を上記エンコーダスケール７５ｆに照射して、上記エンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）によって反射された反射光を上記センサにより検出するようになっている。そのため、上記出力軸７３ｄの回転により上記エンコーダスケール７５ｆ、ひいては、上記図示しないスケールが回転されると、上記センサにより検出される反射光の強度が変化する。上記エンコーダ７５は、上記反射光の変化から、上記モータ７３の出力軸７３ｄの回転の方向や速度等を検出するものである。

なお、前述したように、セットスクリュ７１を除去するだけで上記ベアリングハウジング６７から上記モータブラケット６９が分離されるようになっているが、上記モータブラケット６９には上記モータ７３及び上記エンコーダ７５が一体となっているので、上記セットスクリュ７１を除去するだけで上記モータブラケット６９、上記モータ７３、及び、上記エンコーダ７５が一体となった部分をアクチュエータ本体１０から分離することが可能となっている。

図３に示すように、上記モータ７３の出力軸７３ｄの前端側（図３中左側）には、カップリング部材７６ａがボルト７６ｂによって固着されており、上記カップリング部材７６ａにはカップリング部材７６ｃが係合されている。上記カップリング部材７６ａ、７６ｃは上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａ内に位置している。
また、上記カップリング部材７６ｃにはボールネジ接続部材７７が固着されている。このボールネジ接続部材７７は、上記ベアリングハウジング６７に内装されたボールベアリング６７ａ、６７ａの内輪６７ｃ、６７ｃに圧入されている。
そして、上記ボールネジ接続部材７７には接続穴７７ａが形成されており、この接続穴７７ａにボールネジ７８が圧入・固定されている。このボールネジ７８は、ネジ部７８ａと後端側（図３中右側）の接続部７８ｂとから構成されている。上記ボールネジ７８の接続部７８ｂは上記ボールネジ接続部材７７の接続穴７７ａ内に圧入されている。上記ボールネジ７８のネジ部７８ａの外周面には螺旋状の溝７８ｃが形成されている。

上記ボールネジ７８のネジ部７８ａには、ボールナット７９が螺合されている。このボールナット７９には、まず、ボールナット本体７９ａがあり、このボールナット本体７９ａの前後端（図３中左右両側端）にはエンドキャップ７９ｃ、７９ｃが設けられている。このボールナット本体７９ａ及びエンドキャップ７９ｃ、７９ｃの内部には図示しないボール循環路が形成されており、このボール循環路内を図示しない複数のボールが循環している。この図示しない複数のボールは上記ボールネジ７８の螺旋状の溝７８ｃに係合されており、これによって上記ボールナット７９は上記ボールネジ７８に螺合されることになる。

上記ボールナット７９には、ロッド接続部材８１が固着されている。このロッド接続部材８１の内部に上記ボールネジ７８が内装されている。また、上記ロッド接続部材８１の前端側（図３中左側）には、雌ネジ部８１ａが形成されている。
また、上記ロッド接続部材８１の上部（図３中上側部分）には、上記ロッド接続部材８１を貫通してグリスニップル８１ｂが設置されている。このグリスニップル８１ｂは、上記ボールナット７９の図示しないボール循環路に連通されている。
上記グリスニップル８１ｂ内には図示しないコイルスプリングによって付勢されたボール８１ｂ′が内装されていて、常時はこのボール８１ｂ′がコイルスプリングによって付勢されていて閉じられている。グリスを供給する場合には、グリス供給用貫通孔２２ａからハウジング３内に挿入した図示しない供給ホースを上記グリスニップル８１ｂに接続してグリスを注入する。それによって、ボール８１ｂ′がコイルスプリングのスプリング力に抗して押し下げられ、それによって、グリスの注入が行われる。

また、上記ロッド接続部材８１には、被ガイド部材８３が固着されている。図７に示すように、この被ガイド部材８３の幅方向（図７中左右方向）両端には、長さ方向（図７中紙面垂直方向）に延長された凸部８３ａが形成されている。また、上記凸部８３ａの表面には滑り部材８３ｂが固定されており、上記凸部８３ａと上記滑り部材８３ｂとによって、被ガイド用凸部８３ｃが構成されている。

