JP2014039991A - 直圧式ブラスト加工装置における噴射粒体供給方法及び直圧式ブラスト加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加圧タンク11と,前記加圧タンク11内の粒体が導入される粒体加速路12と,前記粒体加速路12と噴射ノズル40とを連通する粒体供給管13と,前記加圧タンク11及び前記粒体加速路12に圧縮気体2を導入する圧縮気体供給源(図示せず)を備えた直圧式のブラスト加工装置1において,前記加圧タンク11及び粒体加速路12に導入する圧縮気体の圧力を,所定の圧力差以上で繰り返し変動させる。この圧力変動により,粒体間の隙間に存在する気体が圧縮,膨張を繰り返して,粒体の凝集が防止されて流動性が確保される。
【選択図】図2
Description
前記加圧タンク11及び粒体加速路12に導入する圧縮気体の圧力を,所定の圧力差以上で繰り返し変動させることを特徴とする(請求項1)。
前記加圧タンク11及び粒体加速路12に対する圧縮気体の導入中,
前記下側バルブ23を閉じ,上側バルブ24が開いた前記粒体補充源(サイクロン)22からの粒体が前記バッファー室21内に導入されている状態(図7のT1参照)から,
前記上側バルブ24を閉じ,前記バッファー室給排気手段25により前記バッファー室21内に圧縮気体を導入して加圧した後(図7のT2),
前記下側バルブ23を開いて前記バッファー室21内の粒体を前記加圧タンク11内に落下させ(図7のT3),
その後,前記下側バルブ23を再び閉じ,前記バッファー室給排気手段25により前記バッファー室21内の圧縮気体を放気した後(図7のT4),
前記上側バルブ24を開放して前記バッファー室21内に前記粒体補充源22内の粒体を導入する(図7のT1),前記一連の動作を繰り返すことにより,加圧タンク11に対して粒体を連続して導入することができる(請求項5)。
前記加圧タンク11及び粒体加速路12に導入する圧縮気体の圧力を,所定の圧力差以上で繰り返し変動させる圧力変動手段(図示せず)を設けたことを特徴とする(請求項6)。
前記加圧タンク11及び粒体加速路12に対する圧縮気体の導入中,前記上側及び下側バルブ23,24及びバッファー室給排気手段25の動作を制御して,
前記下側バルブ23を閉じ,上側バルブ24が開いた状態から,
前記上側バルブ24を閉じ,前記バッファー室給排気手段25により前記バッファー室21内に圧縮気体を導入して加圧させた後,
前記下側バルブ23を開いて前記バッファー室21内の粒体を前記加圧タンク11内に落下させ,
その後,前記下側バルブ23を再び閉じ,前記バッファー室給排気手段25により前記バッファー室21内の圧縮気体を放気させた後,
前記上側バルブ24を開放して前記バッファー室21内に前記粒体補充源22内の粒体を導入する,前記一連の動作を繰り返させる,マイクロコントローラ等の電子制御装置から成る制御手段26を設けた構成としても良い(請求項8)。
〔加工例1〕
使用粒体:アルミナ#5000(平均粒径:3μm)
使用圧縮気体:高圧エアー
圧力1:0.23MPaと0.28MPaの圧力を1秒サイクルで変動させた
圧力2:0.2MPa
粉体供給量:30g/min
加工基板:シリコンウェハー
使用ドライフィルム:NCM155(ニチゴー・モートン株式会社製)
ノズル移動速度:8m/min
ノズル移動幅200mm
ノズル距離:100mm
ノズル口径:φ8mm
コンベア移動速度:20mm/min
コンベアパス数:8パス
切削加工深さ30μm
使用粒体:平均粒径1.8μmの銅粉末(エプソンアトミックス製超微細Cu粉PF-1F)
使用圧縮気体:窒素ガス
ガス圧1:0.23MPaと0.26MPaの圧力を0.7秒サイクルで変動させる
ガス圧2:0.2MPa
粒体供給量:120g/min
加工基板:アルミナ
使用ドライフィルム:NCM155(ニチゴー・モートン株式会社製)
ノズル移動速度:8m/min
ノズル移動幅200mm
ノズル距離:10mm
ノズル口径:1mmスリット30mm幅のスリットノズル
コンベア移動速度:5mm/min
コンベアパス数:1パス
銅厚み:約6μm
使用粒体:平均粒径2.5μmガラスフリット(旭硝子製ASF-6001)
使用圧縮気体:高圧エアー
圧力1:0.23MPaと0.28MPaの圧力を0.5秒サイクルで変動させる
圧力2:0.2MPa
粒体供給量:120g/min
加工基板:ステンレス
使用ドライフィルム:NCM155(ニチゴー・モートン株式会社製)
ノズル移動速度:8m/min
ノズル移動幅200mm
ノズル距離:10mm
ノズル口径:1mmスリット30mm幅のスリットノズル
ノズル往復:30往復
ガラス厚み:約10μm
「圧力1」は,加圧タンク11及び粒体加速路12に導入した粒体加圧用の圧縮気体(図1,2中の符号「2」)の圧力であり,「圧力2」は,粒体供給管13の一端に導入した粒体搬送用の圧縮気体(図1,2中の符号「3」)の圧力である。
2 圧縮気体 (粒体加圧用)
3 圧縮気体(粒体搬送用)
10 粒体供給装置
11 加圧タンク
11a 出口
12 粒体加速路(スリット)
13 粒体供給管
13a 一端(粒体供給管の)
13b 他端(粒体供給管の)
14 定量供給装置
14a 導入路
14b ローラ室
141 ケーシング
142 ローラ
20 粒体補充手段
21 バッファー室
22 サイクロン(粒体補充源)
23 下側バルブ
24 上側バルブ
25 バッファー室給排気手段
26 制御手段
27 ダンプバルブ
28 バイブレータ
29 粒体タンク
30 加工室
33 ホッパ
37 粒体回収管
38 集塵機
39 コンベア
40 噴射ノズル
P 粒体
S 隙間
200 (直圧式)ブラスト加工装置
210 粒体供給装置
211 加圧タンク
212 粒体加速路
212a 粒体導入孔
212’ 一端(粒体加速路の)
212b 他端(粒体加速路の)
213 粒体供給管
222 サイクロン
227 ダンプバルブ
230 加工室
233 ホッパ
237 粒体回収管
238 集塵機
240 噴射ノズル
Claims (8)
- 加圧タンクと,前記加圧タンク内の粒体が導入される粒体加速路と,前記粒体加速路と噴射ノズルとを連通する粒体供給管と,前記加圧タンク及び前記粒体加速路に圧縮気体を導入する圧縮気体供給源を備えた直圧式のブラスト加工装置において,
