JP6172794B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、例えば、溶接機などが搭載されるアクチュエータに係り、特に、溶接時に発生するスパッタ（溶接中に飛散するスラグや金属粒）、塵埃などの異物がアクチュエータの内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるように工夫したものに関する。

例えば、アクチュエータに溶接機を搭載して使用すると、スパッタが上記アクチュエータの内部に侵入し、不具合が生じてしまうことが懸念される。
そこで、従来のアクチュエータにおいては、このようなスパッタの内部への侵入を防止する工夫が施されている。
そのようなアクチュエータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２などがある。

特許文献１に記載された発明は、次のような構成となっている。まず、直動装置としてのリニアガイドがあり、このリニアガイドは、案内レールと、この案内レールに沿って移動可能に設けられたスライダとから構成されている。このリニアガイドには、蛇腹状の防塵カバーが設けられていて、この防塵カバーの一端が上記リニアガイドの端部に接続されているとともに、その他端は上記スライダに接続されている。そして、上記防塵カバーによって、スパッタの内部への侵入を防止している。

また、特許文献２に記載された考案は、次のような構成となっている。まず、Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルがある。上記Ｙ軸テーブルはベッド上に設置されており、上記Ｘ軸テーブルは上記Ｙ軸テーブル上に設置されている。また、上記Ｙ軸テーブルは上記ベッド上に設置された軌道に沿ってＹ軸方向に移動するものであり、上記Ｘ軸テーブルは上記Ｙ軸テーブル上に設置された軌道に沿ってＸ軸方向に移動するものである。また、上記Ｘ軸テーブル上には、例えば、溶接機が設置されている。そして、上記Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルの軌道の両側面側には、それぞれ蛇腹状の側面防塵カバーが設置されているとともに、上記軌道の上面側には、上記Ｘ軸テーブルやＹ軸テーブルを貫通した状態で上面防塵カバーが設置されており、これにより、上記軌道がスパッタなどによって損傷しないように保護している。

特開２０００−３４３３７４号公報 実開平５−８０６４４号公報

しかし、上記従来の構成では、次のような問題があった。
特許文献１に記載された発明の場合には、蛇腹状の防塵カバーによって、スパッタのアクチュエータ内部への侵入を防止する構成となっている。また、特許文献２に記載された発明の場合には、蛇腹状の側面防塵カバーと上面防塵カバーとによって、スパッタのアクチュエータ内部への侵入を防止する構成となっている。
ところが、上記蛇腹状の防塵カバー、蛇腹状の側面防塵カバーは、使用時に伸縮される上に、高温のスパッタなどに曝されているため、損傷・劣化してしまう。そのため、上記蛇腹状の防塵カバー、蛇腹状の側面防塵カバーを頻繁に交換しなければならず、維持・管理が面倒であるという問題があった。
なお、この問題は、溶接機を搭載したアクチュエータに限られるものではなく、その他の機器やワークなどが搭載されて駆動されるアクチュエータにおいて、塵埃などが侵入する場合についても同様にいえる問題である。

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、溶接時に発生するスパッタや塵埃などの異物が内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備し、上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、上記スライダが上記ハウジングを貫通している部分には一対のシール部材が設置されていて上記スライダが上記一対のシール部材を掻き分けて移動するものであり、上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端であって上記シール部材の上方に設けられていて、上記空気噴射部は上記シール部材の長さ方向に指向・配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであることを特徴とするものである。
又、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部はノズルであることを特徴とするものである。
又、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであることを特徴とするものである。
又、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われていることを特徴とするものである。
又、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項５又は請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されていることを特徴とするものである。
又、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項７の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング内は加圧されていることを特徴とするものである。
又、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには溶接機が搭載されていることを特徴とするものである。

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備したため、上記空気噴射部からの空気噴射により、溶接時に発生するスパッタ、塵埃などの異物の上記ハウジング内への侵入を防止できる。また、例えば、蛇腹のような、使用時に伸縮され劣化しやすい覆いを設ける必要がないため、上記ハウジング内への異物の侵入を防止する機能を長期にわたって維持することができる。また、このことにより、上記アクチュエータを、メンテナンスが容易で運用コストが低いものとすることができる。
また、請求項２に記載されたアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端に設けられているため、上記効果をより確実なものとすることかできる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであるため、上記空気供給源から空気が供給されることで上記空気噴射部からの空気噴射を安定して行うことができる。
また、請求項４記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、上記空気噴射部は上記貫通している部位に指向・配置されているため、上記貫通している部位からの異物の侵入を防止することができる。
また、請求項５記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部はノズルであるため、効果的に空気噴射を行い、上記ハウジング内への異物の侵入を防止することができる。
また、請求項６記載のアクチュエータによると、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであるため、上記ノズルの噴射方向を変更することで様々な状況に対応することができる。
また、請求項７記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項６の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われているため、上記ハウジング内への異物の侵入を確実に防止できる。
また、請求項８記載のアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられているため、上記開口部からの異物の侵入を防止することができる。
また、請求項９記載のアクチュエータによると、請求項７又は請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されているため、上記カバーへの異物の付着を防止し、長期にわたって上記カバーの機能を維持することができる。
また、請求項１０記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられているため、上記スクレーパによって上記アクチュエータや上記カバーの表面の異物を除去することができる。
また、請求項１１記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング内は加圧されているため、上記ハウジング内への異物の侵入を確実に防止できる。
また、請求項１２記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには溶接機が搭載されているため、上記溶接機によって発生されるスパッタ等の異物の侵入を長期にわたって防止することができる。