上記被ガイド部材８３の被ガイド用凸部８３ｃは、それぞれ対応する上記ベース６５のガイドレール６５ｂに対して摺動可能に係合されている。そのため、上記ボールネジ７８が回転された際、上記ボールナット７９の回転が上記被ガイド部材８３を介して上記ベース６５によって防止され、上記ボールナット７９は上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）両側に移動することになる。

また、上記ロッド接続部材８１にはロッド８５が接続されている。このロッド８５は、略円筒形状のロッド本体８５ａと、該ロッド本体８５ａの先端側に設置された対象物取付部材８５ｂとから構成されている。上記ロッド本体８５ａの後端側（図３中右端側）の外周面には雄ネジ部８５ｃが形成されている。そして、上記雄ネジ部８５ｃが上記ロッド接続部材８１の雌ネジ部８１ａに螺合されることで、上記ロッド８５は上記ロッド接続部材８１に接続されている。
また、上記ロッド本体８５ａの前端側（図３中左端側）の内周面には雌ネジ部８５ｄが形成されている。一方、上記対象物取付部材８５ｂの後端側（図３中右端側）には雄ネジ部８５ｅが形成されている。そして、上記ロッド本体８５ａの雌ネジ部８５ｄに上記対象物取付部材８５ｂの雄ネジ部８５ｅが螺合されることで、上記ロッド本体８５ａに上記対象物取付部材８５ｂが取り付けられている。
また、上記ロッド本体８５ａの外周面には、表面硬化処理として、硬質クロムメッキが施されている。
また、上記ロッド８５内に上記ボールネジ７８が位置していることになる。

上記対象物取付部材８５ｂの先端側には雄ネジ部８５ｆが形成されている。この雄ネジ部８５ｆに対して、図示しない対象物の雌ネジ部が螺合されることで、上記ロッド８５に対する上記図示しない対象物の取り付けが行われる。
また、上記ロッド８５は、軸受ブラケット２３ａに内装された軸受５３、フロントブラケットのロッド用貫通孔２５、第２ロッド用シール部材３５、ソフトワイパ３３ｅ、及び、第１ロッド用シール部材３３を貫通して、ハウジング３外部へと突出している。また、上記ロッド８５は、上記第１ロッド用シール部材３３や上記第２ロッド用シール部材３５、上記ソフトワイパ３３ｅ、及び、上記軸受５３の内周面に摺動可能に接触している。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ本体１０の構成についての説明である。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の作用について説明する。
まず、上記アクチュエータ１の動作について説明する。
ケーブル６４の図示しない信号線を介して伝達される動作指示により、モータ７３が駆動されると、その出力軸７３ｄが動作指示に従った方向・速度にて回転される。上記出力軸７３ｄの回転は、カップリング部材７６ａ、７６ｃ、及び、ボールネジ接続部材７７を介してボールネジ７８に伝達され、上記ボールネジ７８も上記出力軸７３ｄと同じ方向・速度にて回転される。

その際、上記ボールネジ７８に螺合されたボールナット７９は上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）の何れかの方向に移動する。このボールナット７９の移動は、上記ボールネジ７８の回転によって上記ボールネジ７８に形成された螺旋状の溝７８ｃと上記ボールナット７９内の図示しない複数のボールとが相互作用し、上記ボールナット７９が上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）の何れかの方向に付勢されることによるものである。このとき、上記ボールナット７９は上記ボールネジ７８の回転力によって、上記ボールネジ７８の回転方向と同方向に回転しようとする。しかし、上記ボールナット７９に接続された被ガイド部材８３がベース６５のガイドレール６５ｂ、６５ｂによって長さ方向（図３中左右方向）にガイドされるため、上記ボールネジ７８の回転による上記ボールナット７９の回転が規制されている。

そして、上記ボールナット７９の移動によって、ロッド８５及びこのロッド８５に取り付けられた図示しない対象物も、上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）に移動されることになる。
また、フロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとの間にグリス溜り５０が形成されている。このグリス溜り５０内には図示しないグリスが保持されている。また、上記グリスは、グリス供給路２９ｃ、２９ｄを通過しての移動や、上記ロッド８５の移動によって、ロッド用貫通孔２５、軸受５３、及び、第２ロッド用シール部材３５の内周面と上記ロッド８５の外周面との間に供給され、上記ロッド８５の移動を円滑なものとする。
また、上記グリスは、上記貫通孔２５内を移動してソフトワイパ３３ｅにも吸収される。これによって、第１シール部材側へも上記グリスが供給される。
なお、上記グリス溜り５０内等へのグリスの補充は、グリスニップル３７を介して行われる。

