JP2014046361A - レーザ加工ヘッド - Google Patents

レーザ加工ヘッド Download PDF

Info

Publication number
JP2014046361A
JP2014046361A JP2012193809A JP2012193809A JP2014046361A JP 2014046361 A JP2014046361 A JP 2014046361A JP 2012193809 A JP2012193809 A JP 2012193809A JP 2012193809 A JP2012193809 A JP 2012193809A JP 2014046361 A JP2014046361 A JP 2014046361A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser processing
processing head
glass
laser
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012193809A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6159513B2 (ja
Inventor
Kazutaka Sato
和隆 佐藤
Toshihide Kato
俊英 加藤
Hiroyuki Kato
博之 加藤
Shogo Tagawa
省吾 田川
Hiroshi Koshimizu
洋 古清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP2012193809A priority Critical patent/JP6159513B2/ja
Priority to PCT/JP2013/072533 priority patent/WO2014038395A1/ja
Publication of JP2014046361A publication Critical patent/JP2014046361A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6159513B2 publication Critical patent/JP6159513B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1494Maintenance of nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1488Means for protecting nozzles, e.g. the tip surface
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0004Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
    • G02B19/0009Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
    • G02B19/0014Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

【課題】光ファイバーから出射されたレーザ光を平行光線化した位置においてレーザ光の軸心を屈折偏心して偏心回転することのできるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】光ファイバ35の出射端から出射されたレーザ光LBを平行光線化するコリメーションレンズ39と、平行光線化されたレーザ光LBを集光してワークWへ照射する集光レンズ47とを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記コリメーションレンズ39と集光レンズ47との間に、一方の面にウエッジを付けたウエッジ付ガラス75を回転自在に備え、レーザ光LBの光路に対して先端側が出入自在な支持アーム71を備え、この支持アーム71の前記先端側に回転自在に備えたガラスホルダ73に、前記ウエッジ付ガラス75を備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光してワークへ照射することにより、上記ワークのレーザ切断加工やレーザ溶接などのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッドに係り、さらに詳細には、レーザ溶接を行うときに、レーザ光の光軸を屈折偏心させるためのウエッジ付ガラスを回転自在に備えたレーザ加工ヘッドに関する。