本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの使用状態を示す斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの平面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの正面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＶ−ＩＶ矢視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶ−Ｖ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図５のＶＩ−ＶＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視図であって、本実施の形態によるアクチュエータのスライダを構成するスライダプレートのみを抽出して示した図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図８のＩＸ−ＩＸ断面図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの使用状態を示す斜視図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１０のＸＩ−ＸＩ断面図であり、スライダ本体のベース側部分の中央付近を切断するようにしたものである。 本発明の第３の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの正面図である。 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面図である。 本発明の第４の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータを示す斜視図である。

以下、図１〜図９を参照しながら、本発明の第１の実施の形態について説明する。
まず、本実施の形態によるアクチュエータ１の概要について説明する。
図１〜図４に示すように、上記アクチュエータ１は、ハウジング３と、このハウジング３に沿って移動可能に設置されたスライダ５とから構成されている。そして、図１に示すように、上記アクチュエータ１は、上記スライダ５上に、例えば、溶接機６が設置された状態で使用される。

上記溶接機６は、ロボットアーム７と、その先端に設置された溶接ノズル８とから構成されている。
また、上記ロボットアーム７は、基盤８と、第１アーム支持部９と、第１アーム１０と、第２アーム１１とから構成されている。
上記基盤８は、上記スライダ５上に設置されている。また、上記第１アーム支持部９は上記基盤８上に設置されており、上記基盤８に対して図１中上下方向の回転軸ａ１を中心に、駆動モータ１２によって、回転・駆動される構成になっている。また、上記第１アーム１０は、その基端側（図１中下側）が上記第１アーム支持部９に支持されているとともに、上記第１アーム支持部９に対して上記第１アーム支持部９の回転軸ａ１に直交する回動軸ａ２を中心に、駆動モータ１４によって、回動・駆動される構成になっている。また、上記第２アーム１１は、上記第１アーム１０の先端側（図１中上側）に支持されているとともに、上記第１アーム１０に対して、上記第１アーム１０の回動軸ａ２に平行な回転軸ａ３を中に、図示しない駆動モータによって、回動・駆動されるとともに、その回転軸ａ３に直交する回転軸ａ４を中心に、駆動モータ１６によって、回転・駆動される構成になっている。また、上記溶接ノズル８は、上記第２アーム１１の先端側（図１中左側）に設置されているとともに、上記第２アーム１１に直交する回転軸ａ５を中心に、駆動モータ２０によって、回転・駆動される構成になっている。

上記溶接ノズル８はロボットアーム７によって上記スライダ５を中心とした所定の範囲内で移動される。また、上記溶接機６自体も、上記アクチュエータ１のスライダ５が移動されることによって、上記アクチュエータ１の長さ方向両側（図１中右下から左上に向かう方向の両側）に移動される。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の詳細について説明する。
ハウジング３には、図６に示すように、略Ｕ字形の断面形状を成し図６中紙面垂直方向に延長・形成されたベース１３がある。また、上記ベース１３の幅方向（図６中左右方向）両端には側壁支持部材１５、１５が設置されており、この側壁支持部材１５、１５それぞれの外側（図６中右側又は左側）には、側壁１７、１７が設置されている。上記側壁支持部材１５と側壁１７は、上記ベース１３と同様に図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、図３に示すように、上記側壁１７は、上記側壁１７を貫通し、上記側壁支持部材１５に螺合される複数（本実施の形態の場合は、１つの上記側壁１７について３つ）のボルト１８によって固定されている。
また、上記側壁１７の表面には、スパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティングが施されている。

また、上記側壁支持部材１５、１５のそれぞれの図６中上側の端面には、上部側端カバー１９、１９が設置されている。この上部側端カバー１９、１９も、図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、上記上部側端カバー１９、１９と側壁支持部材１５、１５は、その長さ方向両端側（図６中紙面垂直方向両端側）において、上記上部側端カバー１９、１９と側壁支持部材１５、１５を貫通し、上記ベース１３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。

また、図６に示すように、上記上部側端カバー１９、１９間には、上部中央カバー２１が設置されている。この上部中央カバー２１も、図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、図５に示すように、上記ベース１３の長さ方向両端側（図５中左右方向両端側）にはストッパ２３、２３が設置されている。上記上部中央カバー２１の両端側（図５中左右両端側）は、上記上部中央カバー２１を貫通し上記ストッパ２３、２３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。また、上記ストッパ２３、２３は、上記ストッパ２３、２３を貫通し、上記ベース１３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。