また、上記ボールナット７９の図示しないボール循環路内もグリスが充填されており、このグリスによって上記ボールネジ７８と上記ボールナット７９内の図示しない複数のボールとの相互作用が円滑なものとなっている。上記ボールナット７９の図示しないボール循環路内へのグリスの補充はハウジング本体５のグリス補充用貫通孔２２ａ及びロッド接続部材８１のグリスニップル８１ｂを介して行われる。

また、上記ロッド８５の移動を円滑なものとするため、上記ロッド８５の軸心調整が行われる。上記ロッド８５の軸心調整は、次のようにして行われる。
まず、ボルト３９を除去し、フロントブラケット２３ａをハウジング本体５から取り外す。このとき、フロントブラケット２３ａとともに第１ロッド用シール部材３３、ソフトワイパ３３ｅ、及び、第２ロッド用シール部材３５も上記ロッド８５から取り外されることになる。
次に、ボルト６５ｇを緩め、上記軸受ブラケット２３ｂのボルト用貫通孔４９の遊びの範囲内において上記軸受ブラケット２３ｂを移動させる。
次に、上記ロッド８５が上記フロントブラケット２３ａ内の軸受５３に対して摺接しながら円滑に移動できるように、上記軸受ブラケット２３ｂの位置を調整する。
そして、上記ボルト６５ｇを締めて上記軸受ブラケット２３ｂを所望の位置にて固定する。
以上が、上記アクチュエータ１の動作についての説明である。

次に、上記アクチュエータ１のシール構造の作用について説明する。
まず、ハウジング本体５とフロントブラケット２３ａとの間にはフロントカバ用シール部材４１が介挿されているとともに、上記ハウジング本体５とリアカバ９との間にはリアカバ用シール部材６２が介挿されている。そのため、上記ハウジング本体５の両端面においては、上記フロントカバ用シール部材４１と上記リアカバ用シール部材６２とによって、上記フロントカバ用シール部材４１と上記リアカバ用シール部材６２によって、ハウジング３内部への異物の侵入が防止されている。
また、ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材６５ｆが介挿されている。そのため、上記ハウジング用シール部材６５ｆによって、上記ハウジング本体５の貫通孔１７における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。

また、上記フロントブラケット２３ａには第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５が設置されている。この第１ロッド用シール部材３３及び第２ロッド用シール部材３５によって、上記ハウジング３のロッド８５が貫通する部分における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
また、上記第１ロッド用シール部材３３は上記ハウジング３の外部側（図３中左側）に設置されているとともに、上記第２シール部材３３は上記ハウジング３の内部側（図３中右側）にも設置されている。そのため、仮に、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第２シール部材３３によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング３内部への更なる侵入は防止される。

また、上記第１ロッド用シール部材３３の内周面の後端側（図３中右側）にはソフトワイパ３３ｅが設置されている。このソフトワイパ３３ｅによっても、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間において、上記異物や水滴等を捕捉するようになっている。

また、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５は、上記ハウジング３内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止するようにもなっている。また、上記ソフトワイパ３３ｅによっても、上記ハウジング３外部への上記グリスや上記摩耗粉等の異物の流出を防止するようになっている。
また、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａの内周面と上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂの外周面との間にＯリング５１が介挿されている。このＯリング５１によって、グリス溜り５０内の図示しないグリスの流出を防止している。

また、上記フロントブラケット２３ａのエアパージ用貫通孔３０を介して、図示しないポンプによって、上記フロントブラケット２３ａのロッド用貫通孔２５の内周面と上記ロッド本体８５ａの外周面との間に図示しないエアパージ用気体（例えば、空気）を送り込むようにしている。上記エアパージ用貫通孔３０の上記ロッド用貫通孔２５側の開口部は、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間に位置しているため、上記エアパージ用気体は、まず、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間に送り込まれる。そして、上記エアパージ用気体によって、上記第１ロッド用シール部材３３の内側の空間と上記貫通孔２５内の上記第２ロッド用シール部材３５より前方側（図４中左側）の空間における気圧が高くなる。これによって、上記第１ロッド用シール部材３３の先端側を介しての上記ハウジング３外部から上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入を防止する。