レーザ発振器から発振されたレーザ光を、光ファイバーを用いてレーザ加工ヘッドに導き、この光ファイバーの出射端から出射されたレーザ光を、光軸に対して傾斜した傾斜ガラスに入射してレーザ光の光軸を屈折偏心させると共に、前記傾斜ガラスを光軸回りに回転することが行われている(例えば特許文献1参照)。
特開2002−137083号公報
前記特許文献1に記載のレーザ加工ヘッドは、図6に示す構成である。すなわち、レーザ加工ヘッド1は産業用ロボット(図示省略)におけるロボットアーム3の先端部に適宜構成のブラケット5を介して取付けてある。前記レーザ加工ヘッド1は、前記ブラケット5に取付けた筒状の加工ヘッド本体7を備えており、この加工ヘッド本体7の上部には、レーザ発振器(図示省略)に一端側を接続した光ファイバー9の他端側を保持した光ファイバーホルダ11が装着してある。
そして、前記加工ヘッド本体7には、前記光ファイバー9の他端側(出射端)から出射されたレーザ光LBを平行光線化するためのコリメーションレンズ13が備えられている。このコリメーションレンズ13の下方位置には、レーザ光LBを集光してワークWへ照射する集光レンズ15が備えられていると共に、アシストガスをワークのレーザ加工位置へ噴出するレーザノズル17が備えられている。
前記光ファイバー9の出射端と前記コリメーションレンズ13との間には、レーザ光LBの光軸LAに対して傾斜した傾斜ガラス19を備えた筒状のガラスホルダ21がギアホルダケース23内に回転自在に、かつ前記ギアホルダケース23に形成した円弧状の長穴(図示省略)内に往復動自在に備えられている。前記傾斜ガラス19は、レーザ光LBの光軸LAを屈折し偏心させる作用をなすものである。したがって前記ガラスホルダ21を回転することにより、レーザ光LBの光軸(光路)LAを偏心回転することができ、レーザ溶接を行うときのビーム幅を拡大することができるものである。
前記ガラスホルダ21を回転するために、ガラスホルダ21の外周面にはギア21Gが備えられており、このギア21Gには、前記ギアホルダケース23に装着したモータ25によって回転される駆動ギア27が噛合してある。すなわち、ガラスホルダ21とモータ25は常に連動連結してある。そして、前記ガラスホルダ21は、前記長穴内において往復動することにより、レーザ光LBの光路すなわち光軸LAに対して出入自在に備えられている。
前記構成より明らかなように、傾斜ガラス19は、光ファイバー9の出射端とコリメーションレンズ13との間に配置してある。したがって、前記傾斜ガラス19に入射されるレーザ光LBの径は小径である。
近年、ファイバーレーザが開発され、このファイバーレーザがワークとしての金属板のレーザ切断加工やレーザ溶接などのレーザ加工に使用されている。ファイバーレーザは高出力であり、エネルギー密度が大きいので、前記特許文献1に記載のごとく、光ファイバー9の出射端に近接した位置に傾斜ガラス19を配置して使用すると、傾斜ガラス19が損傷することがある。
そこで、コリメーションレンズ13と集光レンズ15との間であってレーザ光LBのビーム径の大きな領域に傾斜ガラス19を配置して回転したところ、傾斜ガラス19の損傷は効果的に抑制することができるものの、レーザ光LBが平行光線であるために、レーザ光LBにおける光軸LBを大きく屈折偏心することができないものであった。
また、傾斜ガラスは重心が不均一なため、傾斜ガラスを高速(例えば3000rpmを越える速度)で回転した場合、偏心にともない傾斜ガラスを保持し同時に回転する部品が磨耗しフレッチングが発生する。このフレッチングで発生した細かい金属粉などが傾斜ガラスに付着し、この付着した金属粉などにレーザ光が当たることで熱吸収が発生し、傾斜ガラスの表面コーティングが損傷してしまうことがある。ひいては加工不良や過大な熱が発生し傾斜ガラス自体が破損するという問題がある。
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、光ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するコリメーションレンズと、平行光線化されたレーザ光を集光してワークへ照射する集光レンズとを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記コリメーションレンズと集光レンズとの間に、一方の面にウエッジを付けたウエッジ付ガラスを回転自在に備えていることを特徴とするものである。