また、図６に示すように、上記ベース１３には、ハウジング側エア供給継手２５が設置されている。上記ベース１３には、空気供給路２７が形成されており、この空気供給路２７は上記ベース１３に形成された複数の連通孔２９を介してハウジング３内部と連通されている。また、上記ハウジング側エア供給継手２５はこの空気供給路２７と連通された状態で設置されている。そして、上記ハウジング側エア供給継手２５には、図示しないチューブを介して図示しないコンプレッサが接続されている。このコンプレッサによって、上記ハウジング側エア供給継手２５、空気供給路２７を介して上記ハウジング３内に加圧空気が供給され、上記ハウジング３内を加圧している。これによって、上記ハウジング３内部への異物の侵入を防止している。
なお、上記図示しないチューブとしては、一重のもののほか、耐スパッタ強度を高めるために、二重管や三重管等が用いられることが考えられる。

また、図６に示すように、上記上部側端カバー１９、１９の上記上部中央カバー２１側には、それぞれシール係合溝３１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、このシール係合溝３１にはシール部材３３が係合・固定されている。
また、図６に示すように、上記上部中央カバー２１の幅方向両端側（図６中左右方向両側）にも、それぞれシール係合溝３５が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、このシール係合溝３５にはシール部材３７が係合・固定されている。

上記シール部材３３、３７は、長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、互いにその先端部が重合されることで上記上部中央カバー２１と上記上部側端カバー１９との間の隙間が閉塞されるように構成されている。
また、上記シール部材３３、３７の表面には耐熱コーティングが施されている。

また、上記ハウジング３の先端側（図５中左端側）には、端部カバー４１が設置されており、上記ハウジング３の後端側（図５中右端側）には、端部カバー４３が設置されている。上記端部カバー４１、４３によって、上記ハウジング３の長さ方向両端側（図５中左右方向両端側）が閉塞されている。

上記ハウジング３内の上記端部カバー４１側（図５中左側）には軸受ハウジング５３が設置されており、この軸受ハウジング５３内には軸受５５、５５が内装されている。この軸受５５は、図５に示すように、外輪５７と、この外輪５７の内側に回転可能に内装された内輪５９と、上記外輪５７と上記内輪５９との間に設置されたリテイナ６１によって転動可能に保持された複数の鋼球６３とから構成されている。
また、上記軸受ハウジング５３の図５中右端側には、軸受押え６４が圧入されており、この軸受押え６４によって、上記軸受５５の外輪５７が押えられている。

図５に示すように、上記端部カバー４３には貫通孔６５が形成されており、この貫通孔６５内には軸受６７、６７が内装されている。この軸受６７も、既に述べた軸受５５と同様に、外輪６９、内輪７１、リテイナ７３、複数の鋼球７５から構成されている。
上記軸受６７、６７は軸受押え７７によって、上記端部カバー４３に固定されている。

また、図５に示すように、上記ハウジング３内には、ボールネジ８１が回転可能に設置されている。このボールネジ８１の先端側（図５中左側）は、既に述べた軸受５５、５５の内輪５９、５９に圧入されているとともに、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）は、既に述べた軸受６７、６７の内輪７１、７１に圧入されている。すなわち、上記ボールネジ８１は、その両端側を上記軸受５５、５５、及び、軸受５９、５９によって回転可能に軸支されている。
また、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）であって、上記軸受６７、６７の図５中左側には内輪押え８３が設置されており、上記軸受６７、６７の図５中右側には内輪押え８５が設置されている。この内輪押え８３、８５によっても、上記ボールネジ８１と上記軸受６７、６７の内輪７１、７１とが一体とされている。

また、図５に示すように、既に述べたストッパ２３には貫通孔８７が形成されており、上記ボールネジ８１は上記貫通孔８７、８７を貫通して設置されている。
また、上記ボールネジ８１の外周面には螺旋状の溝である雄ネジ部８９が形成されている。

また、図２に示すように、上記ハウジング３の後端側（図２中右端側）にはプーリカバーベース９１を介して、プーリカバー９３が設置されている。
図５に示すように、上記プーリカバーベース９１にも貫通孔９５が形成されており、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）は、既に述べた端部カバー４３と上記プーリカバーベース９１を貫通して、上記プーリカバー９３内に突出・配置されている。
上記プーリカバー９３は、上記プーリカバー９３と上記プーリカバーベース９１を貫通し、上記端部カバー４３に螺合される複数（本実施の形態の場合は４つ）のネジ９７によって固定されている。

上記プーリカバー９３内であって、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）には、ボールネジ側プーリ１０１が固着されている。このボールネジ側プーリ１０１には貫通孔１０３が形成されている。この貫通孔１０３の図５中左側は小径部１０３ａとなっており、図５中右側は大径部１０３ｂとなっている。そして、上記貫通孔１０３の小径部１０３ａ内に上記ボールネジ８１の後端部（図５中右側部分）が圧入されている。

また、上記ボールネジ側プーリ１０１の図５中右側にはプーリ押え１０５が設置されている。このプーリ押え１０５は、図５中左側に凸部１０７が形成されており、この凸部１０７が上記ボールネジ側プーリ１０１の貫通孔１０３の大径部１０３ｂ内に圧入されている。これにより、上記ボールネジ８１と上記ボールネジ側プーリ１０１とが、より強固に固定される。また、上記ボールネジ側プーリ１０１に螺合される複数の（本実施の形態の場合は４つの）ボルト１０９によって、上記プーリ押え１０５は上記ボールネジ側プーリ１０１に固定される。