また、上記のようにハウジング３内は密閉されているため、前述したボールナット７９及びロッド８５の移動によって上記ハウジング３内の気圧の偏りが生じ、上記ボールナット７９及びロッド８５の移動が阻害されてしまうことが懸念される。これに対しては、吸排気ポート６３を介して、上記ハウジング３内への外気の取り込み、又は、上記ハウジング３内の空気の外部への排出を行うことで、上記ボールナット７９及びロッド８５の移動が阻害されないようにしている。
以上が、上記アクチュエータ１のシール構造の作用についての説明である。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の効果について説明する。
まず、上記ハウジング本体５の両端面において、例えば、接着剤を塗布されているようなシール構造とはしておらず、防塵・防水性能の確保についてはシール部材用溝３１、５９への上記フロントカバ用シール部材４１や上記リアカバ用シール部材６２の嵌合と除去を行うだけで足りるため、上記ハウジング３の分解・組み立てが行いやすいものとなっている。
また、ハウジング本体５とフロントブラケット２３ａとの間にはフロントカバ用シール部材４１が介挿されているとともに、上記ハウジング本体５とリアカバ９との間にはリヤカバ用シール部材６２が介挿されているため、上記ハウジング本体５の両端面におけるハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が確実に防止され、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。

また、上記フロントブラケット２３ａには第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５が設置されているため、この第１ロッド用シール部材３３及び第２ロッド用シール部材３５によって、上記ハウジング３のロッド８５が貫通する部分における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入を防止することができる。
また、上記第１ロッド用シール部材３３は上記ハウジング３の外部側（図３中左側）に設置されているとともに、上記第２シール部材３３は上記ハウジング３の内部側（図３中右側）にも設置されている。そのため、仮に、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第２シール部材３３によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング３内への更なる侵入を防止することができる。

また、上記第１ロッド用シール部材３３の内周面の後端側（図３中右側）にはソフトワイパ３３ｅが設置されているため、このソフトワイパ３３ｅによって上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間において、上記異物や水滴等を捕捉することができる。

また、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５は、上記ハウジング３内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することもできる。また、前述した上記ハウジング３外部からの異物や水滴等の侵入の場合と同様、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５の２段階のロッド用シール部材が設置されているため、より確実に上記グリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。また、上記ソフトワイパ３３ｅによっても、上記ハウジング３外部への上記グリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。
このように、上記第１ロッド用シール部材３３、上記第２ロッド用シール部材３５、及び、上記ソフトワイパ３３ｅによって、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。

また、上記第２ロッド用シール部材３５は、Ｘ字型の断面形状を有するリング状の部材であり、前端側（図４中左側）と後端側（図４中右側）の２か所においてロッド８５を接触しているため、防塵・防水性能を高めることができる。また、上記第２ロッド用シール部材３５はロッド８５との接触面積が少ないため、摺動抵抗を低減させることができる。
また、上記ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間にはハウジング用シール部材６５ｆが介挿されているため、貫通孔１７における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入を確実に防止し、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。
また、上記フロントブラケット２３ａにはエアパージ用貫通孔３０が形成されている。このエアパージ用貫通孔３０にエアパージ用気体を送り込むことで、上記ハウジング３外部からの異物や水滴等の侵入を防止して、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。

また、フロントカバ７はフロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとから構成されており、上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとの間にグリス溜り５０が形成されるようになっているため、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜り５０を形成することができる。
また、上記グリス溜り５０内に保持されたグリスによって、上記ロッド８５の移動を円滑にすることができる。また、ソフトワイパ３３ｅによって第１ロッド用シール部材３３側においてもグリスが保持されるので、上記ロッド８５の移動をより円滑なものとすることができる。
また、上記フロントブラケット２３ａ側に上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の両方が設置されているため、上記フロントブラケット２３ａのみを取り外すことによって、容易に上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の交換を行うことができる。
また、上記フロントカバ７から上記フロントブラケット２３ａのみを取り外した状態では、上記ロッド８５は上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５による摩擦抵抗の影響を受けなくなるため、上記ロッド８５の軸心調整を容易に行うことができる。