また、前記レーザ加工ヘッドにおいて、レーザ光の光路に対して先端側が出入自在な支持アームを備え、この支持アームの前記先端側に回転自在に備えたガラスホルダに、前記ウエッジ付ガラスを備えていることを特徴とするものである。
また、前記レーザ加工ヘッドにおいて、前記コリメーションレンズと集光レンズとの間であってレーザ光の光路に対応して回転自在に備えた筒状の回転体又は前記ガラスホルダの一方に放射外方へ突出した突出部を備え、前記ガラスホルダ又は前記回転体の他方に、前記突出部に当接して一体的に回転される当接部材を備えていることを特徴とするものである。
また、前記レーザ加工ヘッドにおいて、前記集光レンズを間にして前記コリメーションレンズの反対側に、前記集光レンズを保護するための保護ガラスを備え、前記保護ガラスを透過してレーザ加工位置を照明するリング状の照明手段を備え、当該保護ガラスの上方に備えた撮像手段への前記照明光の直接入射を防止するために、リング状の前記照明手段の内側に、照明光をレーザ加工ヘッドの先端方向へ反射する反射筒体を備えていることを特徴とするものである。
また、前記レーザ加工ヘッドにおいて、前記集光レンズと前記保護ガラスとの間の高さ位置であってレーザ光の光路から離反した位置に前記撮像手段を備え、レーザ加工位置からの光を前記撮像手段方向へ反射する反射鏡を、レーザ光の光路に対して出入自在に備えていることを特徴とするものである。
また、前記レーザ加工ヘッドにおいて、前記保護ガラスの下側に、当該保護ガラス方向へ飛散する汚染物質を外部へ吹き飛ばすためのエアー噴出部を備えていることを特徴とするものである。
本発明によれば、コリメーションレンズと集光レンズとの間にウエッジ付ガラスを回転自在に備えた構成であるから、前記ウエッジ付ガラスはレーザ光のビーム径が大きな領域に配置してあり、ウエッジ付ガラスの損傷を効果的に防止することができるものである。そして、レーザ光における光軸の屈折偏心を行うウエッジ付ガラスは、一方の面が光軸に対して傾斜した構成であるので、レーザ光の光軸を、両面が平行なガラス板を光軸に対して傾斜した場合に比較して、大きく屈折偏心することができるものである。
また、ウエッジ付ガラスは傾斜ガラスに比べて重心に不均一は少なく、フレッチングの発生は少なく、ウエッジ付ガラスの表面コーティングの損傷やウエッジ付ガラスの破損を防止できる。
本発明の実施形態に係るレーザ加工ヘッドの構成を示す断面説明図である。 図1における主要部分の構成を拡大した拡大説明図である。 レーザ光の光路に対してウエッジ付ガラスを出入する構成を示す平面説明図である。 レーザ光の光路に対してウエッジ付ガラスを出入する構成を示す平面説明図である。 ウエッジ付ガラスと回転部材とを一体的に回転するための構成を示す平面説明図である。 従来のレーザ加工ヘッドの構成を示す説明図である。
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明するに、前述した従来の構成と同一機能を奏する構成要素には同一符号を付することとして重複した説明は省略する。
図1を参照するに、本発明の実施形態に係るレーザ加工ヘッド1は、前述した従来のレーザ加工ヘッドと同様に、産業用ロボット(図示省略)におけるロボットアームの先端部に備えられているものである。なお、前記ロボットアームに対するレーザ加工ヘッド1の取付け構造は一般的な構成であってよいものであるから、ロボットアームに対するレーザ加工ヘッド1の取付け構造についての説明は省略する。
前記レーザ加工ヘッド1には、ボックス本体29が備えられており、このボックス本体29の上側にはボルト等の固定具によって蓋部材31が取付けてある。そして、この蓋部材31の上部には筒状のレンズホルダ33が一体的に立設してあり、このレンズホルダ33の上端部には、光ファイバ35の端部を保持した光ファイバホルダ37が着脱可能に備えられている。そして、前記レンズホルダ33内には、前記光ファイバ35の出射端から出射されたレーザ光LBを平行光線化するコリメーションレンズ39が備えられている。
前記ボックス本体29における底部29Bの下面には、ボルト等のごとき固定具によって軸受ボックス41が一体的に取付けてあり、この軸受ボックス41内には、筒状の回転体43がレーザ光LBの光軸回りに回転自在に備えられている。この回転体43は、後述するように、モータによって回転駆動されるものである。
前記軸受ボックス41の下部にはボルト等のごとき固定具によってハウジングボックス45が一体的に備えられている。そして、このハウジングボックス45内には、前記コリメーションレンズ39によって平行光線化されたレーザ光LBを集光してワークWへ照射する集光レンズ47がレンズホルダ49を介して内装されている。