また、例えば、図２や図４に示すように、上記プーリカバーベース９１は、既に述べたハウジング３の図２中上側に延長・突出されており、上記プーリカバーベース９１の反ハウジング３側（図２中上側）にはモータケース１１１が設置されている。
図７に示すように、上記モータケース１１１内には、モータ１１３が内装されている。このモータ１１３は、モータハウジング１１５と、このモータハウジング１１５の内周面に固定された図示しないステータと、このステータの内側に回転可能に設置されたロータと、このロータに固着され上記モータハウジング１１５外に突出された出力軸１１７とから構成されている。

図７に示すように、上記モータケース１１３の図７中下側には、ケーブル１２１とケーブル１２３が設置されている。上記ケーブル１２１は上記モータ１１３に電力を供給し、上記ケーブル１２３は上記モータ１１３に送信される制御信号を伝達するとともに、上記モータ１１３に設置された図示しないエンコーダから出力される上記出力軸１１７の回転数や回転角度等を示す信号を伝達する。
上記モータ１１３は、上記ケーブル１２１を介して電力を供給されると、上記出力軸１１７を正転又は逆転させる。
また、上記モータ１１３は、上記モータハウジング１１５を貫通し上記プーリカバーベース９１に螺合される複数（本実施の形態の場合は４つ）のボルト１２５によって固定されている。

また、図７に示すように、上記モータ１１３の出力軸１１７には、モータ側プーリ１３１が固着されている。このモータ側プーリ１３１は、既に述べたボールネジ側プーリ１０１と同様に、上記出力軸１１７が圧入され、プーリ押え１３３によって強固に固定される。また、上記プーリ押え１３３は、上記プーリ押え１３３を貫通し上記モータ側プーリ１３１に螺合される複数（本実施の形態においては３つ）のボルト１３５によって、上記モータ側プーリ１３１に固定されている。

また、上記モータ側プーリ１３３と上記ボールネジ側プーリ１０１との間には、動力伝達ベルト１３７が巻回されている。この動力伝達ベルト１３７により、上記モータ１１３の出力軸１１７の回転が、既に述べたボールネジ８１に伝達される。

また、図５に示すように、上記ボールネジ８１には、ボールナット１４１が螺合されている。このボールナット１４１は、ボールナット本体１４３と、このボールナット本体１４３の先端側（図５中左端側）と後端側（図５中右端側）に設置されたエンドキャップ１４５、１４７とから構成されている。図６に示すように、上記ボールナット本体１４３は上記ボールネジ８１によって貫通されており、その貫通孔の内周面には上記ボールネジ８１の雄ネジ部８９に螺合する雌ネジ部１４９が形成されている。そして、上記雌ネジ部１４９と上記ボールネジ８１の雄ネジ部８９との間の空間と、上記ボールナット本体１４３内に形成された無負荷循環路１５１、及び、上記エンドキャップ１４５、１４７に形成された図示しないリターン路内を複数の鋼球１５３が転動しながら循環するように構成されている。

また、上記ボールナット１４１には、既に述べたスライダ５が固着されている。図６に示すように、上記スライダ５は、ハウジング３内に配置され、その図６中上側が既に述べたシール部材３３、３７の間を貫通して上記ハウジング３の上方に突出されたスライダ本体１５５と、後述するスライダプレート２４１及び搭載プレート２５１とから構成されている。

図５に示すように、上記スライダ本体１５５には、長さ方向（図５中左右方向）に延長された貫通孔１５７が形成されている。この貫通孔１５７内に上記ボールナット１４１が設置されている。また、上記ボールナット１４１の後端側（図５中右側）は押え部材１５９によって押えられている。

また、上記スライダ本体１５５の幅方向両端側（図６中左右方向両端側）にはシール係合溝１６３、１６５が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されていて、上記シール係合溝１６３にはシール部材１６７が係合・固定されており、上記シール係合溝１６５にはシール部材１６９が係合・固定されている。このシール部材１６７、１６９の先端側（図６中左側又は右側）は、上記ハウジング３のベース１３の内周面に摺接している。

また、図６に示すように、上記スライダ本体１５５の幅方向両端側（図６中左右方向両端側）であって、上記シール部材１６７、１６９の図６中下側には、レール係合溝１８１、１８３が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。そして、上記レール係合溝１８１にはレール１８５が係合・固定されており、上記レール係合溝１８３にはレール１８７が係合・固定されている。上記レール１８５には凹部１８９が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、上記レール１８７には凹部１９１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。

また、上記ハウジング３のベース１３の内周面にも、幅方向両側（図６中左右方向両側）にレール係合溝２０１、２０３が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。そして、上記レール係合溝２０１にはレール２０５が係合・固定されており、上記レール係合溝２０３にはレール２０７が係合・固定されている。上記レール２０５には凹部２０９が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、上記レール２０７には凹部２１１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。
また、上記レール１８５と上記レール２０５は凹部１８９と凹部２０９が向かい合うように配置されており、上記レール１８７と上記レール２０７は凹部１９１と凹部２１１が向かい合うように配置されている。

