JP2013539502A5 - - Google Patents

Description

表２は表面水和生成物の膜応力への寄与への中心金属イオンに関する体積変化の影響に注目している。モル体積変化におけるほぼ１５％以下に対応する狭い帯域が気密化に有効な圧縮力に寄与することが見いだされた。実施形態において、第２の無機層のモル体積は第１の無機層のモル体積より−１％から１５％（すなわち、−１，０，１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４または１５％）大きい。得られる自己封止挙動（すなわち気密性）は体積膨張に関係すると思われる。

表３は、気密膜形成無機酸化物が必ず、与えられた元素対に対し、形成のギブスの自由エネルギーに反映されるように、熱力学的安定性が最も低い酸化物であったことを示す。このことは、被着されたままの無機酸化物膜が準安定であり、したがって加水分解または酸化に向かう反応をおこすことを示唆する。

Claims (3)

1. 基板を覆って形成された、初期厚を有する第１の無機層、及び
   前記第１の無機層と連接する第２の無機層、
   を含む気密薄膜であって、
   前記第１の無機層及び前記第２の無機層が実質的に等価な元素成分を含み、
   前記第２の無機層のモル体積が前記第１の無機層のモル体積より−１％から１５％大きく、
   前記第２の無機層の平衡厚が前記第１の無機層の前記初期厚の少なくとも１０％であって、かつ、前記第１の無機層の前記初期厚よりは薄く、
   前記第１の無機層を構成する材料と前記第２の無機層を構成する材料が、ＣｕＯとパラメラコナイトの組合せであることを特徴とする気密薄膜。
2. 前記第１の無機層が非晶質であることを特徴とする請求項１に記載の気密薄膜。
3. 前記第２の無機層が結晶質であることを特徴とする請求項１に記載の気密薄膜。