前記集光レンズ47によってレーザ光LBを集光してワークWに照射するとき、レーザ光LBの光軸を屈折偏心させると共に回転するために、従来の前記傾斜ガラス19に相当するウエッジ付ガラスが前記ボックス本体29内に備えられている。より詳細には、前記ボックス本体29は、図3に示すように、環状の周壁部51を備えた箱状に形成してある。そして、このボックス本体29の前記底部29Bであって、前記レーザ光LBの光軸に一致する部分に上下方向の貫通穴53が形成してあり、この貫通穴53の部分に、筒状の前記回転体43が回転自在に備えられている。
そして、前記回転体43の上端部には、前記ボックス本体29内において回転自在なリング板等のごとき回転部材55がボルト等のごとき固定具によって一体的に固定してある。したがって、前記回転部材55は回転体43の一部と見なすことができるものである。前記回転部材55には、図3に示すように、放射外方向へ突出した複数の突出部57が備えられており、上記各突出部57の間には凹部59が備えられている。そして、前記回転体43を回転駆動するために、レーザ加工ヘッド1の適宜位置に備えたモータ61の駆動プーリ63に掛回したエンドレスベルト65が前記回転体43に掛回してある。したがって、前記モータ61を駆動することにより、前記回転体43を回転駆動することができるものである。
前記ボックス本体29における前記蓋部材31には、モータなどのごとき回転用アクチュエータ67(図1参照)が装着してあり、この回転用アクチュエータ67における回動軸69(図3参照)には支持アーム71の基端部側が一体的に固定してある。前記支持アーム71の先端側は、前記回動軸69を回動することにより、前記回転部材55に対応した位置へ位置決め自在、かつ回転部材55に対応した位置から退避自在な構成である。
換言すれば、前記支持アーム71の先端側は、レーザ光LBの光路に対して出入自在な構成である。そして、前記支持アーム71の先端側に形成した貫通穴の部分に回転自在に支持されたリング状のガラスホルダ73には、前記レーザ光LBの光軸を屈折偏心させるためのウエッジ付ガラス75が備えられている。このウエッジ付ガラス75は、上面又は下面の一方の面は光軸に対して傾斜した面(ウエッジを付けた面)に形成してあり、他方の面は、光軸に垂直な平面に形成してある。
したがって、前記ウエッジ付ガラス75にレーザ光LBが入射されると、レーザ光LBの光軸は屈折偏心されるものである。よって、前記ウエッジ付ガラス75を回転すると、レーザ光LBの光軸は偏心回転されることになる。
図3に示すように、レーザ光LBの光路から前記ウエッジ付ガラス75が退避した位置、すなわち前記支持アーム71がストッパ77に当接し、前記ウエッジ付ガラス75が前記回転部材55から離反した位置にあるときは、前記コリメーションレンズ39によって平行光線化されたレーザ光LBは、前記回転部材55を通過して、前記集光レンズ47に直接入射される。したがって、光ファイバ35の出射端から出射されたレーザ光LBは、コリメーションレンズ39によって平行光線化されて直進し、前記集光レンズ47によって集光されてワークWへ照射される。よって、ワークWのレーザ切断加工が行われることになる。
図3に示すごとき状態から、支持アーム71を時計回り方向に回動して、支持アーム71の先端側をレーザ光LBの光路内に進入すると、支持アーム71の先端側に備えられたガラスホルダ73は前記回転部材55に重なるように位置決めされる(図4参照)。上述のように、前記回転部材55とガラスホルダ73とが重なるように位置決めしたとき、当該回転部材55とガラスホルダ73とを一体的に回転するために、前記ガラスホルダ73には、前記回転部材55に備えた前記凹部59に対して係合離脱自在な係合部材79が備えられている(図3,5参照)。
したがって、前記凹部59に前記係合部材79が係合した状態にあるときに、前記回転部材55を回転すると、係合部材79を介してガラスホルダ73が回転されることになる。よって、前記ガラスホルダ73に備えたウエッジ付ガラス75を透過することによって光軸が屈折偏心されたレーザ光LBは偏心回動されることになる。このように、レーザ光LBの光軸を屈折偏心させて、偏心回動することにより、ワークのレーザ溶接が容易に行われ得るものである。
