JP2013525146A5 - - Google Patents

Description

加工製品を気密封止する方法は、基体上に加工製品を支持する工程、多層気密シートを形成する工程、および気密シートを加工製品上に、加工製品の周囲の基体の領域において基体と直接的または間接的いずれかで気密接触して配置することによって、加工製品を被包する工程を有してなる。

Claims (19)

1. 多層気密シートにおいて、
   第１のキャリアフイルム、
   対応する第１と第２の主面を有する無機薄膜、および
   第２のキャリアフイルム、
   を備え、前記無機薄膜の第１の主面が前記第１のキャリアフイルムの表面上に形成され、前記第２のキャリアフイルムが前記無機薄膜の第２の主面上に形成されていることを特徴とする気密シート。
2. 支持されていないことを特徴とする請求項１記載の気密シート。
3. 前記無機薄膜が前記気密シートの中立応力面に配置されていることを特徴とする請求項１記載の気密シート。
4. 前記無機薄膜が前記気密シートの圧縮応力面に配置されていることを特徴とする請求項１記載の気密シート。
5. 前記第１のキャリアフイルムがポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレートまたはポリジメチルシロキサンからなり、前記第２のキャリアフイルムがポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレートまたはポリジメチルシロキサンからなることを特徴とする請求項１記載の気密シート。
6. 加工製品を被包する方法において、
   基体上に加工製品を支持する工程、
   多層気密シートであって、
   第１のキャリアフイルムと、
   対向する第１と第２の主面を有する無機薄膜と、
   第２のキャリアフイルムと、
   を備え、前記無機薄膜の第１の主面は前記第１のキャリアフイルムの表面上に形成されており、前記第２のキャリアフイルムは前記無機薄膜の第２の主面上に形成されている、多層気密シートを形成する工程、および
   前記気密シートを前記加工製品上に配置して、被包された加工製品を形成する工程、
   を有してなる方法。
7. 前記第１のキャリアフイルム、前記第２のキャリアフイルム、および前記無機薄膜の１つ以上の外側の縁表面に気密接触する縁シールを、前記基体上であって、前記多層気密シートの周囲に形成する工程をさらに含む、請求項６記載の方法。
8. 前記縁シールが、乾燥剤と樹脂との混合物を含む、請求項７記載の方法。
9. 前記多層気密シートの露出された表面上に保護フイルムを形成する工程をさらに含む、請求項６記載の方法。
10. 前記基体上に乾燥剤を支持する工程、および前記加工製品および該乾燥剤の上に前記気密シートを配置して、被包された加工製品を形成する工程をさらに含む、請求項６記載の方法。
11. 多層封止アセンブリにより封止された気密封止加工製品であって、該多層封止アセンブリが、
    キャリアフイルムの表面上に形成された第１の無機薄膜を含む多層気密シート、および
    ガスケット部材、
    を含み、
    前記加工製品が基体の表面上に形成されており、
    前記ガスケット部材が、前記加工製品の周囲で前記基体の表面上に配置されており、
    前記多層気密シートが、前記加工製品上に、前記ガスケット部材と気密接触して配置されている、気密封止加工製品。
12. 前記第１の無機薄膜が前記ガスケット部材と気密接触している、請求項１１記載の加工製品。
13. 前記ガスケット部材が前記基体と気密接触している、請求項１１記載の加工製品。
14. 前記ガスケット部材の表面上に第２の無機薄膜が形成されている、請求項１１記載の加工製品。
15. 前記第１の無機薄膜が前記第２の無機薄膜と気密接触している、請求項１４記載の加工製品。
16. 前記多層気密シートが、前記第１の無機薄膜の表面上に形成された第２のキャリアフイルムをさらに含む、請求項１１記載の加工製品。
17. 前記第１の無機薄膜が前記気密封止加工製品の中立応力面に配置されている、請求項１１記載の加工製品。
18. 前記第１の無機薄膜が前記気密封止加工製品の圧縮応力面に配置されている、請求項１１記載の加工製品。
19. 積層封止アセンブリにより封止された気密封止加工製品において、該積層封止アセンブリが、
    各々が対向する第１と第２の主面を有する、１つ以上キャリアフイルムおよび１つ以上の無機薄膜を含む積層気密シートであって、ある無機薄膜の第１の主面があるキャリアフイルムの表面上に形成されている積層気密シート、および
    ガスケット部材、
    を含み、
    前記加工製品が基体の表面上に形成されており、
    前記ガスケット部材が、前記加工製品の周囲で前記基体の表面上に配置されており、
    前記積層気密シートが、前記加工製品上に、前記ガスケット部材と気密接触して配置されている、気密封止加工製品。