そして、図６に示すように、上記レール１８５の凹部１８９と上記レール２０５の凹部２０９との間の空間、上記スライダ本体１５５の内部であって図６中左側に形成された無負荷循環路２１３、及び、上記スライダ本体１５５の先端側（図６中紙面垂直方向手前側）及び後端側（図６中紙面垂直方向奥側）に設置された図示しないエンドキャップ内に設けられたリターン路内を、複数の鋼球２１５が循環している。
また、同様に、上記レール１８７の凹部１９１と上記レール２０７の凹部２１１との間の空間、上記スライダ本体１５５の内部であって図６中右側に形成された無負荷循環路２１７、及び、上記スライダ本体１５５の先端側（図６中紙面垂直方向手前側）及び後端側（図６中紙面垂直方向奥側）に設置された図示しないエンドキャップ内に設けられたリターン路内を、複数の鋼球２１９が循環している。

このような構成から、上記ボールネジ８１が回転されても、上記スライダ本体１５５、ひいては、ボールナット１４１の上記ボールネジ８１を中心とした回転が規制される。そのため、上記ボールネジ８１の回転により、上記ボールナット１４１、ひいては、スライダ５が上記ボールネジ８１の長さ方向（図５中左右方向）に移動されることになる。

また、上記スライダ本体１５５の既に述べたシール部材３３とシール部材３７との間を貫通する部分の、先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）には、複数（先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）のシール掻き分け部材２３１が設置されている。このシール掻き分け部材２３１によって、上記スライダ５の移動時に上記シール部材３３、３７を掻き分けることで、必要なシール機能を担保しつつ上記スライダ５の移動を円滑なものとしている。

また、図６に示すように、上記スライダ本体１５５には、既に述べた中央カバー２１によって貫通される貫通孔２３５が形成されている。この貫通孔２３５の内周面であって、上記中央カバー２１の図６中上側には中央カバー支持部材２３７が設置されており、上記中央カバー２１の図６中下側には中央カバー支持部材２３９が設置されている。この中央カバー支持部材２３７、２３９は上記中央カバー２１の撓みを防止するものである。

図６に示すように、上記スライダ本体１５５の上側にはスライダプレート２４１が設置されている。図８や図９に示すように、上記スライダプレート２４１の側面側（図９中上側）にはエア供給継手２４３が設置されているとともに、スライダ５の進行方向前端側（図９中上側）及びスライダ５進行方向後端側（図９中下側）に、複数の（本実施の形態の場合は、先端側（図９中左側）と後端側（図９中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）の空気噴射部としてのノズル２４５が設置されている。

そして、上記スライダプレート２４１内には上記エア供給継手２４３と上記ノズル２４５のそれぞれとを連絡する空気供給部２４７が形成されている。上記エア供給継手２４３には、図示しないチューブを介して、空気供給源としての図示しないコンプレッサが接続されている。上記図示しないコンプレッサから供給された空気は、上記空気供給部２４７を介して、上記ノズル２４５から噴射される。
また、上記ノズル２４５は、本実施の形態の場合は、その先端部（図９中右端又は左端）からスライダ５の進行方向（図９中右側又は左側）に向けて、放射状に空気を噴射するものである。

また、上記スライダプレート２４１は、図９に示すように、上記ノズル２４５が設置されるスライダプレート本体２４８ａと、上記エア供給継手２４３が設置される継手取付部２４８ｂとから構成されている。また、上記空気供給部２４７は、上記スライダプレート本体２４８ａ側に形成された空気供給路２４９ａと、上記継手取付部２４８ｂに形成された凹部２４９ｂが上記スライダプレート本体２４８ａの図９中右側の端面によって閉塞された空間２４９ｃとから構成されている。
また、上記継手取付部２４８ｂは、上記継手取付部２４８ｂを貫通し上記スライダプレート本体２４８ａに螺合される複数(本実施の形態の場合は２つ)のボルト２５０によって固定されている。

なお、上記図示しないチューブとしては、一重のもののほか、耐スパッタ強度を高めるために、二重管や三重管等が用いられることが考えられる。
また、上記ノズル２４５の種類には様々なものがあり、それぞれ空気噴射の方向や形状が異なっている。例えば、上記ノズル２４５としては、下側に空気を噴射するようなものも考えられる。また、上記ノズル２４５として、例えば、広がらないように直線状に空気を噴射するようなものも考えられる。また、上記空気噴射の方向は、上記ノズル２４５の設置方向によっても、様々に設定される。

また、図６に示すように、上記ノズル２４５は、既に述べたシール部材３３、３７の上方（図６中上側）に配置されており、上記シール部材３３、３７の長さ方向（図６中紙面垂直方向）に指向されている。そのため、上記ノズル２４５から噴射される空気によって、既に述べたシール掻き分け部材２３１によって掻き分けられた上記シール部材３３、３７間の隙間からハウジング３内部への異物の侵入を防止するように構成されている。また、既に、上記ハウジング３の上面（図６中上側の面）に図示しない異物が存在していても、スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射によって上記異物を排除する構成になっている。

また、図６に示すように、上記スライダプレート２４１の図６中上側には、搭載プレート２５１が設置されている。この搭載プレート２５１上に、既に述べた溶接機６等が設置される。
また、上記搭載プレート２５１の進行方向前端側（図９中左側）及び進行方向後端側（図９中右側）には、それぞれ、スクレーパ２５３が設置されている。このスクレーパ２５３は、例えば、樹脂製である。また、上記スクレーパ２５３は、上記スクレーパ２５３を貫通し、上記搭載プレート２５１に螺合される複数（本実施の形態の場合は、１つの上記スクレーパ２５３につき３つ）のボルト２５５によって固定されている。また、上記スクレーパ２５３については後述する。