ところで、前記回転部材55と前記係合部材79との位置的関係は相対的なものであるから、前記ガラスホルダ73に回転部材55を備えて、回転体43に係合部材79を備えた構成とすることも可能なものである。なお、前記説明においては、回転部材55に複数の突出部57を備えることによって凹部59を備えた場合について説明した。しかし、前記突出部57は1個であってもよいものである。この場合、前記係合部材79が突出部57に当接することによって一体的に押圧回転されることになるので、前記係合部材79は一種の当接部材又は被押圧部材と称することもできるものである。
前述のごとき説明より理解されるように、本実施形態に係るレーザ加工ヘッド1に備えられた支持アーム71の先端側は、レーザ光LBの光路に対して出入自在である。そして、この支持アーム71の先端側に、ウエッジ付ガラス75を回転自在に備えた構成であるから、本実施形態に係るレーザ加工ヘッド1は、レーザ切断加工とレーザ溶接の両方に使用することができるものである。そして、前記ウエッジ付ガラス75をレーザ光LBの光路に位置決めしたときには、コリメーションレンズ39と集光レンズ47との間であって、前記コリメーションレンズ39によってレーザ光LBが平行光線化された領域内であるから、レーザ光LBの径は大径である。
したがって、レーザ光LBがファイバーレーザであって高出力のレーザ光LBであっても、前記ウエッジ付ガラス75に入射されるレーザ光LBは大径であってエネルギー密度は小さなものであり、ウエッジ付ガラス75を損傷するようなことがないものである。また、コリメーションレンズ39によって平行光線化されたレーザ光LB内の領域であっても、ウエッジ付ガラス75は両面が非平行なガラスであるから、レーザ光LBの光軸を効果的に屈折偏心させることができるものである。また、ウエッジ付ガラスは傾斜ガラスに比べて重心の不均一は少なく、フレッチングの発生は少なく、ウエッジ付ガラスの表面コーティングの損傷やウエッジ付ガラスの破損を防止できる。
前記レーザ加工ヘッド1において、前記ハウジングボックス45の側面にはレーザ加工位置の撮像を行うCCDカメラ等のごとき撮像手段81が備えられている。そして、前記ハウジングボックス内において前記集光レンズ47より下方位置であって、前記CCDカメラ81に対応した位置には、ワークWのレーザ加工位置からの光を前記CCDカメラ81方向へ反射する反射鏡83が備えられている。上記反射鏡83は、レーザ光LBの光路に対して出入自在に備えられている。
すなわち、前記ハウジングボックス45には、レーザ光LBの光軸に対して直交する方向(図1,2において紙面に対して垂直な方向)であって、前記ハウジングボックス45に対して出入自在なミラー出入用スライダ85が備えられており、このミラー出入用スライダ85に前記反射鏡83が傾斜して備えられている。なお、前記ミラー出入用スライダ85は、例えばリニアモータ、流体圧シリンダなどのごとき適宜のリニアアクチュエータ(図示省略)の作動によって往復動されるものである。
上記構成より理解されるように、前記反射鏡83は、ワークWへレーザ光LBを照射してレーザ加工を行うときには、レーザ光LBの光路から退避されている。そして、前記CCDカメラ81によって加工位置を撮像するときに、前記CCDカメラ81に対応するように、レーザ光LBの光路内に移動位置決めされるものである。したがって、レーザ光LBを照射してレーザ加工を行った部分を、CCDカメラ81によって撮像することができ、レーザ加工を行った後のレーザ加工状態を観察することができるものである。
前記ハウジングボックス45の下側には、前記CCDカメラ81による撮像位置を照明する照明手段87が備えられている。そして、この照明手段87の下側には、レーザ光LBの照射位置から飛散するスパッタ等から前記集光レンズ47を保護する保護ガラス89が備えられている。より詳細には、前記ハウジングボックス45の下面には、環状の照明ハウジング91がボルト等のごとき固定具によって一体的に取付けられている。
前記照明ハウジング91内には、例えばLEDなどのごとき複数の点光源93を同一円上に備えたリング状光源95が備えられている。そして、前記各点光源93から中心に向かって照射される照明光が前記反射鏡83へ直接入射することを防止するために、前記照明ハウジング91には遮光部材97が備えられている。上記遮光部材97は、下側が小径となるテーパ状の筒体に形成してあって前記リング状光源95の内側に備えられている。
筒状の前記遮光部材97の下端部は前記各点光源93よりも下側に位置してある。そして、前記遮光部材97の外周面には、前記点光源93からの照明光をレーザ加工ヘッドの先端側(図1,2において下方向)へ反射する環状の光反射面99が備えられている。したがって、各点光源93からの照明光は、遮光部材97の光反射面99によって下方向(レーザ加工ヘッドの先端側)のみへ反射されるものである。