前記加圧タンク及び粒体加速路に導入する圧縮気体の圧力を,所定の圧力差以上で繰り返し変動させることを特徴とする直圧式ブラスト加工装置における粒体の供給方法。 - 前記所定の圧力差を,0.03MPa以上とすることを特徴とする請求項1記載の直圧式ブラスト加工装置における粒体供給方法。
- 前記圧力変動を,1秒以下の間隔で行うことを特徴とする請求項1又は2記載の直圧式ブラスト加工装置における粒体供給方法。
- 外周面上に粒体捕集用の溝乃至は孔が所定のパターンで形成されたローラの前記外周面の一部を,前記加圧タンク内の粒体層又は前記加圧タンクより押し出された粒体層と接触するように配置すると共に,前記ローラの外周面の回転軌跡上に,該ローラの外周面に対する接線方向を長さ方向とするスリット状の前記粒体加速路を形成し,前記ローラの回転によって前記粒体加速路内に前記ローラの外周面に捕集された粒体を定量ずつ導入することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の直圧式ブラスト加工装置1における粒体供給方法。
- 前記加圧タンク上に連通されたバッファー室と,前記バッファー室上に連通された粒体補充源を設ける共に,前記加圧タンクと前記バッファー室間を開閉する下側バルブと,前記バッファー室と粒体補充源間を開閉する上側バルブと,前記バッファー室内の加圧及び排気を行うバッファー室給排気手段を設け,
前記加圧タンク及び粒体加速路に対する圧縮気体の導入中,
前記下側バルブを閉じ,上側バルブが開いた前記粒体補充源からの粒体が前記バッファー室内に導入されている状態から,
前記上側バルブを閉じ,前記バッファー室給排気手段により前記バッファー室内に圧縮気体を導入して加圧した後,
前記下側バルブを開いて前記バッファー室内の粒体を前記加圧タンク内に落下させ,
その後,前記下側バルブを再び閉じ,前記バッファー室給排気手段により前記バッファー室内の圧縮気体を放気した後,
前記上側バルブを開放して前記バッファー室内に前記粒体補充源内の粒体を導入する,前記一連の動作を繰り返すことにより,加圧タンクに対して粒体を連続して導入することを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の直圧式ブラスト加工装置における粒体供給方法。 - 加圧タンクと,前記加圧タンク内の粒体が導入される粒体加速路と,前記粒体加速路と噴射ノズルとを連通すると粒体供給管と,前記加圧タンク及び前記粒体加速路に圧縮気体を導入する圧縮気体供給源を備えたブラスト加工装置において,
前記加圧タンク及び粒体加速路に導入する圧縮気体の圧力を,所定の圧力差以上で繰り返し変動させる圧力変動手段を設けたことを特徴とする直圧式ブラスト加工装置。 - 前記加圧タンクの出口に連通する導入路と,前記導入路と連通する円形のローラ室と,前記ローラ室の外周に対する接線方向に伸びる前記ローラ室と連通したスリット状の前記粒体加速路が内部に形成されたケーシングと,外周面上に粒体捕集用の溝乃至は孔が所定のパターンで形成され,前記ローラ室内で回転するローラを備えた定量供給装置を前記加圧タンクと前記粒体供給管の間に設けたことを特徴とする請求項6記載の直圧式ブラスト加工装置。
- 前記加圧タンク上に連通されたバッファー室と,前記バッファー室上に連通された粒体補充源を設けると共に,前記加圧タンクと前記バッファー室間を開閉する下側バルブと,前記バッファー室と粒体補充源間を開閉する上側バルブと,前記バッファー室内の加圧及び排気を行うバッファー室給排気手段を設け,
前記加圧タンク及び粒体加速路に対する圧縮気体の導入中,前記上側及び下側バルブ及びバッファー室給排気手段の作を制御して,
前記下側バルブを閉じ,上側バルブが開いた状態から,
前記上側バルブを閉じ,前記バッファー室給排気手段により前記バッファー室内に圧縮気体を導入して加圧させた後,
前記下側バルブを開いて前記バッファー室内の粒体を前記加圧タンク内に落下させ,
その後,前記下側バルブを再び閉じ,前記バッファー室給排気手段により前記バッファー室内の圧縮気体を放気させた後,
前記上側バルブを開放して前記バッファー室内に前記粒体補充源内の粒体を導入する,前記一連の動作を繰り返させる制御手段を設けたことを特徴とする請求項6又は7記載の直圧式ブラスト加工装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105881225A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-08-24 | 广州城建职业学院 | 一种微粉砂料压力喷砂装置 |
WO2020067536A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 新東工業株式会社 | ブラスト加工装置及びブラスト加工方法 |
WO2020158305A1 (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-06 | 新東工業株式会社 | スラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI580493B (zh) * | 2015-11-23 | 2017-05-01 | 李俊昊 | 噴丸成型裝置 |
CN110524436A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-12-03 | 国通净美科技服务有限公司 | 一种喷砂装置及清洗系统 |
CN115431184A (zh) * | 2022-09-30 | 2022-12-06 | 浙江永康鼎源信息技术有限责任公司 | 一种五金工件的喷砂抛光机 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5407379A (en) * | 1994-04-18 | 1995-04-18 | Church & Dwight Co., Inc. | Differential pressure metering and dispensing system for abrasive media |