図５や図６に示すように、ハウジング３の上方には、カバー２６１が設置されている。このカバー２６１は、図６に示すように、略逆Ｕ字型の断面形状を成している。また、図２に示すように、その前端側（図２中左側）は、上記カバー２６１を貫通し端部カバー４１の上端側（図２中紙面垂直方向手前側）に螺合される複数（本実施の形態の場合は２つ）のボルト２６２によって固定されており、その後端側（図２中右側）は、上記カバー２６１を貫通し端部カバー４３の上端側（図２中紙面垂直方向手前側）に螺合される複数（本実施の形態の場合は２つ）のボルト２６２によって固定されている。また、上記カバー２６１は、スライダ５のスライダプレート２４１と搭載プレート２５１との間の隙間を貫通して設置されている。
また、図６に示すように、上記スライダプレート２４１の図６上側の面には、カバー支持部材２６３が設置されている。このカバー支持部材２６３は、上記カバー２６１の撓みを防止するものである。

また、上記カバー２６１は、その表面にスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理がされている。また、既に述べたスライダ５に設置されたスクレーパ２５３は、その図６中下側端面を、上記カバー２６１の図６中上側の面に近接させた状態で設置されている。そのため、上記スライダ５が移動されると、上記スクレーパ２５３によって、上記カバー２６１の図６中上側の面上に付着したスパッタが掻き取り・除去されるようになっている。

また、例えば、図６に示すように、アクチュエータ１の側面側（図６中左右方向両側）においては、上記ハウジング３と上記カバー２６１との間に隙間がある。この隙間の上記スライダ５近傍については、上記スライダ５の幅方向両側（図６中左右方向両側）に設置された補助カバー２７１、２７１によって閉塞されている。これら補助カバー２７１、２７１も、その表面にスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されている。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ１の構成の説明である。

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の作用について説明する。
まず、モータ１１３に電力を供給し、その出力軸１１７を正転又は逆転させると、モータ側プーリ１３１、動力伝達ベルト１３７、及び、ボールネジ側プーリ１０１を介して、ボールネジ８１が回転される。これにより、上記ボールネジ８１に螺合されたボールナット１４１ひいてはスライダ５が、上記アクチュエータ１の長さ方向（例えば、図５中左右方向）両側の何れかに移動される。

上記スライダ５上には、例えば、溶接機６が設置されており、溶接作業が行われる。この溶接作業により、例えば、高温のスパッタなどが発生する。このスパッタには、比較的大きな粒状のスパッタや塊状のスパッタと、細かい霧状のスパッタとがある。
そして、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは上記アクチュエータ１上に落下する。しかし、上記アクチュエータ１にはカバー２６１が設置されており、これによりハウジング３内部への上記粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入が防止される。

また、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは、上記アクチュエータ１のカバー２６１の上側の面（例えば、図５中上側の面）に落下する。上記カバー２６１にはスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されており、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは上記カバー２６１に付着しにくい。

また、上記スライダ５が移動される際には、上記カバー２６１の上方(例えば、図５中上側)であって、上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に設置されたスクレーパ２５３、２５３によって、上記カバー２６１上の上記粒状のスパッタや塊状のスパッタが掻き取り・除去される。

また、上記細かい霧状のスパッタは、塵埃と共に上記アクチュエータ１周辺の雰囲気中を漂っている。上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間からの上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入は、上記カバー２６１の下方（例えば、図５中下側）の上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に備えられた複数（本実施の形態の場合は、先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）のノズル２４５からの空気噴射によって防止される。これらノズル２４５からの空気噴射は、図示しないコンプレッサ、チューブや、エア供給継手２４３及び空気供給部２４７を介して供給される空気によって行われる。

また、本実施の形態の場合、上記ノズル２４５によって、上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に放射状に空気が噴射される。この放射状の空気噴射が上記ハウジング３の幅方向両端部（図６中左右方向両端部）まで達し、これにより、上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間からの上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入が防止される。
なお、上記ノズル２４５よる空気噴射の形状や方向は、上記ノズル２４５の種類によってさまざまな場合が考えられる。また、上記空気噴射の方向は、上記ノズル２４５の設置方向によっても、様々に設定される。

また、上記スライダ５のシール掻き分け部材２３１によって上記シール部材３３、３７が掻き分けられ、上記シール部材３３、３７間に隙間が生じることになるが、この隙間を介した上記ハウジング３内への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入も、上記ノズル２４５からの空気噴射によって防止される。上記ノズル２４５はシール部材３３、３７の上方（図６中上側）において、上記シール部材３３、３７の長さ方向（図６中紙面垂直方向）に指向されて配置されているからである。

また、上記ハウジング３のカバー２６１側の面（例えば、図５中上側の面）上に既に上記細かい霧状のスパッタや塵埃が存在していた場合であっても、上記スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記細かい霧状のスパッタや塵埃が排除される。

また、上記ハウジング３内は、図示しないコンプレッサ、図示しないチューブ、及び、エア供給継手２５を介して供給される空気によって加圧される。これによっても、上記ハウジング内３への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止している。