また、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５には表面硬化処理としてＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングが施されていると共に、ロッド８５の外周面には表面硬化処理として硬質クロムメッキが施されている。そのため、上記第１ロッド用シール部材３３及び上記第２ロッド用シール部材３５と上記ロッド８５間の摩擦係数を減少させてアクチュエータ１の滑らかな動作を実現することができるとともに、上記第１ロッド用シール部材３３、上記第２ロッド用シール部材３５、及び、上記ロッド８５の耐摩耗性を高めることができる。

また、上記モータブラケット６９と上記ベアリングハウジング６７とは、セットスクリュ７１によって固定されている。そのため、上記セットスクリュ７１を除去するだけで、上記モータブラケット６９、モータ７３、及び、エンコーダ７５が一体になった部分をアクチュエータ本体１０から容易に分離することができる。また、上記ハウジング３のリアカバ９を取り外せば、上記モータブラケット６９、上記モータ７３、及び、エンコーダ７５が一体になった部分を容易に上記ハウジング３外に取り出すことができ、上記モータ７３や上記エンコーダ７５等の修理・交換を容易なものとすることができる。
以上が、本実施の形態についての説明である。

次に、図８を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
まず、本実施の形態によるアクチュエータ８７の構成について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ８７は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１とほぼ同様の構成となっているが、フロントカバ８９は、前述した第１の実施の形態におけるフロントカバ７のようにフロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂの２つの部材からなる構成ではなく、１つの部材から構成されている。そのため、前述した第１の実施の形態におけるフロントカバ７に存在していたグリス溜り５０は形成されていない。また、前述した第１の実施の形態におけるグリス供給路２９ｃも存在していない。また、１つの部材から構成されているため、上記フロントカバ８９には、前述した第１の実施の形態において上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとの間に設けられていたＯリング５１も設置されていない。また、本実施の形態の場合には、貫通孔２５は上記フロントカバ８９の全体を貫通する貫通孔であり、その後端側（図８中右端側）に軸受５３が設置された構成となっている。
上記アクチュエータ８７は、その他の構成については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様であり、第１の実施の形態の場合と同一の符号を付すとともに、その説明を省略する。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ８７の作用について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ８７も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１とほぼ同様の作用を奏する。
しかし、上記アクチュエータ８７においては、フロントカバ８９のグリス溜りがないため、上記グリス溜りにおけるグリスの保持や上記グリス溜りからのグリスの供給が行われない。
なお、穴加工等を行うことによりグリス溜りを設けることも可能である。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ８７の作用についての説明である。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ８７の効果について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ８７も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１とほぼ同様の効果を奏する。
しかし、上記アクチュエータ８７においては、フロントカバ８９は１つの部材から構成されているため、前述した第１の実施の形態におけるフロントブラケット２３ａのみの取り外しにより第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５の交換が容易となる効果はない。これは、上記フロントカバ８９を取り外す際には、第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５のみならず、軸受５３をもロッド８５から抜き取ることが必要となるからである。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ８７の効果についての説明である。

なお、本発明は、前述の第１の実施の形態や第２の実施の形態に限定されない。
ロッド本体８５ａや第１ロッド用シール部材３３や第２ロッド用シール部材３５に施される表面硬化処理には、様々な種類のものが考えられる。また、前述の第１の実施の形態や第２の実施の形態の場合には、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の両方に表面硬化処理（ＤＬＣコーティング）を施しているが、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の何れか一方のみに表面硬化処理（ＤＬＣコーティング）を施すことも考えられる。また、上記ロッド本体８５ａ側のみに表面硬化処理を施すことや、上記第１ロッド用シール部材３３や上記第２ロッド用シール部材３５側のみに表面硬化処理を施すことも考えられる。
また、前述の第１の実施の形態や第２の実施の形態においては、ロッド用シール部材として、第１ロッド用シール部材３３や第２ロッド用シール部材３５の２つのロッド用シール部材が設けられているが、ロッド用シール部材を１つ、又は、３つ以上設けることも考えられる。
また、前述の第１の実施の形態や第２の実施の形態の場合には、摺動可能に係合された被ガイド部材８３の被ガイド用凸部８３ｃとベース６５のガイドレール６５ｂによって、ボールナット７９ひいてはロッド８５がガイドされる構成となっていたが、このような摺動タイプのガイドではなく、例えば、上記ガイドレール６５ｂと、上記ガイドレール６５ｂに係合されるとともに上記被ガイド部材８３の内部を循環する複数のボールによってガイドされるようなものも考えられる。
その他、本願発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、モータを含んだアクチュエータ本体をハウジング内に内装し、且つ、ハウジングを構成するハウジング本体と該ハウジング本体の両端開口部を閉塞するフロントカバとリアカバとの間にシール部材を介挿して、組立・分解を容易に行うことができると共に、防塵・防水性能を高めるように工夫したものに関し、例えば、食品製造用ロボットに用いられるアクチュエータに好適である。