前記保護ガラス89は、前記照明ハウジング91の下面に着脱可能に備えられたリング状のガラスホルダ101に保持され、かつ前記遮光部材97の下端部に近接して配置されている。そして、前記ガラスホルダ101には、前記保護ガラス89の汚れを検出するための汚れ検出手段としての光ファイバ103が備えられている。
したがって、前記各点光源93からの照明光が保護ガラス89へ照射され、保護ガラス89に付着している汚れ物質の部分において反射されると、保護ガラス89内を伝搬して前記光ファイバ103の端部に入射されることになる。よって、保護ガラス89に対する汚れ物質の付着量が多くなり、前記光ファイバ103に接続した光センサの検出値が予め設定した基準値より大きくなると、保護ガラス89の交換が行われるものである。
既に理解されるように、前記CCDカメラ81によって加工位置を撮像すべく、各点光源93によって加工位置を照明すると、加工位置からの反射光は、光路中に位置決めされている反射鏡83によってCCDカメラ81方向へ反射され、加工位置の撮像が行われることになる。この際、各点光源93からの照射光は遮光部材97の外周面に備えた環状の光反射面99によって下方向へ反射され、前記保護ガラス89を透過してワークWの加工位置へ照射されることになる。
上述のように、ワークWの加工位置を照明するとき、照明光の一部は前記保護ガラス89の上面でもって反射される。しかし、前記遮光部材97の下端部(先端部)と前記保護ガラス89は近接してあるので、前記保護ガラス89の上面での反射光が前記反射鏡83へ入射されることが抑制される。したがって、CCDカメラ81による撮像時に、保護ガラス89の上面での反射光が入射されて、画面が白くぼやける現象、すなわちハレーションを防止でき、ワークWの加工位置を鮮明に撮像することができるものである。
前述のごとく、ワークWの加工位置を照明する際、各点光源93の照明光が保護ガラス89を透過するとき、保護ガラス89にスパッタ等の汚れ物質が付着していると、この汚れ物質部分で乱反射された反射光の一部が保護ガラス89内を伝搬し、光ファイバ103の端部に入射されることにより、保護ガラス89の汚れを検出することができるものである。
レーザ加工位置から飛散するスパッタ等の汚れ物質が前記保護ガラス89に付着することを防止するために、前記保護ガラス89の下側には、保護ガラス89に付着する傾向にある汚染物質を吹き飛ばすためのエアー噴出ハウジング105(図1参照)が備えられており、エアー噴出ハウジング105の下部に、レーザノズル107が着脱交換可能に備えられている。
より詳細には、前記エアー噴出ハウジング105は、例えばボルト等のごとき取付具を介してレーザ加工ヘッド1に備えられているものであり、このエアー噴出ハウジング105は、レーザ光LBの光軸に対して直交する方向(図1において右側方向)に開口した開口部109を備えた構成である。そして、前記エアー噴出ハウジング105の下部には、ワークWの加工部から前記集光レンズ47方向へ飛散する汚染物質を、前記開口部109に沿って外部へ吹き飛ばすためのエアー噴出部111が備えられている。
したがって、レーザ光LBをワークWへ照射してレーザ加工を行うとき、レーザ加工位置から集光レンズ47方向へ飛散したスパッタ等の汚染物質は、エアー噴出部111から吹出されるエアーによって外部へ吹き飛ばされる。よって、保護ガラス89に付着する汚染物質を抑制することができるものである。
前記説明より理解されるように、前記構成によれば、レーザ加工ヘッド1に備えたCCDカメラ81によってレーザ加工位置を撮像する際、各点光源93によって前記レーザ加工位置を照明するとき、保護ガラス89からの反射光によってハレーションを生じることが防止され、レーザ加工位置を鮮明に撮像することができるものである。また、前記構成によれば、保護ガラス89の汚れを検出することができると共に、保護ガラス89に対する汚れ物質の付着を抑制することができるものである。
1 レーザ加工ヘッド
35 光ファイバ
39 コリメーションレンズ
43 回転体
47 集光レンズ
55 回転部材
57 突出部
59 凹部
71 支持アーム
73 ガラスホルダ
75 ウエッジ付ガラス
79 係合部材(当接部材、被押圧部材)
81 撮像手段(CCDカメラ)
83 反射鏡
85 ミラー出入用スライダ
87 照明手段
89 保護ガラス
91 照明ハウジング
93 点光源(LED)
95 リング状光源
97 遮光部材
99 光反射面
101 ガラスホルダ
103 汚れ検出手段(光ファイバ)
105 エアー噴出ハウジング
109 開口部
111 エアー噴出部