また、上記スライダ５近傍においては、上記スライダ５の幅方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に設置された補助カバー２７１、２７１によっても、上記ハウジング３と上記カバー２６１との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入が防止される。
以上が、本実施の形態におけるアクチュエータ１の作用についての説明である。

次に、本実施の形態におけるアクチュエータ１の効果について説明する。
まず、スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）それぞれには、シール部材３３、３７の上方（図６中上側）にノズル２４５が設置されている。そのため、これらノズル２４５からの空気噴射により、上記シール部材３３、３７間の隙間からのハウジング３内への細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。

また、上記ハウジング３のカバー２６１側の面（例えば、図５中上側の面）上に既に上記細かい霧状のスパッタや塵埃が存在していた場合であっても、上記スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記細かい霧状のスパッタや塵埃を排除することができる。
また、上記ノズル２４５からの空気噴射は放射状であり、上記ハウジング３の幅方向両端部（図６中左右方向両端部）まで達するため、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。

また、上記スライダ５の幅方向両側（図６中左右方向両側）には補助カバー２７１、２７１が設置されている。そのため、上記スライダ５近傍においては、上記補助カバー２７１、２７１によっても、上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の異物の侵入を防止することができる。

また、上記ノズル２４５からの空気噴射は、図示しないコンプレッサから、図示しないチューブ、エア供給継手２４３、及び、スライダプレート２４１内の空気供給部２４７を介して供給される空気によって行われる。そのため、上記アクチュエータ１とは別体として設けられた上記図示しないコンプレッサから空気の供給を受けることで、上記ノズル２４５からの空気噴射を安定して行うことができる。

また、上記空気噴射は上記ノズル２４５によって行われるため、効果的な空気噴射により上記ハウジング３内への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。
また、上記ノズル２４５として、噴射方向や噴射の形状が異なる複数種類のノズルがあり、これら複数種類のノズルを使い分けることで、様々な状況に対応することができる。

また、上記ハウジング３内は、図示しないコンプレッサ、図示しないチューブ、及び、エア供給継手２５を介して供給される空気によって加圧されているため、これによっても、上記ハウジング内３への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。

また、上記アクチュエータ１にはカバー２６１が設置されているため、これにより、上記ハウジング３内への粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入を防止することができる。

また、上記スライダ５には、その進行方向前端側（図９中左側）及び進行方向後端側（図９中右側）に、それぞれ、スクレーパ２５３が設置されている。そのため、上記スライダ５が移動される際、上記スクレーパ２５３によって、上記カバー２６１上の上記粒状のスパッタや塊状のスパッタを掻き取り・除去することができる。

上記カバー２６１や上記補助カバー２７１にはスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されているため、上記カバー２６１や上記補助カバー２７１に上記粒状のスパッタや塊状のスパッタ、又は、上記細かい霧状のスパッタや塵埃が付着しにくくし、その機能を長期にわたって維持させることができる。

また、以上述べたような構成により、上記ハウジング３内への上記粒状のスパッタ、塊状のスパッタ、上記細かい霧状のスパッタ、及び、塵埃の侵入を防止できる。そのため、例えば、蛇腹などのような、上記スライダ５の移動の際に変形されたり、高温の環境下に置かれたりすることにより劣化しやすい部材を用いる必要がなく、上記アクチュエータ１の機能を長期にわたって維持することができる。また、そのため、上記アクチュエータ１をメンテナンスが容易で、運用コストが安価なものとすることができる。
以上が、本発明の第１の実施の形態の説明である。

次に、図１０及び図１１を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
図１０や図１１に示すように、本実施の形態によるアクチュエータ３０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様の構成であるが、設置される向きが異なっている。すなわち、上記アクチュエータ３０１は、カバー２６１とハウジング３との間の隙間が、上面側(図１０中上側)と底面側（図１０中下側）に指向されるように設置される。
また、上記アクチュエータ３０１は、モータケース１１１やモータ１１３等の設置される位置が、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１とは異なっている。

また、上記アクチュエータ３０１には、溶接機３０３が設置されている。この溶接機３０３は、上記アクチュエータ３０１のスライダ５に設置される溶接機本体３０５と、この溶接機本体３０５に対して図１０中上下方向の回転軸を中心に回転可能なアーム３０７と、このアーム３０７の先端側（図１０中上端側）に設置され上記アーム３０７に直交する方向の回転軸を中心に回転可能な溶接ノズル３０９とから構成されている。
なお、上記溶接機３０３の代わりに、前述した第１の実施の形態における溶接機６のような構成の溶接機を設置することもできる。

本実施の形態によるアクチュエータ３０１も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様の作用・効果を奏する。
また、上記アクチュエータ３０１は、図１１に示すように、カバー２６１とハウジング３との間の隙間が、上面側(図１１中上側)と底面側（図１１中下側）に指向されるように設置されるため、上面側（図１１中上側）から上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の空間に侵入した粒状のスパッタや塊状のスパッタは、そのまま底面側（図１１中下側）の上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間から上記アクチュエータ３０１の下側へと落下していくことになる。そのため、このことによっても、上記ハウジング３内への上記粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入を防止することができる。