１ アクチュエータ
３ ハウジング
５ ハウジング本体
７ フロントカバ
９ リアカバ
１０ アクチュエータ本体
１１ａ フロント開口部
１１ｂ リア開口部
２３ａ フロントブラケット
２３ｂ 軸受ブラケット
３０ エアパージ用貫通孔
３３ 第１ロッド用シール部材
３５ 第２ロッド用シール部材
４１ フロントカバ用シール部材
５０ グリス溜り
６２ リアカバ用シール部材
７３ モータ
７８ ボールネジ
６５ｆ ハウジング用シール部材
７９ ボールナット
８５ ロッド
８７ アクチュエータ
８９ フロントカバ

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したことを特徴とするものである。
また、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第１ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第２ロッド用シール部材とが設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするものである。
また、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであることを特徴とするものである。
また、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられていることを特徴とするものである。

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したため、上記フロントカバや上記リアカバの着脱により容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができる。また、上記フロントカバ用シール部材及び上記リアカバ用シール部材によって防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項２記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第１ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第２ロッド用シール部材とが設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項４記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられているため、例えば、上記フロントブラケットや上記軸受ブラケットの互いに向かい合う側に溝を形成することによって、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜りを形成することができる。
また、請求項５記載のアクチュエータによると、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられているため、上記フロントブラケットを取り外すだけで、容易に上記ロッド用シール部材の交換を行うことができる。また、上記フロントブラケットを取り外すだけで上記ロッド用シール部材が除去された状態となるため、上記ロッド用シール部材による摺動抵抗が生じない状態において上記ロッドの軸心調整を容易に行うことができる。
また、請求項６記載のアクチュエータによると、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドとロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項７記載のアクチュエータによると、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項８記載のアクチュエータによると、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドと上記ロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項９記載のアクチュエータによると、請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項１０記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されているため、より防塵・防水性を高めることができる。
また、請求項１１記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられているため、より防塵・防水性を高めることができる。

また、上記モータ７３の後端側（図３中右側）には、エンコーダ７５が設置されている。このエンコーダ７５には、上記モータケース７３ａの後端側（図３中右側）に設置されたエンコーダカバ７５ａがある。このエンコーダカバ７５ａの内部には、上記モータケース７３ａの後端面（図３中右側の面）にスペーサ７５ｂを介して基板７５ｃが設置されている。この基板７５ｃには、電子部品７５ｄ、７５ｅが実装されている。

また、上記モータ７３の出力軸７３ｄの上記エンコーダカバ７５ａ内に突出された部分には、エンコーダスケール７５ｆが固着されている。このエンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）には図示しないスケールが表示されている。この図示しないスケールにより上記エンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）に、反射される反射光の強度が強い部分と弱い部分が提供される。そして、上記基板７５ｃ上の電子部品７５ｄ、７５ｅには、光源とセンサが含まれており、上記光源から光を上記エンコーダスケール７５ｆに照射して、上記エンコーダスケール７５ｆの後端面（図３中右側の面）によって反射された反射光を上記センサにより検出するようになっている。そのため、上記出力軸７３ｄの回転により上記エンコーダスケール７５ｆ、ひいては、上記図示しないスケールが回転されると、上記センサにより検出される反射光の強度が変化する。上記エンコーダ７５は、上記反射光の変化から、上記モータ７３の出力軸７３ｄの回転の方向や速度等を検出するものである。

Claims (11)

1. 両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、
   上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ボールネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、
   上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、
   上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、
   を具備したことを特徴とするアクチュエータ。
2. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
   上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項２記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第１ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第２ロッド用シール部材とが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
4. 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、
   上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
5. 請求項４記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
7. 請求項６記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするアクチュエータ。
8. 請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
9. 請求項８記載のアクチュエータにおいて、
   上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであることを特徴とするアクチュエータ。
10. 請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
11. 請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
    

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