Claims (6)

  1. 光ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するコリメーションレンズと、平行光線化されたレーザ光を集光してワークへ照射する集光レンズとを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記コリメーションレンズと集光レンズとの間に、一方の面にウエッジを付けたウエッジ付ガラスを回転自在に備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
  2. 請求項1に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、レーザ光の光路に対して先端側が出入自在な支持アームを備え、この支持アームの前記先端側に回転自在に備えたガラスホルダに、前記ウエッジ付ガラスを備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
  3. 請求項2に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記コリメーションレンズと集光レンズとの間であってレーザ光の光路に対応して回転自在に備えた筒状の回転体又は前記ガラスホルダの一方に放射外方へ突出した突出部を備え、前記ガラスホルダ又は前記回転体の他方に、前記突出部に当接して一体的に回転される当接部材を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
  4. 請求項1,2又は3に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記集光レンズを間にして前記コリメーションレンズの反対側に、前記集光レンズを保護するための保護ガラスを備え、前記保護ガラスを透過してレーザ加工位置を照明するリング状の照明手段を備え、当該保護ガラスの上方に備えた撮像手段への前記照明光の直接入射を防止するために、リング状の前記照明手段の内側に、照明光をレーザ加工ヘッドの先端方向へ反射する反射筒体を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
  5. 請求項4に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記集光レンズと前記保護ガラスとの間の高さ位置であってレーザ光の光路から離反した位置に前記撮像手段を備え、レーザ加工位置からの光を前記撮像手段方向へ反射する反射鏡を、レーザ光の光路に対して出入自在に備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
  6. 請求項4又は5に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記保護ガラスの下側に、当該保護ガラス方向へ飛散する汚染物質を外部へ吹き飛ばすためのエアー噴出部を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
JP2012193809A 2012-09-04 2012-09-04 レーザ加工ヘッド Active JP6159513B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012193809A JP6159513B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 レーザ加工ヘッド
PCT/JP2013/072533 WO2014038395A1 (ja) 2012-09-04 2013-08-23 レーザ加工ヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012193809A JP6159513B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 レーザ加工ヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014046361A true JP2014046361A (ja) 2014-03-17
JP6159513B2 JP6159513B2 (ja) 2017-07-05

