JP2014034474A - 多結晶シリコンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン析出工程より得られる排出ガスを活性炭と接触させて処理した後の処理ガス、及び/又は、該処理ガスより分離された水素をルイス酸性化合物と接触させて効率的にリン及びリン化合物を除去する。
【選択図】なし
Description
本発明の多結晶シリコンの製造方法において、シリコンを生成させる方法は特に限定されるものではないが、高純度の多結晶シリコンを生成させる方法において本発明の効果がより発揮される。
(転化反応工程)
本発明における転化反応工程とは、上記排出ガスを活性炭と接触させて、上記排出ガスに含まれる塩化水素と析出反応後クロロシラン類とを反応させて、析出反応後クロロシラン類の少なくとも一部を塩素化する工程のことをいう。即ち、上記転化反応工程により塩化水素を効率よく除去することは、排出ガスの廃棄に際し中和処理が不要となるため、非常に経済的である。
SiH2Cl2 + HCl → SiHCl3 + H2
SiH2Cl2 + 2HCl → SiCl4 + 2H2
となる。
Si2HCl5 + HCl → 2SiHCl3
Si2Cl6 + HCl → SiHCl3 + SiCl4
等の反応がある。
(水素の分離)
一方、本発明において、上記転化反応工程より得られる処理ガスには、水素の他に、トリクロロシランやテトラクロロシラン等、転化反応工程より得られるクロロシラン類(以下、転化反応後クロロシラン類という)が多く含まれる。上記転化反応後の処理ガスから水素を分離除去する方法は、公知の方法が制限なく採用できる。例えば−10℃以下に冷却して転化反応後クロロシラン類を凝縮液化させ水素と分離する方法があげられる。
(水素循環工程)
上記分離された水素は、シリコン析出工程に好適に循環再利用される。上記シリコン析出工程に供給する方法は、公知の手段が好適に用いられ、例えば圧縮機によって循環させる方法がある。圧縮機としては、ターボ圧縮機、容積圧縮機などがあげられる。
(ルイス酸性化合物との接触)
以下、本発明の最も特徴とするところであるが、上記転化反応工程より得られる処理ガスをルイス酸性化合物に接触させ、該処理ガス中に含まれる活性炭由来のリン及びリン化合物を効率よく除去する。
実施例1
内径27mm、長さ100mmのステンレス製容器に、最大ピークを示す細孔半径(R)が1.2×10−9m、比表面積が1300m2/g、平均粒径が3mmの粒状活性炭を10g充填した。なお、活性炭充填層の温度を測定するために、ステンレス製容器内に熱電対を挿入した。まず、活性炭に吸着している水分を除去するために、活性炭充填層温度を150℃に加熱し、窒素を10時間流通させて乾燥した。その後、容器内を水素で置換しながら、30℃まで冷却した。容器内の水素置換を終えた後、塩化水素とジクロロシランを1.5mol%ずつ含有する水素を、圧力1kPaG、流速320Nml/minで流通させた。このとき、活性炭充填層の温度は、活性炭への吸着熱、および塩化水素とジクロロシランの反応熱によって、60℃程度にまで上昇した。
実施例2
実施例1のCuSO4を10wt%添着したシリカゲルを充填した充填層温度を30℃とした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
実施例3
実施例1のCuSO4を10wt%添着したシリカゲルを充填した充填層温度を150℃とした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
実施例4
実施例1のリン濃度2000ppb−wtのガスの流速を3.2Nl/minとした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
実施例5
実施例4の充填物を、NiSO4を10wt%添着したシリカゲルに代えて、その他の条件は実施例4と同様にシリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
実施例6
実施例4の充填物を、Al2(SO4)3を10wt%添着したシリカゲルに代えて、その他の条件は実施例4と同様にシリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
比較例1
実施例の充填物を、平均粒径3mm、細孔容積0.80ml/g、比表面積450m2/gのシリカゲルとした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
比較例2
実施例1の充填物を、平均粒径3mm、細孔容積0.35ml/g、比表面積250m2/gの活性アルミナとした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
比較例3
実施例1の充填物を充填したステンレス容器を、空容器とした他は実施例1と同様に操作し、シリコンロッドの表面に多結晶シリコンを析出させた。析出した多結晶シリコン中のリン濃度を表1に示す。
Claims (4)
- 水素とクロロシラン類とを含む原料ガスを反応させてシリコンを生成させるシリコン析出工程、該シリコン析出工程より排出される、水素、塩化水素、析出反応後のクロロシラン類(以下、析出反応後クロロシラン類という)を含む排出ガスを活性炭と接触させて、該排出ガス中に含まれる塩化水素と析出反応後クロロシラン類を反応させる転化反応工程、及び、該転化反応工程より得られる水素と転化反応後のクロロシラン類(以下、転化反応後クロロシラン類という)を含む処理ガスより水素を分離して前記シリコン析出工程に原料ガスの一部として循環する水素循環工程を含む多結晶シリコンの製造方法において、
上記転化反応工程より得られる水素と転化反応後クロロシラン類を含む処理ガス、及び/又は、水素循環工程の水素をルイス酸性化合物と接触させることを特徴とする多結晶シリコンの製造方法。 - 該ルイス酸性化合物がCuSO4であることを特徴とする請求項1記載の多結晶シリコンの製造方法。
- 該ルイス酸性化合物が基材に添着した状態であることを特徴とする請求項1又は2に記載の多結晶シリコンの製造方法。
- 上記ルイス酸性化合物を添着した基材が表面にシラノール基を有するものであって、転化反応工程より得られる処理ガス、及び/又は、循環工程の水素を接触させる前に、予め、クロロシラン類を含んだ不活性ガスに接触させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の多結晶シリコンの製造方法。
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