JP2000326230A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Fuji Seisakusho:Kk | ブラスト加工における研磨材供給方法および装置 |
JP2001252872A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Sinto Brator Co Ltd | 投射材の定量供給装置 |
EP1403000A1 (fr) * | 2002-09-27 | 2004-03-31 | Distribution maintenance materiels de voirie | Dispositif de nettoyage par projection d'un melange poudre/gaz sous pression régulée |
JP2004154894A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Shinji Kanda | サンドブラスト加工における研磨材供給方法および装置 |
JP2005288618A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sinto Brator Co Ltd | 粉体定量供給方法 |
JP2009078334A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Sintokogio Ltd | 直圧式連続噴射エアブラスト研掃装置 |
EP2177317A1 (de) * | 2008-10-14 | 2010-04-21 | HRV Engineering GmbH | Abrasivförderer |
-
2012
- 2012-08-23 JP JP2012184612A patent/JP5854402B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-23 TW TW102126188A patent/TWI577504B/zh active
- 2013-08-16 WO PCT/JP2013/072006 patent/WO2014030595A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5407379A (en) * | 1994-04-18 | 1995-04-18 | Church & Dwight Co., Inc. | Differential pressure metering and dispensing system for abrasive media |
JP2000326230A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Fuji Seisakusho:Kk | ブラスト加工における研磨材供給方法および装置 |
JP2001252872A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Sinto Brator Co Ltd | 投射材の定量供給装置 |
EP1403000A1 (fr) * | 2002-09-27 | 2004-03-31 | Distribution maintenance materiels de voirie | Dispositif de nettoyage par projection d'un melange poudre/gaz sous pression régulée |
JP2004154894A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Shinji Kanda | サンドブラスト加工における研磨材供給方法および装置 |
JP2005288618A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sinto Brator Co Ltd | 粉体定量供給方法 |
JP2009078334A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Sintokogio Ltd | 直圧式連続噴射エアブラスト研掃装置 |
EP2177317A1 (de) * | 2008-10-14 | 2010-04-21 | HRV Engineering GmbH | Abrasivförderer |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105881225A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-08-24 | 广州城建职业学院 | 一种微粉砂料压力喷砂装置 |
WO2020067536A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 新東工業株式会社 | ブラスト加工装置及びブラスト加工方法 |
JP2020049598A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 新東工業株式会社 | ブラスト加工装置及びブラスト加工方法 |
JP7031548B2 (ja) | 2018-09-27 | 2022-03-08 | 新東工業株式会社 | ブラスト加工装置及びブラスト加工方法 |
WO2020158305A1 (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-06 | 新東工業株式会社 | スラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法 |
JP2020124761A (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-20 | 新東工業株式会社 | スラリー供給装置、湿式ブラスト加工装置及びスラリー供給方法 |
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