なお、本実施の形態の説明においては、上記アクチュエータ３０１の構成要素については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１の構成要素と同じ符号を付し、その説明を省略した。

次に、図１２及び図１３を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ４０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と略同様の構成であるが、カバー２６１と補助カバー２７１が設置されていない。
また、上記アクチュエータ４０１は、上記スライダ５上に、例えば、図示しない把持ロボットが設置された状態で使用される。

上記アクチュエータ４０１は、前述したように、第１の実施の形態におけるアクチュエータ１のようなカバー２６１や補助カバー２７１、２７１は設置されていないものの、ノズル２４５からの空気噴射により、ハウジング３内への塵埃などの侵入を防止することができる。
なお、本実施の形態の説明においても、上記アクチュエータ４０１の構成要素については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１の構成要素と同じ符号を付し、その説明を省略した。

次に、図１４を参照しながら、本発明の第４の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ５０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、ハウジング５０３と、このハウジング５０３に沿って長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両側に移動可能なスライダ５がある。

上記ハウジング５０３の後端側（図１４中右上側）にはモータユニット５０７が設置されている。このモータユニット５０７内には図示しないモータが設置されている。また、上記ハウジング５０３内には、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１におけるボールネジ８１やボールナット１４１と同様の、図示しないボールネジ・ボールナット機構があり、このボールネジ・ボールナット機構は図示しないモータによって駆動される。
そして、上記ボールネジ・ボールナット機構により上記スライダ５０５の移動が行われる。

また、上記ハウジング５０３の上面側（図１４中上側）の中央には、長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)に延長された開口部５０９がある。この開口部５０９は、上記スライダ５０５によって貫通されている。また、上記開口部５０９は、ステンレスシート５１１によって閉塞されている。このステンレスシート５１１は、その長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両端側を上記ハウジング５０３の長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両端側に固定されている。また、上記ステンレスシート５１１は、湾曲可能であり、上記スライダ５０５内に形成された空間を貫通して設置されている。

そして、上記スライダ５０５の進行方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両側には、複数の（本実施の形態の場合は、先端側（図１４中左下側）と後端側（図１４中右上側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）の空気噴射部としてのノズル５１５が設置されている。
これらノズル５１５からは、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１のノズル２４５と同様、図示しないコンプレッサにより供給された空気が噴射される。

また、上記アクチュエータ５０１も、上記スライダ５０５上に、例えば、図示しない把持ロボットが設置された状態で使用される。

本実施の形態によるアクチュエータ５０１も、ノズル５１５からの空気噴射により、開口部５０９を介したハウジング５０３内への塵埃などの侵入を防止することができる。

本発明は、前述した第１〜第４の実施の形態に限定されない。
例えば、上記ノズル２４５や上記ノズル５１５の個数には、様々な場合が考えられる。
また、空気噴射部はノズルに限定されるものではなく、例えば、スライダに設けられた噴射孔のようなものでも良い。この場合、上記噴射孔の開口部付近の角度や形状によって、空気が噴射される角度や形状を様々に設定することも考えられる。
又、前記第１〜第４の実施の形態の場合には、空気噴射部をスライダの進行方向両端に設けた例を挙げて説明したが、それに限定されるものではなく、スライダの上面であって両端部に斜め下向きに指向させた状態で空気噴射部を設ける場合等、空気噴射部の位置、個数、向き等については様々なものが想定される。

また、カバー２６１や補助カバー２７１の表面処理としては、異物の付着を防ぐことができるものであれば、様々な種類のものが考えられる。
また、スクレーパ２５３の材質や取付位置は、前記第１〜第３の実施の形態に限定されない。例えば、上記スクレーパ２５３を上記空気噴射部の下側に設置する場合も考えられる。
また、上記アクチュエータ１はモータ１１３によって駆動されるものであるが、例えば、空気圧・油圧などのその他の方式によって駆動される場合も考えられる。

本発明は、例えば、溶接機などが搭載されるアクチュエータに関し、特に、溶接時に発生するスパッタ、塵埃などの異物がアクチュエータの内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるように工夫したものに関し、特に、金属製品の生産ラインに用いられるアクチュエータに好適である。

１ アクチュエータ
３ ハウジング
５ スライダ
６ 溶接機
２４５ ノズル（空気噴射部）
２４７ 空気供給部
２５３ スクレーパ
２６１ カバー
２７１ 補助カバー

Claims (10)

1. ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備し、
   上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、
   上記スライダが上記ハウジングを貫通している部分には一対のシール部材が設置されていて上記スライダが上記一対のシール部材を掻き分けて移動するものであり、
   上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端であって上記シール部材の上方に設けられていて、
   上記空気噴射部は上記シール部材の長さ方向に指向・配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
   上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、
   上記空気噴射部はノズルであることを特徴とするアクチュエータ。
4. 請求項３記載のアクチュエータにおいて、
   上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであることを特徴とするアクチュエータ。
5. 請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われていることを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項５記載のアクチュエータにおいて、
   上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
7. 請求項５又は請求項６記載のアクチュエータにおいて、
   上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
8. 請求項１〜請求項７の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。
9. 請求項１〜請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記ハウジング内は加圧されていることを特徴とするアクチュエータ。
10. 請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    上記スライダには溶接機が搭載されていることを特徴とするアクチュエータ。

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