Family

ID=50237008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012193809A Active JP6159513B2 (ja) 2012-09-04 2012-09-04 レーザ加工ヘッド

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6159513B2 (ja)
WO (1) WO2014038395A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018139019A1 (ja) * 2017-01-25 2018-08-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工ヘッド及びそれを用いたレーザ加工装置
JP2020199546A (ja) * 2019-06-13 2020-12-17 株式会社アマダ レーザ溶接機

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015101263B4 (de) 2015-01-28 2016-12-15 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlung

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263273A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Amada Co Ltd Yagレーザ加工機のティーチング方法及びその装置
JP2001247321A (ja) * 2000-03-06 2001-09-11 Japan Aviation Electronics Industry Ltd レーザー光によるガラス接合方法および装置
JP2002248592A (ja) * 2001-02-22 2002-09-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置
JP2004136307A (ja) * 2002-10-16 2004-05-13 Toshiba Corp レーザ加工方法とレーザ加工装置
JP2005111498A (ja) * 2003-10-03 2005-04-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法
JP2007020342A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Shibuya Kogyo Co Ltd 同軸ケーブル処理方法およびその装置
JP2008000801A (ja) * 2006-06-23 2008-01-10 Tokyu Car Corp レーザ加工装置
JP2010096788A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Nikon Corp 透過型光学素子、レーザー発振器及びレーザー加工機
US20110255088A1 (en) * 2010-04-16 2011-10-20 Metal Improvement Company Llc Polarization compensated beam splitter and diagnostic system for high power laser systems

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263273A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Amada Co Ltd Yagレーザ加工機のティーチング方法及びその装置
JP2001247321A (ja) * 2000-03-06 2001-09-11 Japan Aviation Electronics Industry Ltd レーザー光によるガラス接合方法および装置
JP2002248592A (ja) * 2001-02-22 2002-09-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置
JP2004136307A (ja) * 2002-10-16 2004-05-13 Toshiba Corp レーザ加工方法とレーザ加工装置
JP2005111498A (ja) * 2003-10-03 2005-04-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法
JP2007020342A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Shibuya Kogyo Co Ltd 同軸ケーブル処理方法およびその装置
JP2008000801A (ja) * 2006-06-23 2008-01-10 Tokyu Car Corp レーザ加工装置
JP2010096788A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Nikon Corp 透過型光学素子、レーザー発振器及びレーザー加工機
US20110255088A1 (en) * 2010-04-16 2011-10-20 Metal Improvement Company Llc Polarization compensated beam splitter and diagnostic system for high power laser systems

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018139019A1 (ja) * 2017-01-25 2018-08-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工ヘッド及びそれを用いたレーザ加工装置
CN110198804A (zh) * 2017-01-25 2019-09-03 松下知识产权经营株式会社 激光加工头以及使用其的激光加工装置
JPWO2018139019A1 (ja) * 2017-01-25 2019-11-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工ヘッド及びそれを用いたレーザ加工装置
CN110198804B (zh) * 2017-01-25 2020-12-08 松下知识产权经营株式会社 激光加工头以及使用其的激光加工装置
JP2020199546A (ja) * 2019-06-13 2020-12-17 株式会社アマダ レーザ溶接機

Also Published As

Publication number Publication date
JP6159513B2 (ja) 2017-07-05
WO2014038395A1 (ja) 2014-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5997965B2 (ja) レーザ加工ヘッド
CN106029290B (zh) 激光加工系统
US9541506B2 (en) Container inspection arrangement for inspecting glass and/or plastic containers and a method of inspecting glass and/or plastic containers
JP2007147583A5 (ja)
KR101473567B1 (ko) 광학식 입자 검출 장치 및 입자 검출 방법
JP6159513B2 (ja) レーザ加工ヘッド
JP4633499B2 (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
JP2010112803A5 (ja)
JP6895613B2 (ja) レーザ加工ヘッド及びそれを用いたレーザ加工装置
JP6122347B2 (ja) 保護ガラスの汚れ検出方法及びレーザ加工ヘッド
JP2007309696A (ja) 表面検査ヘッド装置
JP7007576B2 (ja) レーザ加工装置
JP6018835B2 (ja) レーザ加工ヘッド
JP2016161317A (ja) 検査装置
JP6157245B2 (ja) レーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法
JP2009103462A (ja) 観察装置
JP2007315805A (ja) 表面検査装置
JP6839916B2 (ja) 内面検査システムおよびその光学系
JP5371534B2 (ja) レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP4584566B2 (ja) 研削装置用撮像装置
JP6076919B2 (ja) レーザー用はんだ付けヘッド
JP2016196029A (ja) レーザ加工ヘッド
WO2020235578A1 (ja) 検査システム
JPH05323198A (ja) 照明装置
JP2000301373A (ja) 加工点照明装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150729

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160621

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160805

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170410

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170612

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6159513

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350